DE3426117A1

DE3426117A1 - Magnetkopf

Info

Publication number: DE3426117A1
Application number: DE19843426117
Authority: DE
Inventors: Takashi Hatanai; Koichi Mukasa; Keishi Kitauwonuma Niigata Nakashima; Yutaka Sendai Miyagi Shimada
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1983-07-16
Filing date: 1984-07-16
Publication date: 1985-01-31
Also published as: KR890003043B1; US4641213A; KR850001595A; DE3426117C2

Description

Magnetkopf

Die Erfindung betrifft einen Magnetkopf zur senkrechten magnetischen Aufzeichnung unter Verwendung eines weichmagnetischen Materials mit hoher Permeabilität, das aus einer amorphen Legierung besteht, und insbesondere befaßt sich die Erfindung mit einem Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf und einem Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf.

Bisher sind verschiedene Magnetaufzeichnungssysteme zur Magnetisierung einer in einem magnetischen Aufzeichnungsträger gebildeten Magnetschicht in deren Dickenrichtung untersucht worden, um die Aufzeichnungsdichte magnetischer Aufzeichnungsträger zu erhöhen. Ein für das Aufzeichnungssystem verwendeter Magnetkopf besteht allgemein aus einem Hauptmagnetpol, der sich gegenüber einer Magnetschicht eines magnetischen Aufzeichnungsträgers befindet, einem Hilfsmagnetpol, der mit dem Hauptmagnetpol ein Paar bildet, und einer Spule, die um den Hilfsmagnetpol oder den Hauptmagnetpol gewickelt ist.

Bei einem solchen Magnetkopf können die Wiedergabeleistung und das Auflösungsvermögen leicht vergrößert werden, da die Dicke des genannten Hauptmagnetpols verringert und so dünn wie möglich gemacht werden kann. Wenn der Hauptmagnetpol dünner wird, treten jedoch Probleme hinsichtlich der magnetischen Sättigung des Hauptmagnetpoles und hinsichtlich der Verringerung der Ausgangsleistung bei der Wiedergabe auf. Zur Verhinderung des Auftretens solcher Probleme sind eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte und ein ausgezeichnetes weichmagnetisches Verhalten erforderlich. Infolge der Verwendung von Permalloy, das bisher für den Hauptmagnetpol benutzt worden ist, ist es jedoch schwierig, die Permeabilität und die Sättigungsmagnetfluß-

dichte ausreichend zu erhöhen. Demzufolge gibt es bei einem solchen Magnetkopf eine Grenze für die Wiedergabeleistung und die Auflösungsleistung.

Ein Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf besteht aus einer ersten Kerndünnschicht, einer nicht-magnetischen Dünnschicht und einer zweiten Kerndünnschicht, die in laminierten Schichten auf einer Grundplatte aus einem nicht-magnetischen Material durch Aufstäuben oder Dampfniederschlag erzeugt worden sind, und der Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf bildet zusammen mit einem Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf, mit dem er ein Paar bildet, einen Dünnschicht-Magnetkopf. Ein solcher Dünnschicht-Magnetkopf wird beispielsweise für einen Computerspeicher verwendet, und in diesem Fall ist es zur Erhöhung der Aufzeichnungseffizienz in dem Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf erforderlich, ein weichmagnetisches Material mit hoher Permeabilität und einer hohen Sättigungsmagnetflußdichte als erste und als zweite Kerndünnschicht zu verwenden.

Im Fall der Verwendung von Permalloy usw., was herkömmlicherweise für die Kerndünnschichten verwendet wird, führen die Kerndünnschichten jedoch zu magnetischer Sättigung beim Aufzeichnen, da Permalloy usw. eine niedrige Sättigungsmagnetflußdichte und eine niedrige Permeabilität aufweist und folglich im Fall der Signalaufzeichnung in einem magnetischen Aufzeichnungsträger mit hoher Sättigungsmagnetflußdichte, wie einem Metallband oder einem Chromdioxidband, die Aufzeichnungseffizienz schlecht ist.

Nun könnte man zur Erhöhung der Aufzeichnungseffizienz daran denken, die Verringerung der Aufzeichnungseffizienz durch Erhöhung der Windungszahl der Spulen oder durch Erhöhung der elektrischen Aufzeichnungsströme zu ver-

hindern. Bei der Struktur des Dünnschicht-Magnetkopfes ist es jedoch schwierig , die Windungszahl der Spulen zu erhöhen, oder die Windungszahl ist auf etwa drei Windungen begrenzt, wodurch man einen ausreichenden Effekt nicht erhält. Andererseits ist die Erhöhung des elektrischen Aufzeichnungs-Stroms von einer Erhöhung der Menge der erzeugten Wärme begleitet sowie vom Auftreten von Durchbrüchen und dem Auftreten einer Verschlechterung von magnetischen Eigenschaften der Kerndünnschichten.

Ein Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf besteht aus einer Grundplatte aus einem nicht-magnetischen Material, einer auf der Grundplatte gebildeten ersten magnetisch abschirmenden Dünnschicht, einem auf der ersten magnetisch abschirmenden Dünnschicht gebildeten Element mit magnetischer Widerstandswirkung (nachfolgend auch als MR-Element bezeichnet) , und, gebildet auf dem MR-Element, eine zweite magnetisch abschirmende Dünnschicht usw. Der Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf bildet zusammen mit einem Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf, mit dem er ein Paar bildet, einen Dünnschicht-Magnetkopf, und einen solchen Dünnschicht-Magnetkopf verwendet man beispielsweise für einen Speicher eines Computers.

Es ist erforderlich, daß die magnetisch abschirmende Dünnschicht, die für den Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf verwendet wird, eine hohe Permeabilität und eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte aufweist, damit sie die Funktion der Abschirmung in ausreichender Weise ausüben kann. Für die magnetisch abschirmende Dünnschicht wird gewöhnlich ein binäres Permalloy aus einer Eisen-islickel-Legierung oder ein ternäres Permalloy aus der Eisen-Nickel-Legierung und einem dritten Element wir Chrom, Molybdän, Kupfer usw., verwendet. Es ist jedoch generell schwierig, die Permeabilität und Sättigungsmagnetflußdichte von Permalloy zu erhöhen, und folglich kann man eine ausreichende Abschirmungswirkung nicht erhalten.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, verschiedene zuvor genannte Schwierigkeiten herkömmlicher Technologien zu überwinden.

Als Ergebnis verschiedener und zahlreicher Untersuchungen an durch Aufstäuben usw. erhaltenen Dünnschichten aus amorphen Legierungen haben die Erfinder herausgefunden, daß eine ternäre amorphe Kobalt—Hafnium-Tantal-Legierung, die hauptsächlich aus Kobalt besteht und Hafnium und Tantal enthält, wobei der Hafnium-Gehalt im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom%, vorzugweise von 1,5 Atom% bis 3 Atom%, und der Tantal-Gehalt im Bereich von 4 Atom% bis 10 Atom%, vorzugsweise von 6 Atom% bis 8 Atom%, liegt, ausgezeichnete Eigenschaften als weichmagnetisches Material zeigt und daß dieses weichmagnetische Material sehr geeignet ist für den Hauptmagnetpol eines senkrecht magnetisierenden Magnetaufzeichnungskopfes, für die Kerndünnschichten eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes und für die magnetisch abschirmenden Dünnschichten eines Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes.

Mit der Erfindung ist ein Magnetkopf für ein senkrecht magnetisierendes Magnetaufzeichnungssystem mit hoher Wiedergabe- und Auflösungsleistung durch Reduzieren der Dicke des Hauptmagnetpols verfügbar gemacht worden.

Außerdem ist mit der Erfindung die Aufzeichnungseffizienz eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes erhöht worden.

Ferner ist es durch die Erfindung möglich geworden, die Wiedergabeeffizienz eines Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes dadurch zu erhöhen, daß man den magnetisch abschirmenden Dünnschichten des Magnetwiedergabekopfes eine ausreichende Abschirmungswirkung verleiht.

Die Erfindung wird nun zusammen mit Weiterbildungen anhand von graphischen Darstellungen und von Ausführungsformen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 in einer graphischen Darstellung die Beziehung zwischen dem Hf-Gehalt in amorphen Legierungen des Co-Hf-Ta-Systems und verschiedenen magnetischen Eigenschaften;

Fig. 2 in graphischer Darstellung die Beziehung zwischen dem Ta-Gehalt der genannten Legierungen und verschiedenen magnetischen Eigenschaften;

Fig. 3 magnetische Kennlinien der genannten Legierung und einer Vergleichslegierung in Abhängigkeit von der Frequenz;

Fig. 4 eine schematische Ansicht eines die erfindungsgemäße amorphe Legierung verwendenden, senkrecht magnetisierenden Magnetaufzeichnungskopfes ;

Fig. 5 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht eines die erfindungsgemäße amorphe Legierung verwendenden Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes; und

Fig. 6 eine perspektivische Ansicht, die in getrennter Form den Hauptteil eines die erfindungsgemäße amorphe Legierung verwendenden Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes zeigt.

Ein Kristallglas wird als Grundplatte verwendet und Hafnium-Pellets und Tantal-Peletts (jedes Pellet mit einer Fläche von 10 mm χ 10 mm und eine Dicke von 5 mm) werden

— ο —

auf einer Kobaltscheibe (101,6 mm Durchmesser und 5 mm Dicke) in radialer Richtung von der Mitte der Scheibe aus abwechselnd angeordnet, wodurch die Zusammensetzung der auf der Grundplatte durch Aufstäuben gebildeten Legierung durch Steuern der Anzahl der Pellets auf dem Target geändert werden kann. Dann wird eine das beschriebene System enthaltende Kammer auf ein Hochvakuum

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von weniger als 1 χ 10 Torr (1,33 χ 10 Pa) evakuiert und wird das Aufstäuben in einer Argongasatmosphäre bei einer hochfrequenten elektrischen Leistung von 2,0 W/cm² durchgeführt, um auf der Grundplatte eine termäre amorphe Co-Hf-Ta-Legierung mit Kobalt als Basismaterial zu bilden. Gemäß obiger Beschreibung gebildete amorphe Legierungen verschiedener Zusammensetzungen werden für verschiedene Eigenschaftstests verwendet, wie dies nachfolgend erläutert ist.

Fig. 1 zeigt eine Darstellung magnetischer Eigenschaften für den Fall, daß in der Legierung, die in der nachfolgenden Legierungszusammensetzung gezeigt ist, der Hafnium-Gehalt X geändert wird, während der Tantal-Gehalt Y in der Legierung jeweils bei 4,5 Atom% gehalten wird.

Legierungszusammensetzungstabelle

Co 100-X-Y Atom%

Hf X Atom%

Ta Y Atom%

In Fig. 1 zeigen die Kurve Bs eine Sättigungsmagnetflußdichte, die Kurve ue eine Permeabilität in der Richtung der schwer magnetisierbaren Achse bei einer Frequenz von 1 MHz und die Kurve Hc eine Koerzitivkraft in Richtung der schwer magnetisierbaren Achse.

Wie der Darstellung in Fig. 1 deutlich entnehmbar ist, weist die binäre Co-Ta-Legierung ohne Hf ein hohes Bs auf, ist jedoch zu hoch im Hc und niedrig im μβ. Wenn jedoch eine kleine Menge Hf in der Legierung vorhanden ist, erhöht sich Hc stark, während sich μβ im Gegensatz dazu verringert. Wenn dann der Hf-Gehalt einen bestimmten Wert übersteigt, wird Hc hoch und wird με niedrig. Andererseits tendiert Bs dazu, mit zunehmendem Hf-Anteil abzunehmen, obwohl das Ausmaß der Abnahme nicht so groß ist.

Um Hc zu verringern und μβ zu erhöhen, ohne bei einer solchen Tendenz magnetischer Eigenschaften Bs zu stark zu verringern, ist es erforderlich, daß der Hf-Gehalt X im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom%, vorzugsweise von 1,5 Atom% bis 3 Atom%, liegt. Dies gilt auch, wenn sich der Ta-Gehalt Y bis zu einem bestimmten Ausmaß ändert.

Fig. 2 zeigt in einer graphischen Darstellung den Fall, daß bei der in der vorausgehenden Legierungszusammensetzungstabelle gezeigten Legierung der Ta-Gehalt Y verändert wird, während der Hf-Gehalt X in der Legierung jeweils bei 2,2 Atom% gehalten wird.

Wie der graphischen Darstellung deutlich entnehmbar ist, ist bei einer kein Ta enthaltenden binären Co-Hf-Legierung Bs hoch, jedoch Hc zu hoch und ne niedrig. Wenn jedoch eine geringe Menge Ta in der Legierung vorhanden ist, wird Hc äußerst niedrig, wohingegen μβ im Gegensatz dazu hoch wird. Wenn dann der Ta-Gehalt über einem bestimmten Wert liegt, wird Hc hoch und με niedrig. Andererseits neigt Bs dazu, mit Zunahme des Ta-Gehaltes abzunehmen, obwohl das Ausmaß der Abnahme nicht so groß ist.

ΛΛ

-■ * - 3Λ26117

Um Hc zu reduzieren und με zu erhöhen, ohne bei einer solchen Tendenz der magnetischen Eigenschaften Bs zu stark zu verringern, ist es erforderlich, daß der Ta-Gehalt Y im Bereich von 4 Atom% bis 10 Atom%, vorzugsweise von 6 Atom% bis 8 Atom%, liegt.

Dies gilt auch, wenn der Hf-Gehalt X bis zu einem bestimmten Ausmaß geändert wird.

Fig. 3 zeigt in graphischer Darstellung das \ie einer ternären amorphen Legierung aus Co (93,3 Atom%), Hf (2,2 Atom%) und Ta (4,5 Atom%) (Kurve A) und das μβ einer binären amorphen Legierung aus Co (97,8 Atom%) und Hf (2,2 Atom%) (Kurve B) in gleichen Frequenzbereichen.

Wie aus der graphischen Darstellung deutlich entnehmbar ist, weist das erfindungsgemäße weichmagnetische Material bei jeder Frequenz immer eine hohe Permeabilität auf, und es zeigt stabile Eigenschaften in einem weiten Frequenzbereich.

Die ternäre Co-Hf-Ta-Legierung zeigt in der aus ihr bestehenden Dünnschicht unmittelbar nach ihrer Erzeugung durch Aufstäuben ein hohes anisotropes Magnetfeld. Als Ergebnis zahlreicher verschiedener Untersuchungen von Möglichkeiten für die Reduzierung des anisotropen Magnetfeldes ist herausgefunden worden, daß ein Verfahren wirksam ist, bei dem die als Hauptmagnetpol gebildete ternäre amorphe Legierungsdünnschicht in einem rotierenden Magnetfeld einer Wärmebehandlung unterzogen wird. Die Bedingungen für diese Wärmebehandlung im rotierenden Magnetfeld werden ausgewählt aus einer Rotationsdrehzahl von 10 bis 20 Umdrehungen pro Minute, einer Magnetfeldintensität von mehr als 100 Oe und einer Behandlungszeit von mehr als drei Stunden. Wenn die Dünnschicht der Legierung, die durch Aufstäuben gebildet worden ist, beispielsweise bei einer Temperatur

von 350° C, einer Rotationsdrehzahl von 10 Umdrehungen pro Minute und einer Magnetfeldintensität von 100 Oe behandelt wird/ kann das anisotrope Magnetfeld (Hk) auf etwa *4 Oe reduziert werden.

Fig. 4 zeigt in schematischer Ansicht einen senkrecht magnetisierenden Magnetaufzeichnungskopf, für den das vorstehend beschriebene weichmagnetische Material verwendet wird.

Auf einer Oberfläche einer isolierenden Grundplatte aus einem Glas oder einem Polyimid ist ein Hauptmagnetpol 2 mit einer Dicke von etwa 1 μΐη durch Aufstäuben gebildet. Ein Hilfsmagnetpol 3 ist gegenüber dem Hauptmagnetpol 2 angeordnet und eine Spule 4 ist um den Hauptmagnetpol 3 gewickelt.

Zwischen den Hauptmagnetpol 2 und den Hilfsmagnetpol 3 ist ein bandförmiger oder ein plattenförmiger magnetischer Aufzeichnungsträger 5 bewegbar eingefügt. Der magnetische Aufzeichnungsträger 5 besteht aus einem Grundfilm 6 und einer auf einer Oberfläche des Grundfilms 6 gebildeten Magnetschicht 7. Der magnetische Aufzeichnungsträger ist so angeordnet, daß die Magnetschicht 7 zum Hauptmagnetpol 2 weist. Wenn ein aufzuzeichnender elektrischer Signalstrom durch die Spule 4 geschickt wird, um den Hauptmagnetpol 2 von der Seite des Hilfsmagnetpols 3 aus zu magnetisieren, wird in der Nähe des Endes des Hauptmagnetpols 2 ein starkes senkrechtes Magnetfeld erzeugt, wodurch die in der Nähe des Endes des Hauptmagnetpols 2 befindliche Magnetschicht 7 in Richtung ihrer Dicke magnetisiert wird, um eine magnetische Aufzeichnung durchzuführen.

Der Hauptmagnetpol 2 besteht aus einer Dünnschicht aus einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung, wobei der Co-Gehalt 93,3 Atom%, der Hf-Gehalt 2,2 Atom% und der Ta-Gehalt 4,5 Atom% beträgt. Der Hauptmagnetpol ist durch Aufstäuben gebildet und ist in einem rotierenden Magnetfeld unter den zuvor beschriebenen Bedinungen einer Wärmebehandlung unterzogen, wodurch die Richtung schwerer Magnetisierbarkeit der amorphen Legierung in die Arbeitsrichtung des Hauptmagnetpols gerichtet werden kann.

Fig. 5 zeigt in perspektivischer Darstellung einen Teil eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes, bei dem das beschriebene weichmagnetische Material verwendet werden kann. Auf einer Grundplatte 8 aus einem nichtmagnetischen Material, wie Glas, Silizium usw., ist zunächst eine erste Kerndünnschicht 9 gebildet. Darauf ist eine zweite Kerndünnschicht 13 gebildet, und zwar unter Zwischenschaltung einer isolierenden Dünnschicht 10 aus nicht-magnetischem Material, einer leitenden Dünnschicht 11 und einer isolierenden Dünnschicht Diese erste Kerndünnschicht 9, die isolierende Dünnschicht 10, die leitende Dünnschicht 11, die isolierende Dünnschicht 12 und die zweite Kerndünnschicht 13 werden aufeinanderfolgend mit definierten Dicken durch eine Schichterzeugunstechnologie, wie Aufstäuben usw., gebildet. Mit Bezugszeichen 11a und 11b sind Anschlüsse zum Verbinden mit Außenschaltkreisen bezeichnet.

Die erste Kerndünnschicht 9 und die zweite Kerndünnschicht 13 werden aus einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung gebildet, bei welcher der Co-Gehalt 93,3 Atom%, der HF-Gehalt 2,2 Atom% und der Ta-Gehalt 4,5 % beträgt, und diese Dünnschichten sind in einem rotierenden Magnetfeld unter den zuvor angegebenen Bedingungen wärmebehandelt, wodurch die Richtung der Achse schwerer Magnetisierbarkeit der amorphen Legierung

in die Arbeitsrichtung der Kerndünnschichten gerichtet werden kann.

Fig. 6 zeigt in Perspektivdarstellung in getrennter Form einen Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf unter Verwendung des beschriebenen weichmagnetischen Materials. 14 ist eine Grundplatte aus einem nicht-magnetischen Material, 15 ist eine isolierende Dünnschicht, 16 ist eine erste magnetisch abschirmende Dünnschicht, 17 ist ein MR-Element, 18 und 19 sind leitende Dünnschichten und 20 ist eine zweite magnetisch abschirmende Schicht.

Die erste magnetisch abschirmende Dünnschicht 16 und die zweite magnetisch abschirmende Dünnschicht 20 bestehen aus Dünnschichten einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung, mit einem Gehalt von 93,3 Atom% Co, 2,2 Atom% Hf und 4,5 Atom% Ta, und diese abschirmenden Dünnschichten sind in einem rotierenden Magnetfeld unter den zuvor angegebenen Bedingungen wärmebehandelt, wodurch die Richtung schwerer Magnetisierbarkeit der amorphen Legierung in die magnetische Durchlaßrichtung der magnetisch abschirmenden Dünnschichten gebracht ist.

Wie bereits erwähnt, kann man dadurch, daß man in einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung mit Co als Grundmaterial den Hf-Gehalt auf einen Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom% und den Ta-Gehalt auf einen Bereich von 4 Atom% bis 10 Atom% festlegt,, ein weichmagnetisches Material mit niedriger Koerzitivkraft und einer hohen Permeabilität ohne Verringerung der Sättigungsmagnetflußdichte erhalten. Dadurch, daß man den Hauptmagnetpol eines senkrecht magnetisierenden Aufzeichnungsmagnetkopfes unterVerwendung des weichmagnetischen Materials herstellt, kann man die Dicke des Hauptmagnet-

pols sehr stark reduzieren, da die ternäre amorphe Legierung eine hohe Permeabilität und eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte aufweist, wodurch die Wiedergabeleistung und die Auflösungsleistung des Magnetkopfes erhöht werden können.

Wenn die Kerndünnschichten eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes unter Verwendung des beschriebenen weichmagnetischen Materials gebildet werden, können die Aufzeichnungseffizienz und die Wiedergabeeffizienz des Magnetkopfes erhöht werden, da die ternäre amorphe Legierung eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte und eine hohe Permeabilität aufweist.

Wenn die magnetisch abschirmenden Dünnschichten eines Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes unter Verwendung des beschriebenen weichmagnetischen Materials gebildet werden, kann eine ausreichende magnetische Abschirmwirkung erzielt werden, kann die Wiedergabeempfindlichkeit verbessert werden und kann die Dicke der magnetisch abschirmenden Dünnschichten weiter reduziert werden, da die ternäre amorphe Legierung eine hohe Permeabilität und eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte aufweist. Ferner kann man in diesem Fall durch geeignetes Steuern des Anteilsverhältnisses von Hafnium und Tantal in der ternären amorphen Legierung die Magnetostriktion der magnetisch abschirmenden Dünnschichten auf Null oder nahezu Null reduzieren.

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Claims

KADORKLLmERSCHMITT-NlI^ONHIRSCH 3UZb117 K 21612 S/6ma 16. Juli 1984 ALPS ELECTRIC CO., LTD. 1-7 Yukigaya, Otsuka-Cho, Ota-Ku, Tokyo 145, JAPAN Priorität: July 16, 1983 - Japan - No. 128715/83 July 16, 1983 - Japan - No. 128721/83 July 16, 1983 - Japan - No. 128724/83 Magnetkopf Ansprüche :

1.\ Magnetkopf für senkrechte magnetische Aufzeichnung, ^ mit dem eine magnetische Schicht (7) eines magnetischen Aufzeichnungsträgers (5) in Richtung ihrer Dicke magnetisierbar ist, in dem ein Hauptmagnetpol (2) des Magnetkopfes der magnetischen Schicht (7) gegenüber angeordnet wird,
dadurch gekennzeichnet , daß der Hauptmagnetpol (2) aus einer ternären amorphen Legierung besteht, die Kobalt als Basismaterial und geringe Mengen Hafnium und Tantal aufweist.

2. Magnetkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Hafnium-Gehalt im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom% und der Tantal-Gehalt im Bereich von 4 Atom% bis 10 Atom% liegt.

3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die den Hauptmagnetpol (2) bildende Schicht aus der ternären amorphen Legierung einer Wärmebehandlung in einem rotierenden Magnetfeld unterzogen worden ist.

4. Dünnschicht-Magnetkopf,
gekennzeichnet durch

eine Grundplatte (8) aus nicht-magnetischem Material und durch darauf in Schichten aufgebracht eine erste Kerndünnschicht (9), eine nicht-magnetische Dünnschicht (10) und eine zweite Kerndünnschicht (13), wobei die Kerndünnschichten (9, 13) aus einer ternären amorphen Legierung bestehen, die Kobalt als Basismaterial und geringe Mengen Hafnium und Tantal aufweist.

5. Dünnschicht-Magnetkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

6. Dünnschicht-Magnetkopf nach Anspruch 4 oder S₁ dadurch gekennzeichnet,

daß die die Kerndünnschichten (9, 13) bildenden Dünnschichten der ternären amorphen Kobalt-Hafnium-Tantal-Legierung in einem rotierenden Magnetfeld wärmebehandelt sind.

7. Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf, gekennzeichnet durch

ein als magnetischer Widerstand wirkendes Element (17), das auf beiden Seiten mit je einer magnetisch abschirmenden Dünnschicht (16, 20) versehen ist, wobei die magnetisch abschirmenden Dünnschichten (16, 10) aus einer ternären amorphen Legierung bestehen,

die Kobalt als Basismaterial und geringe Mengen Hafnium und Tantal aufweist.

8. Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Hafnium-Gehalt im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom% und der Tantal-Gehalt im Bereich von 4 Atom% bis 10 Atom% liegt.

9. Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf nach Anspruch oder 8,

dadurch gekennzeichnet/ daß die Dünnschichten der ternären amorphen Legierung in einem rotierenden Magnetfeld wärmebehandelt sind.