DE3534563A1 - Durch dispersion zaeh gemachte keramikzusammensetzungen und verfahren zu deren herstellung - Google Patents
Durch dispersion zaeh gemachte keramikzusammensetzungen und verfahren zu deren herstellungInfo
- Publication number
- DE3534563A1 DE3534563A1 DE19853534563 DE3534563A DE3534563A1 DE 3534563 A1 DE3534563 A1 DE 3534563A1 DE 19853534563 DE19853534563 DE 19853534563 DE 3534563 A DE3534563 A DE 3534563A DE 3534563 A1 DE3534563 A1 DE 3534563A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ceramic
- coating
- silicon carbide
- phase
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5071—Silicides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Communication Cables (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf durch Dispersion
zäh gemachte keramische Zusammensetzungen mit einem erhöhten Bruchwiderstand. Insbesondere bezieht sich die
Erfindung auf die Herstellung solcher Zusammensetzungen durch die gemeinsame Abscheidung von thermischen Zerle— gungsprodukten, die eine Matrix aus Siliciumcarbid mit
einer dispergierten Phase aus Titandisilicid bilden.
Keramikmaterialien werden zunehmend wichtig als Baumaterialien für Komponenten, wie beispielsweise Gasturbinenschaufeln, Pumpenräder und dgl., d. h. Bauteilen, die hohen Temperaturen und/oder abrasiven oder korrodierenden Bedingungen ausgesetzt sind. Oftmals werden Keramikmaterialien zur Erhöhung ihres Bruchwiderstandes zäh
gemacht durch die Zugabe einer dispergierten zweiten
Erfindung auf die Herstellung solcher Zusammensetzungen durch die gemeinsame Abscheidung von thermischen Zerle— gungsprodukten, die eine Matrix aus Siliciumcarbid mit
einer dispergierten Phase aus Titandisilicid bilden.
Keramikmaterialien werden zunehmend wichtig als Baumaterialien für Komponenten, wie beispielsweise Gasturbinenschaufeln, Pumpenräder und dgl., d. h. Bauteilen, die hohen Temperaturen und/oder abrasiven oder korrodierenden Bedingungen ausgesetzt sind. Oftmals werden Keramikmaterialien zur Erhöhung ihres Bruchwiderstandes zäh
gemacht durch die Zugabe einer dispergierten zweiten
Phase oder Fasern, wie es beispielsweise der Fall ist
bei den Keramikzusammensetzungen aus Al^O3
bei den Keramikzusammensetzungen aus Al^O3
Si N4-SiC, Al-O-j-TiC, faserverstärktem Siliciumcarbid und
teilweise stabilisiertem ZrO3. Die zweite Phase oder die
dispergierte Phase in den durch Dispersion zäh gemachten Keramikstoffen oder Zusammensetzungen wird normalerweise
vorgesehen durch die Zugabe kleiner Teilchen, die zufällig über die gesamte Keramikmatrix hinweg verteilt sind.
Eine Erhöhung der Zähigkeit dieser durch Dispersion gehärteten Keramikzusammensetzungen tritt auf, wenn eine metastabile
zweite Phase in der Keramikmatrix Energie aus
dem Beanspruchungsfeld eines fortschreitenden Risses absorbiert und diese Energie zu einer stabilen Phase in der
Keramik transformiert wie im Falle von teilweise stabilisiertem Zirconoxid. Die mechanische Zähigkeit des Keramikmaterials
kann auch erhöht werden, wenn eine stabile dispergierte Phase Energie von einem Beanspruchungsfeld absorbiert,
was die plastische Deformation oder die Rißableitung und Verzweigung durch die zweite Phase bewirkt.
Die bevorzugte MikroStruktur eines durch Dispersion zäh
gemachten Keramikmaterials oder einer Keramikzusammensetzung wird vorgesehen durch die Dispersion von Teilchen
(teilchenförmigen! Material) über die Keramikmatrix hinweg. Derartige Mikrostrukturen werden jedoch nicht
ohne weiteres durch die Verwendung konventioneller Pulvermisch- und Konsolidierungsverfahren erzeugt, und zwar
in erster Linie infolge der Tatsache, daß die dispergierten Teilchen typischerweise etwas größer sind als gewünscht
und eine gleichförmige Verteilung über die Matrix hinweg selten erreicht wird. Auch sind bei kovalent gebundenen
Verbindungen, wie beispielsweise den Nitriden und Carbiden, hohe Dichten oftmals schwer zu erreichen,
und zwar infolge der Sintereigenschaften dieser Materials lien.
ι Zusammenfassung der Erfindung. Das Hauptziel der vorlie-
** genden Erfindung besteht darin, eine durch Dispersion
zäh gemachte Keramikzusammensetzung vorzusehen, und zwar unter Verwendung eines chemischen Dampfabseheidungsprozesses,
wo die chemische Zusammensetzung als ein Überzug auf einem geeigneten Substrat abgeschieden wird. Der
Überzug umfaßt eine Matrixphase aus Siliciumcarbid mit einer intermetallischen Phase aus Titandisilicid gleichförmig
dispergiert innerhalb der Matrix.
Im allgemeinen wird das Verfahren zur Herstellung dieser Keramikzusammensetzung durch folgende Schritte vorgenommen:
Kontaktierung eines Substrats mit einer gasförmigen Mischung aus Methyltrichlorsilan, Titantetrachlorid und
einem Trägergas aus Wasserstoff, während das Substrat und die gasförmige Mischung auf eine Temperatur erhitzt
werden, die ausreicht, um das Methyltrichlorsilan und Titantetrachlorid zu zerlegen, um die gemeinsame Abscheidung
(codeposition) einer Matrixphase aus Siliciumcarbid
und einer dispergierten intermetallischen Phase aus Titandisilicid
zu bewirken. Der durch die Erfindung vorgesehene Zusammensetzungsüberzug zeigt einen beträchtlichen Zähigkeitsanstieg
gegenüber der Zähigkeit des Siliciumcarbids,
und zwar infolge des Vorhandenseins der dispergierten Phase aus Titandisilicid gleichförmig verteilt über die
Matrix hinweg. Ebenso können nahezu theoretische Dichten der zäh gemachten Keramikzusammensetzungen erhalten werden
ohne die Verwendung mechanischer Misch- oder Sinterhilfen.
Die keramische Zusammensetzung ist zäh mit dem Substrat durch den chemischen Dampfabscheidungsprozeß
verbunden, um so die Zusammensetzung mit hinreichender Integrität vorzusehen für bauliche Anwendungsfälle, die
eine Aussetzung gegenüber hohen Temperaturen und auch korrodierenden und abrasiven Umgebungen vorsehen.
Weitere Ziele der Erfindung wie die Verwendung von Molyb- ,
dän, Wolfram oder Niobsiliciden als die dispergierende *
Phase sind dem Fachmann offenbar nach dem Studium der vorliegenden Beschreibung und Ansprüche, und zwar ebenso
wie verschiedene Vorteile, die hier nicht im einzelnen erwähnt sein mögen.
Im folgenden wird die Erfindung im einzelnen beschrieben.
Wie bereits kurz oben erläutert, werden die erfindungsgemäßen Keramikzusammensetzungen hergestellt durch die
gemeinsame Abscheidung einer Siliciumcarbid (SiC)-Matrix, in der eine intermetallische Phase aus Titandisilicid
(TiSi2) gleichförmig verteilt oder dispergiert ist. Die
Matrix und die dispergierte Phase werden gemeinsam in einem konventionellen chemischen Dampfabscheidungssystem
abgeschieden. In einem solchen System wird ein Trägergas aus Wasserstoff durch einen Verdampfer geleitet, der
Methyltrichlorsilan (CH3SiCl3) enthält, um den Methyltrichlorsilan-Dampf
zum Ofen hin zu treiben. Dieser Strom
aus Wasserstoff-Methyltrichlorsilan ist seinerseits mit
einer zusätzlichen Menge an Wasserstoffträgergas und einem zweiten die Zusammensetzung bildenden Gas aus
Titantetrachlorid (TiCl4) gemischt. Die kombinierte Mischung wird sodann durch das Trägergas in den Ofen
geleitet, der sich auf einem Betriebsdruck von ungefähr 0,1 bis etwas mehr als 1,0 Atmosphäre befindet und in
dem ein geeignetes Substrat aufgehängt ist, um die Zersetzungsprodukte aufzunehmen, die sich durch die Zer-Setzung
oder Zerlegung von Methyltrichlorsilan und Titantetrachlorid ergeben. Der Ofen und das Substrat sind
auf eine Temperatur innerhalb des Bereichs von ungefähr 1200 bis 1500 0C erhitzt, um die Zerlegung von Reaktionsgasen zu bewirken, um die gemeinsame Abscheidung (Co-
deposition) von Siliciumcarbid und Titandisilicid auf dem Substrat zu bewirken. Wie bei der Verwendung normaler
chemischer Dampfabscheidungssysteme werden die vom Ofen abgegebenen Gase gereinigt, um die Reaktionsprodukte
zu entfernen.
Das Substrat, auf dem der Überzug aus Siliciumcarbid und
Titandisilicid abgeschieden wird, kann irgendein geeignetes Substrat sein, wie beispielsweise Siliciumcarbid,
Siliciumnitrid, Titannitrid, Graphit und Kohlenstoff-Kohlenstoff (carbon-carbon)-Zusammensetzungen.
Die zur Erzeugung des Zusammensetzungsüberzugs verwendete Zusammensetzung der gasförmigen Mischung wird gebildet
durch ungefähr 86 bis 95 % gasförmigen Wasserstoff, ungefähr 3 bis 10 % Methyltrichlorsilan und ungefähr 1 bis
4 % Titantetrachlorid. Die Morphologie des Überzugs kann
verändert werden durch Regulierung oder durch Abscheidung bei verschiedenen Temperaturen und durch Modifizierung der
Gaszusammensetzung innerhalb der zuvor genannten Bereiche.
Beispielsweise wird ein Keramikzusammensetzungsüberzug bei
353A563
einer Temperatur von ungefähr 1300 0C mit einer Bruchzähigkeit
von ungefähr 7,1 MPa ψτά abgeschieden; ein gemeinsam
abgeschiedener Zusammensetzungsüberzug bei 1400 0C ist mit einer Bruchzähigkeit von ungefähr
6,5 MPaYm vorgesehen. Die Dispersion von Titandisilicid
liefert ungefähr 15 bis 60 Gew.% der Keramikzusammensetzung.
Bei der Auswahl der Bestandteile zur Bildung der durch Dispersion zäh gemachten Keramikzusammensetzungen gemäß
der Erfindung wurden mehrere Materialien durch thermodynamische Analyse überprüft und als nicht annehmbar
bestimmt. Beispielsweise wurden die folgenden Verbindungen unter Verwendung von Siliciumcarbid als Matrix bildendem
Material untersucht: Chromtrifluoracetylacetonat [Cr(tfa)3], Nickeltrifluoracetylacetonat [Ni(tfa)2],
WIV, MoF, und TiCl. . Es wurde bestimmt, daß die Nickel
und Chrom enthaltenden organometallischen Verbindungen nicht als Quellen für Nickel und Chrom zur Bildung der
Keramikzusammensetzung geeignet sind, da die große in diesen Verbindungen vorhandene Menge an Kohlenstoff die
Abscheidung freien Kohlenstoffs im System bewirkte, was in beträchtlicher Weise von der gewünschten Härte des
Materials gemäß der Erfindung ablenkte. Große Mengen an Kohlenstoff vorhanden in den organometallischen Reaktionsverbindungen bewirkten ferner entweder das Vorhandensein
von freiem Kohlenstoff oder wenn die Reaktionsmittelkonzentrationen geändert wurden, um freien Kohlenstoff
zu vermeiden, so wurden nicht ausreichende Mengen der dispergierten Phasen Cr3C3 oder Ni erzeugt, um eine angemessene
Bruchzähigkeit in den Zusammensetzungen zu ergeben. Ferner haben sich die Fluoride von Wolfram und
Molybdän nicht geeignet herausgestellt, da das in diesen Verbindungen vorhandene Fluor mit dem Silicium reagiert
und so stabiles gasförmiges SiF- und SiF. bildet, was die
Abscheidung der erforderlichen Siliciumcarbidmatrix verhindert.
Auf Grund thermodynamischer Berechnungen des CH SiCl3-TiCl4-Systems
wurde erwartet, daß das TiC die stabile Form von Titan sein würde und daß das freie Silicium
sich aus dem Verlust von Kohlenstoff aus dem Siliciumcarbid ergeben würde. In solchen Berechnungen erzeugte
die Zugabe eines Kohlenwasserstoffs zu den Berechnungen
zur Erzeugung freien Kohlenstoffs stabile Bereiche von Siliciumcarbid und Titancarbid. überraschenderweise
jedoch ergaben Versuchsläufe durchgeführt ohne die Zugabe von überschüssigem Kohlenwasserstoff zwei Phasen
in der Abscheidung, wobei die erste Phase eine Siliciumcarbidmatrix
ist und die zweite Phase die intermetallische Verbindung Titandisilicid. Die thermodynamisehen
Werte für diese intermetallische Verbindung sind nicht bekannt, wurden aber durch die Berechnungen geschätzt.
Veränderungen in den experimentellen Bedingungen innerhalb der Berechnungen erzeugten niemals Titandisilicidabscheidungen.
Offenbar bewirkte die Kinetik der Reaktion die Bildung \on Titandisilicid wie in einer
metastabilen Phase.
Die Eigenschaften der erfindungsgemäßen SiC-TiSi3-Abscheidung
bieten beträchtliche Vorteile gegenüber überzügen gemäß dem Stand der Technik. Für überzüge mit Dicken
im Bereich von ungefähr 10 bis 300 μΐη wurden die Zähigkeitswerte
bestimmt durch Mikro-Indentation, d. h. Mikro-Eindrückung,
es ergab sich,daß die chemisch dampfabgeschiedenen
Keramikzusammensetzungen eine Bruchzähigkeit im Bereich von ungefähr 6,5 bis 7,1 MPa fm besitzen, was
einen beträchtlichen Anstieg gegenüber den Bruchzähigkeits-Werten von ungefähr 3,5 bis 4 MPa/Tn von Siliciumcarbid
bedeutet.
Um ein besseres Verständnis der Erfindung zu erleichtern, wird im folgenden ein Beispiel einer typischen Herstellung
einer Keramikzusammensetzung auf einem Siliciumcarbidsubstrat erläutert.
5
5
Eine gasförmige Mischung aus 92,8 % Wasserstoff, 4,9 % CH3SiCl3 und 2,3 % TiCl.wurde in einen Ofen eingeführt,
der ein Graphitsubstrat enthielt,und zwar ausgesetzt gegenüber einer Temperatur von 1400 0C, CH3SiCl3 und
TiCl4 werden thermisch zerlegt und bilden einen zusammengesetzten
überzug aus einer Siliciumcarbidmatrixphase und einer gleichförmig dispergierten Phase aus intermetallischem
TiSi-. Nach einer Zeitdauer von 120 Minuten war ein zusammengesetzter überzug mit einer Dicke von 290 μΐη
vorgesehen. Eine Bruchzähigkeit für den überzug wurde mit 7,1 MPa y^ bestimmt. Die dispergierte Phase von Titandisilicid
wurde gleichförmig über die Siliciumcarbidmatrix verteilt und der chemische Dampfabscheidungsprozeß
lieferte den überzug mit nahezu theoretischer Dichte, um so die zäh gemachte keramische Zusammensetzung zu
liefern.
Man erkennt, daß die vorliegende Erfindung eine verbesserte Keramikzusammensetzung vorsieht, die eine hinreichende
strukturelle Integrität besitzt, wo Oxidation, Abrieb und Erosionswiderstandsüberzüge erforderlich sind,
und zwar insbesondere bei Hochtemperaturanwendungsfallen,
wie sie in Energieumwandlungssystemen auftreten, dies
ist zum Beispiel der Fall bei Gasturbinen und Wärmemaschinen und auch bei Bauteilen, die Beanspruchungen ausgesetzt
sind, welche Brüche hervorrufen.
Zusammenfassend sieht die Erfindung folgenden vor:
Keramikzusammensetzungen mit erhöhter Bruchzähigkeit hergestellt durch die gleichzeitige gemeinsame Abscheidung
von Siliciumcarbid und Titandisilicid durch chemische Dampfabscheidung. Eine Mischung aus Wasserstoff,
Methyltrichlorsilan und Titantetrachlorid wird in einen Ofen eingeführt, der ein Substrat, wie beispielsweise
Graphit oder Siliciumcarbid enthält. Die thermische Zerlegung von Methyltrichlorsilan liefert eine Siliciumcarbidmatrixphase
und die Zerlegung von Titantetrachlorid liefert eine gleichförmig dispergierte zweite
Phase aus intermetallischem Titandisilicid innerhalb der Matrixphase.Die Bruchzähigkeit der keramischen Zusammen-Setzung
liegt im Bereich von ungefähr 6,5 bis 7,0 MPa VIn, was eine beträchtliche Erhöhung gegenüber dem Wert für
Siliciumcarbid bedeutet.
Claims (5)
1. Eine Keramikstruktur gebildet aus einem Substrat mit
einem Keramiküberzug darauf, wobei die Struktur gekennzeichnet ist durch die Tatsache, daß der Keramiküberzug
ein Zusammensetzungsüberzug ist vorgesehen durch eine Matrixphase aus Siliciumcarbid und einer
intermetallischen Phase aus Titandisilicid gleichförmig dispergiert mit der Siliciumcarbidmatrix und
vorsehend ungefähr 15 bis 60 Gew.% des Zusammensetzungsüberzugs, wobei der Zusammensetzungsüberzug
eine Dicke im Bereich von ungefähr 10 bis 300 μπι aufweist
und wobei ferner der Zusammensetzungsüberzug eine Bruchzähigkeit im Bereich von ungefähr 6,5 bis
7,0 MPa \fm besitzt.
2. Verfahren zur Herstellung einer Keramikstruktur versehen mit einem Keramikzusammensetzungsüberzug darauf
ausgebildet durch chemische Dampfabscheidung, wobei folgende Schritte vorgesehen sind: Kontaktierung eines
Substrats mit der gasförmigen Mischung aus Methyl-
trichlorsilan, Titantetrachlorid und dem Trägergas aus Wasserstoff und Erhitzung des Substrats und der
gasförmigen Mischung auf eine Temperatur ausreichend zur thermischen Zersetzung des Methyltrichlorsilans
und des Titantetrachlorids, um die gemeinsame Abscheidung einer Matrixphase aus Siliciumcarbid und
einer dispergierten intermetallischen Phase aus Titandisilicid zu bewirken.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur im Itereich von ungefähr 1200 bis
1500 0C liegt.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die gasförmige Mischung ungefähr 3 bis 10 Vol.%
Methyltrichlorsilan, ungefähr 1 bis 4 Vol.% Titantetrachlorid und den Rest Wasserstoff enthält.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die gemeinsame Abscheidung für
eine hinreichende Zeitdauer aufrechterhalten bleibt, um einen überzug mit einer Dicke im Bereich von
ungefähr 10 bis 300 μΐη vorzusehen.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/655,488 US4598024A (en) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | Dispersion toughened ceramic composites and method for making same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3534563A1 true DE3534563A1 (de) | 1986-04-03 |
Family
ID=24629090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853534563 Withdrawn DE3534563A1 (de) | 1984-09-28 | 1985-09-27 | Durch dispersion zaeh gemachte keramikzusammensetzungen und verfahren zu deren herstellung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4598024A (de) |
JP (1) | JPS6186487A (de) |
DE (1) | DE3534563A1 (de) |
FR (1) | FR2571063A1 (de) |
GB (1) | GB2164955B (de) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4598024A (en) * | 1984-09-28 | 1986-07-01 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Dispersion toughened ceramic composites and method for making same |
US5362567A (en) * | 1986-02-06 | 1994-11-08 | Aerotherm Corporation | Carbon-carbon composite and method of preparation |
US4723363A (en) * | 1986-12-29 | 1988-02-09 | Motorola Inc. | Process for removal of water |
FR2614321A1 (fr) * | 1987-04-27 | 1988-10-28 | Europ Propulsion | Cartouche en materiaux composites pour dispositif d'elaboration de monocristaux. |
DE3811907C1 (de) * | 1988-04-09 | 1989-08-03 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De | |
US4929328A (en) * | 1989-03-07 | 1990-05-29 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Titanium diboride ceramic fiber composites for Hall-Heroult cells |
US5445887A (en) * | 1991-12-27 | 1995-08-29 | Casti; Thomas E. | Diamond coated microcomposite sintered body |
US5300322A (en) * | 1992-03-10 | 1994-04-05 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Molybdenum enhanced low-temperature deposition of crystalline silicon nitride |
US5840436A (en) * | 1992-06-08 | 1998-11-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Spalling-resistant, creep-resistant and oxidation-resistant setters |
US5843533A (en) * | 1995-03-23 | 1998-12-01 | Lockheed Martin Energy Systems, Inc. | CVD method of forming self-lubricating composites |
JPH11354260A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 複層セラミックスヒータ |
US7951459B2 (en) * | 2006-11-21 | 2011-05-31 | United Technologies Corporation | Oxidation resistant coatings, processes for coating articles, and their coated articles |
CN113278250A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-08-20 | 上海凌云工业科技有限公司凌云汽车技术分公司 | 一种Ti3SiC2陶瓷增强复合材料的制备方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4039997A (en) * | 1973-10-25 | 1977-08-02 | Trw Inc. | Resistance material and resistor made therefrom |
US4598024A (en) * | 1984-09-28 | 1986-07-01 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Dispersion toughened ceramic composites and method for making same |
-
1984
- 1984-09-28 US US06/655,488 patent/US4598024A/en not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-09-16 GB GB08522877A patent/GB2164955B/en not_active Expired
- 1985-09-25 JP JP60213615A patent/JPS6186487A/ja active Granted
- 1985-09-27 FR FR8514352A patent/FR2571063A1/fr active Pending
- 1985-09-27 DE DE19853534563 patent/DE3534563A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0513109B2 (de) | 1993-02-19 |
GB2164955A (en) | 1986-04-03 |
GB8522877D0 (en) | 1985-10-23 |
FR2571063A1 (fr) | 1986-04-04 |
US4598024A (en) | 1986-07-01 |
GB2164955B (en) | 1987-12-31 |
JPS6186487A (ja) | 1986-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69515703T2 (de) | Grenzflächen-beschichtung für keramische fiber | |
DE69531552T2 (de) | Schutzzusammensetzung sowie verfahren zu deren herstellung | |
DE68911443T2 (de) | Mit Kohlenstoffasern bewehrtes Verbundmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung. | |
DE69420741T3 (de) | Dichtes, selbstgesintertes silicumcarbid/kohlenstoff-graphitkomposit und verfahren zur herstellung desselben | |
DE3534563A1 (de) | Durch dispersion zaeh gemachte keramikzusammensetzungen und verfahren zu deren herstellung | |
DE3785408T2 (de) | Herstellung von keramischen und metallkeramischen verbundkoerpern mit oberflaechenbeschichtungen. | |
DE69005316T2 (de) | Verfahren zur Modifizierung eines keramischen Verbundwerkstoffkörpers durch eine Nachbehandlung und so hergestellte Gegenstände. | |
DE4113061A1 (de) | Verbundmaterial und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2431448B2 (de) | Verfahren zum beschichten eines substrates mit einem nitrid oder carbid von titan oder zirkonium durch reaktives aufdampfen | |
EP1902155A1 (de) | Hartstoffbeschichtete körper und verfahren zu deren herstellung | |
DE69805924T2 (de) | CVD-Verfahren zum Herstellen einer mehrlagigen Beschichtung auf Ti-Al-N Basis | |
DE69007568T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Kohlenstoffwerkstoffs. | |
DE69330052T2 (de) | Ultrahartes folienbeschichtetes material und dessen herstellung | |
DE3931767C2 (de) | Beschichtete Artikel aus Kohlenstoff und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE1951359B2 (de) | Verfahren zum Überziehen eines Trägermaterials mit einem Metall-Karbonitrid | |
DE69324767T2 (de) | Oxidationsbeständiger Kohlenstoff-Kohlenstoff Verbundstoff mit SiC-dotierter Matrix und dessen Herstellungsverfahren | |
DE69305094T2 (de) | Antioxydierungsschutz für ein kohlenstoffhaltiges material | |
EP0798402B1 (de) | Oxidationsschutzschicht | |
DE69402827T2 (de) | Temperaturbeständige verbundwerkstoffbauteile und verfahren zu ihrer herstellung | |
DE69620577T2 (de) | Chemische abscheidung von mullitschichten und mullitpulvern aus der gasphase | |
DE3426911C2 (de) | ||
DE69008140T2 (de) | Kohlefaserverstärktes Verbundmaterial. | |
DE3907693C2 (de) | ||
DE4438625C2 (de) | Umwandlungsdeckschichten auf Keramiken und deren Verwendung | |
EP0425056A1 (de) | Verfahren zur Abscheidung mikrokristalliner Festkörperpartikel aus der Gasphase mittels Chemical Vapour Deposition (CVD) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |