DE3531460A1 - Verfahren und vorrichtung zum messen der dicke einer plattierten schicht - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum messen der dicke einer plattierten schichtInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title abstract 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title abstract 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18423584A JPS6161003A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | X線によるメツキ層の厚さ測定方法、及び測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3531460A1 true DE3531460A1 (de) | 1986-03-13 |
Family
ID=16149738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853531460 Withdrawn DE3531460A1 (de) | 1984-09-03 | 1985-09-03 | Verfahren und vorrichtung zum messen der dicke einer plattierten schicht |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6161003A (enrdf_load_stackoverflow) |
DE (1) | DE3531460A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8725741D0 (en) * | 1987-11-03 | 1987-12-09 | Secretary Trade Ind Brit | Control of pyrometallurgical processes |
US5754621A (en) * | 1993-03-15 | 1998-05-19 | Hitachi, Ltd. | X-ray inspection method and apparatus, prepreg inspecting method, and method for fabricating multi-layer printed circuit board |
JPH10267628A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-10-09 | Hitachi Ltd | 3次元形状検出方法およびその装置並びに基板の製造方法 |
JP2015158398A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | セイコーエプソン株式会社 | 実装基板 |
CN114047213A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-02-15 | 马鞍山钢铁股份有限公司 | 一种x射线荧光法测定锌层重量的方法 |
-
1984
- 1984-09-03 JP JP18423584A patent/JPS6161003A/ja active Granted
-
1985
- 1985-09-03 DE DE19853531460 patent/DE3531460A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0253723B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-11-19 |
JPS6161003A (ja) | 1986-03-28 |
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