DE3628225A1 - Magnetischer aufzeichnungstraeger und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungsträger und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Aufzeichnungsträgers. Insbesondere befaßt sich die Erfindung mit einem magnetischen Aufzeichnungsträger mit verbesserten Oberflächeneigenschaften (z. B. Glätte oder Ebenheit), der sich mit Vorteil bei einem Magnetplattenspeicher verwenden läßt.

In Verbindung mit der Tendenz zum Entwickeln von Magnetplattenspeichern mit immer höherer Speicherkapazität haben durch Kathodenzerstäubung hergestellte Magnetplatten (d. h. Magnetplatten mit einem durch Kathodenzerstäubung ausgebildeten Film aus einem magnetischen Aufzeichnungsmedium) Aufmerksamkeit auf sich gezogen, weil sie eine Aufzeichnung mit erhöhter Dichte im Vergleich zu beschichteten Magnetplatten (d. h. Platten, die einen durch ein Beschichtungsverfahren ausgebildeten magnetischen Aufzeichnungsfilm aufweisen) erlauben. Im Falle der beschichteten Magnetplatte hat der magnetische Aufzeichnungs-Dünnfilm eine relativ größere Dicke in der Größenordnung von 1 bis 2 µm. Infolgedessen sind die Oberflächeneigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsfilms der beschichteten Magnetplatte im wesentlichen unempfindlich gegenüber dem Einfluß der Oberflächeneigenschaften des den magnetischen Film tragenden Schichtträgers (Substrats). Im Gegensatz dazu ist der magnetische Dünnfilm oder die Schicht der durch Kathodenzerstäubung hergestellten Magnetplatte wesentlich dünner; die Schichtdicke liegt in der Größenordnung von 0,5 µm oder weniger. Daher sind die Oberflächeneigenschaften, insbesondere die Glätte, des magnetischen Dünnfilms oder der Schicht von durch Kathodenzerstäubung hergestellten Magnetplatten in extrem hohem Maße abhängig von den Oberflächeneigenschaften des Schichtträgers. Es wurden daher verschiedene Versuche unternommen, die Oberflächeneigenschaften des magnetischen Dünnfilms der durch Kathodenzerstäubung hergestellten Magnetplatte durch Verwendung eines Schichtträgers zu verbessern, der hervorragende Oberflächeneigenschaften, wie Glätte oder Ebenheit, hat. Bei einer derart aufgebauten, durch Kathodenzerstäubung hergestellten Magnetplatte läßt sich die Flughöhe des Magnetkopfes (d. h. der Spalt zwischen dem Magnetkopf und der Plattenoberfläche) verringern, was bedeutet, daß die Aufzeichnungsdichte entsprechend gesteigert werden kann.

Bei einer typischen durch Kathodenzerstäubung hergestellten Magnetplatte wird der Schichtträger aus einer Aluminiumlegierungsplatte gebildet, die mit einer Ni-P-Schicht in einer Dicke von etwa 50 µm metallisiert wird und deren Oberfläche poliert wird. Entsprechend einem anderen Beispiel einer durch Kathodenzerstäubung hergestellten Magnetplatte wird der Schichtträger aus einer Aluminiumlegierungsplatte aufgebaut, auf deren Oberfläche durch Anodisieren eine gehärtete alumite Schicht von etwa 2 µm Dicke ausgebildet wird, die nachfolgend poliert wird. Bei einem derartigen Schichtträger läßt sich eine Oberflächenrauheit (Rmax) in der Größenordnung von 0,15 µm erreichen.

Wenn ein magnetischer Dünnfilm vorgesehen wird, der beispielsweise als eine Hauptkomponente eine Co-Ni-Legierung aufweist, wird zunächst auf dem Schichtträger eine Cr-Schicht in einer Stärke von etwa 50 nm durch Kathodenzerstäubung ausgebildet, worauf ein magnetischer Dünnfilm, der als eine Hauptkomponente eine Co-Ni- Legierung aufweist, in einer Dicke von etwa 100 nm aufgetragen wird. Schließlich wird ein schützender Schmierfilm aus C oder dergleichen darauf in einer Dicke von etwa 20 nm ausgebildet. Die Oberflächenrauheit (Rmax) des in dieser Weise erhaltenen Films aus magnetischem Werkstoff liegt in der Größenordnung von 0,15 µm, was die Oberflächeneigenschaften des Schichtträgers widerspiegelt. Wenn ein magnetischer Dünnfilm, der als eine Hauptkomponente Eisenoxid aufweist, ausgebildet werden soll, erfolgt eine Kathodenzerstäubung eines Targets, das Fe als eine Hauptkomponente enthält, in einer Atmosphäre von Ar und O₂, um auf dem Schichtträger einen durch Kathodenzerstäubung gebildeten Film, der α-Fe₂O₃ als eine Hauptkomponente aufweist, in einer Dicke von etwa 200 nm zu erhalten. Das resultierende Produkt wird auf eine Temperatur von etwa 300°C in einer reduzierenden Atmosphäre erhitzt, um den α-Fe₂O₃ als eine Hauptkomponente enthaltenden Film in einen Film umzuwandeln, der Fe₃O₄ als eine Hauptkomponente aufweist. Dieser Film wird wiederum in einer oxidierenden Atmosphäre auf eine Temperatur von etwa 300°C erhitzt, um ihn in einen Film umzuwandeln, der als eine Hauptkomponente γ-Fe₂O₃ aufweist. Schließlich wird ein Schutz- und Schmierfilm ausgebildet. Die Oberflächenrauheit des Magnetfilms liegt gleichfalls in der Größenordnung von 0,15 µm, was auf die Oberflächeneigenschaften des Schichtträgers zurückzuführen ist.

Die vorstehend beschriebenen, bisher bekannten Magnetplatten haben verschiedene Nachteile. Bei einem Schichtträger aus einer Aluminiumlegierungsplatte, die mit einem Ni-P-Film metallisiert wird und deren Oberfläche poliert wird, muß die Oberfläche der Aluminiumslegierungsplatte vor dem Metallisieren mit Ni-P einer Aktivierungsbehandlung unterzogen werden, wodurch die Fertigung des Schichtträgers in hohem Maße kompliziert wird. Außerdem erfordert der an die Aktivierungsbehandlung anschließende Prozeß mehr als die Hälfte der Fertigungskosten des Schichtträgers, wodurch das Gesamtverfahren sehr kostspielig wird. Wenn ferner die Ni-P-Metallisierungsschicht auf eine Temperatur von 150°C oder höher erhitzt wird, erfolgt eine Kristallisation der Ni-P-Schicht, und diese Schicht weist dann magnetische Eigenschaften auf. Infolgedessen läßt sich ein Schichtträger dieser Art nicht verwenden, wenn eine Wärmebehandlung erforderlich wird, wenn also beispielsweise ein magnetischer Eisenoxidfilm ausgebildet werden soll.

Der aus einer Aluminiumlegierung gebildete und mit einem Alumitefilm überzogene Schichtträger hat andererseits den Nachteil, daß es wegen des Unterschiedes der Wärmedehnungskoeffizienten zwischen der Aluminiumlegierung und dem Alumitefilm während der Wärmebehandlung leicht zur Bildung von Rissen kommt. Die bei der Ausbildung des magnetischen Eisenoxidfilms verwendete Erhitzungstemperatur ist daher auf etwa 300°C beschränkt. Außerdem hat der Alumitefilm eine poröse Struktur mit einer großen Anzahl von Poren. Wenn daher die magnetische Dünnfilmschicht auf diesem Schichtträger ausgebildet wird, kommt es an den Stellen dieser Poren leicht zu magnetischen Defekten, was gleichfalls von Nachteil ist. Außerdem sind die realisierbaren Oberflächeneigenschaften nicht zufriedenstellend, weil die Rauheit (Rmax) in der Größenordnung von 0,15 µm liegt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen magnetischen Aufzeichnungsträger und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Aufzeichnungsträgers anzugeben, welche die vorstehend geschilderten Nachteile ausräumen und insbesondere zu verbesserten Oberflächeneigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsträgers führen.

Diese Aufgabe wird durch die beanspruchten Maßnahmen gelöst.

Ein magnetischer Aufzeichnungsträger zeichnet sich erfindungsgemäß insbesondere dadurch aus, daß ein magnetischer Dünnfilm für magnetische Aufzeichnung auf einem Schichtträger aus Glas ausgebildet ist, dessen Oberfläche durch eine Präzisions-Oberflächenbehandlung auf eine Oberflächenrauheit (Rmax) von nicht mehr als 10 nm und vorzugsweise nicht mehr als 5 nm gebracht ist. Statt einer solchen Oberflächenbehandlung oder vorzugsweise zusätzlich dazu, kann die Oberfläche des Schichtträgers aus Glas mindestens teilweise verstärkt sein.

Der erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsträger mit einem Schichtträger aus Glas, der eine Ultrahoch-Präzisionsoberflächenbehandlung erfahren hat und dessen Oberfläche vorzugsweise mindestens teilweise verstärkt ist, läßt sich mit Vorteil für die Herstellung von Magnetplatten und anderen magnetischen Aufzeichnungsträgern einsetzen, die eine magnetische Aufzeichnung mit erhöhter Aufzeichnungsdichte und verbesserter Wiedergabetreue ermöglichen. Bei Anwendungen, bei denen der magnetische Aufzeichnungsträger mit hoher Geschwindigkeit transportiert oder angetrieben wird, beispielsweise bei Magnetplatten, ist die Verstärkung des Schichtträgers aus Glas von besonderem Vorteil. Die Oberflächen-Fertigbehandlung zur Erzielung der gewünschten Oberflächeneigenschaften, insbesondere der Oberflächenglätte, läßt sich einfach durch Polieren erreichen, wodurch eine vereinfachte und kostensparende Fertigung des Glas- Schichtträgers und damit des magnetischen Aufzeichnungsträgers möglich wird. Außerdem ist festzuhalten, daß beim Ausbilden des magnetischen Dünnfilms auf dem Glas-Schichtträger kein darunterliegender Film oder eine Zwischenschicht ausgebildet zu werden braucht. Mit anderen Worten, die magnetische Schicht, die beispielsweise aus Oxidmaterial besteht, kann unmittelbar auf den Glas-Schichtträger aufgebracht werden, ohne daß sich beispielsweise bei einer Wärmebehandlung des Glas-Schichtträgers Probleme wie das Auftreten von Rissen einstellen, wie dies bei dem Alumitefilm der Fall ist. Weitere Vorteile des magnetischen Aufzeichnungsträgers nach der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Erläuterung von Ausführungsbeispielen. In den beiliegenden Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine graphische Darstellung der Verteilung von Spannungen, die auf eine Oberflächenverstärkung des Glas-Schichtträgers zurückzuführen sind, und

Fig. 2a bis 2f schematische Schnittdarstellungen von Glas-Schichtträgern, deren Oberflächen mindestens teilweise verstärkt sind, wobei die verstärkten Bereiche durch schraffierte Flächen angedeutet sind.

Der Umstand, daß ein Glas-Schichtträger mit einer Oberfläche, die einer ultrahohen Präzisionsoberflächenbehandlung unterzogen wurde, so daß die Oberflächenrauheit nicht mehr als 10 nm und vorzugsweise 5 nm beträgt, und der mindestens teilweise verstärkt ist, bei einem magnetischen Aufzeichnungsträger, beispielsweise einer Magnetplatte oder dergleichen, für dynamische magnetische Aufzeichnungen bisher nicht vorgeschlagen wurde, mag auf der Furcht vor Beschädigung durch mechanische Stöße oder auch darauf beruhen, daß man nicht erkannt hatte, daß sich bei einem Glas-Schichtträger die vorliegend genannten Oberflächenrauheitswerte auf wirtschaftliche Weise erzielen lassen. Insbesondere wurde gefunden, daß eine Oberflächenrauheit von nicht mehr als 10 nm durch mechanisch-chemisches Polieren des Glas- Schichtträgers verwirklicht werden kann. Dabei wird der Glas-Schichtträger vorzugsweise unter Verwendung einer kolloidales Siliciumdioxid enthaltenden Polierflüssigkeit poliert, wobei zusätzlich zu der mechanischen Polierwirkung die einer chemischen Reaktion mit der Glasplatte zuzuschreibende Polierwirkung genutzt wird. Es wurde überraschend gefunden, daß ein Glas-Schichtträger, der eine mit ultrahoher Präzision fertigbearbeitete Oberfläche mit einer Oberflächenrauheit (Rmax) von weniger als 10 nm hat, durch das vorstehend genannte Polieren ohne Schwierigkeiten erhalten werden kann. Wenn auf dem so vorbereiteten Glas-Schichtträger ein magnetischer Dünnfilm ausgebildet wird, wird auch dem magnetischen Aufzeichnungsträger eine extrem glatte Oberfläche vermittelt, welche die Oberflächenpräzision des Glas-Schichtträgers widerspiegelt.

Bei einer Magnetplattenvorrichtung läßt sich die Aufzeichnungsdichte wirkungsvoll steigern, indem die Flug- oder Schwimmhöhe des magnetischen Kopfes herabgesetzt wird. Wird eine Magnetplatte mit schlechten Oberflächeneigenschaften bei verringerter Flughöhe des Magnetkopfes benutzt, führt dies zu einem Abschlagen von Magnetwerkstoff und/oder zur Zerstörung des Magnetkopfes aufgrund des Kontaktes mit Vorsprüngen, die auf der Oberfläche des magnetischen Aufzeichnungsträgers möglicherweise vorhanden sind. Mit anderen Worten, die Oberflächeneigenschaften wie Glätte, Ebenheit oder dergleichen stellen einen wichtigen Faktor für eine stabile Flug- oder Schwimmhöhe des Magnetkopfes sowie für deren Verminderung dar.

Weil bei dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger ein magnetischer Aufzeichnungs-Dünnfilm auf der Oberfläche eines Schichtträgers ausgebildet ist, der eine ultrahohe Präzisionsfertigbearbeitung derart erfahren hat, daß die Oberflächenrauheit (Rmax) nicht größer als 10 nm ist, kann dafür gesorgt werden, daß der Magnetkopf in einem stabilen Zustand in einer verminderten Höhe von 0,1 bis 0,2 µm schwimmt. Wenn der magnetische Dünnfilm für magnetische Aufzeichnung auf einem Glas-Schichtträger ausgebildet ist, dessen Oberfläche auf eine Rauheit (Rmax) von nicht mehr als 5 nm gebracht ist, läßt sich die Flughöhe oder der Schwimmpegel des Magnetkopfes (d. h. der Spalt zwischen der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers und dem Magnetkopf) mit Vorteil auf 0,1 µm oder weniger herabsetzen.

Als Werkstoffe für den vorliegenden Schichtträger eignen sich im wesentlichen beliebige konventionelle Gläser, einschließlich Borosilicatglas, Aluminosilicatglas, Quartzglas, Titansilicatglas und andere. Vorzugsweise ist jedoch dafür gesorgt, daß das Glas keine kristallinen Komponenten enthält. Wenn ein Glas mit einer kristallinen Komponente benutzt wird, wird der Korngrenzenbereich mit höherer Geschwindigkeit poliert, weil die Korngrenze eine relativ geringere Festigkeit hat; dadurch wird es schwierig, wenn nicht unmöglich, die Fertigbearbeitung der Schichtträgeroberfläche mit der gewünschten ultrahohen Präzision durchzuführen.

Im Falle eines Schichtträgers aus einer Aluminiumlegierungsplatte, die mit einer Ni-P-Schicht metallisiert oder mit einer Alumiteschicht versehen ist, ergeben sich, wie erläutert, Beschränkungen hinsichtlich der Erhitzungstemperatur. Im Gegensatz dazu kann der Glas-Schichtträger nach der vorliegenden Erfindung bis auf etwa 400°C erhitzt werden; er eignet sich daher hervorragend in solchen Fällen, in denen eine Wärmebehandlung notwendig wird, beispielsweise bei der Ausbildung eines Magnetfilms aus Eisenoxid.

Weil die Magnetplatte in einem Magnetplattenspeicher für gewöhnlich mit einer hohen Drehzahl von 3600 min^-1 rotiert, muß die Magnetplatte eine ausreichende Festigkeit haben, um die Drehbewegung auszuhalten. Bei solchen Anwendungen kann dem Glas-Schichtträger eine ausreichende Festigkeit insbesondere dadurch vermittelt werden, daß mindestens ein Teil der Oberfläche des Glas-Schichtträgers verstärkt wird.

Die Verstärkung des Oberflächenbereiches des Glas-Schichtträgers kann dadurch erfolgen, daß Ionen im Oberflächenbereich des Glas- Schichtträgers durch große Ionen bei einer Temperatur unter der Glasumwandlungstemperatur ersetzt werden. Der Ionenaustausch kann in der Weise durchgeführt werden, daß das Glas-Schichtträgermaterial in ein schmelzflüssiges Kaliumnitratbad eingetaucht wird, das auf eine Temperatur von 450°C erhitzt ist. Durch die Ionensubstitutionsbehandlung werden Druckspannungen im Oberflächenbereich in ausgeprägter Weise verteilt, wie dies in Fig. 1 veranschaulicht ist. Dadurch wird der Oberflächenbereich des Glas-Schichtträgers entsprechend verstärkt. Die Dicke der Schicht oder des Bereiches, innerhalb deren bzw. dessen die Druckspannung ausgebildet wird, läßt sich auf 150 µm regulieren, indem die Ionensubstitutionstemperatur und die Dauer des Eintauchens in das Bad aus schmelzflüssigem Kaliumnitrat entsprechend gewählt werden.

Der bei einer Magnetplatte zu verstärkende Oberflächenbereich kann beispielsweise ein Innenkantenbereich, ein Innenumfangsbereich, ein Außenkantenbereich oder ein Außenumfangsbereich sein. Es können auch Kombinationen dieser Bereiche oder der gesamte Oberflächenbereich verstärkt werden.

Die Erfindung ist nachstehend anhand von Beispielen näher erläutert.

Beispiel 1

Als Material für den Glas-Schichtträger wurde eine Platte aus Aluminosilicatglas von scheibenartiger Konfiguration mit einem Außendurchmesser von 130 mm, einem Innendurchmesser von 40 mm und einer Dicke von 1,9 mm benutzt. Die Glasplatte wurde unter Verwendung einer kolloidales Siliciumdioxid enthaltenden Polierflüssigkeit 10 min lang mechanisch-chemisch poliert. Die erreichte Oberflächenrauheit (Rmax) betrug 9 nm. Auf der Glasplatte (Schichtträger) wurde ein 200 nm dicker α-Fe₂O₃-Film ausgebildet, indem für eine Kathodenzerstäubung eines Eisentargets in einer Atmosphäre aus Ar und O₂ (Mischungsverhältnis 50% bei einem Druck von 0,67 Pa) gesorgt wurde. Das erhaltene Produkt wurde in einem Strom aus Wasserstoffgas bei einer Temperatur von 360°C 2 h lang reduziert, um einen Film aus Fe₃O₄ zu bilden, der dann in Luft bei einer Temperatur von 310°C oxidiert wurde, um ihn in einen γ-Fe₂O₃-Film umzuwandeln. Die so erhaltene Magnetplatte hatte eine Oberflächenrauheit (Rmax) von 10 nm.

Die fertige Magnetplatte wurde in einen Plattenspeicher eingelegt, um ihre Schwimmstabilität zu prüfen. Für diesen Zweck wurde die Flughöhe eines Magnetkopfes vermindert, indem die Umfangsgeschwindigkeit der Magnetplatte herabgesetzt wurde. Es zeigte sich, daß die Magnetplatte selbst bei einer Flughöhe von 0,15 µm in einem stabilen schwimmenden Zustand gehalten werden kann.

Beispiel 2

Eine Glasplatte aus dem gleichen Werkstoff wie im Falle des Beispiels 1 wurde 20 min lang mechanisch-chemisch poliert, um einen Schichtträger herzustellen, dessen Oberflächenrauheit 4 nm betrug. Auf dem Schichtträger wurde ein α-Fe₂O₃-Film in der gleichen Weise wie beim Beispiel 1 ausgebildet. Es wurde eine Magnetplatte erhalten, die eine Oberflächenrauheit von 4,5 nm hatte.

Die so aufgebaute Magnetplatte wurde in der gleichen Weise wie im Falle des Beispiels 1 auf die Schwimmstabilität des Magnetkopfes hin überprüft. Es zeigte sich, daß der Magnetkopf bis herab zu einer Flughöhe von 0,08 µm stabil schwimmend gehalten werden kann.

Beispiel 3

Als Material für den Glas-Schichtträger wurde eine Aluminosilicatglasplatte verwendet, die Scheibenform bei einem Außendurchmesser von 305 mm, einem Innendurchmesser von 40 mm und einer Dicke von 1,9 mm hatte. Die Glasplatte wurde auf die in den Fig. 2a bis 2f veranschaulichte Weise einer Oberflächenverstärkungsbehandlung unterzogen. Für diesen Zweck wurde der nichtzuverstärkende Bereich mit einer Maske abgedeckt, und der Schichtträger wurde in schmelzflüssiges Kaliumnitrat bei einer Temperatur von 450°C 10 min lang eingetaucht. Die verstärkten Schichtträger und zu Kontrollzwecken ein nichtverstärkter Schichtträger wurden unter Verwendung einer kolloidales Siliciumdioxid enthaltenden Polierflüssigkeit 10 min lang poliert. Alle Schichtträger hatten im wesentlichen die gleiche Oberflächenrauheit (Rmax) von 9 nm.

Diese Schichtträger wurden einem Rotationsbruchtest unterworfen, bei dem jeder Schichtträger mit hoher Drehzahl rotiert wurde, um die Festigkeit des Schichtträgers anhand der Drehzahl zu ermitteln, bei welcher der Bruch eintrat. Die maximale Drehzahl betrug 20.000 min^-1. Der Test wurde an 20 Proben für jeden Schichtträger durchgeführt. Die Versuchsergebnisse sind in der Tabelle 1 zusammengestellt. Wie aus der Tabelle zu erkennen ist, ist die Festigkeit des entsprechend den Beispielen gemäß den Fig. 2a bis 2c nur teilweise verstärkten Schichtträgers 1,5 mal so hoch wie die des nichtverstärkten Schichtträgers. Bei tatsächlichen Anwendungen, bei denen die Drehzahl für gewöhnlich bei 3600 min^-1 liegt, ergeben sich daher keine Probleme bezüglich der Festigkeit des Schichtträgers und damit der Magnetplatte. Bei den nichtverstärkten Schichtträgerproben gingen dagegen einige bei einer Drehzahl in der Größenordnung von 5000 min^-1 zu Bruch, was bei tatsächlichen Anwendungen mit einer Drehzahl von 3600 min^-1 problematisch ist. Im Falle der entsprechend den Fig. 2d und 2f verstärkten Schichtträgerproben kam es selbst bei der maximalen Drehzahl von 20.000 min^-1 nicht zur Zerstörung, so daß die Festigkeit der Platte auf jeden Fall ausreichend ist.

Jeder der Schichtträger der Fig. 2a bis 2f wurde auf die erfindungsgemäße Weise hergestellt und mit einem α-Fe₂O₃-Film von 200 nm Dicke versehen, indem ein Eisentarget in einer Atmosphäre aus Ar und O₂ (bei einem Mischungsverhältnis von 50% und unter einem Druck von 0,67 Pa) kathodenzerstäubt wurde. Das Produkt wurde dann in einem Wasserstoffgasstrom bei einer Temperatur von 360°C 2 h lang reduziert, um einen Film aus Fe₂O₄ zu bilden, der anschließend in Luft bei einer Temperatur von 310°C 3 h lang oxidiert wurde, um einen γ-Fe₂O₃-Film zu erhalten. Die auf diese Weise fertiggestellten Magnetplatten hatten durchweg im wesentlichen die gleiche Oberflächenrauheit in der Größenordnung von 10 nm.

Die Magnetplatten wurden in einen Magnetplattenspeicher eingebracht, um die Schwimmstabilität des Magnetkopfes zu überprüfen. Für diesen Zweck wurde die Umfangsgeschwindigkeit der Magnetplatte herabgesetzt, um auf diese Weise die Flughöhe des Magnetkopfes zu vermindern. Es zeigte sich, daß der Magnetkopf in stabil schwimmendem Zustand abgestützt werden kann, selbst wenn die Flughöhe bis herab zu 0,15 µm vermindert wurde.

TABELLE 1

Anmerkungen:
Drehzahl in min^-1

In den durch *1 bezeichneten Fällen trat kein Bruch ein.
Für jede der Platten wurden 20 Proben benutzt.

Beispiel 4

Wie im Falle des Beispiels 3 wurden die an der Oberfläche verstärkten Glasplatten a, b, c, d, e und f entsprechend den Fig.2a bis 2f 20 min lang mechanisch-chemisch poliert, um die Schichtträger auszubilden. Alle so erhaltenen Schichtträger hatten im wesentlichen die gleiche Oberflächenrauheit in der Größenordnung von 4 nm.

Auf jedem der Schichtträger wurde ein γ-Fe₂O₃-Film in der gleichen Weise wie beim Beispiel 1 ausgebildet; die fertigen Magnetplatten hatten sämtlich im wesentlichen die gleiche Oberflächenrauheit in der Größenordnung von 4,5 nm.

Diese Magnetplatten wurden hinsichtlich der Schwimmeigenschaften des Magnetkopfes in der gleichen Weise wie im Falle des Beispiels 1 überprüft. Es zeigte sich, daß der Magnetkopf in stabilem Schwimmzustand selbst bei einer Flughöhe bis herab zu 0,08 µm über der Platte gehalten wird.

Der erfindungsgemäße magnetische Aufzeichnungsträger von hervorragender Oberflächenglätte erlaubt es also, die Flughöhe (Spalt zwischen Plattenoberfläche und dem Magnetkopf) bedeutend zu vermindern und damit für eine gesteigerte Aufzeichnungsdichte zu sorgen.

Claims (8)

1. Magnetischer Aufzeichnungsträger gekennzeichnet durch einen Schichtträger aus Glas mit einer Oberflächenrauheit von nicht mehr als 10 nm, auf dem ein magnetischer Dünnfilm für magnetische Aufzeichnung ausgebildet ist.

2. Magnetischer Aufzeichnungsträger gekennzeichnet durch einen Schichtträger aus Glas mit einer mindestens teilweise verstärkten Oberfläche, auf dem ein magnetischer Dünnfilm für magnetische Aufzeichnung ausgebildet ist.

3. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Glas-Schichtträger eine Oberflächenrauhheit von nicht mehr als 10 nm hat.

4. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Glas-Schichtträger eine Oberflächenrauheit von nicht mehr als 5 nm hat.

5. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Dünnfilm Eisenoxid als Hauptkomponente aufweist.

6. Magnetischer Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Glas-Schichtträger aus einem Werkstoff gefertigt ist, der aus der aus Borosilicatglas, Aluminosilicatglas, Quartzglas und Titansilicatglas bestehenden Gruppe ausgewählt ist.

7. Verfahren zum Herstellen eines magnetischen Aufzeichnungsträgers nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Glas-Schichtträgers durch mechanisch- chemisches Polieren bis auf die genannte Oberflächenrauheit poliert und der magnetische Dünnfilm auf der polierten Oberfläche durch Kathodenzerstäubung ausgebildet wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Schichtträgers durch Eintauchen des Schichtträgers in geschmolzenes Kaliumnitrat mindestens teilweise verstärkt wird.