DE3640994A1 - Servovorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf hydraulische Servo­ vorrichtungen und betrifft insbesondere hydraulische Servo­ vorrichtungen mit Kipp- oder Schnappbetriebsart.

Im Stand der Technik gibt es viele hydraulische Servovorrich­ tungen, bei denen ein relativ starker Flüssigkeitsstrom durch die Einstellung (Justierung) der Position eines Servo­ ventils durch einen relativ schwachen Flüssigkeitsstrom ge­ steuert wird. In vielen Fällen ist ein beweglicher Servoven­ tilabschlußkörper, der den stärkeren Strom steuert, mit Ste­ gen oder äquivalenten Teilen mit daran ausgebildeten Flüs­ sigkeitsreaktionsflächen versehen. Die schwächere Strömung, die den Flüssigkeitsreaktionsflächen wahlweise zugeleitet wird, bewegt den Servoventilabschlußkörper in gewünschte Po­ sitionen, um den stärkeren Flüssigkeitsstrom einzustellen.

Bei einem üblichen Typ von Servovorrichtung wird ein Servo­ ventilabschlußkörper benutzt, der in diskrete Positionen be­ wegbar ist, um einen hindurchgehenden Strom in diskrete Aus­ laßkanäle zu leiten. Es ist klar, daß bei einer solchen Ser­ vovorrichtung eine Modulation oder ein "Pendeln" des Servo­ ventilabschlußkörpers zwischen dessen gewählten Einstellun­ gen unakzeptabel sein kann, wenn das Aufrechterhalten einer einzelnen Einstellung erforderlich ist. Diese Modulation hat nicht nur eine nachteilige Auswirkung auf die Fähigkeit des Servoventils, einen gewünschten Durchfluß aufrechtzuerhalten, sondern kann auch vorzeitigen Verschleiß und vorzeitige Er­ müdung der verschiedenen Ventilteile, beispielsweise der Dichtungen und dgl., bewirken sowie ein genaues Melden der Ventilposition, beispielsweise durch elektromechanische Druckmeßgeber, verhindern. Servoventilvorrichtungen sollten daher eine Schnapp- oder Kippbetriebscharakteristik aufwei­ sen, d.h. der Abschlußkörper sollte sich abrupt, ohne Modu­ lation zwischen seinen normalen Betriebsstellungen bewegen und durch Fluiddruckkräfte nach dieser abrupten Bewegung in einer gewünschten Position gehalten werden.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte fluidbetätig­ te Servovorrichtung mit Kippbetriebscharakteristik zu schaf­ fen.

Gemäß der Erfindung wird die Kippbetriebscharakteristik ei­ nes Servoventilausgangsteils erreicht durch Einstellen des Betätigungsdruckes an dem Ausgangsteil durch Leiten eines Stroms von Servofluid, der den Betätigungsdruck festlegt, durch eine Düse, deren Öffnung (Durchflußquerschnitt) durch ein Verschlußteil gesteuert wird, welches durch einen Stell­ antrieb betätigt wird, der auf den Durchfluß durch die Düse anspricht. Die Bewegung des Servoventilausgangsteils wird beeinflußt, indem die Gesamtkraft an dem Stellantrieb mit dem Düsendurchfluß vergrößert oder verkleinert wird. Das hy­ draulische Ansprechen des Ausgangsteils und des druckemp­ findlichen Stellantriebs sind so, daß die Bewegung des Stellantriebs zum Erzielen eines gewünschten Ansprechens des Ausgangsteils vor der Bewegung des Ausgangsteils selbst be­ wirkt wird, um ein zwangsläufiges Kipp- oder Schnappbe­ triebsverhalten desselben bei Änderungen in den Stellan­ triebseinstellungen zu erzielen.

In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist das Servoventilausgangsteil ein Turbinenbrennstoffumleitventilab­ schlußkörper, der in einem passenden Zylinder aufgrund des auf den Abschlußkörper einwirkenden Servodrucks hin- und herbewegbar ist. Die Größe des Servodrucks an dem Abschluß­ körper wird durch den Düsendurchfluß gesteuert, der seiner­ seits durch ein Verschlußteil gesteuert wird, welches durch einen auf Fluid ansprechenden Federbalgstellantrieb ge­ steuert wird. Der Federbalgstellantrieb ist in einer Kammer angeordnet, die eine Öffnung mit einer Strömungsdrossel­ stelle hat. Im Betrieb bewirkt die Strömungsdrosselstelle eine Verzögerung im Servofluiddurchfluß durch die Kammer, wo­ durch die Druckbeaufschlagung des Federbalgs durch den Dü­ sendurchfluß gesteigert wird, um das oben erwähnte Kipp­ oder Schnappansprechverhalten zu erzielen.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden un­ ter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung der Kippservovorrichtung nach der Er­ findung,

Fig. 2 eine Vergrößerung eines Teils der Vorrichtung nach Fig. 1, und

Fig. 3 eine grafische Darstellung der Hydraulikkräfte, die auf einen fluiddruckempfindlichen Stellan­ trieb einwirken, der in der Servo­ vorrichtung nach der Erfindung benutzt wird.

Die Erfindung wird im Zusammenhang mit einem Brennstoffhand­ habungssystem eines Gasturbinentriebwerks, wie es zum An­ trieb von Militär- und Zivilflugzeugen benutzt wird, be­ schrieben. Die Erfindung ist aber gleichermaßen in anderen Fällen anwendbar, in denen eine hydraulische Servovorrich­ tung benutzt wird.

Gemäß Fig. 1 weist ein Gasturbinentriebwerk 10 eine Anzahl Brennkammern 15 auf, die mit Turbinenbrennstoff über eine Leitung 17 aus einem Brennstoffregler 20 versorgt werden, beispielsweise dem Brennstoffregler JFC-60, der von der Hamilton Standard Division der United Technologies Corpora­ tion hergestellt wird. Der Brennstoffregler 20 wird mit Brennstoff aus einer Zahnradpumpe 25 über eine Leitung 30 versorgt, die ein Filtersieb 35 aufweist. Brennstoff wird in der Leitung 30 aus einem ersten und einem zweiten Wärme­ tauscher 37 bzw. 40 empfangen, die zueinander konzentrisch sind. Wie dargestellt wird der Wärmetauscher 40 mit Brenn­ stoff über eine Leitung 45 versorgt, wogegen der Wärmetau­ scher 37 mit Brennstoff über eine Leitung 50 versorgt wird. Die Leitung 50 empfängt den Brennstoff aus einer Kreisel­ pumpe 55, die Brennstoff aus einem nicht unter Druck ste­ henden Tank (nicht dargestellt) über eine Leitung 57 an­ saugt. Die Kreiselpumpe 55 minimiert die Gefahr von Kavita­ tion innerhalb der Zahnradpumpe 25 durch Druckbeaufschla­ gung des dieser zugeführten Fluids. Der Brennstoffdurchfluß durch die Wärmetauscher 37 und 40 kann für irgendeinen ge­ wünschten Kühlzweck benutzt werden, beispielsweise zum Küh­ len von elektronischen Schaltungen (nicht dargestellt), die in Verbindung mit dem Brennstoffregler 20 benutzt werden.

Der Brennstoffregler 20 dosiert die Brennstoffzufuhr zu den Triebwerksbrennkammern 15 auf der Basis von Soll- und Ist- Triebwerksbetriebsbedingungen. Zu diesem Zweck stellt der Brennstoffregler 20 mittels verschiedener Brennstoffhandha­ bungsvorrichtungen, die in ihm benutzt werden, den Druck und die Durchflußleistung des von ihm an das Triebwerk ab­ gegebenen Brennstoffs ein. Die Zahnradpumpe 25 liefert typisch eine größere Brennstoffzufuhr als für den Triebwerksbetrieb erforderlich ist, wobei der Überschuß- oder Umgehungsbrenn­ stoff aus dem Brennstoffregler 20 über eine Leitung 60 auf wei­ ter unten noch näher beschriebene Weise abgegeben wird.

Die verbesserte hydraulische Servovorrichtung nach der Erfin­ dung steuert die Förderung des Überschußbrennstoffes aus der Leitung 60 zu den Wärmetauschern 37 und 40. Die Servovorrich­ tung 65 enthält ein Umleitventil 70, das einen Zylinder 75 aufweist, welcher durch einen Anschlag 77 an seinem linken En­ de abgedichtet ist, eine ringförmige Kammer 78 an seinem Steg­ ende enthält und mit den Leitungen 45 und 60 in Verbindung steht. Das Umleitventil 70 weist außerdem einen hin- und her­ bewegbaren Umleitventilabschlußkörper (Ausgangsteil) 80 auf, der in dem Zylinder 75 angeordnet ist. Der Abschlußkörper 80 weist wie dargestellt zwei becherförmige Stege 85 und 90 auf, die durch einen Mittelteil 95 kleineren Durchmessers miteinan­ der verbunden sind.

In der dargestellten Position des Abschlußkörpers 80 wird Überschußbrennstoff, der der Servovorrichtung über die Leitung 60 zugeführt wird, durch den Abschlußkörper 80 in eine Leitung 100 geleitet, die mit der Leitung 50 in Verbindung steht, über die der Brennstoff von der Pumpe 55 an die Wärmetauscher 37, 40 abgegeben wird. Gemäß der Darstellung durch die Pfeile wird der Überschußbrennstoff, der durch das Umleitventil 70 in die Leitung 100 geleitet wird, in die Leitung 50 abgegeben, um an den äußeren Wärmetauscher 37 und anschließend über die Leitung 30 an die Zahnradpumpe 25 abgegeben zu werden. Die Bewegung des Abschlußkörpers 80 nach links öffnet die Leitung 45 und schließt die Leitung 100 (mit dem Steg 90), um einen Durchlaß von der Leitung 60 durch das Umleitventil 70 zu der Leitung 45 für die Abgabe des Überschußbrennstoffes an den inneren Wärme­ tauscher 40 zu öffnen. Der Brennstoff wird dann von dem Wärme­ tauscher 40 an die Leitung 30 zum Zurückleiten zu der Zahnrad­ pumpe 25 und dem Brennstoffregler 20 abgegeben.

Der linke Steg 85 ist mit einem vergrößerten Kolben 105 ver­ sehen, welcher auf der rechten Seite mit Brennstoff aus einer unter einem Druck (P _s ) stehenden Brennstoffquelle (nicht dar­ gestellt) über eine Leitung 110 beaufschlagt wird. Da die Ste­ ge 85 und 90 den gleichen Durchmesser haben und daher gleichen Flüssigkeitskräften ausgesetzt sind, welche auf sie von dem Teil des Ventilzylinders nahe dem Teil 95 kleineren Durchmes­ sers aus ausgeübt werden, wird die Position des Umleitventil­ abschlußkörpers 80 durch die relative Größe der auf den Kolben 105 einwirkenden Drücke bestimmt. Demgemäß wird in der gezeig­ ten Position, wenn die Flüssigkeitskräfte, die der Druckbeauf­ schlagung der linken Seite des Kolbens 105 und des Inneren des Steges 85 durch Brennstoff mit einem modulierten Druck P _m zu­ geordnet sind, größer sind als diejenigen, die der Druckbeauf­ schlagung der rechten Seite des Kolbens 105 durch Brennstoff in der Leitung 110 mit dem Druck P _s zugeordnet sind, der Ab­ schlußkörper 80 nach rechts gedrückt. Umgekehrt bewirkt aus­ reichendes Senken des Druckes P _m , daß die Flüssigkeitskräfte, die aus der Druckbeaufschlagung der rechten Seite des Kolbens 105 mit Brennstoff mit dem Druck P _s resultieren, die Kräfte auf dessen linker Seite überwinden, wodurch der Abschlußkör­ per 80 veranlaßt wird, sich nach links bis in Anlage an dem Anschlag 77 zu bewegen.

Ein fluiddruckempfindlicher elektrischer Meßwandler oder Schalter 115 ist in einem Kanal 120 angeordnet, der die Ver­ bindung zwischen dem Ende des Umleitventilzylinders 75 und dem stromaufwärtigen Ende der Leitung 110 herstellt. Der Schalter 115, der auf die Differenz zwischen den Drücken P _m und P _s an dem Ende des Umleitventilzylinders 75 und daher auf die Bewegung des Abschlußkörpers 80 anspricht, gibt ein elektrisches Signal, das Änderungen dieser Druckdifferenz an­ zeigt, an eine elektrische Anzeigeeinrichtung (nicht darge­ stellt), beispielsweise eine Lampe, ab. Das linke Ende des Um­ leitventilzylinders 75 wird mit Brennstoff mit dem Druck P _s über eine Leitung 125, in der eine Drosselstelle 130 vorgese­ hen ist, und über eine Leitung 135 beaufschlagt.

Gemäß Fig. 2 steht der Kanal 135 am entgegengesetzten Ende mit einer Düse 140 in Verbindung, die in eine Bohrung einge­ schraubt ist, welche sich durch den Boden einer Kammer 145 er­ streckt. Der Durchflußquerschnitt von Öffnungen 150 in dem oberen Ende der Düse 140 wird durch ein halbkugelförmiges Ver­ schlußteil 155 eingestellt, das in dem nach innen gebogenen Ende der Düse festgehalten ist. Die Position des Verschluß­ teils 155 wird durch einen fluiddruckempfindlichen Federbalg­ stellantrieb 160 eingestellt, welcher an seinem Ende mit einem Kolbenausgangsteil 165 versehen ist, das mit dem Verschlußteil 155 auf geeignete Weise mechanisch verbunden ist.

Weiter ist gemäß der Darstellung in Fig. 2 das obere Ende der Kammer 145 durch einen Stopfen 170 verschlossen, der eine Ge­ windebohrung enthält, in der eine Büchse 175 aufgenommen ist, deren Längsposition innerhalb des Stopfens durch das Einstel­ len eines Schraubenkopfes 180 zum Einstellen das Auslösepunkts der Vorrichtung einstellbar ist. Die Büchse 175 ist mit einem Längsfluidkanal 185 und mit einem radialen Fluidkanal 187 ver­ sehen, wobei der Kanal 185 mit dem Niederdruck (Pumpeneinlaß)- Brennstoff über die Leitung 190 und einen Kanal 195 in dem Stopfen 170 in Verbindung steht und wobei der Kanal 195 mit einer Drosselstelle 200 versehen ist. Die Büchse 175 liegt an einer zweiten Büchse 205 an, die in dem Faltenbalg 160 angeordnet ist und einen Längsfluidkanal 210 aufweist, der mit dem Inne­ ren des Federbalgs über einen radialen Kanal 212 in Verbindung steht, wodurch der Federbalg im Inneren mit Brennstoff mit Pumpeneinlaßdruck über die Leitung 190 und die Kanäle 195, 187, 185, 210 und 212 beaufschlagt wird.

Die Kammer 145 steht mit dem Auslaßdruck der Pumpe 55 über ei­ ne Leitung 215, in der eine Durchflußdrosselstelle 220 vorge­ sehen ist, die ringförmige Kammer 78 und die Leitung 100 in Verbindung.

Wie oben dargelegt ist eine Kippbetriebscharakteristik des Um­ leitventils 70 erforderlich, um den Verschleiß des Abschluß­ körpers 80 und der verschiedenen anderen Teile der Servovor­ richtung nach der Erfindung beim teilweisen Leiten von Brenn­ stoff zu den Wärmetauschern zu verhindern. Weiter ist eine solche Kippbetriebscharakteristik erforderlich, um dem Umleit­ ventilabschlußkörper zu gestatten, sich ständig selbst in der richtigen Position in dem Ventilzylinder zu halten, und um dem druckempfindlichen Schalter 115 zu gestatten, diese Positio­ nierung genau und kontinuierlich anzuzeigen. Zum Erzielen die­ ses Kippbetriebes des Umleitventilabschlußkörpers wird der Druck in dem linken Ende des Umleitventilzylinders 75 gesteu­ ert, indem der Brennstoffdurchfluß durch die Düse 140 durch eine gesteuerte Druckbeaufschlagung des Federbalgstellan­ triebs 160 gesteuert wird.

Zur Erläuterung der Arbeitsweise der Servovorrichtung wird angenommen, daß der Abschlußkörper 80 des Umleitventils 70 in der dargestellten Position ist. Um Überschußbrennstoff von dem äußeren Wärmetauscher 37 zu dem inneren Wärmetauscher 40 zu leiten, ist es notwendig, den Abschlußkörper 80 nach links zu bewegen. Diese Bewegung wird bewirkt durch und be­ gleitet eine Zunahme der Drehzahl des Triebwerks 10, die selbst eine Vergrößerung der Drehzahl und somit eine Zunahme des Ausgangsdrucks der Pumpe 55 bewirkt. Das Vergrößern des Pumpenausgangsdrucks vergrößert den Druck in der Kammer 145 aufgrund von deren Verbindung mit der Pumpe über die Leitun­ gen 50 und 100, die ringförmige Ventilkammer 78 und die Lei­ tung 215. Das Vergrößern des Drucks in der Kammer 145 steigert wiederum den Druckabfall an dem Federbalg 160 (der Pumpenein­ laßdruck bleibt konstant), wodurch der Federbalg veranlaßt wird, den Kolben 165 und das Verschlußteil 155 von dem oberen Ende der Düse 140 abzuheben. Das vergrößert die wirksame Öff­ nung der Düse 140 und damit den Durchfluß durch die Düse, wo­ durch der Druck P _m an dem linken Ende des Umleitventilzylin­ ders 75 verringert wird. Die Durchflußdrosselstelle 220 ver­ zögert den Austritt des Düsendurchflusses aus der Kammer 145 über die Leitung 215, wodurch die weitere Druckbeaufschlagung des Federbalgs gesteigert wird, was den Federbalg veranlaßt, den Kolben 165 und daher das Verschlußteil 155 schneller anzu­ heben.

Fig. 3 zeigt, daß diese Verzögerung des Düsendurchflusses aus der Kammer 145 durch die Durchflußdrosselstelle 220 die zeit­ liche Änderung der Druckbeaufschlagung des Federbalgstellan­ triebs schneller vergrößert als die Zunahme der entgegenge­ setzt gerichteten Federrückstellkraft aufgrund der Zusammen­ drückung des Federbalgs. Der Federbalg öffnet daher mit größe­ rer Geschwindigkeit unter dem Einfluß des Durchflusses durch die Düse 140, was durch den schraffierten Bereich 230 zwischen den Kurven in Fig. 3 gezeigt ist, wodurch der Druckabbau am linken Ende des Umleitventilzylinders 75 über die Düse 140 be­ schleunigt wird, wodurch der Abschlußkörper 80 des Umleitven­ tils 70 zwangsläufig nach links schnappt und dort durch die Druckbeaufschlagung des Kolbens 105 über die Leitung 110 ge­ halten wird. Diese zwangsläufige Schnappbewegung des Ab­ schlußkörpers 80 des Umleitventils 70 wird durch ein kontinu­ ierliches (nichtmoduliertes) Ausgangssignal des druckempfind­ lichen Schalters 115 gezeigt.

Es sei angenommen, daß, wenn die Drehzahl des Triebwerks 10 verringert wird, das Pumpenrad der Pumpe 55 langsamer wird, so daß der Druck in der Kammer 145 verringert wird. Da der Pumpeneinlaßdruck, mit dem das Innere des Federbalgs 160 be­ aufschlagt wird, konstant bleibt, wird durch dieses Verrin­ gern der Pumpendrehzahl der Druckabfall an dem Federbalg ver­ ringert. Der geringere Druckabfall an dem Federbalg bewirkt, daß das Verschlußteil 150 unter dem Einfluß der dem Federbalg eigenen Federrückstellkraft abgesenkt wird. Das Absenken des Verschlußteils 150 verringert den Durchfluß durch die Düse 140, wodurch wiederum der Druckabfall an dem Federbalg 160 verringert wird, wobei die Durchflußdrosselstelle 220 jede un­ erwünschte Wiederdruckbeaufschlagung des Äußeren des Federbalgs über die Leitung 215 minimiert. Dieses Verringern des Druckab­ falls beschleunigt das Schließen der Düse 140 und gestattet dadurch, das linke Ende des Kolbens 105 über die Leitungen 125 und 135 wieder mit Druck zu beaufschlagen, um den Kolben in einer Schnappbewegung, d.h. abrupt nach rechts zu bewegen. Durch diese Bewegung wird die Strömung von dem inneren Wärme­ tauscher 40 auf den äußeren Wärmetauscher 37 umgeschaltet und das Signal aus dem druckempfindlichen Schalter 115 auf konti­ nuierliche Weise unterbrochen.

Die hydraulische Durchflußleistung der Düse 140 und die An­ sprechgeschwindigkeit des Federbalgs 160 sind so gewählt, daß der Federbalg auf eine sich ändernde Pumpendrehzahl (Kammer­ druck) anspricht, bevor der Kolben 105 durch auf ihn einwir­ kenden Druck betätigt wird, um das hier beschriebene Schnapp­ betriebsverhalten zu erzielen. Wie dargelegt ergibt dieses Schnappbetriebsverhalten einen wiederholbaren und zuverlässi­ gen zwangsläufigen, nichtmodulierten Betrieb der Servovor­ richtung und des druckempfindlichen Schalters und verlängert die Lebensdauer von Teilen der Servovorrichtung, wie bei­ spielsweise der Dichtungen und dgl.

Claims (7)

1. Servovorrichtung mit einem ersten Ausgangsteil, das auf­ grund einer Differenz im Servofluiddruck an ihm bewegbar ist, gekennzeichnet durch:
eine Düse (140);
eine Leitung (135), die die Fluidverbindung zwischen dem ersten Ausgangsteil (80) und der Düse (140) herstellt, um einen Servofluidfluß zwischen ihnen aufzunehmen und dadurch eine Änderung in der Druckbeaufschlagung des ersten Ausgangs­ teils (80) zu bewirken;
ein Düsenverschlußteil (155) zum Beeinflussen des Servofluid­ durchflusses durch die Düse (140);
einen fluiddruckempfindlichen Stellantrieb (160), der ein zweites Ausgangsteil (165) hat, das mit dem Verschlußteil (155) mechanisch verbunden ist, zum Einstellen von dessen Po­ sition, wobei das zweite Ausgangsteil (165) in eine vorbe­ stimmte Schließstellung durch eine Rückstellkraft vorgespannt ist, welche dem Stellantrieb (160) zugeordnet ist und sich mit der Position des Ausgangsteils ändert;
eine offene Kammer (145), die die Verbindung zwischen dem Stellantrieb (160) und der Düse (140) herstellt, um den Servo­ fluiddurchfluß durch die Düse (140) zu dem Stellantrieb (160) entgegengesetzt zu der Rückstellkraft aufzunehmen; und
eine erste Durchflußdrosselstelle (220), die in der Kammer­ öffnung angeordnet ist, um den Abfluß aus dieser zu drosseln und dadurch die Druckbeaufschlagung des Stellantriebs (160) durch den Düsendurchfluß zu steigern, wodurch die zeitliche Änderung der Druckbeaufschlagung des Stellantriebs (160) durch den Düsendurchfluß, wenn das Ver­ schlußteil (155) durch den Stellantrieb (160) eingestellt wird, größer ist als die zeitliche Änderung der Stellantriebs­ rückstellkraft, wodurch die zeitliche Änderung der Druckbeauf­ schlagung der Servovorrichtung an der einen Reaktionsfläche maximiert wird, um eine Schnappbewegung des ersten Ausgangs­ teils (80) zu erzielen.

2. Servovorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangsteil (80) ein Turbinenbrennstoffumleitventil­ abschlußkörper ist.

3. Servovorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Stellantrieb einen Federbalg (160) auf­ weist, daß das zweite Ausgangsteil (165) einen beweglichen Kolben aufweist, an dem das Verschlußteil (155) befestigt ist, und daß die Rückstellkraft die dem Federbalg (160) eigene Fe­ derrückstellkraft ist, wenn der Kolben (165) verschoben wird.

4. Servovorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Federbalg (160) im Inneren mit Druck beaufschlagbar ist, wobei die Kraft, mit der das Verschlußteil (155) einge­ stellt wird, proportional zu der Differenz zwischen dem Druck­ abfall an dem Federbalg (160) und der diesem zugeordneten Rückstellkraft ist.

5. Servovorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Servofluid der Servovorrichtung aus einer Quelle an dem ersten Ausgangsteil (80) über eine zweite Durchflußdrosselstelle (130) zugeführt wird, wobei die zweite Drosselstelle jegliche Auswirkungen eines direkten Durchflus­ ses aus der Servofluidquelle durch die Düse (140) verringert.

6. Servovorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekenn­ zeichnet durch eine Einrichtung (115), die in Fluidverbindung mit dem ersten Ausgangsteil (80) angeordnet ist, um Änderun­ gen in dessen Fluiddruckbeaufschlagung anzuzeigen.

7. Servovorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Ausgangsteil (80) ein hin- und herbewegbares Teil aufweist, das in einem Zylinder (75) angeordnet ist, und daß die Einrichtung zum Anzeigen von Änderungen der Fluid­ druckbeaufschlagung einen fluiddruckempfindlichen elektri­ schen Schalter (115) aufweist, der in Fluidverbindung mit dem Zylinder (75) angeordnet ist.