DE3634935C2 - - Google Patents
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- Publication number
- DE3634935C2 DE3634935C2 DE3634935A DE3634935A DE3634935C2 DE 3634935 C2 DE3634935 C2 DE 3634935C2 DE 3634935 A DE3634935 A DE 3634935A DE 3634935 A DE3634935 A DE 3634935A DE 3634935 C2 DE3634935 C2 DE 3634935C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- profile bars
- bars
- profile
- tray
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H10P72/12—
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging For Recording Disks (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863634935 DE3634935A1 (de) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | Vertikalhorde |
| EP87105385A EP0263913A3 (de) | 1986-10-14 | 1987-04-10 | Vertikalhorde |
| JP62130072A JPS63104418A (ja) | 1986-10-14 | 1987-05-28 | 垂直格子囲い |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863634935 DE3634935A1 (de) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | Vertikalhorde |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3634935A1 DE3634935A1 (de) | 1988-04-28 |
| DE3634935C2 true DE3634935C2 (OSRAM) | 1989-05-18 |
Family
ID=6311688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19863634935 Granted DE3634935A1 (de) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | Vertikalhorde |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0263913A3 (OSRAM) |
| JP (1) | JPS63104418A (OSRAM) |
| DE (1) | DE3634935A1 (OSRAM) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5298111A (en) * | 1991-05-31 | 1994-03-29 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Automatic wafer transfer apparatus and a method for transferring wafers and an etching drum |
| JP3280438B2 (ja) * | 1992-11-30 | 2002-05-13 | 東芝セラミックス株式会社 | 縦型ボート |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE7416254U (de) * | 1974-05-09 | 1978-05-24 | Semikron Gesellschaft Fuer Gleichrichterbau Und Elektronik Mbh, 8500 Nuernberg | Vorrichtung zum gleichzeitigen, beiderseitigen beschichten mehrerer halbleiterscheiben mit einem schutzlack |
| DE2422527A1 (de) * | 1974-05-09 | 1975-11-20 | Semikron Gleichrichterbau | Vorrichtung zum gleichzeitigen, beiderseitigen beschichten mehrerer halbleiterscheiben mit einem schutzlack |
| US4024963A (en) * | 1975-05-07 | 1977-05-24 | Hautau Charles F | Apparatus for transferring articles |
| DE2848102A1 (de) * | 1977-11-07 | 1979-05-10 | Kasper Instruments | Mit einer sicherung gegen das herausfallen von werkstuecken versehene tragvorrichtung |
| US4550239A (en) * | 1981-10-05 | 1985-10-29 | Tokyo Denshi Kagaku Kabushiki Kaisha | Automatic plasma processing device and heat treatment device |
| JPS60189930A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウエハ−保持装置 |
| DE8415485U1 (de) * | 1984-05-22 | 1984-07-12 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Traegerhorde fuer plattenfoermige Substrate aus Halbleiterwerkstoffen Glas oder Keramik |
| DE3419866C2 (de) * | 1984-05-28 | 1986-06-26 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Trägerhorde aus Quarzglas für scheibenförmige Substrate |
-
1986
- 1986-10-14 DE DE19863634935 patent/DE3634935A1/de active Granted
-
1987
- 1987-04-10 EP EP87105385A patent/EP0263913A3/de not_active Withdrawn
- 1987-05-28 JP JP62130072A patent/JPS63104418A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0263913A3 (de) | 1989-09-13 |
| EP0263913A2 (de) | 1988-04-20 |
| JPS63104418A (ja) | 1988-05-09 |
| DE3634935A1 (de) | 1988-04-28 |
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|---|---|---|---|
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| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: HERAEUS QUARZGLAS GMBH, 6450 HANAU, DE |
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