DE3542658A1 - Verfahren zum thermischen zertrennen eines zwei- oder mehrschichtigen films - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum thermischen Zertrennen eines zwei- oder mehrschichtigen Films nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Vorrichtung zum Ausführen des Verfahrens.

Nach diesem Verfahren arbeiten beispielsweise die bekannten Vorrichtungen zum Verschließen von Plastikbeuteln für den Hausgebrauch. Dort werden die zwei aufeinanderliegenden Kunststoff- bzw. Filmschichten des Beutels durch einen Heizdraht vom Überstand abgetrennt und miteinander verschweißt. Der Heizdraht ist Teil einer Klemmvorrichtung für die Filmschichten, wird kalt an die Filmschichten angelegt und dann durch einen Heizstrom aufgeheizt, der über einen durch Betätigung der Klemmvorrichtung eingeschalteten Schalter fließt. Der Heizvorgang wird durch Öffnen der Klemmvorrichtung durch die Bedienperson beendet, und seine Dauer muß durch Versuche auf die Eigenschaften der zu verschließenden Beutel abgestimmt werden.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum thermischen Zertrennen eines zwei- oder mehrschichtigen Films anzugeben, bei dem die einzelnen Filmschichten durch den Trennvorgang praktisch nicht miteinander verbunden werden. Diese Aufgabe wird bei dem Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 durch dessen kennzeichnenden Merkmale gelöst.

Es hat sich gezeigt, daß bei anspruchsgemäßer Aufheizung mit einer über der zulässigen Dauerheizleistung liegenden Leistung die Heizdrahttemperatur sehr schnell (Aufheizzeit typisch unter 100 ms) auf einen derart hohen Wert gebracht werden kann, daß der zu zertrennende Film verdampft wird, ohne daß die Filmschichten sich miteinander verbinden. Ein Durchschmelzen des Heizdrahts wird durch Begrenzung der Aufheizzeit verhindert.

Das beanspruchte Verfahren ist insbesondere zum Zerschneiden eines aus einer Trägerschicht und einer Photoresistschicht bestehenden Films geeignet. Solche Filme dienen bei der photochemischen Herstellung von Leiterplatten für die Elektronik zur Beschichtung der Leiterplatte mit Photoresist (Photolack). Die einseitig durch die Trägerschicht geschützte Resistschicht wird auf die Leiterplatte aufgewalzt (auflaminiert), nach dem Laminiervorgang wird die Resistschicht belichtet und danach die Trägerschicht von der Resistschicht abgezogen, so daß durch nachfolgende Entwicklung der Resistschicht die Ausätzung eines Leiterbahnmusters vorbereitet werden kann.

Der Laminiervorgang wird an einzelnen Leiterplattenstücken durchgeführt, wobei der Resistfilm von einer größeren Vorratsrolle abgeschitten wird. Das Abschneiden geschah bei dem bisher bekannten Laminierverfahren durch sich drehende Rundmesser, weil der Photoresist durch übermäßige Wärmeeinwirkung in seinen Eigenschaften beeinträchtigt (polymerisiert) wird, und weil die Schutzschicht später von der Resistschicht abgezogen werden muß, so daß eine Verbindung der Filmschichten miteinander durch das Abtrennen zu vermeiden ist. Es hat sich gezeigt, daß die thermische beeinträchtigung des Resists bei dem erfindungsgemäßen Trennverfahren wegen der kurzen Heizzeit minimal ist, und daß überraschenderweise die Schutzschicht nach dem thermischen Zertrennen des Films ohne Schwierigkeiten von der Resistschicht abziehbar ist. Auch treten keine Verkohlungen an der Trennstelle auf, und die Trennkante schmilzt bzw. schrumpft nicht wie bei dem bekannten Verfahren zu einem verdickten Rand zusammen.

Es ergibt sich durch das erfindungsgemäße Verfahren der praktische Vorteil, daß die für den Schneidvorgang aufzuwendende Zeit sehr gering ist, so daß der Durchsatz beim Abtrennen des Films erhöht werden kann. Beim thermischen Zertrennen entstehen im Gegensatz zum mechanischen Zertrennen auch keine Schutzschicht- oder Resistflitter, die die Laminiervorrichtung verunreinigen und eventuell bei der gerade bearbeiteten oder bei nachfolgenden Leiterplatten unter die Resistschicht mit eingewalzt werden können. Dies ist insbesondere für die Herstellung von Leiterplatten hoher Bahndichte vorteilhaft, weil die Ausbeute an einwandfreien Werkstücken durch das beanspruchte Verfahren wesentlich erhöht werden kann.

Anspruch 2 kennzeichnet eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Bei Anlegen von Wechselstrom im wesentlichen für die Dauer eines ganzzahligen Vielfachen seiner halben Periodendauer kann das Einschalten jeweils im Spannungsnullpunkt und das Ausschalten jeweils im Stromnullpunkt erfolgen, so daß das Schalten leistungslos geschieht.

Eine zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens besonders angepaßte Vorrichtung ergibt sich durch die Merkmale von Anspruch 3. Die Ansprüche 4 und 5 kennzeichnen Ausgestaltungen der beanspruchten Vorrichtung zur Vereinfachung der Schaltungstechnik, und die Ansprüche 6 und 7 kennzeichnen Ausgestaltungen zur Einstellung auf Filme mit unterschiedlichen Eigenschaften und auf Heizdrähte unterschiedlicher Durchmesser oder Materialeigenschaften.

Die Erfindung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.

Fig. 1 zeigt in schematischer Form eine Trennvorrichtung mit impulsbeheiztem Heizdraht zum Zertrennen eines zwei- oder mehrschichtigen Films.

Fig. 2 zeigt als Blockschaltbild eine Ansteuervorrichtung zum Impulsbeheizen des in Fig. 1 gezeigten Heizdrahts.

Fig. 3 zeit ein Detailschaltbild der in Fig. 2 gezeigten Steuerschaltung.

Fig. 4 zeigt in schematischer Darstellung die wesentlichen Elemente einer Vorrichtung zum Aufwalzen von Trockenresistfilm auf Leiterplatten.

Die Fig. 5-7 zeigen anhand eines vergrößerten Ausschnittes das Zusammenwirken der einzelnen Elemente in der Vorrichtung nach Fig. 4 beim Laminieren einer Leiterplatte.

Fig. 1 zeigt in schematischer Form eine Trennvorrichtung mit impulsbeheiztem Heizdraht zum Zertrennen eines zwei- oder mehrschichtigen Films. Ein Heizdraht 27 ist über Federelemente 28 in einen Träger 29 eingespannt, der durch eine Bewegungsvorrichtung 30 auf- und abbewegt werden kann, wie durch den Pfeil 31 angedeutet. Die Federelemente 28 und die Bewegungsvorrichtung 30 können beliebige hydraulische, pneumatische, elektromechanische oder andere geeignete Mechanismen bekannter Art sein und werden hier nicht näher beschrieben. Die Anordnung nach Fig. 1 ist bei der praktischen Ausführung der Trennvorrichtung so angebracht, daß der Heizdraht 27 den zu zertrennenden Film (nicht gezeigt) überspannt und durch die Bewegungsvorrichtung 30 auf dessen banzer Breite daran angelegt werden kann. Der Heizdraht besteht aus dem Werkstoff Cronix 80 Extra, Werkstoff-No. 2.4869 (ASTM/ ASME B344) mit 0,2 mm Durchmesser und 660 mm Länge. Je nach Einsatzbedingungen sind auch andere der bekannten Werkstoffe für Heizdrähte geeignet.

Der Heizdraht 27 ist an Befestigungspunkten 33 auf Isolierkörpern 32 zur elektrischen Isolierung von den Federelementen 28 angebracht. Eine Ansteuervorrichtung 34 dient dazu, den Heizdraht 27 über Anschlußleitungen 35 und 36, die flexible Abschnitte 37 aufweisen, mit einem Heizstrom zur Aufheizung zu versorgen. Die Ansteuervorrichtung 34 ist über Eingangsleitungen 38 und 39 mit einem Schalter 40 verbunden, der durch die Bewegung des Trägers 29 betätigt wird, wie bei 41 angedeutet. Bei Betätigung des Schalters 40 wird der Heizstrom durch den Heizdraht 27 eingeschaltet. Der Schalter 40 ist so angebracht, daß er betätigt wird, wenn der unbeheizte Heizdraht 27 am zu zerschneidenden Film anliegt, und kann beispielsweise ein Schnappschalter (Mikroschalter) sein.

Die Ansteuervorrichtung 34 gibt den Heizstrom als kurzen Impuls mit einer solchen Stromstärke ab, daß der Heizdraht 27 schlagartig auf eine zum Verdampfen des Filmmaterials ausreichende Temperatur aufgeheizt wird. Die durch den Heizstrom im Heizdraht umgesetzte Leistung übersteigt die bei Dauerheizung maximal zulässige Heizleistung, so daß die Aufheizung möglichst schnell geschieht. Bei Dauerheizung würde demnach der Heizdraht durchschmelzen, aber die Dauer des Heizstromimpulses ist so kurz eingestellt, daß der Heizstrom ausgeschaltet wird, bevor der Heizdraht 27 durchschmilzt.

Fig. 2 zeigt ein Blockschaltbild der Ansteuervorrichtung 34 für den Heizdraht 27. Der Heizdraht ist über Anschlußklemmen 42 mit der Ansteuervorrichtung verbunden. Die Ansteuervorrichtung besteht aus einem Trenntransformator T 1 mit nachfolgendem Stelltransformator T 2 in Sparschaltung zur Isolation vom Versorgungsnetz und zur Einstellung einer variablen Spannung zur Heizstromversorgung. Die eingestellte Spannung kann an einem Spannungsmeßgerät 43 abgelesen werden. Der Heizstrom durch den Heizdraht 27 wird durch ein elektronisches Relais 44 gesteuert. Das Relais 44 ist ein kommerziell erhältliches Relais auf Halbleiterbasis mit galvanischer Trennung zwischen Steuerkreis und Schaltkreis.

Der Stromfluß durch den Heizdraht wird durch einen zwischen die Klemmen 1 und 2 des Relais 44 geschalteten Triac (im wesentlichen zwei antiparallel geschaltete Thyristoren) eingeschaltet. Der Triac wird gezündet, wenn nach Anlegen einer Steuerspannung zwischen die Eingangsklemmen 3 und 4 der nächste Nulldurchgang der am Relais 44 anliegenden Wechselspannung auftritt; die Zündung geschieht durch einen Nulldurchgangsdetektor für die Wechselspannung, der durch die Steuerspannung aktiviert wird. Der Stromfluß zwischen den Klemmen 1 und 2 des Relais wird solange aufrechterhalten, wie an zwischen den Klemmen 3 und 4 Steuerspannung anliegt, und nach dem Abschalten der Steuerspannung noch bis zum nächsten Stromnulldurchgang des Wechselstroms aufrechterhalten. Durch den Heizdraht 27 fließt somit immer eine ganze Anzahl von Halbwellen des zur Versorgung dienenden Wechselstroms.

Die Steuerspannung für die Klemmen 3 und 4 des elektronischen Relais 44 wird durch eine Steuerschaltung 45 erzeugt. Ein Eingang E der Steuerschaltung 45 erhält über den Schalter 40 (siehe Fig. 1) Steuerspannung, wenn der kalte Schneiddraht 27 am zu zertrennenden Film anliegt. Hierdurch wird in Steuerschaltung 45 eine Zeitgeberschaltung ausgelöst, so daß die Steuerschaltung 45 am Ausgang A für eine einstellbare Zeit Steuerspannung an das elektronische Relais 44 abgibt.

Die im Heizdraht 27 umgesetzte Heizleistung bestimmt sich aus der eingestellten, am Meßinstrument 43 ablesbaren Spannung und dem aus den Materialeigenschaften bekannten Widerstand des Heizdrahts. Die Leistung ist so zu wählen, daß der Heizdraht möglichst schnell zum Verdampfen des Filmmaterials aufgeheizt wird. Die Leistung wird zu diesem Zweck auf einen Wert eingestellt, der bei Dauerbetrieb zum Schmelzen des Heizdrahts 27 führen würde, und die Steuerschaltung 45 wird so eingestellt, daß der Heizstrom abgeschaltet wird, bevor der Schmelzpunkt des Heizdrahts 27 erreicht ist. Auf diese Weise wird der Heizdraht sehr schnell aufgeheizt, der zu zertrennende Film verdampft und wird dadurch zertrennt, ohne daß sich seine Schichten miteinander verbinden.

Bei Zertrennung von zweischichtigen Filmen aus einer Schutzfolie und einer Trockenresistschicht hat sich gezeigt, daß durch die Kürze des Heizimpulses die durch termische Einwirkung entstehende Zone von Veränderungen des Resists in der Nähe der Trennstelle sehr schmal bleibt.

Fig. 3 zeigt ein Detailschaltbild der in Fig. 2 dargestellten Steuerschaltung 45. Der Eingang E ist mit einer Eingangsstufe 46 verbunden, die zur Entprellung der von Schalter 40 (siehe Fig. 1) gelieferten Steuerspannung dient. Die Eingangsstufe 46 besteht aus Widerstanden R ₁ und R ₂, die als Spannungsteiler das Eingangssignal zur Ansteuerung eines Transistorschalters T ₁ anpassen. Ein Kondensator C ₁ ist zwischen den Eingang E und Masse geschaltet, und ein zweiter Kondensator C ₂ ist zwischen die Basis des Transistors T ₁ und Masse geschaltet. Die gezeigte Verschaltung der Widerstände und Kondensatoren gibt der Eingangsstufe 46 Tiefpaßverhalten und gewährleistet eine sichere Entprellung des Schalters 40.

Das Ausgangssignal des Schalttransistors T ₁, dessen Emitter auf Masse liegt, wird an dessen Kollektor abgegriffen und über eine aus Widerständen R ₃ und R ₄, einem Kondensator C ₃ und einer Diode D ₁ gebildete Impulsformerstufe 47 mit Hochpaßverhalten an eine Eingangsklemme 2 einer Zeitgeberschaltung 48 gelegt. Die Impulsformerstufe dient dazu, das vom Transistor T ₁ gelieferte Stufensignal in einen Signalimpuls umzusetzen. Diode D ₁ ermöglicht die Entladung des Kondensators C ₃ bei Sperrung des Transistors T ₁ nach dem Schaltvorgang. Die Zeitgeberschaltung 48 ist eine kommerziell erhältliche Zeitgeberschaltung vom bekannten Typ ME 555. Ihre Klemmen 4 und 8 erhalten Versorgungsspannung, Klemme 1 ist direkt und Klemme 5 über einen Kondensator C ₄ an Masse gelegt. Die Klemmen 6 und 7 sind mit einem RC-Glied 49 zur Zeitvorgabe verbunden, das aus einem variablen Widerstand R 5 und einem Kondensator C 5 besteht. Die Zeitkonstante des RC-Glieds kann durch Verändern des variablen Widerstands R 5 eingestellt werden. Der Zeitgeberschaltkreis 48 gibt nach Empang des Steuerimpulses an der Eingangsklemme 2 für eine durch das RC-Glied 49 bestimmte Zeit an der Ausgangsklemme 3 Steuerspannung an den Ausgang A ab.

Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel hat der zu zertrennende Film eine Dicke von insgesamt etwa 65-100 Mikrometern. Der Durchmesser des Heizdrahts beträgt 0,2 mm, seine Länge 660 mm und die Heizspannung ca. 160 V eff.. Der Heizstrom wird für die Dauer von 80 ms eingeschaltet. Die im Heizdraht durch den Heizstromimpuls umgesetzte Energiemenge beträgt etwa 100 Joule. Die Endtemperatur des Heizdrahts beim Aufheizvorgang liegt über 1000°C.

Versuche haben gezeigt, daß es entscheidend auf eine möglichst schnelle Aufheizung des Heizdrahts ankommt; die Heizleistung muß über dem für Dauerheizung zulässigen Wert liegen. Die erforderliche Heizleistung steigt quadratisch mit dem Heizdrahtdurchmesser an, so daß ein möglichst dünner Heizdraht zu verwenden ist. Heizdrähte geringeren Durchmessers sind jedoch weniger zugfest, so daß sich je nach Einsatzbedingungen aus der Praxis eine untere Grenze für den Heizdrahtdurchmesser ergibt.

Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung zum Aufwalzen von Trockenresistfilm auf Leiterplatten. Der aufzubringende Film 2, bestehend aus einer zwischen zwei Schutzfolien angebrachten Trockenresistschicht, befindet sich auf Vorratsrollen 1. Der Resistfilm 2 ist über Umlenkrollen 3 zu einem Heftschuh 4 geführt, der an einer dem Film zugewandten Fläche 5 mit Vakuumkanälen zum Festhalten des Films versehen ist. Vor Zuführung des Films 2 zum Heftschuh 4 wird mittels Umlenkrollen 6 und einer Aufwickelrolle 7 einseitig die Schutzfolie abgezogen. Zur Zuführung und Vorwärmung von Leiterplatten dient ein Satz Transportrollen 8, ein Positionssensor 9 und eine Stützrolle 10. Zum Aufwalzen des Resistfilms 2 auf die Leiterplatten dient ein Satz Laminierwalzen 11. Ein zweiter Positionssensor 12 dient zum Erfassen der Lage beschichteter Leiterplatten, und weitere Transportrollen 13, die nicht alle dargestellt sind, führen beschichtete Leiterplatten aus der Vorrichtung heraus. Der Resistfilm wird während des Laminiervorgangs stückweise vom Rollenvorrat abgetrennt, und es ist Satz von Halteschuhen 14 vorgesehen, die an einer Fläche 15 ebenfalls mit Saugkanälen ausgerüstet sind und dazu dienen, den Resistfilm während des Abtrennens vom Rollenvorrat zu halten.

Fig. 5 zeigt anhand eines vergrößerten Ausschnitts einen ersten Arbeitsschritt der in Fig. 4 gezeigten Vorrichtung. Eine Leiterplatte 16 ist so weit in die Vorrichtung eingefahren, daß ihr vorderes Ende 17 geringfügig über die Heftschuhe 4 hinausragt. Die Heftschuhe 4 mit dem daran angesaugten Resistfilm 2 sind so weit zur Leiterplatte herangefahren, was durch vertikale Pfeile 18 angedeutet ist, daß sie den Resistfilm nahe der vorderen Kante 17 der Leiterplatte auf deren Oberfläche anheften.

Fig. 6 zeigt einen auf das Anheften des Resistfilms folgenden Arbeitsschritt. Die Heftschuhe 4 sind nach Abschalten des Haltevakuums um eine geringe Strecke von der Heftstelle abgefahren, was durch Pfeile 19 angezeigt ist. Die beheizten Laminierwalzen 11 sind an die Stelle gefahren, an der der Resistfilm 2 an der Leiterplatte 16 angeheftet ist, so daß sie die Leiterplatte und den beidseitig angehefteten Resistfilm erfassen. Die Bewegung der Laminierwalzen 11 ist durch Pfeile 20 angedeutet. Die Laminierwalzen sind in Drehung versetzt, wie durch Pfeile 21 angedeutet, so daß sie die Leiterplatte zwischen sich hindurchführen, dabei den über die Umlenkrollen 3 zugeführten Resistfilm zur Oberfläche der Leiterplatte 16 ziehen und dort dauerhaft andrücken. Der beim Laminiervorgang stetig weiter abgezogene Schutzfilm 23 gelangt über die Umlenkrollen 6 zu den nicht gezeigten Aufwickelrollen 7.

Fig. 7 zeigt das Abschneiden des Resistfilms 2 kurz vor dem Ende des Laminiervorganges. Die Leiterplatte 16 ist weiter zwischen den Laminierrollen 11 vorgerückt, die in ihre Ausgangsposition zurückgefahren sind, wie durch Pfeile 24 angedeutet. Die Halteschuhe 14 sind in den Freiraum zwischen den Heftschuhen 4 und den Laminierwalzen 11 eingefahren, so daß ihre Vakuumhaltefläche 15 am Resistfilm 2 anliegt. Das Einfahren der Halteschuhe 14 ist durch Pfeile 25 angedeutet. Das Haltevakuum an der Saugfläche 5 der Halteschuhe 14 ist eingeschaltet, und die Laminierwalzen 11 stehen still. An jedem Halteschuh 14 befindet sich eine Heizdrahtschneidevorrichtung 26 der in Fig. 1 gezeigten Art, deren Heizdraht senkrecht zur Papierebene der Fig. 7 oberhalb bzw. unterhalb des Resistfilms 2 angeordnet ist. Die Schneidvorrichtungen 26 werden während des Stillstandes der Laminierwalzen betätigt, so daß der Heizdraht kalt an den Resistfilm 2 angelegt, zum Abtrennen des Resistfilms aufgeheizt und nach dem Abtrennen wieder in seine Ausgangsposition zurückgefahren wird.

Nach dem Zertrennen des Resistfilms 2 und dem Abschalten des Haltevakuums an den Halteschuhen 14 werden die Laminierwalzen 11 erneut in Drehung versesetzt, so daß der Rest des abgetrennten Filmstücks auf die Leiterplatte 16 aufgewalzt wird. Die beschichtete Leiterplatte verläßt schließlich die Laminiervorrichtung über die Transportrollen 13, wonach die Vorrichtung durch Neupositionierung ihrer einzelnen Elemente für den nächsten Laminiervorgang vorbereitet wird.

Claims (7)

1. Verfahren zum thermischen Zertrennen eines zwei- oder mehrschichtigen Films mittels eines Heizdrahts, bei dem der Heizdraht in kaltem Zustand an den Film angelegt wird und ein durch den Heizdraht fließender Heizstrom zum Aufheizen des am Film anliegenden Heizdrahts erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Heizstrom zum Zertrennen des Films, insbesondere eines aus einer Trägerschicht und einer Photoresistschicht bestehenden Films, ohne gleichzeitige Verbindung der Filmschichten miteinander als Stromimpuls mit einer derartigen Stromstärke erzeugt wird, daß während der Dauer des Stromimpulses die im Heizdraht (27) umgesetzte Heizleistung größer ist als die größte bei Dauerheizung zulässige Heizleistung, und daß die Dauer des Stromimpulses derart begrenzt wird, daß der Heizdraht (27) zum Verdampfen des Filmmaterials, aber nicht bis zu seiner eigenen Schmelztemperatur aufgeheizt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Heizstrom als Wechselstrom erzeugt und im wesentlichen für die Dauer eines ganzzahligen Vielfachen seiner halben Periodendauer eingeschaltet wird.

3. Vorrichtung zum Ausführen des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2 mit einem Heizdraht und einer Ansteuervorrichtung zum Erzeugen des Heizstroms, die eine Schalteinrichtung zum Einschalten des Heizstroms bei Anliegen des kalten Heizdrahts am Film aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansteuervorrichtung (34, 40) dazu eingerichtet ist, den Heizstrom mit einer derartigen Stromstärke zu erzeugen, daß die im Heizdraht (27) umgesetzte Heizleistung größer ist als die größte bei Dauerheizung zulässige Heizleistung, und weiterhin dazu eingerichtet ist, den Heizstrom selbsttätig nach Ablauf einer vorbestimmten Impulsdauer auszuschalten.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansteuervorrichtung (34, 40) dazu eingerichtet ist, den Heizstrom als Wechselstrom zu erzeugen und nach Ablauf im wesentlichen eines ganzzahligen Vielfachen seiner halben Periodendauer auszuschalten.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansteuervorrichtung (34, 40) einen Nullspannungsschalter (44) zum Aufschalten einer Wechselspannung auf den Heizdraht (27) aufweist, der den Stromfluß durch den Heizdraht (27) im Nulldurchgang der Wechselspannung freigibt.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansteuervorrichtung (34, 40) eine Zeitstelleinrichtung (49) zum Einstellen der Impulsdauer aufweist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansteuervorrichtung (34, 40) eine Leistungsstelleinrichtung (T ₂) zum Einstellen der Heizleistung aufweist.