DE3421149A1 - Druckaufnehmer - Google Patents

Druckaufnehmer

Info

Publication number
DE3421149A1
DE3421149A1 DE19843421149 DE3421149A DE3421149A1 DE 3421149 A1 DE3421149 A1 DE 3421149A1 DE 19843421149 DE19843421149 DE 19843421149 DE 3421149 A DE3421149 A DE 3421149A DE 3421149 A1 DE3421149 A1 DE 3421149A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
membrane
thermal protection
measured
pressure transducer
medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19843421149
Other languages
English (en)
Other versions
DE3421149C2 (de
Inventor
Günter Dr. Hohenberg
Helmut Dipl.-Ing. List
Rudolf Ing. Graz Zeiringer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AVL List GmbH
Original Assignee
AVL List GmbH
AVL Gesellschaft fuer Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AVL List GmbH, AVL Gesellschaft fuer Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH filed Critical AVL List GmbH
Publication of DE3421149A1 publication Critical patent/DE3421149A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3421149C2 publication Critical patent/DE3421149C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0681Protection against excessive heat
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/008Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Druckaufnehmer, mit
  • zumindest einem in einem Gehäuse angeordneten AXeßelement sowie einer das Gehäuse gegen das zu vermessende Medium abdichtenden Membrane, welche mit dem Meßelement zur Übertragung des zu messenden Druckes in Verbindung steht und an der de zu vermessenden Medium ausgesetzten Seite eine den biegsamen Bereich der Membrane zumindest teilweise übergreifende, im Bereich des Mittelteils der Membrane an dieser befestigte und von dort aus in radialer Richtung frei bewegliche Thermoschutzscheibe aufweist.
  • Derartige Druckaufnehmer, wie sie beispielsweise aus der AT-PS 264 156 oder auch aus der DE-OS 30 26 617 bekannt sind, werden vorwiegend zur Druckmessung an Medien mit stark wechselnden Temperaturbelastungen, beispielsweise in Brennräumen von Verbrennungskraftmaschinen, Raketen, Explosionskammern usw., verwendet.
  • Infolge der Tatsache, daß die das Gehäuse gegen das zu vermessende Medium abdichtende Membrane einerseits mit dem Gehäuse des Druckaufnehmers und andererseits mit dem Meßelement selbst unmittelbar kraftschlüssig in Verbindung steht, wirken sich Spannungsänderungen in der Membrane, beispielsweise hervorgerufen durch das Auftreten von plötzlichen Temperaturstößen während des Meßvorganges, unmittelbar in einer Anderung der auf das Meßelement wirkenden Kraft und somit in einem Fehler in der eigentlichen Druckmessung aus.
  • Um die Auswirkungen dieser Temperaturstöße, die sogenannte Temperaturschockdrift, möglichst auszuschalten ist es aus den genannten Druckschriften bekannt, eine Thermoschutzscheibe an der dem zu vermessenden Medium ausgesetzten Seite vorzusehen, welche zumindest die thermisch höchstbeanspruchten Teile der Membrane übergreift, jedoch zu diesen einen relativ großen Spalt aufweist. Bei derartigen Anordnungen ist das Kompensationsverhalten gegenüber Temperaturstößen, durch Verhinderung der direkten Umsetzung von derartigen Temperaturstößen in Spannungsänderungen der Membrane, in hohem Maße davon abhängig, ob bzw. bis zu welchem Grade der Spalt zwischen Thermoschutzscheibe und Membrane bereits verunreinigt ist, was im Meßbetrieb nachteilig ist. Ein weiterer Nachteil dieser bekannten Ausbildungen ist dadurch gegeben, daß bei der Bewegung der Membran im Meßbetrieb insbesonders bei höherfrequenten Druckschwankungen ziemliche Gasaustauschbewegungen in den und aus dem Spalt auftreten, die unter Umständen die Temperatur der Membran zusätzlich sehr aufschaukeln können.
  • Weiters ist beispielsweise aus der AT-PS 258 610 ein Druckaufnehmer bekannt, bei dem die Thermoschutzscheibe direkt und auf nicht näher bezeichnete Weise an der Außenseite der Membrane bzw. in einer an der Außenseite vorgesehenen Vertiefung befestigt ist, womit im wesentlichen keine zufriedenstellende Lösung des genannten Problems erzielt werden kann, da bei Auftreten von Temperaturstößen auftretende kurzzeitige Dehnungen in der Thermoschutzscheibe voll auf die Membrane übertragen werden, was eine zufriedenstellende Kompensation der Temperaturschockdrift unmöglich macht.
  • Zu beispielsweise aus der DE-OS 16 48 551 bekannten Druckaufnehmern ist als wesentlicher Nachteil anzuführen, daß dort eine relativ kompliziert ausgebildete Thermoschutzscheibe in einen eigens an der Außenseite der Membrane angebrachten Tragering eingesetzt wird, wobei die Thermoschutzscheibe nur an ihrem Rand in Zusammenwirkung mit diesem Tragering gehalten wird.
  • Dabei ergeben sich naturgemäß große Probleme mit im Betrieb des Druckaufnehmers auftretenden Dehnungen der einzelnen Bauteile relativ zueinander, was auch bei größter Genauigkeit in den Bearbeitungstoleranzen kaum beherrschbare Probleme im praktischen Meßbetrieb ergibt.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die genannten Nachteile der bekannten Druckaufnehmer zu vermeiden und insbesonders einen Druckaufnehmer der eingangs genannten Art so auszubilden, daß die negativen Auswirkungen der Temperaturschockdrift auf einfache und zuverlässige Weise beseitigt werden können und daß besonders auch die Nachteile, die sich durch eine Verkokung bzw. Verschmutzung eines Spalts zwischen Thermoschutzscheibe und Membrane ergeben können, ausgeschaltet sind.
  • Dies wird gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch erreicht, daß die Thermoschutzscheibe in ihrem radial frei beweglichen Bereich unmittelbar an der Oberfläche des biegsamen Bereiches der Membrane anliegt. Da die Befestigung der die außenliegende Membranoberfläche zumindest teilweise übergreifenden, dünnen Thermoschutzscheibe nur in der Membranmitte erfolgt, können sich durch Tenperaturstöße hervorgerufene Dehnungen in der Thermoschutzscheibe nur in dieser selbst durch eine entsprechende Deformation in radialer Richtung auswirken; die dahinter liegende Membrane bleibt von derartigen Temperaturstößen unbeeinflußt. Über eine Variation der Größe bzw. Ausdehnung sowie der unter Umständen auch nicht durchgehend gleichmäßigen Dicke der Thermoschutzscheibe kann die Kompensationswirkung beeinflußt werden, was bei der Entwicklung neuer Druckaufnehmer eine optimale Anpassung an die speziellen Gegebenheiten erlaubt. Die dünne, vorzugsweise metallische Thermoschutzscheibe liegt am flexiblen Teil der Membran direkt anund verformt sich somit im Meßbetrieb mit der Membran. Da gegenüber der Membranoberfläche eine freie radiale Bewegung ermöglicht ist, läßt sich eine sehr gute lineare Charakteristik des Einflusses der Membran auf die Messung sicherstellen. Dabei sind aber durch die Vermeidung eines Spalts zwischen Thermoschutzscheibe und beweglichem Bereich der Membrane auf alle Fälle die durch die mögliche Verschmutzung des Spalts bzw. die Gaswechselbewegungen sich ergebenden Nachteile vermieden.
  • Die Thermoschutzscheibe kann auch an ihrer der Membrane zugewandten Seite eine wärmeisolierende Schutzschicht aufweisen, was eine zusätzliche Sicherheit gegen das Auftreten der Temperaturschockdrift bietet.
  • Diese Schutzschicht kann z.B. fest mit dem/den anderen Teil(en) der Thermoschutzscheibe verbunden, oder aber auch als lose eingelegte Scheibe ausgebildet sein.
  • weiteres könnte die Thermoschutzscheibe auch aus mehreren Schichten bestehen, welche sich ggf. hinsichtlich Temperaturbeständigkeit, Temperaturdehnung, bzw.
  • Wärmeleitfähigkeit unterscheiden. Auf diese Weise kann die Kompensation von auftretenden Temperaturstößen während der Messung mit dem Druckaufnehmer bereits im Aufbau der Thermoschutzscheibe entsprechend verfeinert werden.
  • Die Thermoschutzscheibe und/oder der von dieser nicht bedeckte äußere Rand der Membrane können in weiterer Ausgestaltung der Erfindung an der dem zu vermessenden Medium zugewandten Seite eine Beschichtung aus wärmedämmendem Material aufweisen, wodurch ebenfalls die Temperaturschockdrift verringert wird.
  • Weiters kann die Thermoschutzscheibe nach einer anderen Ausbildung der Erfindung zur Verminderung der Biegesteifigkeit mit Ausnehmungen und/oder Eindrehungen versehen sein, wodurch allfällige Beeinflussungen der Gebercharakteristik durch die aufgesetzte Thermoschutzscheibe verhindert bzw. zumindest auf ein nicht störendes Ausmaß verringert werden können.
  • Schließlich kann nach einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung die Thermoschutzscheibe, in an sich z.B. aus der genannten AT-PS 258 610 bekannter Weise, in einer Eindrehung an der Membranstirnseite unter Bildung einer im wesentlichen ebenen Außenfläche angeordnet sein, wodurch eine kleine Wärmeübergangsfläche erreicht und eine unzulässige Beeinflussung des zu vermessenden Vorganges weitgelieid verhindert wird. Die freie radiale Beweglichkeit von der Befestigung an der Membrane aus muß natürlich nach wie vor gegeben sein.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert, wobei die Fig. 1 bis 4 jeweils einen teilweisen Schnitt durch eine andere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Druckaufnehmers im Bereich der Membrane zeigen; Fig. 5 zeigt im linken und rechten Teil zwei weitere, unterschiedliche Ausführungsformen nach der Erfindung und Fig. 6 zeigt eine Ansicht auf die beiden Ausführungsformen nach Fig. 5 entlang des Pfeiles VI.
  • Die all-en Ausführungsbeispielen gemeinsamen Bauteile sind das Gehäuse 1, die am vorderen Ende 2 des Gehäuses 1 angeordnete Membrane 3, welche den Innenraum 4 des Gehäuses 1 gegen das zu vermessende Medium abdichtet, sowie das Meßelement 5, dessen spezielle Ausbildung und Anordnung nicht weiter interessant und daher auch nicht dargestellt ist. Die Membrane 3 steht mit dem Meßelement 5 über ihren Mittelteil 6 zur Übertragung des zu messenden Druckes bzw.
  • der davon resultierenden Kraft in Verbindung und weist weiters an der dem zu vermessenden Medium ausgesetzten Seite eine an der Membranoberfläche anliegende und diese zumindest teilweise übergreifende Thermoschutzscheibe 7 auf, welche im Bereich des Mittelteils 6 der Membrane 3 an dieser befestigt und von dort aus in radialer Richtung frei beweglich ist.
  • Bei der Ausführung nach Fig. 1 ist die Thermoschutzscheibe 7 mit einer zentralen Bohrung 8 versehen, welche auf einem entsprechenden Ansatz des Mittelteiles 6 aufsitzt; die Befestigung erfolgt mittels einer Schweißnaht 9, welche den Mittelteil 6 der Membrane 3 mit der Thermoschutzscheibe 7 im Bereich der Boh- rung8verbindet.Vander Schweißnaht 9 ausgehend ist die Thermoschutzscheibe 7 in radialer Richtung gegenüber der Oberfläche der Membrane 3 frei beweglich, wodurch beim Auftreten von kurzzeitigen Temperatur stößen vom zu messenden Medium her lediglich Dehnungen in der Thermoschutzscheibe 7 auftreten können, die ohne Einfluß auf die Spannung der Membrane selbst sind. Es kann also damit sichergestellt werden, daß die von der Membrane 3 bzw. deren Mittelteil 6 auf das Meßelement 5 ausgeübten Kräfte tatsächlich nur druckproportional sind und nicht von Temperaturstößen im zu vermessenden Medium verfälscht werden.
  • Falls erforderlich kann der Innenraum 4 des Gehäuses 1 mit einem geeigneten Kühlmedium durchspült werden, was die Verwendung des gesamten Druckaufnehmers auch für Messungen an Medien mit hoher Temperatur gestattet.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 weist die Thermoschutzscheibe 7 an ihrer der Membrane 3 zugewandten Seite eine wärmeisolierende Schutzschicht 10 auf, die die Wärmeübertragung von der dem zu vermessenden Medium zugewandten Seite der Thermoschutzscheibe 7 zur Membrane 3 zusätzlich verhindert und damit die Kompensation der Temperaturschockdrift weiter verbessert. Außerdem ist hier zur Befestigung der Thermoschutzscheibe 7 gegenüber dem Mittelteil 6 der Membrane 3 ein vom Meßelement 5 bzw. der hier'nicht eigens dargestellten Aufnahmeeinrichtung für das Meßelement ausgehender Zapfen 11 vorgesehen, der an seinem vorderen Ende einen Linsenkopf 12 trägt, mit dem die Thermoschutzscheibe 7 gegen den Mittelteil 6 der Membrane 3 verspannt ist. Im übrigen gelten auch hier die bereits zum Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 gemachten Ausführungen.
  • Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 besteht die Thermoschutzscheibe 7 aus mehreren einzelnen Schichten 13, 14, welche sich beispeilsweise hinsichtlich ihrer Temperaturbeständigkeit, ihrer Temperaturdehnung, ihrer Wärmeleitfähigkeit oder anderer geeigneter Eigenschaften unterscheiden können, wobei die einzelnen Schichten entweder aneinander befestigt oder - abgesehen von der gemeinsamen Befestigung am Mittelteil 6 der Membrane 3 - gegeneinander frei beweglich sein können.
  • Die Befestigung der Thermoschutzscheibe 7 am Kittelteil 6 der Membrane 3 erfolgt beispielsweise durch Elektronenstrahlschweißung.
  • Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 weist die Thermoschutzscheibe 7 sowie der von dieser nicht bedeckte äußere Rand 15 der Membrane 3 an der dem zu vermessenden Medium zugewandten Seite eine Beschichtung 16 aus wärmedämmendem Material auf, was ebenfalls sehr günstig die Temperaturschockdrift verringert. Außerdem ist hier die Thermoschutzscheibe 7 in einer Eindrehung 17 an der Membranstirnseite angeordnet, wodurch im wesentlichen eine ebene Außenfläche des dem zu vermessenden Medium zugewandten vorderen Endes des Druckaufnehmers erreicht ist, was im Meßbetrieb sehr günstig ist. Die Befestigung der Thermoschutzscheibe 7 erfolgt auch hier wiederum im Bereich des Mittelteils 6 der Membrane durch Elektronenstrahlschweißung, wobei hier die Schweißstellen 18 bis zu dem das Meßelement 5 aufnehmenden Bauteil durchgezogen sind.
  • Bei der in Figl 5 links dargestellten Ausführungsform ist die Thermoschutzscheibe 7 zur Verminderung ihrer Biegesteifigkeit mit Eindrehungen 19 versehen, welche konzentrisch um die Achse 20 des Druckaufnehmers angeordnet sind. Bei der in Fig. 5 rechts dargestellten Ausführung sind zum gleichen Zwecke Ausnehmungen 21 in der Thermoschutzscheibe 7 angeordnet, welche ebenfalls konzentrisch um die Achse 20 verlaufen. Bezüglich der übrigen Merkmale dieser Ausführungen sei hier nur auf das bereits zu Fig. 4 Angemerkte verwiesen.
  • Es sei noch darauf hingewiesen, daß abgesehen von den dargestellten und besprochenen Formen der Membran und der Thermoschutzscheibe im Rahmen der Erfindung auch durchaus andere Ausführungen gewählt werden können, soferne es nur sichergestellt ist, daß die im Bereich des Mittelteils der Membrane befestigte Thermoschutzscheibe - deren äußere Form und Abmessung den jeweiligen Gegebenheiten angepaßt werden kann - von ihrer Befestigungsstelle aus in radialer Richtung frei beweglich ist.
  • - Leerseite -

Claims (4)

  1. Patentansprüche 1. Druckaufnehmer, mit zumindest einem in einem Gehäuse angeordneten Meßelement sowie einer das Gehäuse gegen das zu vermessende Medium abdichtenden Membrane, welche mit dem Meßelement zur Übertragung des zu messenden Druckes in Verbindung steht und an der dem zu vermessenden Medium ausgesetzten Seite eine den biegsamen Bereich der Membrane zumindest teilweise übergreifende, im Bereich des Mittelteils der Membrane an dieser befestigte und von dort aus in radialer Richtung frei bewegliche Thermoschutzscheibe aufweist, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Thermoschutzscheibe (7) in ihrem radial frei beweglichen Bereich unmittelbar an der Oberfläche des biegsamen Bereiches der Membrane (3) anliegt.
  2. 2. Druckaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Thermoschutzscheibe (7) und/oder der von dieser nicht bedeckte äußere Rand (15) der embrane (3) an der dem zu vermessenden Medium zugewandten Seite eine Beschichtung (i6) aus wärmedämmendem Material aufweist.
  3. 3. Druckaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Thermoschutzscheibe (7) zur Verminderung der Biegesteifigkeit mit Ausnehmungen (21) und/oder Eindrehungen (19) versehen ist.
  4. 4. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Thermoschutzscheibe (7) in einer Eindrehung (17) an der Xembranstirn- seite unter Bildung einer im wesentlichen ebenen Außenfläche angeordnet ist.
DE19843421149 1983-06-15 1984-06-07 Druckaufnehmer Expired DE3421149C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT221283A AT383895B (de) 1983-06-15 1983-06-15 Druckaufnehmer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3421149A1 true DE3421149A1 (de) 1984-12-20
DE3421149C2 DE3421149C2 (de) 1986-08-21

Family

ID=3530096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19843421149 Expired DE3421149C2 (de) 1983-06-15 1984-06-07 Druckaufnehmer

Country Status (3)

Country Link
AT (1) AT383895B (de)
CH (1) CH664630A5 (de)
DE (1) DE3421149C2 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0200709A2 (de) * 1985-03-05 1986-11-05 AVL Gesellschaft für Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH.Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List Druckaufnehmer
US20130042692A1 (en) * 2010-04-30 2013-02-21 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Membrane for a pressure dome
US20130068030A1 (en) * 2010-05-25 2013-03-21 Piezocryst Advanced Sensorics Gmbh Thermal protection element for a pressure sensor
JP2015052597A (ja) * 2013-09-05 2015-03-19 ピエツォクリスト・アドヴァンスト・ゼンゾリクス・ゲー・エム・ベー・ハー 圧力センサ
AT515200B1 (de) * 2014-01-20 2015-07-15 Piezocryst Advanced Sensorics Drucksensor mit Wärmeleitelement

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW221491B (de) * 1990-03-16 1994-03-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd
AT2036U1 (de) * 1996-09-06 1998-03-25 Avl Verbrennungskraft Messtech Sensor zur druckmessung in heissen medien

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT258610B (de) * 1965-12-09 1967-12-11 H C Hans Dipl Ing Dr Dr List Piezoelektrischer Druckgeber
AT264156B (de) * 1966-02-08 1968-08-26 H C Hans Dipl Ing Dr Dr List Piezoelektrischer Druckgeber
DE1648551A1 (de) * 1966-04-29 1972-02-24 Kistler Instrumente Ag Membrankonstruktion fuer Druckaufnehmer
DE3026617A1 (de) * 1979-08-09 1981-02-19 List Hans Druckgeber zur messung von heissen druckmedien

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT258610B (de) * 1965-12-09 1967-12-11 H C Hans Dipl Ing Dr Dr List Piezoelektrischer Druckgeber
AT264156B (de) * 1966-02-08 1968-08-26 H C Hans Dipl Ing Dr Dr List Piezoelektrischer Druckgeber
DE1648551A1 (de) * 1966-04-29 1972-02-24 Kistler Instrumente Ag Membrankonstruktion fuer Druckaufnehmer
DE3026617A1 (de) * 1979-08-09 1981-02-19 List Hans Druckgeber zur messung von heissen druckmedien

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0200709A2 (de) * 1985-03-05 1986-11-05 AVL Gesellschaft für Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH.Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List Druckaufnehmer
EP0200709A3 (en) * 1985-03-05 1987-08-26 Avl Gesellschaft Fur Verbrennungskraftmaschinen Und Messtechnik Mbh.Prof.Dr.Dr.H.C.Hans List Pressure transducer
US20130042692A1 (en) * 2010-04-30 2013-02-21 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Membrane for a pressure dome
US9050417B2 (en) * 2010-04-30 2015-06-09 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Membrane for a pressure dome
US9435706B2 (en) 2010-04-30 2016-09-06 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Membrane for a pressure dome
US20130068030A1 (en) * 2010-05-25 2013-03-21 Piezocryst Advanced Sensorics Gmbh Thermal protection element for a pressure sensor
US8919203B2 (en) * 2010-05-25 2014-12-30 Piezocryst Advanced Sensorics Gmbh Thermal protection element for a pressure sensor
JP2015052597A (ja) * 2013-09-05 2015-03-19 ピエツォクリスト・アドヴァンスト・ゼンゾリクス・ゲー・エム・ベー・ハー 圧力センサ
AT515200B1 (de) * 2014-01-20 2015-07-15 Piezocryst Advanced Sensorics Drucksensor mit Wärmeleitelement
AT515200A4 (de) * 2014-01-20 2015-07-15 Piezocryst Advanced Sensorics Drucksensor mit Wärmeleitelement

Also Published As

Publication number Publication date
ATA221283A (de) 1987-01-15
AT383895B (de) 1987-09-10
CH664630A5 (de) 1988-03-15
DE3421149C2 (de) 1986-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2728823C2 (de) Gasturbine
DE2709834A1 (de) Kapazitiver druckfuehler
EP2786108B1 (de) Druckmesseinrichtung mit zusatzmembran
DE3026617C2 (de) Meßanordnung
DE3108669A1 (de) Messwertaufnehmer zur messung mechanischer groessen an hohlkoerpern
DE2647934A1 (de) Gaslaserroehre
DE3421149C2 (de) Druckaufnehmer
EP3581907B1 (de) Membrandrucksensor mit messfeder-stützrohr und darauf beschichtetem drucksensor
DE3518259A1 (de) Wegmessinstrument
DE4320728A1 (de) Lagemeßeinrichtung
EP0200709B1 (de) Druckaufnehmer
DE1955040A1 (de) Piezoelektrischer Beschleunigungsmesswandler
DE3003236A1 (de) Drehbewegliche rohrverbindung
DE3918698C1 (de)
DE2610251C3 (de) Drehspeicherwärmetauscher
DE3342248C2 (de)
DE102015001213B4 (de) Membrandrucksensor mit einem Wärmeverteilungskörper
DE3514987C2 (de)
WO2006128445A1 (de) Extensometer für hohe temperaturen
EP1731877A1 (de) Geberelement eines Messsystems
DE2321957C2 (de) Vorrichtung zur Temperaturkompensation federelastischen MeSelementen
DE2612298C3 (de) Dichtungsvorrichtung für Drehspeicherwärmetauscher
DE3423696A1 (de) Druckmessaufnehmer
DE236627C (de)
EP0837307A1 (de) Optische Brennraumsonde

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee