DE3446612A1 - Piezoelektrischer resonator - Google Patents
Piezoelektrischer resonatorInfo
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
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- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen piezoelektrischen Resonator gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf einen flachen piezoelektrischen Resonator, der automatisch hergestellt
werden kann und dabei in hohem Maße luftdicht ist.
Ein Resonator, der die piezoelektrischen Eigenschaften eines
kristallinen Körpers ausnutzt, insbesondere ein Quarzresonator, hat - allgemein gesprochen - extrem günstige Eigenschaften,
Folglich werden Quarzresonatoren in großer Anzahl verwendet, beispielsweise in Telekommunikationsgeräten, die eine sehr
stabile Resonanzfrequenz benötigen.
Fig. 1 zeigt eine Vorderansicht eines herkömmlichen Quarzresonators, der ein Paar von Zufuhrdrähten 1 aufweist,
die elektrisch isoliert eine Grundplatte 2 durchdringen. Die gepaarten Zufuhrdrähte 1 sind an dem
inneren Ende in Form eines Bügels umgebogen, um die Kante einer Quarzplatte 3 zu halten. Die Quarzplatte
ist unter einem vorgegebenen Winkel zur Kristallachse geschnitten, entsprechend der gewünschten Resonanz-Mode
und weist die Form einer Platte auf. Auf die Oberfläche der Quarzplatte ist eine Metallschicht als
Elektrode abgeschieden, beispielsweise mittels eines Vakuum-Dampf-Verfahrens. Die sich zur Kante der Quarzplatte 3 erstreckende Elektrode wird von der Grundplatte
2 gehalten und zwar in Kontakt mit dem bügelförmigen Abschnitt des Zufuhrdrahtes 1. Die Kante der
Öffnung eines Deckels 4, der über die Quarzplatte 3 gestülpt ist, ist gegenüber der Kante der Grundplatte
2 durch Widerstandsschweißen hermetisch abgedichtet.
Dementsprechend beinhaltet die Herstellung des oben beschriebenen, herkömmlichen Quarzresonators folgende
Schritte: Anbringen der Quarzplatte 3 an das Paar von Zufuhrdrähten 1, die die Grundplatte 2 durchdringen;
Durchführen der Feinabstimmung der Resonanzfrequenz der Quarzplatte 3; und
hermetisches Abdichten der Grundplatte 2 und des Deckels 4. Diese Schritte sind zeit- und arbeitsaufwendig. Auch
fordern die oben erwähnten Schritte eine präzise Montage von kleinen Komponenten, was enorme Schwierigkeiten
bei der automatischen Herstellung der Quarzresonatoranordnung mit sich bringt.
In jüngster Zeit wurden Quarzresonatoren nicht nur auf dem Gebiet der Telekommunikationsgeräte in weitem
Ausmaße akzeptiert sondern auch bei zivilen elektronischen Anwendungen, wie z. B. bei Mikrocomputern, die
einen Bezugssignalgenerator benötigen. Weiterhin wurden elektronische Geräte in extremen Ausmaße miniaturi-
siert. Dementsprechend werden Halbleiterelemente, die beispielsweise bei IC oder LSI-Schaltungen eingesetzt
werden sowie Schaltungselemente wie Widerstände oder Kondensatoren zunehmend miniaturisiert und zu einer
drahtlosen Chip-Anordnung zusammengefaßt. Die Herstellung von chip-förmigen Schaltungselementen bringt
den Vorteil, daß die Elemente an vorgegebenen Punkten auf der Oberfläche einer gedruckten Leiterplatte sicher
befestigt werden können unter Verwendung einer automatischen Bestückungsmaschine wie z. B. einer Zufuhreinrichtung
für Teile, wodurch die Montage-Effizienz spürbar verbessert wird.
Allerdings hat der in Fig. 1 dargestellte, herkömmliche Quarzresonator den Nachteil, daß es erforderlich ist,
die Zufuhrdrähte 1 in einzelne Löcher einzuführen, die in eine bedruckte Leiterplatte gebohrt sind und
daß die Drähte 1 sicher befestigt werden müssen, beispielsweise durch Löten, was Schwierigkeiten beim
Einsatz einer automatischen Montageeinrichtung mit sich bringt, wie z. B. beim Einsatz eines Bestückungsautomaten.
Dies führt zu einer verringerten Effizienz bei der Montage des Quarzresonators. Der herkömmliche
Quarzresonator hat weiter den Nachteil, daß sein Inneres dadurch hermetisch abgedichtet ist, daß der
Deckel 4 fest gegen die Grundplatte 2 gedrückt wird, beispielsweise unter Verwendung eines Metallteiles,
so daß die Kosten von Rohmaterial vergrößert werden. Darüber hinaus ist der in dem Deckel 4 hermetisch
abgedichtete, herkömmliche Quarzresonator dicker als beispielsweise ein Schaltungselement, das die Form
eines Chips hat. Hierdurch ist es unmöglich, die Dicke bzw. Höhe einer verwendeten Leiterplatte zu
verringern. Aus diesen Gründen wurde der beschriebene Quarzresonator für ungeeignet befunden, in Geräten
eingesetzt zu werden, die einen kompakten Aufbau haben sollen.
Aufgrund der erwähnten Umstände haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung eine US-Patentanmeldung
(Serial Number 632,408) für einen piezoelektrischen Resonator in Form eines Chips angemeldet.
5
Die vorliegende Erfindung schafft daher einen neuen piezoelektrischen Resonator, der in einem flachen
Gehäuse hermetisch abgedichtet werden kann, wobei das Gehäuse die Form eines Chips hat, automatisch
hergestellt werden kann und eine automatische Anpassung an die Oberfläche einer gedruckten Leiterplatte einfach
ermöglicht, und schließlich sehr einfach hermetisch abgedichtet werden kann.
Kurz zusammengefaßt schafft die Erfindung einen piezoelektrischen Resonator, der folgendes enthält:
Ein einheitlich hergestelltes, dichtes Gehäuse, dessen an den Kanten paarweise zusammenpassende Kappen einander
gegenüberliegen;
ein Paar von Anschlüssen, die die Seitenwände des Gehäuses durchdringen;
einen piezoelektrischen Körper, dessen Treiberelektroden mit den paarweise vorhandenen Anschlüssen verbunden sind;
und Aussparungen bzw. Nuten längs der inneren und äußeren Peripherie des oberen Teiles der entsprechenden
Kappen.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles
im Zusammenhang mit der Zeichnung ausführlicher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine Stirnansicht eines herkömmlichen Quarzresonators;
Fig. 2 eine perspektivische Explosionsdarstellung des Quarzresonators nach der Erfindung;
Fig. 3 eine perspektivische Außenansicht des flachen Quarzresonators nach der Erfindung;
Fig. 4 eine vergrößerte Seitenansicht des Dichtungsteiles des Quarzresonators nach der Erfindung;
Fig. 5 eine Draufsicht auf einen weiteren Quarzresonator, der nicht Gegenstand der Erfindung
ist und der mit einer Überschußmenge an Dichtungsmaterial versehen ist;
Fig. 6 eine Vorderansicht des Quarzresonators der
Fig. 5;
Fig. 7 einen Querschnitt der bei dem Quarzresonator nach der Erfindung verwendeten Kappe;
Fig. 8 einen Querschnitt des zusammengesetzten Zustandes der paarweise angeordneten Kappen,
die bei dem Quarzresonator der Erfindung verwendet werden;
Fig. 9 eine Draufsicht auf den Quarzresonator nach
Fig. 9 eine Draufsicht auf den Quarzresonator nach
der Erfindung, der mit den Kappen gemäß Fig. versehen ist; und
Fig. 10, 11, 12 und 13
Fig. 10, 11, 12 und 13
Schnittansichten verschiedener Kappen, die bei dem Quarzresonator nach der Erfindung ver
wendet werden.
Im folgenden wird nun ein Quarzresonator nach der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
beschrieben. Fig. 2 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung. Fig. 3 ist eine perspektivische Darstellung
des fertiggestellten piezoelektrischen Resonators. Zunächst sei auf Fig. 3 Bezug genommen. Das Bezugszeichen 5 bezeichnet ein flaches Gehäuse, das aus
Keramikmaterial oder Glas hergestellt ist und dessen Inneres hermetisch abgedichtet ist. Das Gehäuse 5
wird dadurch hergestellt, daß ein Paar von flachen Kappen 6 gleicher Form zusammengepaßt wird, deren
Umfang mit Rahmen 102 (bzw. Wänden) einheitlicher Höhe versehen ist, und zwar so, daß die Rahmen 102
dicht gegeneinander in luftdichter Beziehung gepreßt werden. Ein Paar von Anschlüssen 7 durchdringt das
Gehäuse 5 längs dessen Schnittebene. Weiterhin ist
an den Stellen, durch die Endabschnitte der Anschlußpaare 7 nach außen ragen, ein Paar von Ausnehmungen
bzw. Nuten 104 ausgeschnitten.
Das Paar von Anschlüssen bzw. Anschlußdrähten 7 ist durch Pressen hergestellt, beispielsweise aus einer
dünnen Metallfolie. Der Abschnitt des Anschlußdrahtes 7, der im Gehäuse 5 gehalten ist, hat im wesentlichen
eine Form ähnlich einer flachen Schale. Die Vertiefungen
der Schalenabschnitte liegen so, daß sie zueinander weisen. In der Mitte der schalenförmigen Abschnitte
der jeweiligen Anschlüsse 7 sind bogenförmige Vorsprünge 201 ausgebildet und zwar so, daß die bogenförmigen Vorsprünge
201 zusammen Teile eines Kreises bilden, um eine scheibenförmige Quarzplatte 8 zu halten.
Die oben erwähnte, scheibenförmige Quarzplatte 8 ist
durch einen AT-Quarzresonator mit Schnitt-Dicken-Scherschwingungen
bearbeitet. An der Mitte der Vorder- und Rückseite der scheibenförmigen Quarzplatte sind
Resonanzelektroden 301 angebracht. Zufuhrelektroden 302 sind von den Resonanzelektroden 301 so gezogen,
daß sie in entgegengesetzten Richtungen verlaufen und ein Paar von wechselseitig gegenüberliegenden Verbindungselektroden
303 berühren, die mit dem Außenumfang der scheibenförmigen Quarzplatte 8 verbunden
sind. Die Verbindungselektrode 303 ist an beiden Seiten der scheibenförmigen Quarzplatte 8 in solcher
Weise ausgebildet, daß sie einen Winkel von +_ 35° mit einer Z'-Achse der Quarzplatte 8 bilden. Die Verbindungselektrode
30 3 der scheibenförmigen Quarzplatte 8 ist so durch einen leitfähigen Kleber befestigt,
daß sie zu dem bogenförmigen Vorsprung 201 des Anschlußleiters 7 hinweist, wodurch eine elektrische Verbindung
und eine mechanische Halterung zwischen der Verbindungselektrode 303 und dem bogenförmigen Vorsprung 201 geschaffen
wird.
Bei dem beschriebenen Quarzresonator sollten Vorkehrungen
gegen einen Bruch des Gehäuses 5 und einen Verlust der Luftdichtigkeit getroffen werden. Wenn
daher das Gehäuse 5 durch Verbinden der Oberflächen der aufeinanderzu weisenden Rahmen 102 der paarweise
zugeordneten Kappen 6 mittels Dichtungsmaterial 9 aufgebaut ist, wie in Fig. 4 dargestellt, so ist es
erforderlich, die Dicke des Dichtungsmateriales 9 durch Aufbringen eines ausreichend großen Druckes
zu verringern, um eine hermetische Dichtung des Inneren des Gehäuses 5 dadurch sicher zu stellen, daß
die Klebefestigkeit der Rahmenabschnitte 102 verstärkt wird. Wird in diesem Falle zuviel Dichtungsmaterial
9 aufgebracht, so treten die in der Draufsieht des Quarzresonators der Fig. 5 und dessen
Schnittansicht der Fig. 6 dargestellten Probleme auf, nämlich das Dichtungsmaterial 9 von der Oberfläche
der Rahmenabschnitte 102 zur Außen- und Innenseite des Gehäuses hin verläuft. Durch die Vergrößerung der
Klebefestigkeit der paarweise zugeordneten Kappen 6 wird eine überschüssige Auftragung 401 von Dichtungsmaterial
9 mit dem Nachteil begleitet, daß die Eigenschaften der scheibenförmigen Quarzplatte 8 durch das
überschüssige Dichtungsmaterial 401 verschlechtert werden und daß die Überschußmengen 401 an der Außenseite
des Gehäuses 5 das Aussehen des Quarzresonators verschlechtern. Wenn gefordert wird, daß der Quarzresonator
äußerst genaue Abmessungen hat, so führt die Ablagerung von überschüssigem Dichtungsmaterial
401 zu Abmessungsfehlern und damit zu einer anwachsenden Zahl von Ausschußproduktion von Quarzresonatoren.
Wird umgekehrt zu wenig Dichtungsmaterial 9 aufgebracht, so verringert sich die Festigkeit oder die Luftdichtigkeit
des Gehäuses 5. Beim Verbinden der paarweisen zugeordneten Kappen 6 sollte daher hinsichtlich der Menge
des aufzubringenden Dichtungsmateriales 9 äußerste Sorgfalt angewandt werden, was wiederum die Effizienz
bei der Herstellung eines Quarzresonators manchmal
• /!Οι
herabsetzt.
Im Hinblick auf die beschriebenen Umstände besteht die Methode zur Herstellung eines Quarzresonators
nach der Erfindung darin, daß - wie aus Fig. 7, die einen Querschnitt einer der Kappenteile 6 zeigt, zu
erkennen - an der Mitte der Oberfläche der entsprechenden Rahmenabschnitte 102 ein Vorsprung 105 angebracht
ist. Wie aus Fig. 8 zu erkennen, bringt dieser Vorsprung 105 den Vorteil, daß, wenn die paarweise zugeordneten
Kappenteile 6 miteinander verbunden sind, überschüssiges Dichtungsmaterial 401 in einen Raum fließt, der durch
die Vorsprünge 105 an der Oberfläche der Rahmenabschnitte 102 gebildet ist, und diesen Raum ausfüllt. Dadurch
wird die Klebefestigkeit des Gehäuses 5 verbessert und zwar über das Maß, das durch die Gesamtoberfläche
des Rahmenabschnittes 102 bestimmt ist. Auch wird die Luftdichtigkeit des Inneren des Gehäuses 5 verbessert.
Wenn dann ein ausreichend hoher Druck bei der Herstellung des Gehäuses zum Verbinden der paarweise zugeordneten
Kappenteile 6 aufgebracht wird, ist es möglich, den Nachteil, daß überschüssiges Dichtungsmaterial
401 zur Außen- und Innenseite des Gehäuses 5 fließt, zu vermeiden, so daß auch die Nachteile von Abmessungsfehlem
und Verschlechterungen der Eigenschaften der scheibenförmigen Quarzplatte 8 durch die Ablagerung
von überschüssigem Dichtungsmaterial 401 an dessen Oberfläche vermieden werden.
Fig. 9 zeigt eine Draufsicht eines Quarzresonators, der durch elektrisches und mechanisches Verbinden
einer scheibenförmigen Quarzplatte 8 mit den Anschlüssen 7 hergestellt ist, wobei eines der paarweise
zugeordneten Kappenteile 6 abgehoben ist.
Es sei hervorgehoben, daß die Erfindung nicht auf das oben beschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt
ist. So ist es möglich, den Vorsprung 105 an der
Oberfläche der Rahmenabschnitte der paarweise zugeordneten Kappenteile 6 derart auszugestalten, daß der
Mittelabschnitt (im Querschnitt gesehen) des VorSprunges
105 rechteckige Form hat, während die nach innen und außen weisenden Seiten dieser Vorsprünge 105 aus keilförmigen
Abschnitten bestehen, die einen bestimmten Winkel haben. Auch ist es möglich, den Vorsprung
schwalbenschwanζförmig auszubilden, wie aus Fig. 11
zu erkennen. Weiterhin ist es möglich - wie in Fig.
dargestellt - den Vorsprung 105 mit bogenförmigem
Querschnitt zu gestalten. Schließlich kann - wie in Fig. 13 dargestellt - ein separater Vorsprung 105 an
den paarweise zugeordneten Kappenteilen vorgesehen sein, und zwar durch Ablagern von beispielsweise geschmolzenem
Glas in der bogenförmig vorspringenden Form.
Claims (4)
1. Piezoelektrischer Resonator mit einem flachen Gehäuse, dessen Inneres hermetisch abgedichtet ist und in welchem
eine piezoelektrische Platte (8) gehalten ist, gekennzeichnet durch:
ein Paar von Kappenteilen (6), die an der Mitte der Oberfläche eines Rahmenabschnittes (102), der längs des ümfanges
einer Platte (102) ausgebildet ist, einen Vorsprung (105) aufweisen;
ein Dichtungsteil (9) zum hermetischen Verbinden der wechselseitig
zueinander weisenden Rahmenabschnitte der paarweise zugeordneten Kappenteile (6) zur Bildung eines Gehäuses;
ein Paar von Anschlußdrähten (7), die seitliche Abschnitte des Gehäuses druchdringen; und
einen piezoelektrischer Körper (8), der so aufgebaut ist, daß die paarweise angeordneten Anschlüsse mit
zugeordneten Resonanzelektroden (301) verbunden sind.
2. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vorsprünge an den Rahmenabschnitten
einstückig mit diesen aus dem gleichen · Material hergestellt sind.
3. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorsprünge an den Rahmenabschnitten
aus unterschiedlichem Material gegenüber dem der Rahmenabschnitte hergestellt sind.
4. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorsprünge aus geschmolzenem
Glas hergestellt sind.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| DE3446612A1 true DE3446612A1 (de) | 1985-08-08 |
Family
ID=11887652
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| DE19843446612 Granted DE3446612A1 (de) | 1984-02-08 | 1984-12-20 | Piezoelektrischer resonator |
Country Status (3)
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| JP (1) | JPS60129717U (de) |
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