DE3639059A1

DE3639059A1 - Sensortaster und verfahren zu seiner herstellung

Info

Publication number: DE3639059A1
Application number: DE19863639059
Authority: DE
Inventors: Ryuji Sakamoto
Original assignee: Toshiba Silicone Co Ltd
Current assignee: Momentive Performance Materials Japan LLC
Priority date: 1985-11-15
Filing date: 1986-11-14
Publication date: 1987-05-21
Also published as: GB8627038D0; GB2183101A; US4794366A

Description

Diese Erfindung betrifft einen Sensortaster und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Genauer gesagt, bezieht sich diese Erfindung auf einen Sensortaster, bei dem die Kennlinie der Ausgangsspannung eine Funktion des Drucks auf das Tastenfeld ist und ein Verfahren, diesen Schalter herzustellen. Der Sensortaster nach der Erfindung hat eine neuartige Struktur, die Kennlinie seiner druckab hängigen Ausgangsspannung weist geringere Streuung auf und der Taster läßt sich gut reproduzieren. Mit seiner beschränkten Dicke und in seiner integrierten Form eignet er sich gut zur Serienfertigung.

In der Elektronik sind als Eingabeelemente im allge meinen verschiedene Schalter zur Anwendung gekommen, die sich druckempfindlicher leitfähiger Gummischichten be dienten. Ausführungen solcher Schalter, die mit einer druckabhängig leitfähigen Gummischicht arbeiten, finden sowohl als gewöhnliche Ein-/Ausschalter Verwendung als auch als Eingabeelemente in einer Vorrichtung, die hand schriftliche Eingabepositionen lesen kann. Auch elek tronische Orgeln verwenden solche Sensortaster, die mit druckabhängigen Schichten aus leitfähigem Gummi arbeiten (siehe JP-OS 53-79 937 und 54-80 350); der druckempfind liche leitfähige Gummi wird zum Aufbau des druckempfind lichen Sensors verwandt. Der Sensor bzw. das Tastenfeld ist so strukturiert, daß ein Streifen einer druckempfind lichen leitfähigen Gummimatte sandwichartig zwischen metallische Schichten, die als Elektroden dienen, ge schichtet wird; dieser Streifen ist eingebracht in eine flache Rinne, gebildet aus gepreßtem Polyvinylchlorid harz, auf die eine Filzabdeckung aufgebracht wird. Schlägt man eine Taste an, um einen Ton zu erzeugen und verstärkt dann den Druck auf diese Taste, ändert sich dadurch der Widerstand im Sensor; diese Widerstands änderung wird bei konstantem Strom in ein elektrisches Signal zwischen Anschlüssen umgesetzt und als ein vorbe stimmtes Steuersignal von einem Operationsverstärker ausgegeben. Lautstärke, Klangfarbe und Stimmung des Tons können auf diese Weise geregelt werden.

Nun haben aber die Sensortaster, die mit der druck empfindlichen leitfähigen Gummimatte arbeiten den Nach teil, daß die Kennlinien der Ausgangsspannung über dem Druck streuen und nicht zufriedenstellend reproduziert werden können. Wenn also an die Genauigkeit eines Sensortasters hohe Ansprüche gestellt werden, kann man also einen Sensor des beschriebenen Typs nicht verwen den. Auch ergeben sich aus der komplizierten Bauform des Sensortasters Nachteile bei dessen Herstellung, verlangt er doch eine hohe Anzahl von Produktionsschritten. Der bisherige Formprozeß benötigt eine extrem lange, band artige Gummimatte, so daß keine zufriedenstellende Serienfertigung erzielt werden kann. Weitere Nachteile des nach dem Stand der Technik hergestellten Sensors sind seine Dicke, das Aufbringen auf der Elektrode und und sein hoher Preis.

F. N. Eventoff beschreibt in den U.S. Patentschriften Nr. 42 68 815, 43 14 277 und 43 15 238, einen druck empfindlichen Schalter bzw. Druckwandler, in dem die ersten und zweiten Kontakte normalerweise so angeordnet sind, daß sie einander gegenüberliegen, und die beiden einander gegenüberliegenden Flächen durch Druck von außen dazu gebracht werden, über eine druckempfindliche Schicht und/oder eine Halbleiterschicht miteinander in elektrischen Kontakt zu treten. Kennzeichnend für diese Patente ist unter anderem, daß zumindest eine der den Kontakten zwischengelagerten Schichten Halbleiterpartikel enthält, z. B. Molybdensulfid-Partikel. Nachteile des Aufbaus mit einer solchen Halbleiterschicht sind, daß das Ansprechen auf Druck variiert und sich die Ansprech barkeit mit der Alterung ändert. Auch führt die Aniso tropie zu Einschränkungen beim Einbau.

Diese Erfindung sieht einen Sensortaster vor, der be steht aus:
einem elektrischen Kreis, der auf einem ersten elek trisch isolierenden Substrat aufgebaut und mit einer Kohlenstoffelektrode überzogen ist;
einem elektrischen Kreis, der auf einem zweiten elek trisch isolierenden Substrat aufgebaut und mit einer Kohlenstoffelektrode überzogen ist, der dem elektrischen Kreis auf dem ersten Substrat gegenüberliegt und zwar so, daß dazwischen ein Spalt bleibt;
einer druckempfindlichen, elektrisch leitenden Schicht, die zumindest auf das erste oder zumindest auf das zweite Substrat aufgebracht und so angeordnet ist, daß sie den Spalt zwischen den beiden Substraten ausfüllt.

Außerdem sieht die Erfindung ein Verfahren zur Herstel lung für diesen Sensortaster vor.

Das elektrisch isolierende Substrat, das in dieser Er findung zur Anwendung kommt, kann entweder platten- oder filmartig ausgeformt und steif oder flexibel ausgeführt sein. Verwendet werden können beispielsweise Filme, Laminate und Gieß- oder Preßprodukte aus Phenolformalde hyd, Epoxydkunstharz, Polyesterkunstharz, Silikonkunst harz, Polyimidkunstharz und natürlicher oder synthe tischer Kautschuk. Wünschenswert ist eine Substratstärke zwischen 0,015 mm und 2 mm und noch wünschenswerter eine Substratstärke zwischen 0,1 und 0,5 mm. Ist das Substrat dünner als 0,015 mm, leidet die Festigkeit und das Siebdrucken von Rastern ist schwierig. Überschreitet andererseits die Stärke das Maß von 2 mm, ist das Gießen oder Pressen schwieriger und die Kosten steigen.

Der elektrische Kreis kann auf dem Substrat gebildet werden, indem man eine elektrisch leitende Metallfolie auf ein Substrat aufbringt und danach ätzt, man kann elektrisch leitendes Metall aufdampfen und man kann ein Siebdruckverfahren mit elektrisch leitender Paste an wenden, die z.B. mit Silber usw. versetzt ist. Das Siebdruckverfahren eignet sich zur Herstellung einer langen bandartigen Form und arbeitet dabei sehr genau und ökonomisch. Das Siebdruckverfahren mit Kohlen stoffpaste eignet sich auch zum Aufbringen der Kohlen stoffelektrode auf den elektrischen Kreis.

Als druckempfindliche Schicht auf dem Kreis eignet sich ein Silikonkautschuk, den Partikel eines oder mehrerer Metalle - zur Wahl stehen Silber, Kupfer und Nickel - und Ruß zugesetzt werden. Besonders Nickelpulver, ober flächenbehandelt mit einem Platingemisch (vgl. JP-OS 59-98 164) wird gerne verwendet, weil dieses Metallpulver geringere Abweichungen der Druck-Spannungs-Kennlinien verursacht und eine hervorragende Reproduzierbarkeit sicherstellt. Ein solcher Kautschuk kann derart ausge führt sein, daß er an dem Substrat haftet. Er kann auch direkt mittels Siebdruck oder ähnlichem auf die Elektrode aufgetragen sein. Ein extrem lange bandartige Form, die nach dem Stand der Technik schwierig herzustellen war, kann leicht erzielt werden und auch Integration ist möglich.

Die gewünschte Stärke der druckempfindlichen elektrisch leitenden Schicht liegt zwischen 10 und 80 Mikrometern besser noch - im Hinblick auf die druckempfindliche elektrische Leitfähigkeit - zwischen 25 und 50 Mikro metern. Ist diese Schicht dünner als 10 Mikrometer, ist es schwierig, die anfängliche Isolation zu erreichen. Überschreitet die Schichtstärke andererseits das Maß von 80 Mikrometern, ist die Ausgangsspannung zu niedrig und zeigt größere Abweichung.

Vorzugsweise verbindet man die ersten und zweiten elek trisch isolierenden Substrate miteinander, indem man die elektrischen Kreise und die druckempfindliche elektrisch leitende Schicht dazwischensetzt. Das erleichtert es, den Sensortaster auf eine Montageplatte beispielsweise in einer elektronischen Orgel zu setzen. Um die Substrate miteinander zu verbinden, können viele Methoden verwendet werden, z. B. die Methode, Klebemittel durch Siebdrucken aufzubringen, doppelseitig klebendes Band zu verwenden und verschiedene andere Klebemittel zu nutzen. Die kostengünstigste Verbindungsmethode ist die, bei der man Klebemittel durch Siebdruck aufbringt.

Zur Abdeckung des Sensortasters kann Filz verwendet werden, und an der unteren Fläche kann ein beidseitig klebendes Band angebracht werden, was das Anbringen auf eine Montageplatte erleichtert.

Kombiniert man die Bestandteile dieser Erfindung wie oben beschrieben, kann man einen Sensortaster für eine elektronische Orgel herstellen.

Das Herstellungsverfahren gemäß dieser Erfindung umfaßt:

a) die Bildung von Leiterbahnen auf dem ersten und zweiten elektrisch isolierenden Substrat;
b) das Abdecken der Leiterbahnen mit einer Kohlen stoffpaste;
c) die Bildung einer druckempfindlichen elektrisch leitenden Schicht durch Auftragen und Härten einer druckempfindlichen elektrisch leitenden Paste auf einem der ersten oder zweiten elektrisch leitenden Substrate, welche Leiterbahnen aufweist, die von dem Kohlenstoffüberzug nach Schritt b) überdeckt sind; und
d) das Aneinandersetzen und Verbinden des elektrisch leitfähigen Substrates, das zusammen mit der druck empfindlichen elektrisch leitenden Schicht nach Schritt c) gebildet wurde mit dem elektrisch iso lierenden Substrat, das nicht mit der druckempfind lichen elektrisch leitenden Schicht gebildet wurde, wobei die Leiterbahnen und die druckempfindliche elektrisch leitende Schicht dazwischen liegen.

Beispiele:

Die folgenden Beispiele haben nur illustrierenden Charakter und sollen keinesfalls die vorliegende Erfin dung einschränken. Alle angegebenen Anteile in den Beispielen sind Gewichtsanteile.

Fig. 1 Flußdiagramm zur Erklärung der auf Beispiel 1 bezogenen Herstellschritte in schematischem Querschnitt,

Fig. 2 Grundriß eines mit Elektroden bedruckten Film substrats, ausgeführt mit zwei parallelen Elektroden in Schritt (A),

Fig. 3 Grundriß eines mit einer Elektrode bedruckten Substratfilmes, ausgeführt mit einer Elektrode, die mit den zwei parallelen Elektroden aus Schritt (A) in Kontakt treten kann,

Fig. 4 bzw. 5 Grundrisse von kohlenstoffbeschichteten Elek trodenfilmen auf Substrat, wobei Kohlenstoff auf die Elektroden aufgebracht ist (Schritt (B)),

Fig. 6 Grundriß eines kohlenstoffbeschichteten Elek trodenfilmes auf Substrat, ausgeführt mit einem druckempfindlichen, elektrisch leitenden Film nach Schritt (C),

Fig. 7 Grundriß eines kohlenstoffbeschichteten Elek trodenfilmes auf Substrat, ausgeführt mit einer klebenden Schicht nach Schritt (D),

Fig. 1(b) bis 1(g) Querschnitte, jeweils entsprechend den Fig. 2 bis 7,

Fig. 8 schematischer Querschnitt, der die Position zeigt,

in der der Sensortaster in einer elektro nischen Orgel angebracht ist, und

Fig. 9 bis 12 Diagramme zur Erläuterung des Effekts der Erfindung.

Bezugsbeispiel 1

(Herstellung eines elektrisch leitfähigen Pulvers, das mit einer Platinmischung verarbeitet ist).

100 Teile einer 1%igen Lösung von Vinylsiloxan abgestimm tem Platin, zusammengesetzt in Xylol, werden 100 Teilen von Nickelpartikeln mit einer durchschnittlichen Partikel größe von 3 bis 7 Mikrometer beigemischt, die aus Nickel karbonyl gewonnen wurden. Dann wird diese Mischung ver rührt, erhitzt und zurückgegossen. Nach vier Stunden werden die komplex verarbeiteten Partikel gefiltert, gewaschen und dann zwei Stunden lang einer Temperatur von 150°C ausgesetzt, um Nickelpartikel zu erhalten, die mit Platinsiloxan zusammengesetzt sind.

Bezugsbeispiel 2

(Herstellung einer druckempfindlichen elektrisch leit fähigen Silikonkautschukpaste).

300 Teile von Nickelpartikeln, die mit Platinsiloxan behandelt sind (Referenzbeispiel 1) und sechs Teile von Acetylenruß werden mit 100 Teilen einer gehärteten Silikonkautschukmischung vermengt: TSE 3221 (Handelsname, Hersteller: Toshiba Silicone Co.) und in einem kleinen Mischer vorgemischt. Das Ergebnis dieser Vormischung wird dann in einer Dreiwalzenmühle verarbeitet, um eine druckempfindliche elektrisch leitfähige Silikonkautschuk mischung zu erhalten. Dann werden 1,5 Teile der Lösung Hiarom 2S (Handelsname, Hersteller: Nisseki Co.) zum Verdünnen 100 Teilen der oben erwähnten Mischung bei gemengt; so erreicht man die gewünschte Viskosität, um eine druckempfindliche elektrisch leitfähige Silikon kautschukpaste herzustellen.

Beispiel 1

Fig. 1 ist ein Ablaufdiagramm der Herstellschritte zu diesem Beispiel, dargestellt im Querschnitt. Zwei Streifen von Elektrodensubstratfilmen werden wie folgt hergestellt:
Mit Silberpartikeln vermengtes Polyurethankunstharz wird durch ein Siebdruckverfahren auf einen Polyesterfilm 1 aufgetragen, der auf die Masse 20×1000 mm bei 188 Mikrometer Stärke gebracht wurde (vgl. Fig. 1(a)), gehärtet und dann getrocknet, womit zwei parallele Elektroden 2 von 10 Mikrometer Stärke gebildet werden (vgl. Fig. 1(b)). Des weiteren wird eine Elektrode 12 auf einem Polyesterfilm 11 gebildet und zwar so, daß sie später mit den beiden parallelen Elektroden 2 in Kontakt gebracht werden können (Fig. 1(c), Schritt (A)).

Fig. 2 bzw. 3 zeigt den Grundriß der Elektrodensubstrat filme (Fig. 1(b) und 1(c)). Die Querschnitte (Fig. 1(b) und 1(c)), verlaufen entlang der Linien II-II in Fig. 2 bzw. entlang der Linie III-III in Fig. 3 (die Beziehungen zwischen den Fig. 1(d)-1(g) und Fig. 4 bis 7 sind dieselben wie oben beschrieben).

Mit Kohlenstoff vermengtes Polyurethankunstharz wird dann mittels Siebdruck auf die zwei parallelen Elektroden 2 aufgebracht, gehärtet und getrocknet, so daß ein Kohlenstoffüberzug 3 von 10 Mikrometer Stärke entsteht (vgl. Fig. 1(d)). In der gleichen Weise wird ein Kohlen stoffüberzug 13 auch auf die Elektrode 12 aufgebracht, die derart ausgeführt wurde, die später mit den zwei Elektroden in Kontakt gebracht werden kann (vgl. Fig. 1 (e), Schritt (B)).

Die Grundrisse der kohlenstoffüberzogenen Elektroden substratfilme der Fig. 1(d), 1(e) sind in der Fig. 4 bzw. 5 dargestellt.

Die druckempfindliche elektrisch leitende Paste, die im Referenzbeispiel 2 beschrieben wurde, wird durch Sieb druck auf der kohlenstoffüberzogenen Elektrode 13 aufgebracht (Fig. 1(e)), wobei ein Polyestersieb der Maschenweite 150 und der Gesamtstärke 120 Mikrometer verwendet wird und durch eine 30minütige Beheizung bei 120°C getrocknet wird. Die so gebildete druckempfind liche elektrisch leitende Schicht (4) hat eine Stärke von 40 Mikrometern (vgl. Fig. 1(f), Schritt (c)).

Fig. 6 zeigt den Grundriß des Substratfilmes der Fig. 1(f), auf die die druckempfindliche elektrisch leitende Schicht aufgedruckt wurde.

Dann werden im Siebdruckverfahren zwei Schichten kleben den Acrylharzes auf die Außenseite der kohlenstoffbe schichteten Elektrode 3 parallel zu den Elektroden aufgebracht und getrocknet. Sie bilden klebende Schich ten 5 (Fig. 1(g), Schritt (D)).

Fig. 7 zeigt den Grundriß des mit der klebenden Schicht bedruckten Substratfilmes der Fig. 1(g).

Dann wird - wie in Fig. 1(h) gezeigt - der Film mit dem elektrischen Kreis, der mit der druckempfindlichen elektrisch leitenden Schicht (Fig. 1(f)) versehen wurde und der Film mit dem elektrischen Kreis, der mit der klebenden Schicht versehen wurde (Fig. 1(g)), über die klebende Schicht 5 miteinander verbunden und bilden so den Sensortaster 6, (Schritt (D) des Beispiels 1).

Vergleichsbeispiel 1

Ein Sensortaster wird Schritt für Schritt genauso her gestellt wie in Beispiel 1, nur daß jetzt eine druck empfindliche elektrisch leitende Kautschukmatte von der Stärke 0,5 mm (hergestellt von Yokohama Rubber Co., Ltd.) zur Anwendung kommt und nicht wie in Beispiel 1 die druckempfindliche elektrisch leitende Schicht ge bildet wird.

Der Sensortaster 6 wird mittels eines beidseitig kleben den Bandes 7 mit einem ihn bedeckenden Filz 8 versehen; dann wird er - ebenfalls mittels eines beidseitig klebenden Bandes 7 - auf der Montageplatte unter der Taste einer elektronischen Orgel angebracht. An zwei parallele Elektroden (Fig. 1(h)) wird eine Gleichspannung von 5 V Spannung angelegt. Gemessen wird dann die Beziehung zwischen der auf den Taster wirkenden Belastung und der Ausgangsspannung und zusammen damit deren Schwankungen.

Fig. 9 zeigt das Ergebnis von zehn Messungen, wenn die Belastung immer auf die gleiche Stelle auf dem Taster einwirkt. Fig. 10 zeigt das Ergebnis von zehn Messungen, wenn die Stelle, auf die die Belastung jeweils einwirkt, auf dem Tastenfeld mit jeder Messung um 50 mm versetzt wird. Die Graphen weisen durchgezogene und gestrichelte Linien auf; die durchgezogenen Linien verbinden die Durchschnittswerte, und die gestrichelten Linien ver binden die Maximal- bzw. Minimalwerte. Wie man an den Fig. 9 und 10 sehen kann, zeichnet sich der gemäß dieser Erfindung ausgeführter Sensortaster durch hervorragende Kennlinien ohne jede Streuung und hervorragende Reprodu zierbarkeit aus. An dem Sensortaster des Vergleichsbei spiels 1 wurden identische Messungen und identische Auswertungen derselben vorgenommen. Fig. 11 zeigt die Meßergebnisse, wenn die Belastung jedesmal auf dieselbe Stelle auf dem Keyboard einwirkt. Fig. 12 zeigt das Ergebnis für den Fall, daß die Stelle, auf die die Belastung auf dem Tastenfeld einwirkt, jeweils um 50 mm verändert wurde. Wie man anhand der Fig. 11 und 12 sehen kann, weisen die Ausgangsspannungswerte des Sensortasters des Vergleichsbeispiels 1 eine weite Streuung bei jeder Messung auf, und die Reproduzierbarkeit ist schlecht.

Bei Tastern, die gemäß dieser Erfindung ausgeführt sind, zeigen die Druck-/Spannungs-Kennlinien weniger Streuung, und die Reproduzierbarkeit ist hervorragend. Wird die druckempfindliche elektrisch leitende Schicht oder ähnliches aus einem pastösen Material gebildet, und dies eine druckempfindliches elektrisch leitende Paste ist, ist es möglich, einen Sensortaster mit einer neuartigen Struktur herzustellen. Ein solcher Sensor eignet sich mit seiner reduzierten Dicke und als ein zelnes integriertes Stück gut zur Serienproduktion.

Die Bezugszeichen sind den einzelnen Teilen wie folgt zugeordnet:

Bezugszeichenliste
1,11 elektrisch isolierendes Substrat (Polyesterfilm),
2,12 Leiterbahn (Silberelektrode),
3,13 mit Kohlenstoff beschichtete Elektrode,
4 druckempfindliche, elektrisch leitende Schicht,
5 klebende Schicht,
6 Sensortaster,
7 beidseitig klebendes Band,
8 Filz
9 Taste eines Tastenfeldes.

Claims

1. Sensortaster 6, gekennzeichnet durch:
ein elektrischer Kreis (2), ausgeführt auf einem ersten elektrisch isolierenden Substrat (1) und beschichtet mit einer Kohlenstoffelektrode (3), einen weiteren elektrische Kreis (12), ausgeführt auf einem zweiten elektrisch isolierenden Substrat (11) beschichtet mit einer Kohlenstoffelektrode (13), wobei der elektrische Kreis (12) auf dem zweiten Substrat (11) gegenüberliegend zu dem elektrischen Kreis (2) auf dem ersten Substrat (1) angeordnet ist, und zwar derart, daß dazwischen ein Spalt bleibt; und durch eine druckempfindliche, elektrisch leitende Schicht (4), ausgeführt auf zumindest einem der genannten ersten oder zweiten Substrate (1, 11) und so angeordnet, daß sie den genannten Spalt ausfüllt.

2. Sensortaster 6 nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die ersten und zweiten elektrisch isolierenden Substrate (1, 11) in einem flexiblen isolierenden Substratfilm oder einer Kunstharzplatte mit einer Stärke zwischen 0,015 mm bis 2 mm ausge führt sind.

3. Sensortaster 6 nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß druckempfindliche elektrisch leitende Schicht (4) aus einer Paste gebildet ist, die im wesentlichen eine Silikonkautschukmischung ist, in die oberflächenbehandeltes elektrisch leitendes Metallpulver und Kohlenstoff eingestreut ist.

4. Sensortaster 6 nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die Stärke der druckempfindlichen elek trisch leitenden Schicht zwischen 10 Mikrometern und 8 Mikrometern liegt.

5. Sensortaster 6 nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die ersten und zweiten elektrisch isolierenden Substrate (1, 11) miteinander verbun den sind, indem die elektrischen Kreise (2, 12) und die druckempfindliche elektrisch leitende Schicht (4) dazwischen angeordnet sind.

6. Verfahren zur Herstellung eines Sensortasters 6, gekennzeichnet durch:

a) Ausbilden von Leiterbahnen auf den ersten und zweiten elektrisch isolierenden Substraten;
b) Beschichten dieser Leiterbahnen mit einer Kohlenstoffpaste;
c) Ausbilden einer druckempfindlichen, elektrisch leitenden Schicht durch Aufbringen und Härten einer druckempfindlichen elektrisch leitenden Paste auf eines der ersten oder zweiten elek trisch isolierenden Substrate, die Leiterbahnen besitzen, die mit einer Kohlenstoffbeschichtung ausgeführt sind; und
d) dadurch, daß das elektrisch isolierende Sub strat, ausgeführt mit einer druckempfindlichen, elektrisch leitenden Schicht in Schritt (C) gegenüber dem elektrisch isolierenden Substrat, auf dem keine druckempfindliche elektrisch leitende Schicht ausgeführt ist, angeordnet ist und mit dieser verbunden ist, indem die Leiterkreise und die druckempfindliche elek trisch leitende Schicht dazwischen angeordnet werden.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten elektrisch isolierenden Substrate aus flexiblen isolierenden Substratfilm oder einer Kunstharzplatte mit einer Stärke zwischen 0,015 mm bis 2 mm gefertigt sind.

8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen auf dem elektrisch isolieren den Substrat in einer elektrisch leitenden Paste ausgeführt und in einem Siebdruckverfahren aufge bracht wird.

9. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung der Leiterbahnen mit Kohlen stoff derart ausgeführt wird, daß eine Kohlen stoffpaste im Siebdruckverfahren aufgebracht wird.

10. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die druckempfindliche, elektrisch leitende Paste durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht wird.

11. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die druckempfindliche elektrisch leitende Paste aus einer Silikonkautschukmischung und darin einge streutem, oberflächenbehandeltem elektrisch lei tenden Metall und Kohlenstoff hergestellt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die druckempfindliche elektrisch leitende Schicht (4) so ausgeführt ist, daß ihre Stärke zwischen 10 Mikrometern und 80 Mikrometern liegt.

13. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Substrate mit den Bahnen in Schritt (d) durch Klebemittel gesichert werden, und diese Klebemittel durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht werden.