DE3511179C2 - - Google Patents

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DE3511179C2
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Koordinaten-Meßin­ strument der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genann­ ten Art.
Bei einem solchen, aus der DE-OS 32 08 412 bekannten Koordinaten-Meßinstrument sind drei und den jeweiligen X-, Y- und Z-Achsen zugeordnete Antriebsmotore der An­ triebsvorrichtung an entsprechenden Schlitten bzw. Trä­ gern der Führungsvorrichtung befestigt, um den Meßfühler parallel und vertikal zur Oberfläche der Werkstückauflage bewegen zu können. Der Meßfühler ist dabei an einem der Schlitten unmittelbar befestigt, der in der Bewegungsket­ te den letzten Schlitten bildet. Infolge der unmittelba­ ren Verbindung von Antriebsvorrichtung, Bewegungseinrich­ tung und Führungsvorrichtung müssen alle diese Teile mit einer sehr hohen Präzision gefertigt und montiert sein, um die angestrebte Meßgenauigkeit erzielen zu können.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Koordinaten-Meßinstru­ ment der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 genannten Art so weiterzubilden, daß die angestrebte hohe Meßgenauigkeit auch mit Hilfe einer relativ einfachen, d. h. ohne hohe Präzision zu fertigenden und montierenden Antriebsvorrichtung zu erreichen ist.
Bei einem Koordinaten-Meßinstrument der genannten Art ist diese Aufgabe durch die im kennzeichnenden Teil des Pa­ tentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Das erfindungsgemäße Koordinaten-Meßinstrument zeichnet sich dadurch aus, daß die Antriebsvorrichtung mechanisch vollständig getrennt von dem Meßfühler und der diesen führenden Führungsvorrichtung ausgebildet und auf der Aufstellungsbasis gelagert ist, so daß nur eine bewe­ gungsübertragende und lösbare Verbindung zwischen Meßfüh­ ler und Antriebsvorrichtung besteht, die den Meßfühler in der jeweils gewünschten Weise bewegt, wobei dieser unab­ hängig von der Antriebsvorrichtung in der Führungsvor­ richtung geführt ist. Diese Führungsvorrichtung wird als solche von den Antriebsmotoren der Antriebsvorrichtung nicht belastet oder in anderer Weise beeinflußt, so daß die Teile der Führungsvorrichtung mit hoher Präzision und trotzdem relativ leicht ausgebildet werden können, da sie die Antriebsmotoren nicht tragen müssen.
Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung erläutert. Im einzelnen zeigen
Fig. 1 bis 5 ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei:
Fig. 1 eine perspektivische Gesamtansicht,
Fig. 2 eine Seitenansicht zur Verdeutlichung der we­ sentlichen Teile der Antriebsvorrichtung,
Fig. 3 einen vergrößerten Schnitt zur Verdeutlichung der Verbindung zwischen einem Schwenkarm und einem Verbindungsarm,
Fig. 4 ein Blockschaltbild zur Verdeutlichung der elek­ trischen Schaltung und
Fig. 5 ein Flußdiagramm zur Verdeutlichung der Verarbei­ tungsschritte einer Datenverarbeitungseinheit und einer Roboterbetätigungsbefehlseinheit für die Antriebsvorrichtung zeigen, und
Fig. 6 eine schematische perspektivische Ansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels der Erfindung.
Fig. 1 zeigt ein dreidimensionales Meßinstrument. Auf der oberen Fläche einer Aufstellungsbasis 1 ist eine dreidimensionale Führungsvorrichtung 2 und eine fernge­ steuerte Antriebsvorrichtung 4 vorgesehen, die unabhängig von der Führungsvorrichtung 2 vorgesehen ist. Die An­ triebsvorrichtung 4 ist in Abhängigkeit von einem Betäti­ gungsbefehl einer Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 be­ treibbar. Zusätzlich werden die gemessenen Daten, die mittels der Führungsvorrichtung 2 gemessen werden, an eine Datenverarbeitungseinheit 5 abgegeben, in der die gemessenen Daten verarbeitet werden. Anschließend werden sie als ein Wert ausgegeben, der die Abmessungen oder die Form eines zu messenden Werkstücks angibt.
Die Führungsvorrichtung 2 weist an gegenüberliegenden Seiten einer Werkstückauflage 12, auf der das Werkstück 11 aufliegt, auf Führungsschienen 13 gelagerte Stützen 14 auf, die in Längsrichtung der Werkstückauflage 12 (in Richtung der Y-Achse) zusammen mit einem horizontalen Träger 15 bewegbar sind. Auf dem Träger 15 gleitet ein Schlitten 16, der in Querrichtung der Werkstückauflage 12 (in Richtung der X-Achse) bewegbar ist. Am bodenseitigen Ende des Schlittens 16 ist eine Fühlerwelle 18, die einen Meßfühler 17 als Detektorelement trägt, in vertikaler Richtung der Werkstückauflage 12 (in Richtung der Z-Achse) bewegbar. Dadurch kann eine Bewegungseinrichtung 19, die aus den Stützen 14, dem Schlitten 16 und der Füh­ lerwelle 18 besteht, den Meßfühler 17 in drei Richtungen mit einer relativ geringen Kraft unter Verwendung eines Luftlagers bewegen. Wenn bei dieser Anordnung während der Bewegung des Meßfühlers 17 dieser mit dem Werkstück 11 in Berührung kommt, werden die Positionen der Stützen 14 auf der Y-Achse, eine Position des Schlittens 16 auf der X-Achse und eine Position der Fühlerwelle 18 auf der X-Achse an die Datenverarbeitungseinheit 5 abgegeben. Die gemessenen Werte werden digital angezeigt.
Nach Fig. 2 enthält die Antriebsvorrichtung 4 folgendes:
eine Säule 21, die sich in Richtung von einer Basis 20 nach oben erstreckt, die auf der oberen Fläche der Auf­ stellungsbasis 1 befestigt ist; einen vertikal bewegli­ chen Block 23, der auf der Säule 21 gelagert und von einem ersten Antriebsmotor 22 in Richtung der Z-Achse be­ wegbar ist. Zwei linear bewegliche stangenförmige Ein­ richtungen 25 sind auf dem vertikal beweglichen Block 23 vorgesehen, die parallel zueinander angeordnet und von einem zweiten Antriebsmotor 24 in Richtung der Y-Achse bewegbar sind. Eine Welle 27 ist an den Enden der beiden stangenförmigen Einrichtungen 25 parallel zur Z-Achse vorgesehen und von einem dritten Antriebsmotor 26 dreh­ bar. Ein Schwenkarm 28 ist an der Welle 27 befestigt und ein Verbindungsarm 29 verbindet das vordere Ende des Schwenkarms 28 und die Fühlerwelle 18, an der der Meßfüh­ ler 17 angeordnet ist.
Der Verbindungsarm 29 ist an seinem Ende mit der Fühler­ welle 18 über eine Einstellschraube 30 fest verbunden und am anderen Ende mit dem Schwenkarm 28 derart drehbeweg­ lich verbunden, daß er über eine Verbindungswelle 31 und ein Lager 32 (s. Fig. 3) schwenkbar ist. Durch diese An­ ordnung kann der Meßfühler 17 in drei Richtungen durch Betätigung der Antriebsvorrichtung 4 über die Bewegungs­ einrichtung 19 bewegt werden.
Fig. 4 zeigt eine Schaltung für dieses Meßinstrument. Ein X-Achsen-Verschiebungsdetektor 41 ermittelt einen Verschiebungsweg des Schlittens 16 in Richtung der X-Achse, d. h. einen Verschiebungsweg des Meßfühlers 17 in Richtung der X-Achse. Ein Y-Achsen-Verschiebungsdetektor ermittelt einen Verschiebungsweg einer der Stützen 14 in Richtung der Y-Achse, d. h. einen Verschiebungsweg des Meßfühlers 17 in Richtung der Y-Achse. Ein Z-Achsen-Verschiebungsdetektor 43 ermittelt einen Ver­ schiebungsweg der Fühlerwelle 18 in Richtung der Z-Achse, d. h. einen Verschiebungsweg des Meßfühlers 17 in Richtung der Z-Achse. Die so gemessenen Daten des Meßfühlers 17 in den Richtungen der X-, Y- und Z-Achsen, die durch die Verschiebungsdetektoren 41, 42 und 43 ermittelt wurden, werden, wenn ein Meßelement 17 A des Meßfühlers mit dem Werkstück 11 in Berührung kommt und dadurch ein Berüh­ rungssignal von dem Meßfühler 17 an die Datenverarbeitungseinheit 5 gegeben wird, ebenfalls in die Datenverarbeitungseinheit 5 eingelesen.
Die Datenverarbeitungseinheit 5 hat einen Meßschrittprogrammspeicher 44 zum Speichern eines Meß­ schrittprogramms, das mehrere vorgegebene Meßschritte um­ faßt. Zusätzlich sind Speicher zum Speichern der von den Verschiebungsdetektoren 41, 42 und 43 gelieferten Meßda­ ten und ein Speicher zum Speichern des Ermittlungsverfahrensprogramms vorgesehen. Die Datenverarbeitungseinheit 5 führt die Arbeits- und Meß­ schritte gemäß dem Flußdiagramm, das links von der strichpunktierten Linie in Fig. 5 gezeigt ist, nach Maß­ gabe des Meßschrittprogramms aus.
Die Datenverarbeitungseinheit 5 gibt einen Schritteinlei­ tungsbefehl SEC an die Roboterbetätigungsbefehlseinheit 1 in Abhängigkeit von dem Meßschrittprogramm, das im Meßschrittprogrammspeicher 44 gespeichert ist, wobei die Antriebsvorrichtung 4 eine bestimmte Betriebsweise in Ab­ hängigkeit von dem Befehl von der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 ausführt. Wenn während dieses Arbeitsvorganges eine bestimmte Anzahl von Meßda­ ten von den Verschiebungsdetektoren 41, 42 und 43 einge­ geben werden, führt die Datenverarbeitungseinheit 5 Er­ mittlungen auf der Basis dieser Meßdaten aus und an­ schließend wird ein Einleitungsbefehl für den darauffol­ genden Schritt an die Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 abgegeben. Diese Vorgehensweise wird bei allen Schritten des Meßschrittprogramms wiederholt.
Die Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 enthält folgende Teile: eine Motorantriebseinrichtung 51 zum Antreiben des Z-Achsenantriebsmotors 22, des Y-Achsenantriebsmotors 24 und des dritten Antriebsmotors 26; eine Bewegungs- bzw. Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 zum Speichern eines Verschiebungsweges der Antriebsvorrichtung 4, d. h. eines Verschiebungsweges des Meßfühlers 17; eine Funktionsbefehlseinrichtung 53 zum Antreiben des Z-Achsen-Antriebsmotors 22, des Y-Achsen-Antriebsmotors 24 und des Antriebsmotors 26 aufgrund der Verschiebungs­ wegdaten, die in der Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 gespeichert sind, wenn der Schritteinleitungsbefehl SEC von der Datenverarbeitungseinheit 5 geliefert wird; einen Steuerknüppel 50 zum manuellen Antreiben des Z-Achsenantriebsmotors 22, des Y-Achsen-Antriebsmotors 24 und des eine Schwenkbewegung ausführenden dritten An­ triebsmotors 26 über die Motorantriebseinrichtung 51. In die Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 und die Funktionsbefehlseinrichtung 53 wird folgendes eingegeben:
Positionsdaten von einem Z-Achsen-Positionsdetektor 54 zum Ermitteln einer Position in Richtung der Z-Achse des vertikal beweglichen Blocks 23, der in vertikaler Rich­ tung durch den Z-Achsen-Antriebsmotor 22 bewegbar ist; Positionsdaten von einem Y-Achsen-Positionsdetektor 55 zum Ermitteln der Positionen in Richtung der Y-Achse der linear beweglichen stangenförmigen Einrichtungen 25, die durch den Y-Achsen-Antriebsmotor 24 bewegbar sind; und Winkeldaten von einem R-Winkeldetektor 56 zum Ermitteln eines Schwenk- bzw. Drehwinkels des Schwenkarms 28, der durch den dritten Antriebsmotor 26 zur Ausführung einer Schwenkbewegung angetrieben ist.
Nachstehend wird das Meßverfahren bei dieser Ausführungs­ form erläutert. Bei der Durchführung der Messung wird zu­ erst die Antriebsvorrichtung 4 unter Steuerung des Steuerknüppels 50 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 betätigt und der Meßfühler 17 wird nach Maßgabe des Meß­ schrittprogramms bewegt. Dann werden in der Bewegungswegspeichereinrichtung 52 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 nacheinander die Posi­ tionsdaten der Antriebsvorrichtung 4 gespeichert, die für die jeweiligen Bewegungen des Meßfühlers 17 erhalten wer­ den, d. h. die Positionsdaten in Richtung der Z-Achse, er­ faßt durch den Z-Achsen-Positionsdetektor 54, die Posi­ tionsdaten in Richtung der Y-Achse, erfaßt durch den Y-Achsen-Positionsdetektor 55 und die Winkeldaten, erfaßt durch den R-Winkeldetektor 56. Kurz gesagt, wird der Verschiebungs- bzw. Bewegungsweg der Antriebsvorrichtung 4 bei der Bewegung des Meßfühlers 17 nach Maßgabe des Meßschrittprogramms in der Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 gespeichert. Wenn dieses bei allen Schritten des Meßschrittprogramms durch­ geführt wurde, das im Meßschrittprogrammspeicher 44 ge­ speichert ist, ist in der Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 der Verschiebungs­ weg der Antriebseinrichtung 4 entsprechend den jeweiligen Schritten des Meßschrittprogramms gespeichert.
Wie vorstehend angegeben, ist der Verschiebungsweg der Antriebsvorrichtung 4 entsprechend dem Meßschrittprogramm in der Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 gespeichert und an­ schließend erfolgt die Messung.
Die Messung erfolgt entsprechend dem Programmablauf im Flußdiagramm nach Fig. 5. Wenn die Datenverarbeitungseinheit 5 auf eine Meßbetriebsweise eingestellt ist, erfolgt die Verarbeitungsvorbereitung sowohl für die Datenverarbeitungseinheit 5 als auch für die Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3. Der Datenverarbeitungseinheit 5 wird ein erster Schritt des Meßschrittprogramms befohlen, das im Meßschrittprogrammspeicher 44 gespeichert ist, d. h. es wird eine erste Messung ausgeführt, und ein dieser Meß­ aufgabe entsprechender Schritteinleitungsbefehl SEC wird der Funktionsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 zugrunde gelegt.
Wenn der Schritteinleitungsbefehl SEC 1 von der Datenverarbeitungseinheit 5 abgegeben wird, liest die Funktionsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 die Bewegungsdaten entsprechend dem Schritteinleitungsbefehls SEC 1 aus der Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 aus und der Z-Achsen-Antriebsmotor 22, der Y-Achsen-Antriebsmotor 24 und der Antriebsmotor 26 werden über die Motorantriebs­ einrichtung 51 nach Maßgabe dieser Bewegungsdaten an­ getrieben. Dadurch wird der Meßfühler 17 von der An­ triebseinrichtung 4 bewegt. Wenn bei dieser Bewegung des Meßfühlers 17 dieser mit dem Werkstück 11 in Berührung kommt, wird das Berührungssignal an die Datenverarbeitungseinheit 5 abgegeben. Zu diesem Zeit­ punkt befinden sich in der Datenverarbeitungseinheit 5 Positionsdaten in Richtung der X-Achse, erfaßt durch den X-Achsen-Verschiebungsdetektor 41, Positionsdaten in Richtung der Y-Achse, erfaßt durch den Y-Achsen-Verschiebungsdetektor 42, und Positionsdaten in Richtung der Z-Achse, erfaßt durch den Z-Achsen-Verschiebungsdetektor 43.
Wenn eine vorbestimmte Anzahl von Meßdaten angegeben durch die X-, Y- und Z-Achsen-Verschiebungsdetektoren 41, 42 und 43 eingegeben wurde, ermittelt die Datenverarbeitungseinheit 5 eine Abmessung des Werkstücks 11 aufgrund dieser Meßdaten und das Ermittlungsergebnis wird beispielsweise durch einen Drucker od. dgl. ausgege­ ben. Nach Beendigung der Ermittlung wird ein zweiter Schritt aus dem Meßschrittprogramm ausgelesen, das in dem Meßschrittprogrammspeicher 44 gespeichert ist, d. h. es wird eine zweite Messung eingeleitet und es wird ein zweiter Schritteinleitungsbefehl SEC 2 der Funktionsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 zugeführt.
Wenn der Schritteinleitungsbefehl SEC 2 von der Datenverarbeitungseinheit 5 ausgegeben wird, liest die Funktionsbefehlseinrichtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 die Verschiebungsweg­ daten entsprechend dem Schritteinleitungsbefehl SEC 2 aus der Verschiebungswegspeichereinrichtung 52 aus und der Z-Achsen-Antriebsmotor 22, der Y-Achsen-Antriebsmotor 24 und der dritte Antriebsmotor 26 werden über die Motoran­ triebseinrichtung 51 nach Maßgabe dieser Verschiebungs­ wegdaten angetrieben.
Wie vorstehend angegeben ist, erfolgt die Messung automa­ tisch bei allen Schritten des Meßschrittprogramms. Folg­ lich wird bei dieser Ausführungsform der Meßfühler 17 durch die Antriebsvorrichtung 4 automatisch bewegt, die unabhängig von der dreidimensionalen Führungsvorrichtung 2 vorgesehen ist.
Ferner wird die Antriebseinrichtung 4 nach Maßgabe der Bewegungsdaten betätigt, die in der Verschiebungsweg­ speichereinrichtung 52 der Roboterbetätigungsbefehls­ einheit 3 gespeichert sind, so daß die die Messung durch­ führende Person nicht die Teile der Messung und die Schritte bei jedem zu messenden Werkstück wie bei einem manuell betreibbaren Meßinstrument im Gedächtnis zu be­ halten braucht. Wenn die erste Betätigung der Antriebs­ einrichtung 4 ausgeführt wurde und der dabei ausgeführte Verschiebungsweg in der Verschiebungswegspeichereinrich­ tung 52 gespeichert ist, kann die weitere Arbeitsweise automatisch, d. h. von einer nicht besonders geschulten Bedienungsperson ausgeführt werden.
Zur Betätigung der Antriebsvorrichtung 4 ist es nur erforderlich, daß die Datenverarbeitungseinheit 5 den Schritteinleitungsbefehl SEC der Funktionsbefehlsein­ richtung 53 der Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 lie­ fert. Kurz gesagt, brauchen nur die Datenverarbeitungs­ einheit 5 und die Roboterbetätigungsbefehlseinheit 3 miteinander über den Schritteinleitungsbefehl SEC ver­ bunden zu sein.
Es reicht aus, die Antriebsvorrichtung 4 mit einer Genau­ igkeit eines zulässigen Überhubs (= 10 bis 5 mm) des Meß­ fühlers 17 zu positionieren, so daß keine hochwertige An­ triebsvorrichtung erforderlich ist. Kurz gesagt, der Meß­ fühler 17 ist derart beschaffen und ausgelegt, daß ein Überhub in dem vorstehend angegebenen Bereich zulässig ist und daß der Meßfühler 17 automatisch unter diesen Be­ dingungen zu einer vorbestimmten Lage zurückkehrt. Ein solcher, dem Meßinstrument eigener Vorteil tritt selbst dann auf, wenn der Meßfühler 17 bestimmte Grenzwerte überfährt. Es tritt kein Meßfehler auf, da die Meßdaten in Abhängigkeit von dem Berührungssignal gesammelt wer­ den, das erst zum Berührungszeitpunkt erzeugt wird.
Die Bewegungseinrichtung 19 muß auf der Seite der drei­ dimensionalen Führungsvorrichtung 2 nicht notwendigerwei­ se die vorstehend beschriebene und gezeigte Ausbildung haben. Diese Bewegungseinrichtung muß nur den Meßfühler 17 mit einer relativ leichten Kraft in drei Richtungen bewegen können. Anstelle der gezeigten Antriebsvorrich­ tung 4 kann irgendeine Einrichtung vorgesehen werden, die die Bewegungseinrichtung 19 in drei Richtungen bewegen kann.
Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform befindet sich eine Nadel am vorderen Ende der Antriebsvorrichtung 4 in Eingriff mit einem Abschnitt der Fühlerwelle 18 in der Nähe des Meßfühlers 17. Jedoch kann der Eingriffszu­ stand auch durch den Meßfühler 17 oder an einer beliebi­ gen Position der Fühlerwelle 18 hergestellt werden. Wenn beispielsweise nach Fig. 6 ein Ende des Verbindungsarms 29 am vorderen Ende der Antriebsvorrichtung 4 mit dem oberen Ende der Fühlerwelle 18 in Eingriff ist, liegen die zugeordneten Arme der Antriebsvorrichtung 4 nicht an dem Werkstück 11 an, so daß der effektive Meßbereich nicht eingeschränkt ist. Bei dieser Auslegung kann die Antriebsvorrichtung 4 an der Seite der Führungsvorrich­ tung 2 angeordnet werden, so daß der freie Raum an der Werkstückauflage 12 in Längsrichtung konstant gehalten werden kann.
Die jeweiligen Antriebe für die Antriebsvorrichtung 4 brauchen nicht notwendigerweise die beim Ausführungsbei­ spiel beschriebenen Motore zu sein, sondern es können auch andere Antriebe, wie hydraulische oder pneumatische zur Anwendung kommen, die eine zwei- oder dreidimensio­ nale Verschiebung des Meßfühlers bewirken.
Ferner braucht das Meßfühlerelement nicht notwendigerweise auf einen Berührungssignal-Meßfühler 17 der angegebenen Art beschränkt zu sein, sondern es kann auch ein berüh­ rungsloses optisches Meßfühlerelement verwendet werden.

Claims (4)

1. Koordinaten-Meßinstrument
mit einem Meßfühler zum Erzeugen eines Signals bei Berührung mit einem Meßpunkt eines zu vermessenden und auf einer Werk­ stückauflage einer Aufstellungsbasis aufliegenden Werk­ stückes,
mit einer eine Bewegungseinrichtung umfassenden Führungsvor­ richtung zum Führen des Meßfühlers in Richtungen parallel und vertikal zur Oberfläche der Werkstückauflage,
mit wenigstens zwei an der Führungsvorrichtung befestigten Verschiebungsdetektoren zum Erzeugen von Signalen, die die Lage des Meßpunktes darstellen, und
mit einer Antriebsvorrichtung zum Bewegen des Meßfühlers, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsvorrichtung (4) mit Ausnahme einer Verbindung (28, 29) im Bereich des Meßfühlers (17) mechanisch getrennt von der Führungsvorrichtung (2) ausgebildet und auf der Aus­ stellungsbasis (1) festgelegt ist.
2. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Verbindung (28, 29) zwischen der An­ triebsvorrichtung (4) und dem Meßfühler (17) lösbar ist.
3. Koordinaten-Meßinstrument nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsvorrichtung (4) folgende Merkmale aufweist:
eine Säule 21), die auf der Aufstellungsbasis (1) so befe­ stigt ist, daß sie den Meßbereich nicht beeinträchtigt,
einen Block (23), der auf der Säule (21) von einem ersten Antriebsmotor (22) vertikal beweglich ist,
eine in dem Block (23) linear beweglich gelagerte Einrich­ tung (25), die von einem zweiten Antriebsmotor (24) parallel zur Oberfläche der Werkstückauflage (12) bewegbar ist,
einen Schwenkarm (28), der schwenkbeweglich an der linear beweglichen Einrichtung (25) gelagert und von einem dritten Antriebsmotor (26) bewegbar ist, und
einen Verbindungsarm (29), der den Schwenkbarm (28) mit der Bewegungseinrichtung (19) verbindet.
4. Koordinaten-Meßinstrument nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungseinrichtung (19) der Führungsvorrichtung (2) folgende Merkmale aufweist:
ein Paar von in Richtung der Y-Achse bewegbaren Stützen (14),
einen in Richtung der X-Achse längs eines sich zwischen den Stützen (14) erstreckenden Trägers (15) bewegbaren Schlitten (16) und
eine im Schlitten (16) vorgesehene, in Richtung der Z-Achse bewegbare Fühlerwelle (18).
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