DE3531904C2 - Lateral-Shearing-Interferometer zur Phasendifferenzmessung von zwei Wellenflächen konstanter Phase - Google Patents

Lateral-Shearing-Interferometer zur Phasendifferenzmessung von zwei Wellenflächen konstanter Phase

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4413758A1 (de) * 1993-04-21 1994-12-08 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung für die Topographieprüfung von Oberflächen
CN102519609A (zh) * 2011-12-13 2012-06-27 中国科学院光电研究院 双通道横向剪切干涉仪

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4887899A (en) * 1987-12-07 1989-12-19 Hung Yau Y Apparatus and method for electronic analysis of test objects
GB0402941D0 (en) 2004-02-11 2004-03-17 Qinetiq Ltd Surface shape measurement
US11896303B2 (en) 2017-07-14 2024-02-13 Wavesense Engineering Gmbh Optical apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3572934A (en) * 1968-09-09 1971-03-30 Ibm Longitudinally reversed shearing interferometry
US3661464A (en) * 1970-03-16 1972-05-09 Jorway Corp Optical interferometer

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4413758A1 (de) * 1993-04-21 1994-12-08 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung für die Topographieprüfung von Oberflächen
DE4413758C2 (de) * 1993-04-21 1998-09-17 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung der Gestalt einer Oberfläche eines zu vermessenden Objektes
CN102519609A (zh) * 2011-12-13 2012-06-27 中国科学院光电研究院 双通道横向剪切干涉仪

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