DE3426117A1 - Magnetkopf - Google Patents
MagnetkopfInfo
- Publication number
- DE3426117A1 DE3426117A1 DE19843426117 DE3426117A DE3426117A1 DE 3426117 A1 DE3426117 A1 DE 3426117A1 DE 19843426117 DE19843426117 DE 19843426117 DE 3426117 A DE3426117 A DE 3426117A DE 3426117 A1 DE3426117 A1 DE 3426117A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magnetic
- atom
- thin film
- content
- hafnium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
Magnetkopf
Die Erfindung betrifft einen Magnetkopf zur senkrechten magnetischen Aufzeichnung unter Verwendung eines weichmagnetischen Materials mit hoher Permeabilität, das aus
einer amorphen Legierung besteht, und insbesondere befaßt sich die Erfindung mit einem Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf
und einem Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf.
Bisher sind verschiedene Magnetaufzeichnungssysteme zur Magnetisierung einer in einem magnetischen Aufzeichnungsträger
gebildeten Magnetschicht in deren Dickenrichtung untersucht worden, um die Aufzeichnungsdichte magnetischer
Aufzeichnungsträger zu erhöhen. Ein für das Aufzeichnungssystem verwendeter Magnetkopf besteht allgemein aus
einem Hauptmagnetpol, der sich gegenüber einer Magnetschicht eines magnetischen Aufzeichnungsträgers befindet,
einem Hilfsmagnetpol, der mit dem Hauptmagnetpol ein
Paar bildet, und einer Spule, die um den Hilfsmagnetpol
oder den Hauptmagnetpol gewickelt ist.
Bei einem solchen Magnetkopf können die Wiedergabeleistung und das Auflösungsvermögen leicht vergrößert werden, da
die Dicke des genannten Hauptmagnetpols verringert und so dünn wie möglich gemacht werden kann. Wenn der Hauptmagnetpol
dünner wird, treten jedoch Probleme hinsichtlich der magnetischen Sättigung des Hauptmagnetpoles und hinsichtlich
der Verringerung der Ausgangsleistung bei der Wiedergabe auf. Zur Verhinderung des Auftretens solcher
Probleme sind eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte und ein ausgezeichnetes weichmagnetisches Verhalten erforderlich.
Infolge der Verwendung von Permalloy, das bisher für den Hauptmagnetpol benutzt worden ist, ist es jedoch
schwierig, die Permeabilität und die Sättigungsmagnetfluß-
dichte ausreichend zu erhöhen. Demzufolge gibt es bei einem solchen Magnetkopf eine Grenze für die Wiedergabeleistung
und die Auflösungsleistung.
Ein Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf besteht aus einer ersten Kerndünnschicht, einer nicht-magnetischen
Dünnschicht und einer zweiten Kerndünnschicht, die in laminierten Schichten auf einer Grundplatte aus einem
nicht-magnetischen Material durch Aufstäuben oder Dampfniederschlag
erzeugt worden sind, und der Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf
bildet zusammen mit einem Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf, mit dem er ein Paar bildet,
einen Dünnschicht-Magnetkopf. Ein solcher Dünnschicht-Magnetkopf wird beispielsweise für einen Computerspeicher
verwendet, und in diesem Fall ist es zur Erhöhung der Aufzeichnungseffizienz
in dem Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf erforderlich, ein weichmagnetisches Material mit
hoher Permeabilität und einer hohen Sättigungsmagnetflußdichte als erste und als zweite Kerndünnschicht zu
verwenden.
Im Fall der Verwendung von Permalloy usw., was herkömmlicherweise für die Kerndünnschichten verwendet wird,
führen die Kerndünnschichten jedoch zu magnetischer Sättigung beim Aufzeichnen, da Permalloy usw. eine
niedrige Sättigungsmagnetflußdichte und eine niedrige Permeabilität aufweist und folglich im Fall der Signalaufzeichnung
in einem magnetischen Aufzeichnungsträger mit hoher Sättigungsmagnetflußdichte, wie einem Metallband
oder einem Chromdioxidband, die Aufzeichnungseffizienz schlecht ist.
Nun könnte man zur Erhöhung der Aufzeichnungseffizienz
daran denken, die Verringerung der Aufzeichnungseffizienz
durch Erhöhung der Windungszahl der Spulen oder durch Erhöhung der elektrischen Aufzeichnungsströme zu ver-
hindern. Bei der Struktur des Dünnschicht-Magnetkopfes ist es jedoch schwierig , die Windungszahl der Spulen zu erhöhen,
oder die Windungszahl ist auf etwa drei Windungen begrenzt, wodurch man einen ausreichenden Effekt nicht erhält.
Andererseits ist die Erhöhung des elektrischen Aufzeichnungs-Stroms
von einer Erhöhung der Menge der erzeugten Wärme begleitet sowie vom Auftreten von Durchbrüchen und dem Auftreten
einer Verschlechterung von magnetischen Eigenschaften der Kerndünnschichten.
Ein Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf besteht aus einer Grundplatte aus einem nicht-magnetischen Material, einer
auf der Grundplatte gebildeten ersten magnetisch abschirmenden Dünnschicht, einem auf der ersten magnetisch abschirmenden
Dünnschicht gebildeten Element mit magnetischer Widerstandswirkung (nachfolgend auch als MR-Element bezeichnet)
, und, gebildet auf dem MR-Element, eine zweite magnetisch abschirmende Dünnschicht usw. Der Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf
bildet zusammen mit einem Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopf, mit dem er ein Paar bildet, einen
Dünnschicht-Magnetkopf, und einen solchen Dünnschicht-Magnetkopf verwendet man beispielsweise für einen Speicher
eines Computers.
Es ist erforderlich, daß die magnetisch abschirmende Dünnschicht, die für den Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf
verwendet wird, eine hohe Permeabilität und eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte aufweist, damit sie die
Funktion der Abschirmung in ausreichender Weise ausüben kann. Für die magnetisch abschirmende Dünnschicht wird
gewöhnlich ein binäres Permalloy aus einer Eisen-islickel-Legierung
oder ein ternäres Permalloy aus der Eisen-Nickel-Legierung und einem dritten Element wir Chrom,
Molybdän, Kupfer usw., verwendet. Es ist jedoch generell schwierig, die Permeabilität und Sättigungsmagnetflußdichte von Permalloy zu erhöhen, und folglich kann man
eine ausreichende Abschirmungswirkung nicht erhalten.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, verschiedene zuvor genannte Schwierigkeiten herkömmlicher Technologien zu
überwinden.
Als Ergebnis verschiedener und zahlreicher Untersuchungen
an durch Aufstäuben usw. erhaltenen Dünnschichten aus amorphen Legierungen haben die Erfinder herausgefunden,
daß eine ternäre amorphe Kobalt—Hafnium-Tantal-Legierung, die hauptsächlich aus Kobalt besteht und Hafnium und
Tantal enthält, wobei der Hafnium-Gehalt im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom%, vorzugweise von 1,5 Atom% bis
3 Atom%, und der Tantal-Gehalt im Bereich von 4 Atom%
bis 10 Atom%, vorzugsweise von 6 Atom% bis 8 Atom%, liegt, ausgezeichnete Eigenschaften als weichmagnetisches
Material zeigt und daß dieses weichmagnetische Material sehr geeignet ist für den Hauptmagnetpol eines senkrecht
magnetisierenden Magnetaufzeichnungskopfes, für die
Kerndünnschichten eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes
und für die magnetisch abschirmenden Dünnschichten eines Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes.
Mit der Erfindung ist ein Magnetkopf für ein senkrecht magnetisierendes Magnetaufzeichnungssystem mit hoher
Wiedergabe- und Auflösungsleistung durch Reduzieren der Dicke des Hauptmagnetpols verfügbar gemacht worden.
Außerdem ist mit der Erfindung die Aufzeichnungseffizienz
eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes erhöht worden.
Ferner ist es durch die Erfindung möglich geworden, die Wiedergabeeffizienz eines Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes
dadurch zu erhöhen, daß man den magnetisch abschirmenden Dünnschichten des Magnetwiedergabekopfes
eine ausreichende Abschirmungswirkung verleiht.
Die Erfindung wird nun zusammen mit Weiterbildungen anhand von graphischen Darstellungen und von Ausführungsformen
näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 in einer graphischen Darstellung die Beziehung zwischen dem Hf-Gehalt in amorphen Legierungen
des Co-Hf-Ta-Systems und verschiedenen magnetischen Eigenschaften;
Fig. 2 in graphischer Darstellung die Beziehung zwischen dem Ta-Gehalt der genannten Legierungen
und verschiedenen magnetischen Eigenschaften;
Fig. 3 magnetische Kennlinien der genannten Legierung und einer Vergleichslegierung in Abhängigkeit
von der Frequenz;
Fig. 4 eine schematische Ansicht eines die erfindungsgemäße amorphe Legierung verwendenden, senkrecht
magnetisierenden Magnetaufzeichnungskopfes
;
Fig. 5 eine teilweise geschnittene perspektivische Ansicht eines die erfindungsgemäße amorphe
Legierung verwendenden Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes; und
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht, die in getrennter Form den Hauptteil eines die erfindungsgemäße
amorphe Legierung verwendenden Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes zeigt.
Ein Kristallglas wird als Grundplatte verwendet und Hafnium-Pellets und Tantal-Peletts (jedes Pellet mit einer
Fläche von 10 mm χ 10 mm und eine Dicke von 5 mm) werden
— ο —
auf einer Kobaltscheibe (101,6 mm Durchmesser und 5 mm
Dicke) in radialer Richtung von der Mitte der Scheibe aus abwechselnd angeordnet, wodurch die Zusammensetzung
der auf der Grundplatte durch Aufstäuben gebildeten Legierung durch Steuern der Anzahl der Pellets auf dem
Target geändert werden kann. Dann wird eine das beschriebene System enthaltende Kammer auf ein Hochvakuum
-6 -4
von weniger als 1 χ 10 Torr (1,33 χ 10 Pa) evakuiert
und wird das Aufstäuben in einer Argongasatmosphäre bei
einer hochfrequenten elektrischen Leistung von 2,0 W/cm2 durchgeführt, um auf der Grundplatte eine termäre
amorphe Co-Hf-Ta-Legierung mit Kobalt als Basismaterial zu bilden. Gemäß obiger Beschreibung gebildete amorphe
Legierungen verschiedener Zusammensetzungen werden für verschiedene Eigenschaftstests verwendet, wie dies nachfolgend
erläutert ist.
Fig. 1 zeigt eine Darstellung magnetischer Eigenschaften für den Fall, daß in der Legierung, die in der nachfolgenden Legierungszusammensetzung gezeigt ist, der
Hafnium-Gehalt X geändert wird, während der Tantal-Gehalt Y in der Legierung jeweils bei 4,5 Atom% gehalten wird.
Co 100-X-Y Atom%
Hf X Atom%
Ta Y Atom%
In Fig. 1 zeigen die Kurve Bs eine Sättigungsmagnetflußdichte, die Kurve ue eine Permeabilität in der
Richtung der schwer magnetisierbaren Achse bei einer
Frequenz von 1 MHz und die Kurve Hc eine Koerzitivkraft in Richtung der schwer magnetisierbaren Achse.
Wie der Darstellung in Fig. 1 deutlich entnehmbar ist, weist die binäre Co-Ta-Legierung ohne Hf ein hohes Bs
auf, ist jedoch zu hoch im Hc und niedrig im μβ. Wenn jedoch eine kleine Menge Hf in der Legierung vorhanden
ist, erhöht sich Hc stark, während sich μβ im Gegensatz dazu verringert. Wenn dann der Hf-Gehalt einen bestimmten
Wert übersteigt, wird Hc hoch und wird με niedrig. Andererseits tendiert Bs dazu, mit zunehmendem Hf-Anteil
abzunehmen, obwohl das Ausmaß der Abnahme nicht so groß ist.
Um Hc zu verringern und μβ zu erhöhen, ohne bei einer
solchen Tendenz magnetischer Eigenschaften Bs zu stark zu verringern, ist es erforderlich, daß der Hf-Gehalt X
im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom%, vorzugsweise von 1,5 Atom% bis 3 Atom%, liegt. Dies gilt auch, wenn sich
der Ta-Gehalt Y bis zu einem bestimmten Ausmaß ändert.
Fig. 2 zeigt in einer graphischen Darstellung den Fall, daß bei der in der vorausgehenden Legierungszusammensetzungstabelle
gezeigten Legierung der Ta-Gehalt Y verändert wird, während der Hf-Gehalt X in der Legierung
jeweils bei 2,2 Atom% gehalten wird.
Wie der graphischen Darstellung deutlich entnehmbar ist,
ist bei einer kein Ta enthaltenden binären Co-Hf-Legierung Bs hoch, jedoch Hc zu hoch und ne niedrig. Wenn jedoch
eine geringe Menge Ta in der Legierung vorhanden ist, wird Hc äußerst niedrig, wohingegen μβ im Gegensatz dazu
hoch wird. Wenn dann der Ta-Gehalt über einem bestimmten Wert liegt, wird Hc hoch und με niedrig. Andererseits
neigt Bs dazu, mit Zunahme des Ta-Gehaltes abzunehmen, obwohl das Ausmaß der Abnahme nicht so groß ist.
ΛΛ
-■ * -
3Λ26117
Um Hc zu reduzieren und με zu erhöhen, ohne bei einer solchen Tendenz der magnetischen Eigenschaften Bs zu
stark zu verringern, ist es erforderlich, daß der Ta-Gehalt Y im Bereich von 4 Atom% bis 10 Atom%, vorzugsweise
von 6 Atom% bis 8 Atom%, liegt.
Dies gilt auch, wenn der Hf-Gehalt X bis zu einem bestimmten
Ausmaß geändert wird.
Fig. 3 zeigt in graphischer Darstellung das \ie einer
ternären amorphen Legierung aus Co (93,3 Atom%), Hf (2,2 Atom%) und Ta (4,5 Atom%) (Kurve A) und das μβ
einer binären amorphen Legierung aus Co (97,8 Atom%) und Hf (2,2 Atom%) (Kurve B) in gleichen Frequenzbereichen.
Wie aus der graphischen Darstellung deutlich entnehmbar ist, weist das erfindungsgemäße weichmagnetische
Material bei jeder Frequenz immer eine hohe Permeabilität auf, und es zeigt stabile Eigenschaften in einem
weiten Frequenzbereich.
Die ternäre Co-Hf-Ta-Legierung zeigt in der aus ihr bestehenden Dünnschicht unmittelbar nach ihrer Erzeugung
durch Aufstäuben ein hohes anisotropes Magnetfeld. Als Ergebnis zahlreicher verschiedener Untersuchungen von
Möglichkeiten für die Reduzierung des anisotropen Magnetfeldes ist herausgefunden worden, daß ein Verfahren
wirksam ist, bei dem die als Hauptmagnetpol gebildete ternäre amorphe Legierungsdünnschicht in einem
rotierenden Magnetfeld einer Wärmebehandlung unterzogen wird. Die Bedingungen für diese Wärmebehandlung im
rotierenden Magnetfeld werden ausgewählt aus einer Rotationsdrehzahl von 10 bis 20 Umdrehungen pro Minute,
einer Magnetfeldintensität von mehr als 100 Oe und einer Behandlungszeit von mehr als drei Stunden. Wenn
die Dünnschicht der Legierung, die durch Aufstäuben gebildet worden ist, beispielsweise bei einer Temperatur
von 350° C, einer Rotationsdrehzahl von 10 Umdrehungen pro Minute und einer Magnetfeldintensität von 100 Oe
behandelt wird/ kann das anisotrope Magnetfeld (Hk) auf etwa *4 Oe reduziert werden.
Fig. 4 zeigt in schematischer Ansicht einen senkrecht
magnetisierenden Magnetaufzeichnungskopf, für den das
vorstehend beschriebene weichmagnetische Material verwendet wird.
Auf einer Oberfläche einer isolierenden Grundplatte aus einem Glas oder einem Polyimid ist ein Hauptmagnetpol
2 mit einer Dicke von etwa 1 μΐη durch Aufstäuben gebildet. Ein Hilfsmagnetpol 3 ist gegenüber dem Hauptmagnetpol
2 angeordnet und eine Spule 4 ist um den Hauptmagnetpol 3 gewickelt.
Zwischen den Hauptmagnetpol 2 und den Hilfsmagnetpol 3
ist ein bandförmiger oder ein plattenförmiger magnetischer Aufzeichnungsträger 5 bewegbar eingefügt. Der magnetische
Aufzeichnungsträger 5 besteht aus einem Grundfilm 6 und
einer auf einer Oberfläche des Grundfilms 6 gebildeten Magnetschicht 7. Der magnetische Aufzeichnungsträger
ist so angeordnet, daß die Magnetschicht 7 zum Hauptmagnetpol 2 weist. Wenn ein aufzuzeichnender elektrischer
Signalstrom durch die Spule 4 geschickt wird, um den Hauptmagnetpol 2 von der Seite des Hilfsmagnetpols 3
aus zu magnetisieren, wird in der Nähe des Endes des Hauptmagnetpols 2 ein starkes senkrechtes Magnetfeld
erzeugt, wodurch die in der Nähe des Endes des Hauptmagnetpols 2 befindliche Magnetschicht 7 in Richtung ihrer
Dicke magnetisiert wird, um eine magnetische Aufzeichnung durchzuführen.
Der Hauptmagnetpol 2 besteht aus einer Dünnschicht aus einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung, wobei der
Co-Gehalt 93,3 Atom%, der Hf-Gehalt 2,2 Atom% und der
Ta-Gehalt 4,5 Atom% beträgt. Der Hauptmagnetpol ist durch Aufstäuben gebildet und ist in einem rotierenden
Magnetfeld unter den zuvor beschriebenen Bedinungen einer Wärmebehandlung unterzogen, wodurch die Richtung schwerer
Magnetisierbarkeit der amorphen Legierung in die Arbeitsrichtung des Hauptmagnetpols gerichtet werden
kann.
Fig. 5 zeigt in perspektivischer Darstellung einen Teil
eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes, bei dem das beschriebene weichmagnetische Material verwendet
werden kann. Auf einer Grundplatte 8 aus einem nichtmagnetischen Material, wie Glas, Silizium usw., ist
zunächst eine erste Kerndünnschicht 9 gebildet. Darauf
ist eine zweite Kerndünnschicht 13 gebildet, und zwar unter Zwischenschaltung einer isolierenden Dünnschicht
10 aus nicht-magnetischem Material, einer leitenden Dünnschicht 11 und einer isolierenden Dünnschicht
Diese erste Kerndünnschicht 9, die isolierende Dünnschicht 10, die leitende Dünnschicht 11, die isolierende
Dünnschicht 12 und die zweite Kerndünnschicht 13 werden
aufeinanderfolgend mit definierten Dicken durch eine Schichterzeugunstechnologie, wie Aufstäuben usw.,
gebildet. Mit Bezugszeichen 11a und 11b sind Anschlüsse
zum Verbinden mit Außenschaltkreisen bezeichnet.
Die erste Kerndünnschicht 9 und die zweite Kerndünnschicht 13 werden aus einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung
gebildet, bei welcher der Co-Gehalt 93,3 Atom%, der HF-Gehalt 2,2 Atom% und der Ta-Gehalt
4,5 % beträgt, und diese Dünnschichten sind in einem rotierenden Magnetfeld unter den zuvor angegebenen
Bedingungen wärmebehandelt, wodurch die Richtung der Achse schwerer Magnetisierbarkeit der amorphen Legierung
in die Arbeitsrichtung der Kerndünnschichten gerichtet werden kann.
Fig. 6 zeigt in Perspektivdarstellung in getrennter Form einen Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf unter Verwendung
des beschriebenen weichmagnetischen Materials. 14 ist
eine Grundplatte aus einem nicht-magnetischen Material, 15 ist eine isolierende Dünnschicht, 16 ist eine erste
magnetisch abschirmende Dünnschicht, 17 ist ein MR-Element,
18 und 19 sind leitende Dünnschichten und 20 ist eine zweite magnetisch abschirmende Schicht.
Die erste magnetisch abschirmende Dünnschicht 16 und die zweite magnetisch abschirmende Dünnschicht 20 bestehen
aus Dünnschichten einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung, mit einem Gehalt von 93,3 Atom% Co, 2,2
Atom% Hf und 4,5 Atom% Ta, und diese abschirmenden Dünnschichten sind in einem rotierenden Magnetfeld unter
den zuvor angegebenen Bedingungen wärmebehandelt, wodurch die Richtung schwerer Magnetisierbarkeit der amorphen
Legierung in die magnetische Durchlaßrichtung der magnetisch abschirmenden Dünnschichten gebracht ist.
Wie bereits erwähnt, kann man dadurch, daß man in einer ternären amorphen Co-Hf-Ta-Legierung mit Co als Grundmaterial
den Hf-Gehalt auf einen Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom% und den Ta-Gehalt auf einen Bereich von
4 Atom% bis 10 Atom% festlegt,, ein weichmagnetisches Material mit niedriger Koerzitivkraft und einer hohen
Permeabilität ohne Verringerung der Sättigungsmagnetflußdichte erhalten. Dadurch, daß man den Hauptmagnetpol
eines senkrecht magnetisierenden Aufzeichnungsmagnetkopfes
unterVerwendung des weichmagnetischen Materials herstellt, kann man die Dicke des Hauptmagnet-
pols sehr stark reduzieren, da die ternäre amorphe
Legierung eine hohe Permeabilität und eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte
aufweist, wodurch die Wiedergabeleistung und die Auflösungsleistung des Magnetkopfes
erhöht werden können.
Wenn die Kerndünnschichten eines Dünnschicht-Magnetaufzeichnungskopfes
unter Verwendung des beschriebenen weichmagnetischen Materials gebildet werden, können
die Aufzeichnungseffizienz und die Wiedergabeeffizienz
des Magnetkopfes erhöht werden, da die ternäre amorphe Legierung eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte und
eine hohe Permeabilität aufweist.
Wenn die magnetisch abschirmenden Dünnschichten eines Dünnschicht-Magnetwiedergabekopfes unter Verwendung
des beschriebenen weichmagnetischen Materials gebildet werden, kann eine ausreichende magnetische Abschirmwirkung
erzielt werden, kann die Wiedergabeempfindlichkeit verbessert werden und kann die Dicke der magnetisch
abschirmenden Dünnschichten weiter reduziert werden, da die ternäre amorphe Legierung eine hohe Permeabilität
und eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte aufweist. Ferner kann man in diesem Fall durch geeignetes Steuern
des Anteilsverhältnisses von Hafnium und Tantal in der ternären amorphen Legierung die Magnetostriktion
der magnetisch abschirmenden Dünnschichten auf Null oder nahezu Null reduzieren.
-4b ^
- Leerseite -
Claims (9)
1.\ Magnetkopf für senkrechte magnetische Aufzeichnung,
^ mit dem eine magnetische Schicht (7) eines magnetischen
Aufzeichnungsträgers (5) in Richtung ihrer Dicke magnetisierbar ist, in dem ein Hauptmagnetpol
(2) des Magnetkopfes der magnetischen Schicht (7) gegenüber angeordnet wird,
dadurch gekennzeichnet , daß der Hauptmagnetpol (2) aus einer ternären amorphen Legierung besteht, die Kobalt als Basismaterial und geringe Mengen Hafnium und Tantal aufweist.
dadurch gekennzeichnet , daß der Hauptmagnetpol (2) aus einer ternären amorphen Legierung besteht, die Kobalt als Basismaterial und geringe Mengen Hafnium und Tantal aufweist.
2. Magnetkopf nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Hafnium-Gehalt im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom% und der Tantal-Gehalt im Bereich von 4 Atom%
bis 10 Atom% liegt.
3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die den Hauptmagnetpol (2) bildende Schicht aus
der ternären amorphen Legierung einer Wärmebehandlung in einem rotierenden Magnetfeld unterzogen worden ist.
4. Dünnschicht-Magnetkopf,
gekennzeichnet durch
gekennzeichnet durch
eine Grundplatte (8) aus nicht-magnetischem Material
und durch darauf in Schichten aufgebracht eine erste Kerndünnschicht (9), eine nicht-magnetische Dünnschicht
(10) und eine zweite Kerndünnschicht (13), wobei die Kerndünnschichten (9, 13) aus einer
ternären amorphen Legierung bestehen, die Kobalt als Basismaterial und geringe Mengen Hafnium und
Tantal aufweist.
5. Dünnschicht-Magnetkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hafnium-Gehalt im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom% und der Tantal-Gehalt im Bereich von 4 Atom%
bis 10 Atom% liegt.
6. Dünnschicht-Magnetkopf nach Anspruch 4 oder S1
dadurch gekennzeichnet,
daß die die Kerndünnschichten (9, 13) bildenden Dünnschichten der ternären amorphen Kobalt-Hafnium-Tantal-Legierung
in einem rotierenden Magnetfeld wärmebehandelt sind.
7. Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf, gekennzeichnet durch
ein als magnetischer Widerstand wirkendes Element (17), das auf beiden Seiten mit je einer magnetisch
abschirmenden Dünnschicht (16, 20) versehen ist, wobei
die magnetisch abschirmenden Dünnschichten (16, 10) aus einer ternären amorphen Legierung bestehen,
die Kobalt als Basismaterial und geringe Mengen Hafnium
und Tantal aufweist.
8. Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß der Hafnium-Gehalt im Bereich von 1 Atom% bis 5 Atom% und der Tantal-Gehalt im Bereich von 4 Atom%
bis 10 Atom% liegt.
9. Dünnschicht-Magnetwiedergabekopf nach Anspruch oder 8,
dadurch gekennzeichnet/ daß die Dünnschichten der ternären amorphen Legierung
in einem rotierenden Magnetfeld wärmebehandelt sind.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12872483A JPS6022727A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 薄膜磁気再生ヘツド |
JP58128715A JPS6022714A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 垂直磁気記録用磁気ヘツド |
JP12872183A JPS6022722A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3426117A1 true DE3426117A1 (de) | 1985-01-31 |
DE3426117C2 DE3426117C2 (de) | 1988-05-05 |
Family
ID=27315802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843426117 Granted DE3426117A1 (de) | 1983-07-16 | 1984-07-16 | Magnetkopf |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4641213A (de) |
KR (1) | KR890003043B1 (de) |
DE (1) | DE3426117A1 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR940004986B1 (ko) * | 1984-08-27 | 1994-06-09 | 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 | 자성막의 제조방법 및 그것을 사용한 자기헤드 |
US5045637A (en) * | 1988-01-14 | 1991-09-03 | Nippon Steel Corp. | Magnetic shielding material |
US6724027B2 (en) * | 2002-04-18 | 2004-04-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Magnetic shielding for MRAM devices |
CN116180025A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-05-30 | 东莞市昱懋纳米科技有限公司 | 一种TaCo二元非晶合金薄膜及其制备方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2908972A1 (de) * | 1978-03-13 | 1979-09-27 | Ibm | Amorpher, magnetischer duennfilm und verfahren zu seiner herstellung |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3656229A (en) * | 1968-11-08 | 1972-04-18 | Hitachi Ltd | Process for producing magnetic head |
DE2832731A1 (de) * | 1978-07-26 | 1980-02-07 | Vacuumschmelze Gmbh | Magnetkern aus einer weichmagnetischen amorphen legierung |
US4317148A (en) * | 1980-01-24 | 1982-02-23 | Sperry Corporation | Transducer for perpendicular magnetic recording |
JPS57155339A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head and production thereof |
-
1984
- 1984-05-25 KR KR1019840002876A patent/KR890003043B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1984-07-16 US US06/630,900 patent/US4641213A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-07-16 DE DE19843426117 patent/DE3426117A1/de active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2908972A1 (de) * | 1978-03-13 | 1979-09-27 | Ibm | Amorpher, magnetischer duennfilm und verfahren zu seiner herstellung |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
NAKAMURA, J., IWASAKI, S., Reproducing Characteristics of perpendicular magnetic heads, In: IEEE Transactions on Magnetics, Nov. 1982, Vol. MAG-18, No. 6, S. 1167-1169 * |
SCHWARZ, T.A., Vertical Recording Magnetic Head, In: IBM Technical Disclosure Bulletin, Sept. 1981, Vol. 24, No. 4, S. 1930 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3426117C2 (de) | 1988-05-05 |
KR850001595A (ko) | 1985-03-30 |
KR890003043B1 (ko) | 1989-08-19 |
US4641213A (en) | 1987-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69213558T2 (de) | Magnetkopf und Herstellungsverfahren eines solchen Kopfes | |
DE2924013C2 (de) | ||
DE2363123C3 (de) | Magnetoresistor Abtastkopf | |
DE69015652T2 (de) | Weichmagnetischer dünner Film, Verfahren zu seiner Herstellung und Magnetkopf. | |
DE2841633C2 (de) | Magnetaufzeichnungs- und wiedergabegerät | |
DE2842609A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmedium fuer senkrechte signalaufzeichnung | |
DE3623285C2 (de) | ||
DE19700506A1 (de) | Magnetisches Speichermedium | |
DE4140983A1 (de) | Magnetkopf in duennschichttechnik und verfahren zu dessen herstellung | |
DE3886569T2 (de) | Magnetkopf. | |
DE69031453T2 (de) | Magnetischer Lese-/Schreibkopf und Herstellungsverfahren eines solchen Kopfes | |
DE69428227T2 (de) | Weichmagnetischer Mehrschichtfilm für einen Magnetkopf | |
DE3443601A1 (de) | Magnetaufzeichnungsmedium | |
DE4322698A1 (de) | Dünnfilm-Magnetkopf | |
DE3888287T2 (de) | Film-Magnetkopf. | |
DE3737266A1 (de) | Weichmagnetischer duennfilm | |
DE69112252T2 (de) | Herstellungsverfahren von einem magnetischen Wiedergabe-Aufzeichnungskopf. | |
DE10022372A1 (de) | Co-Fe-Ni-Magnetfilm mit hoher magnetischer Sättigungsflußdichte, den Film verwendender Dünnfilm-Verbundmagnetkopf und den Kopf verwendende Magnetspeichervorrichtung | |
DE3833901C2 (de) | ||
DE3607500A1 (de) | Quermagnetisierungsaufzeichnungsmedium und verfahren zur herstellung eines quermagnetisierungsaufzeichnungsmediums | |
DE69215047T2 (de) | Dünnfilmlaminierter aufnahme/wiedergabe magnetkopf für hohe schreibdichten und datentransferraten | |
DE3788579T2 (de) | Ferromagnetischer dünner Film und ihn verwendender Magnetkopf. | |
DE3426178C2 (de) | ||
DE3426117A1 (de) | Magnetkopf | |
DE19529167A1 (de) | Weichmagnetischer Dünnfilm sowie Magnetkopf und magnetisches Aufzeichnungsgerät unter Verwendung eines solchen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: KLUNKER, H., DIPL.-ING. DR.RER.NAT. SCHMITT-NILSON |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |