DE3619864A1 - Aufzeichnungskopf und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Aufzeichnungskopf und ein Verfahren zu seiner Herstellung, insbesondere einen Aufzeichnungskopf, der relativ zu einem Auf­ zeichnungsträger bewegbar ist und der aus einem lei­ tenden Substrat und einer auf diesem ausgebildeten dielektrischen Schicht besteht, zum Aufzeichnen von Daten auf dem Aufzeichnungsträger mit Hilfe eines leitenden magnetischen Toners auf dem Aufzeichnungs­ träger, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung.

Ein Aufzeichnungskopf dieser Art ist z. B. in US-PS 38 16 840 beschrieben. Dieser Aufzeichnungskopf umfaßt ein nicht-magnetisches isolierendes Substrat und eine Vielzahl von aus einem leitenden magnetischen Werk­ stoff hergestellten nadelartigen Elektroden. Bei der Herstellung des Aufzeichnungskopfes müssen die Elek­ troden genauestens mit einer vorbestimmten Form aus­ gebildet werden. Außerdem muß dabei ein höchst zuver­ lässiger Aufzeichnungskopf hergestellt werden, bei dem ein Herausfallen oder Ablösen der leitenden magne­ tischen Elektroden aus dem bzw. vom isolierenden Sub­ strat (oder Träger) verhindert ist. Zudem ist es er­ forderlich, ein Ablösen der Elektroden vom isolieren­ den Substrat im Betrieb des Aufzeichnungskopfes zu verhindern.

Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes, bei dem die leitenden magnetischen Elektroden ge­ nauestens mit einer vorbestimmten Form oder Gestalt ausgebildet und die aus einem leitenden magnetischen Werkstoff geformten Elektroden sicher vor einem Her­ ausfallen oder Ablösen aus einem bzw. von einem iso­ lierenden Substrat geschützt sind.

Im Zuge dieser Aufgabe bezweckt die Erfindung auch die Schaffung eines Aufzeichnungskopfes, bei dem die aus einem leitenden magnetischen Werkstoff geformten Elektroden im Betrieb einwandfrei gegen ein Ablösen vom isolierenden Substrat gesichert sind.

Die genannte Aufgabe wird bei einem Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes der eingangs angegebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine leitende magnetische Folie unter Zwischenfügung einer Klebmittelschicht an einem isolierenden Sub­ strat einer ersten Größe angebracht wird, dessen erste Größe größer ist als eine zweite Größe dessel­ ben, die durch das isolierende Substrat eines fertig­ gestellten Aufzeichnungskopfes definiert ist, die leitende magnetische Folie zur Erzeugung einer Viel­ zahl von Schlitzen in vorbestimmten gegenseitigen Abständen selektiv geätzt wird, wobei beide Enden der Schlitze jeweils über eine Seitenkante des fertig­ gestellten Aufzeichnungskopfes hinausreichen und die restlichen Abschnitte der leitenden magnetischen Folie elektrisch miteinander verbunden sind, die leitende magnetische Folie an ihrer einen, von der be­ treffenden Seite des fertiggestellten Aufzeichnungs­ kopfes zurückspringenden Seitenkante zur Ausbildung einer Metallisierungsschicht für einen Anschlußstrei­ fen galvanisiert wird, wobei der genannte Seitenkan­ tenabschnitt der leitenden magnetischen Folie den einen Endabschnitt der Schlitze schneidet und ihr anderer Seitenkantenabschnitt als gemeinsame oder Sammelelektrode für den Galvanisierschritt benutzt wird, und die über die Seitenkante des isolierenden Substrats des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes hinausragenden Bereiche der leitenden magnetischen Folie, der Metallisierungsschicht und des (anfäng­ lichen) isolierenden Substrats entfernt werden, um eine Parallelanordnung von leitenden magnetischen Elektroden und einen Anschlußstreifen am genannten einen Seitenkantenabschnitt der Elektroden auszubil­ den.

Der eingangs definierte Aufzeichnungskopf ist erfin­ dungsgemäß gekennzeichnet durch ein isolierendes Sub­ strat, eine auf dem isolierenden Substrat vorgesehene Klebmittelschicht, eine auf der Klebmittelschicht aus einem leitenden magnetischen Werkstoff ausgebildete Parallelanordnung von Elektroden, eine an mindestens einem Seitenkantenabschnitt der Elektroden ausgebil­ dete Schutzschicht zur Verhinderung eines Ablösens der Elektroden vom restlichen Aufzeichnungskopf, wobei die Schutzschicht einen am einen Seitenabschnitt der Elektroden vorgesehenen ersten Abschnitt und einen am anderen Seitenabschnitt der Elektroden vorgesehenen zweiten Abschnitt umfaßt, und einen auf den (nach außen) freiliegenden oder unbedeckten Abschnitten der Elektroden im Bereich des ersten Abschnitts der Schutzschicht ausgebildeten Anschlußstreifen.

Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A bis 1D jeweils Aufsichten zur Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung eines Auf­ zeichnungskopfes gemäß einer ersten Aus­ führungsform der Erfindung,

Fig. 2A bis 2D jeweils Schnitte längs der Linien IIA-IIA, IIB-IIB, IIC-IIC bzw. IID-IID in den Fig. 1A bis 1D,

Fig. 3 eine Aufsicht zur Erläuterung eines Ver­ fahrens zur Herstellung eines Aufzeichnungs­ kopfes gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 4A bis 4D jeweils Aufsichten zur Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 5A bis 5D jeweils Schnitte längs der Linien VA-VA, VB-VB, VC-VC bzw. VD-VD in den Fig. 4A bis 4D,

Fig. 6A und 6B jeweils Aufsichten zur Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung eines Auf­ zeichnungskopfes gemäß einer vierten Aus­ führungsform der Erfindung und

Fig. 7A und 7B Schnitte längs der Linien VIIA-VIIA bzw. VIIB-VIIB in Fig. 6A bzw. 6B.

Im folgenden ist zunächst anhand der Fig. 1A bis 1D und 2A bis 2D ein Verfahren zur Herstellung eines Auf­ zeichnungskopfes gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung beschrieben.

Gemäß den Fig. 1A und 2A wird auf einem Glas-Substrat oder -Träger 10 eine isolierende Klebmittelschicht 12 vorgesehen, an welcher sodann eine z. B. 50 µm dicke Fe-Co-Folie 14 mit größeren Abmessungen als denen des Glas-Substrats 10 als leitende magnetische Folie oder Lage angebracht wird. Sodann wird auf nicht dar­ gestellte Weise ein Abdeck- oder Resistmuster mit einer Vielzahl von Schlitzen nach einem Photoätzver­ fahren ausgebildet.

Gemäß den Fig. 1B und 2B wird eine Atzlösung auf die mit dem Resistmuster als Maske versehene Fe-Co-Folie 14 aufgeblasen, um letztere selektiv zu ätzen und in ihr eine Vielzahl von z. B. 50 µm breiten Schlitzen 16 in gegenseitigen Abständen von 50 µm auszubilden. In diesem Verfahrensschritt wird die isolierende Kleb­ mittelschicht 12 als Unterlageschicht, wie in den ge­ punkteten Bereichen in Fig. 1B dargestellt, an den Sohlen der Schlitze 16 freigelegt. Die beiden Endab­ schnitte 18 a, 18 b jedes Schlitzes erstrecken sich da­ bei über die Seitenkanten 20 des Glas-Substrats 10 hinaus. Nach der Ausbildung der Schlitze wird das Resistmuster von dem so entstandenen Gebilde abge­ zogen oder abgestreift.

Der eine Längskantenteil 22 der Fe-Co-Folie 14 wird dann zusammen mit dem Glas-Substrat 10 zunächst ver­ nickelt und hierauf in eine Goldmetallisier- oder Vergoldungslösung eingetaucht. Gemäß den Fig. 1C und 2C wird dieser Bereich des erhaltenen Gebildes unter Heranziehung des rahmenartigen Abschnitts 24 der Fe- Co-Folie 14 als gemeinsame oder Sammelelektrode gal­ vanisiert (electroplated), um eine durch die schraf­ fierten Bereiche in Fig. 1C angedeutete Vergoldungs­ schicht 26 für einen (metallisierten) Anschlußstrei­ fen auszubilden; hierbei ist darauf hinzuweisen, daß der rahmenartige Abschnitt 24 mit den darin ausgebil­ deten Schlitzen 16 erhalten bleibt und die Vergoldungs­ schicht 26 auf dem vom Glas-Substrat 10 zurücksprin­ genden (recedes) Längskantenteil 22 der Fe-Co-Folie 14 ausgebildet ist.

Die Fe-Co-Folie 14, die Vergoldungsschicht 26 und die isolierende Klebmittelschicht 12 werden hierauf längs der jeweiligen Seitenkante des Glas-Substrats 10 ge­ schnitten und poliert. Es ist zu beachten, daß die endgültige Größe des Glas-Substrats 40 praktisch der Größe des anfänglich vorgesehenen Glas-Substrats 10 entspricht. Dieser Aufzeichnungskopf umfaßt das Glas- Substrat 40, die parallel zueinander auf letzterem ausgebildeten Fe-Co-Elektroden 30 (aus einem leiten­ den magnetischen Werkstoff), die Klebmittelschicht 12 und den an der rechten Seite der Fe-Co-Elektroden 30 erzeugten Anschlußstreifen 32.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die leitende magne­ tische (Fe-Co-)Folie 14 (zunächst) mit größeren Ab­ messungen als denen des Glas-Substrats 10 ausgebildet, wobei die Schlitze 16 so ausgebildet werden können, daß sie sich über die Seite(n) des Glas-Substrats hinaus erstrecken. Wenn die leitende magnetische Folie 14 zum Ende (Rand) des Glas-Substrats 40 (bündig) poliert (oder geschliffen) wird, können die leitenden magnetischen Elektroden 30 unter Verbesserung der Bildauflösung des Aufzeichnungskopfes genauestens erzeugt werden. Auf diese Weise wird auch eine un­ gleichmäßige Konzentration oder Dichteverteilung des Bilds verhindert.

Da die Fe-Co-Folie 14 größere Abmessungen als das Glas-Substrat 10 besitzt, wird ein Fließen des Kleb­ mittels auf die Oberfläche der Folie 14 und damit ihre Verunreinigung durch das Klebmittel verhindert. Ebenso kann eine Anlagerung des Resistmaterials an die Seite oder Kante des Glas-Substrats 10 vermieden werden.

Die Fe-Co-Elektroden werden indirekt unter Nutzung der Schlitze 16 und nicht nach einem unmittelbaren Verfahren erzeugt. Die Vergoldungsschicht 26 für einen Anschlußstreifen wird unter Heranziehung des erwähnten rahmenartigen Abschnitts 24 als Sammelelek­ trode erzeugt. Hierdurch wird verhindert, daß sich die leitende magnetische Folie 14 während der Her­ stellung des Aufzeichnungskopfes ablöst. Der Aufzeich­ nungskopf kann mithin mit hohem Ausbringen hergestellt werden, und er weist höchst zuverlässige leitende magnetische Elektroden auf, bei denen kein Abbröckeln, Kurzschließen usw. auftritt.

Obgleich bei der beschriebenen Ausführungsform ein Glas-Substrat verwendet wird, kann ein beliebiges anderes isolierendes Substrat, z. B. ein Keramik-Sub­ strat, ebenfalls verwendet werden. Das isolierende Substrat kann an seinem Randabschnitt, der dem Rand­ abschnitt, an welchem der Anschlußstreifen ausgebil­ det wird oder ist, gegenüberliegt, sich verjüngend (tapered) ausgebildet sein.

Während bei der beschriebenen Ausführungsform die Fe-Co-Folie als leitende magnetische Folie vorgesehen ist, kann auch eine beliebige andere leitende magne­ tische Folie, z. B. aus einer Fe-Ni-Legierung, ver­ wendet werden.

Bei der beschriebenen Ausführungsform sind die leiten­ den magnetischen Elektroden jeweils gleich breit; diese Elektroden können aber auch im Anschlußstrei­ fen-Erzeugungsbereich breiter ausgebildet sein als im restlichen Bereich, um ein einfaches Anschließen zu erlauben.

Ein Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung ist nachstehend anhand von Fig. 3 erläutert. Bei der (beim) ersten Ausführungsform (oder -beispiel) werden die zahlreichen Schlitze mit beidseitig geschlossenen Enden durch Ätzen geformt. Beim zweiten Ausführungs­ beispiel werden zahlreiche Schlitze so ausgebildet, daß sie jeweils an der Seite, wo der Anschlußstreifen geformt wird, ein offenes Ende 34 aufweisen. Unter Heranziehung der einen Längskante 24 a der vorgesehenen leitenden magnetischen Folie als Sammelelektrode kann (dann) die Vergoldungsschicht 26 im anderen Längs­ kantenbereich dieser Folie erzeugt werden. Die anderen Verfahrensschritte entsprechen denen beim ersten Aus­ führungsbeispiel, und den Teilen von Fig. 1C entspre­ chende Teile sind in Fig. 3 mit denselben Bezugs­ ziffern wie vorher bezeichnet und daher nicht mehr im einzelnen erläutert.

Im folgenden ist ein Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes gemäß einer dritten Ausführungs­ form anhand der Fig. 4A bis 4D und 5A bis 5D beschrie­ ben.

Gemäß den Fig. 4A und 5A wird zunächst auf einem Glas-Substrat 10 eine 20-200 µm dicke isolierende Klebmittelschicht 12 vorgesehen, an welcher eine z. B. 30 µm dicke Fe-Co-Folie 14 als leitende magnetische Folie angebracht wird. Die Fe-Co-Folie 14 besitzt da­ bei kleinere Abmessungen als das Glas-Substrat 10, aber größere Abmessungen als das Substrat eines fertig­ gestellten Aufzeichnungskopfes. Sodann wird nach einem Photoätzverfahren (nicht dargestellt) ein Abdeck- oder Resistmuster mit einer Vielzahl von Schlitzen ausge­ bildet.

Gemäß den Fig. 4B und 5B wird unter Nutzung des Resist­ musters als Maske eine Atzlösung auf das erhaltene Gebilde aufgeblasen, um eine Vielzahl von jeweils z. B. 50 µm breiten Schlitzen in gegenseitigen Ab­ ständen (pitch) von 125 µm zu erzeugen. Dabei wird die isolierende Klebmittelschicht 12 als Unterlage­ schicht an den Sohlen der Schlitze freigelegt. Die beiden Enden 18 a, 18 b jedes Schlitzes 16 sind dabei so angeordnet, daß sie außerhalb der Randkante des endgültigen Substrats des Aufzeichnungskopfes liegen. Nach der Erzeugung der Schlitze 16 wird das Resist­ muster vom erhaltenen Gebilde abgezogen.

Hierauf wird gemäß den Fig. 4C und 5C ein Schutzfilm, z. B. ein Epoxyharzfilm 28 auf der Oberfläche der Fe- Co-Folie 14 ausgebildet. Der eine Dicke von 20-200 µm besitzende Epoxyharzfilm 28 wird unter Freilassung eines Anschlußstreifen-Erzeugungsbereichs geformt. Mit dem als Maske dienenden Epoxyharzfilm 28 wird zu­ nächst der eine Längskantenbereich 22 der Fe-Co-Folie 14 gemeinsam mit dem Glas-Substrat 10 vernickelt, wobei darauf hinzuweisen ist, daß dieser Längskanten­ bereich 22 der Fe-Co-Folie 14 von der Seitenkante des Substrats eines fertiggestellten Aufzeichnungs­ kopfes zurückspringt (bzw. einwärts verläuft). Das so gewonnene Gebilde wird dann in eine Vergoldungs­ lösung eingetaucht. Unter Benutzung des rahmenartigen Abschnitts 24 der Fe-Co-Folie 14 als Sammelelektrode erfolgt hierauf ein Galvanisieren (oder Metallisieren) zur Ausbildung einer Vergoldungsschicht 26 für einen Anschlußstreifen.

Gemäß den Fig. 4D und 5D werden das Glas-Substrat 10, die Fe-Co-Folie 14 und die Vergoldungsschicht 26 pa­ rallel zur äußeren (Schmal-)Seite des Substrats 10 geschnitten und poliert, wobei der rahmenartige Ab­ schnitt 24 der Folie 14 entfernt wird. Das fertigge­ stellte Substrat 40 besitzt mithin kleinere Abmessungen als das anfänglich verwendete Substrat. Auf diese Weise wird ein erfindungsgemäßer Aufzeichnungskopf hergestellt, der das Glas-Substrat 40, eine Anordnung von parallel zum Glas-Substrat 40 ausgebildeten und aus einem leitenden magnetischen Werkstoff bestehenden Fe-Co-Elektroden 30, den an der einen Seite der Fe-Co-Elektroden 30 ausgebildeten Anschlußstreifen 32, die Klebmittelschicht 12 und den die Elektroden 36 bedeckenden Schutzfilm 36 umfaßt.

Mit dem dritten Ausführungsbeispiel werden dieselben Vorteile wie beim ersten Ausführungsbeispiel erzielt. Da auf ihnen der Schutzfilm 36 ausgebildet ist, sind die leitenden magnetischen Elektroden vor einem Ab­ lösen vom restlichen Aufzeichnungskopf geschützt.

Die Fig. 6A und 6B sowie 7A und 7B veranschaulichen ein Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungs­ kopfes gemäß einer vierten Ausführungsform der Er­ findung.

Nachdem wie beim dritten Ausführungsbeispiel Schlitze ausgebildet worden sind, wird gemäß den Fig. 6A und 7A ein Epoxyharzfilm 28 auf der Fe-Co-Folie 14 ausge­ bildet. Der Epoxyharzfilm besteht dabei aus einem ersten, an der einen Seite der Fe-Co-Folie 14 vorge­ sehenen Abschnitt 28 a und einem zweiten, an ihrer anderen Seite vorgesehenen Abschnitt 28 b, wobei zwi­ schen diesen beiden Abschnitten 28 a und 28 b ein An­ schlußstreifen-Erzeugungsbereich nach außen hin frei­ liegt. Unter Heranziehung dieser beiden Abschnitte 28 a, 28 b als Maske wird auf dieselbe Weise wie beim dritten Ausführungsbeispiel eine Vergoldungsschicht 26 erzeugt.

Sodann werden gemäß den Fig. 6B und 7B das Glas-Substrat 10, die Klebmittelschicht 12, die Fe-Co-Folie 14 und die Schutzschichten oder -filme 28 a, 28 b an den Sei­ ten geschnitten und poliert, wobei der rahmenartige Abschnitt 24 der Fe-Co-Folie 14 entfernt wird. Auf diese Weise wird ein Aufzeichnungskopf erhalten, der das Substrat 40 mit kleineren Abmessungen als beim anfänglich verwendeten Substrat 10, die Klebmittel­ schicht 12, eine Parallelanordnung von Fe-Co-Elek­ troden 30, den Anschlußstreifen 32 sowie erste und zweite Schutzfilme 36 a bzw. 36 b umfaßt.

Aufgrund der beschriebenen Ausbildung der Schutz­ schichten oder -filme 28 a, 28 b kann die Fläche der Vergoldungsschicht 26 auf erforderliche Weise klein gehalten werden. Außerdem wird hierdurch ein Ablösen der leitenden magnetischen Elektroden 30 vom rest­ lichen Teil des Aufzeichnungskopfes bei ihrer Her­ stellung und im Betrieb vermieden.

Claims (8)

1. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungskopfes, der relativ zu einem Aufzeichnungsträger bewegbar ist und der aus einem leitenden Substrat und einer auf diesem ausgebildeten dielektrischen Schicht besteht, zum Aufzeichnen von Daten auf dem Auf­ zeichnungsträger mit Hilfe eines leitenden magne­ tischen Toners auf dem Aufzeichnungsträger, da­ durch gekennzeichnet, daß
eine leitende magnetische Folie (14) unter Zwi­ schenfügung einer Klebmittelschicht (12) an einem isolierenden Substrat (10) einer ersten Größe an­ gebracht wird, dessen erste Größe größer ist als eine zweite Größe desselben, die durch das iso­ lierende Substrat eines fertiggestellten Aufzeich­ nungskopfes definiert ist,
die leitende magnetische Folie zur Erzeugung einer Vielzahl von Schlitzen in vorbestimmten gegensei­ tigen Abständen selektiv geätzt wird, wobei beide Enden der Schlitze jeweils über eine Seitenkante (20) des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes hin­ ausreichen und die restlichen Abschnitte der lei­ tenden magnetischen Folie elektrisch miteinander verbunden sind,
die leitende magnetische Folie (14) an ihrer einen, von der betreffenden Seite des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes zurückspringenden Seitenkante zur Ausbildung einer Metallisierungsschicht für einen Anschlußstreifen galvanisiert wird, wobei der genannte Seitenkantenabschnitt der leitenden magnetischen Folie (14) den einen Endabschnitt der Schlitze schneidet und ihr anderer Seitenkanten­ abschnitt als gemeinsame oder Sammelelektrode für den Galvanisierschritt benutzt wird, und
die über die Seitenkante des isolierenden Substrats (40) des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes hin­ ausragenden Bereiche der leitenden magnetischen Folie, der Metallisierungsschicht und des (anfäng­ lichen) isolierenden Substrats entfernt werden, um eine Parallelanordnung von leitenden magnetischen Elektroden (30) und einen Anschlußstreifen am ge­ nannten einen Seitenkantenabschnitt der Elektroden auszubilden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Größe des isolierenden Substrats (40) des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes kleiner ist als die erste Größe des anfänglich vor­ gesehenen isolierenden Substrats (10).

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Größe des isolierenden Substrats (40) des fertiggestellten Aufzeichnungskopfes im wesentlichen der ersten Größe des anfänglich vor­ gesehenen isolierenden Substrats (10) gleich ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ende jedes Schlitzes an einer Außenkante der leitenden magnetischen Folie offen ist und eine Metallisierungsfolie oder -schicht (32) auf der leitenden magnetischen Folie in einem Bereich, in welchem sich das eine Ende des (jedes) Schlitzes befindet, ausgebildet wird.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der leitenden magnetischen Folie und der Metallisierungsschicht nach der Ausbildung der letzteren ein Schutzfilm (28) erzeugt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Ausbildung der Schlitze (16) auf der leitenden magnetischen Folie ein Schutzfilmmuster (28, 28 a, 28 b) unter Freilassung eines Anschluß­ streifen-Erzeugungsbereichs erzeugt wird und die Metallisierungsschicht (26) nach einem Galvani­ sierverfahren unter Heranziehung des Schutzfilm­ musters als Maske erzeugt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Erzeugung der Schlitze (16) auf der leitenden magnetischen Folie ein Schutzfilmmuster (28 a, 28 b) erzeugt wird, das einen am einen Sei­ tenabschnitt der leitenden magnetischen Folie vor­ gesehenen ersten Abschnitt (28 a) und einen am anderen Seitenabschnitt dieser Folie vorgesehenen zweiten Abschnitt (28 b) aufweist, und die Metalli­ sierungsschicht (26) nach einem Galvanisierver­ fahren unter Heranziehung des Schutzfilmmusters als Maske erzeugt wird.

8. Aufzeichnungskopf, der relativ zu einem Aufzeich­ nungsträger bewegbar ist und der aus einem leiten­ den Substrat und einer auf diesem ausgebildeten dielektrischen Schicht besteht, zum Aufzeichnen von Daten auf dem Aufzeichnungsträger mit Hilfe eines leitenden magnetischen Toners auf dem Auf­ zeichnungsträger, gekennzeichnet durch
ein isolierendes Substrat (40),
eine auf dem isolierenden Substrat (40) vorge­ sehene Klebmittelschicht (12),
eine auf der Klebmittelschicht aus einem leitenden magnetischen Werkstoff ausgebildete Parallelan­ ordnung von Elektroden (30),
eine an mindestens einem Seitenkantenabschnitt der Elektroden ausgebildete Schutzschicht (28 a, 28 b) zur Verhinderung eines Ablösens der Elektroden vom restlichen Aufzeichnungskopf, wobei die Schutz­ schicht einen am einen Seitenabschnitt der Elek­ troden vorgesehenen ersten Abschnitt (28 a) und einen am anderen Seitenabschnitt der Elektroden vorgesehenen zweiten Abschnitt (28 b) umfaßt, und
einen auf den (nach außen) freiliegenden oder un­ bedeckten Abschnitten der Elektroden im Bereich des ersten Abschnitts der Schutzschicht ausgebil­ deten Anschlußstreifen (32).