DE3406942A1 - Drucksensor - Google Patents
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0082—Transmitting or indicating the displacement of capsules by electric, electromechanical, magnetic, or electromechanical means
- G01L9/0086—Transmitting or indicating the displacement of capsules by electric, electromechanical, magnetic, or electromechanical means using variations in capacitance
Description
Die Erfindung betrifft einen Drucksensor zur Überwachung
des Drucks auch aggressiver Medien in einem Druckbereich von etwa 0,8 bis 50 bar, insbesondere zur überwachung von
Kühlanlagen, Klimaanlagen oder Wärmepumpen, welcher ein Druck/Weg-Umformglied und einen mechanisch-elektrischen
Umformer aufweist.
Der Druck des Kältemittels in den verschiedenen Teilen von Kühlanlagen, Wärmepumpen oder Klimaanlagen wird durch druckabhängige
Schalter überwacht und geregelt, die mit elektrischen Kontaktsystemen zum Ein- und Ausschalten von Schaltgeräten
wie Schützen oder Ventilen ausgerüstet sind. Während bei älteren Anlagen die Steuerspannung hierbei in der Regel
die Netzspannung war, werden hier in jüngster Zeit elektronische Schaltkreise niedrigerer Spannung eingesetzt,
die höhere Anforderungen bezüglich Genauigkeit, Sicherheit, Programmierbarkeit usw. erfüllen.
Die DE-OS 32 01 262 beschreibt einen Drucksensor mit einem
Druck/Weg-Urnformglied und einem mechanisch-elektrischen Umformer,
wobei letzterer in Form eines Plattenkondensators mit einer beweglichen Kondensatorplatte ausgebildet ist.
Von daher besitzt der dortige Drucksensor auch bei kleinen Spannungen und Strömen eine ausreichende Kontaktsicherheit
für elektronische Steuerungen. Das Druck/Weg-Umformglied und der mechanisch-elektrische Umformer sind dort durch ein
Übertragungsgestänge miteinander verbunden, so daß sich eine räumliche Trennung von Druckaufnehmer und Druckauswertung
ergibt. Von daher kann das eingangsseitige Druck/Weg-Umformglied in seinen Abmessungen und in seiner Materialwahl ausschließlich
unter dem Gesichtspunkt der Korrosionsbeständigkeit gegenüber einem aggressiven Druckmedium, z. B. einem
Kältemittel, konzipiert werden, was im Hinblick auf den Einsatz in Kühlanlagen, Wärmepumpen oder Klimaanlagen von
großer Bedeutung für die Betriebssicherheit und die Lebensdauer ist. Bei dem bekannten Drucksensor ist die Ansprechgenauigkeit
noch nicht voll befriedigend, da die verschiedenen Gelenk- und Verbindungspunkte notwendig ein gewisses Spiel
aufweisen und wegen der dort begrenzten Platzverhältnisse
außerdem die Bauelemente, die zur Vorgabe des Druck- und des Ansprechbereiches dienen, nur schwierig mit hinreichender
Genauigkeit gefertigt werden können.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Drucksensor mit niedrigen Ein- und Ausgangsspannungen für die überwachung
des Drucks aggressiver Medien zu schaffen, der eine große Ansprechgenauigkeit aufweist und der außerdem günstig zu
fertigen und zu montieren ist.
Diese Aufgabe wird durch einen Drucksensor gelöst, welcher aufgebaut ist
aus einem Druck/Weg-Umformglied mit beweglichem, abgreifbarem
Wegstück,
aus einem mechanisch-elektrischen Umformer in Form eines Plattenkondensators mit einer beweglichen Kondensatorplatte,
die als eine an einem Rand eingespannte Biegeplatte ausgebildet ist und eine im Abstand von ihrem Einspannrand liegende
Krafteinleitstelle aufweist, wobei der Plattenkondensator seitlich neben dem Druck/Weg-Umformglied angeordnet ist und
seine bewegliche Platte im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsrichtung des Wegstücks orientiert ist,
aus einem an einem Ende gelagerten, einarmigen Ubersetzungshebel
und
aus einer Blattfeder zur Einstellung eines Ansprechbereiches innerhalb des erwähnten Druckbereiches, welche auf der dem
Druck/Weg-Umformglied abgewandten Seite des Ubersetzungshebels angeordnet ist und den Übersetzungshebel in Anlage
an dem Wegstück und an der Krafteinleitstelle der beweglichen
Kondensatorplatte hält, wobei die Blattfeder nahe am Lagerende des Ubersetzungshebels eingespannt ist, den Übersetzungshebel
an einer unmittelbar dem Wegstück gegenüber liegenden Stelle belastet und sich mit ihrem freien, verstellbaren
Schenkel über den Plattenkondensator erstreckt.
Durch die Anordnung eines an einem Ende gelagerten, einarmigen Übersetzungshebels zwischen dem Druck/Weg-Umformglied und dem
mechanisch-elektrischen Umformer kann zwischen diesen Teilen auf kleinstem Raum ein großes übersetzungsverhältnis vorgegeben
werden, so daß sich bei der Verknüpfung des zu erfassenden Drucks mit der veränderbaren Kapazität des Plattenkondensators
eine sehr steile Kennlinie und damit eine sehr hohe Ansprechgenauigkeit ergibt.
Die Ausbildung der beweglichen Kondensatorplatte als Biegeplatte und ihre Einspannung an einem Rand führt zu ihrer
eindeutig definierten, spielfreien Verformung, wenn sie an der Krafteinleitstelle belastet wird. Da die bewegliche
Kondensatorplatte an ihrem Einspannrand festgehalten ist,
erübrigt sich eine Gelenkverbindung zwischen Krafteinleitstelle
und Ubersetzungshebel, wodurch es möglich ist, ausschließlich die gewünschte Bewegungskomponente senkrecht
zur Plattenebene einzuleiten.
Bei der erfindungsgemäßen Anordnung weisen das Werkstück des
Druck/Weg-Umformgliedes und die Krafteinleitstelle der beweglichen
Kondensatorplatte zueinander parallele Bewegungsrichtungen auf, so daß es zwischen beiden Punkten keine
Richtungsumlenkung zu geben braucht, wodurch weitere mögliche
Ubertragungsfehler ausgeschaltet werden.
Schließlich ist die Blattfeder, welche zu einer definierten Vorbelastung des Ubersetzungshebels dient, in etwa parallel
zum Ubersetzungshebel angeordnet, wodurch für sie ein relativ langer Einbauraum zur Verfügung steht, d. h. sie kann groß
und kräftig ausgebildet und mit großer Genauigkeit gefertigt werden. Aufgrund der großen Länge ihres verstellbaren
freien Schenkels kann der Ansprechbereich sehr feinfühlig und genau eingestellt werden. Bei der erfindungsgemäßen
Anordnung werden die Hauptbelastungen stets durch die Blattfeder aufgenommen, so daß der Ubersetzungshebel
selbst auch in hohen Druckbereichen kaum verformt wird und damit diesbezügliche Ungenauigkeiten vermieden werden.
Der Erfindung zufolge kann die Kondensatorplatte durch eine Zusatzfeder belastet sein, welche der Blattfeder entgegenwirkt,
und kann die bewegliche Kondensatorplatte zwischen zwei feststehenden Kondensatorplatten angeordnet sein. Aufgrund
der Zusatzfeder kann die Verformbarkeit der beweglichen Kondensatorplatte in beiden Richtungen genutzt werden, so daß
sich gegenüber einer Anordnung ohne Zusatzfeder der Ansprechbereich verdoppelt. Auf diese Weise ist der Drucksensor insbesondere
auch als Dreipunkt-Schalter einsetzbar, ohne daß der Aufwand für die Auswertschaltung wesentlich vergrößert
würde.
In Ausgestaltung der Erfindung kann der Drucksensor in einem rechteckigen länglichen Gehäuse angeordnet sein und kann die
Blattfeder nahezu die volle Länge des Gehäuses und etwa die halbe Breite des Gehäuses einnehmen. Bei dieser Ausgestaltung
wird von der Blattfeder die gesamte Gehäuselänge, die durch die Parallelanordnung von Druck/Weg-Umformglied und mechanischelektrischen Umformer vorgegeben ist, ausgenutzt. Die Blattfeder
kann deshalb mit großer Präzision gefertigt werden und erlaubt eine genaue Vorgabe des jeweils benötigten Arbeitsbereiches,
z. B. von etwa 0,5 bar, innerhalb des Gesamt-Druckbereiches, z. B. von 0,8 bis 50 bar. Durch die Beschränkung
der Blattfederabmessung auf die halbe Breite des Gehäuses bleibt trotz ihrer Erstreckung über die volle Gehäuselänge
genügend Raum für zusätzliche Bauelemente, z. B. eine elektronische Auswertschaltung.
Der Erfindung zufolge kann die Blattfeder von ihrer Einspannstelle
bis zum Wegstück etwa parallel zum Ubersetzungshebel verlaufen und anschließend in ihren verstellbaren
Schenkel übergehen, der schräg aufwärts abgewinkelt ist und an seinem freien Ende an eine Verstelleinrichtung angeschlossen
ist, welche am Gehäusedeckel angebracht ist. Durch die schräg aufwärts gerichtete Abwinkelung des verstellbaren
Schenkels ergibt sich eine klare räumliche Trennung von Plattenkondensator und Verstelleinrichtung, so daß der einfache,
klar definierte Aufbau des Plattenkondensators erhalten bleiben kann. Gleichzeitig ist die Verstelleinrichtung
zur Einstellung des jeweils gewünschten Ansprechbereiches von der Oberseite des Gehäuses her leicht zugänglich.
Der Erfindung zufolge kann die bewegliche Kondensatorplatte an ihrer Krafteinleitstelle einen Stößel tragen, auf dem
der Ubersetzungshebel mit einem Gleitstück aufliegt. Der Stößel sichert eine eindeutig definierte, punktuelle Krafteinleitung
in die bewegliche Kondensatorplatte. Da der Ubersetzungshebel mit einem Gleitstück auf dem Stößel aufliegt,
also keine Gelenkverbindung besteht, werden nur Bewegungen
senkrecht zur Plattenebene übertragen. Querkomponenten,
wie sie, allerdings in sehr geringem Maße, durch die Drehung des Ubersetzungshebels um seinen Auflagerpunkt und evtl.
durch Temperaturänderungen auftreten, gehen in die Auswertung nicht ein.
Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann der
Drucksensor zwei gegeneinander gerichtete, an ihren Auslenkseiten über eine Stange gekoppelte Druck/Weg-Umformglieder
mit getrennten Druckeingängen aufweisen und können die Blattfeder und der Ubertragungshebel mit je einem Durchlaß für
die Kopplungsstange versehen sein. Ein solcher Drucksensor ist zur Überwachung von Druckdifferenzen geeignet.
Nach einer anderen Ausgestaltung der Erfindung kann der
Drucksensor zwei an ihren Ausgangsseiten miteinander durch eine Stange gekoppelte Druck/Weg-Umformglieder mit einem
gemeinsamen Druckeingang aufweisen, welche unterschiedliche Größe besitzen und deren Druckräume durch einen Kanal in
ihrer Kopplungsstange miteinander verbunden sind. Ein solcher Drucksensor ist zur überwachung höherer Drücke geeignet.
Der Erfindung zufolge können als Druck/Weg-Umformglieder
Membranen, Membrandosen, Wellrohrbälge, Burdonrohre oder Zylinder/Kolbeneinrichtungen verwendet werden. Alle diese
Ausführungsformen können ohne weiteres in eine Anordnung
nach der Erfindung integriert werden.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann der Drucksensor eine elektrische Auswertschaltung in Subminiatur-Bauweise
in Form eines flachen Bausteins aufweisen, der seitlich neben der Blattfeder an einer Gehäuseseitenwand angeordnet
ist. Bei einer Ausführung des Bausteins in Subminiatur-Bauweise bleibt in dem Gehäuse, dessen Breite im wesentlichen
durch das Druck/Weg-Umfarmglied vorgegeben wird, genügend
Raum, um an der Gehäuseseitenwand eine komplette Auswertschaltung anzuordnen, wobei auch ohne weiteres die Installation
einer Dreipunkt-Schaltung möglich ist. Es ist dabei insbesondere auch eine Umwandlung des analogen Eingangssignals
des Drucksensors in ein digitales Ausgangssignal möglich, wodurch sich für den Drucksensor nach der Erfindung sehr
vielfältige Einsatzmöglichkeiten erschließen.
Der Drucksensor nach der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert, in der zeigen :
Fig. 1 einen Drucksensor im Querschnitt,
Fig. 2 den Drucksensor gemäß einem Schnitt II-II
in Fig. 1,
Fig. 3 die Zusatzfeder des Drucksensors gemäß einer Blickrichtung III in Fig. 2,
Fig. 4 einen Drucksensor für höhere Drücke und
Fig. 5 einen Drucksensor zur Überwachung von Differenzdrücken.
Der Drucksensor 1 nach den Fig. 1 bis 3 besteht aus einem Druck/Weg-Umformglied 2 und einem mechanisch-elektrischen
Umformer 3 mit einem dazwischen geschalteten Ubersetzungshebel
4. In dem gezeigten Beispiel ist das Druck/Weg-Umformglied 2 als Membrandose ausgeführt; es könnte aber auch ein
Wellrohrbalg, ein Burdonrohr oder eine Zylinder/Kolbeneinrichtung sein. Das Umformglied 2 kann über einen mit einem
Innengewinde 5 und einem Außensechskant 6 versehenen Anschlußstutzen 7, z. B. mit einer - nicht gezeigten - Druckleitung
verbunden sein. Der dem aufzunehmenden Druck entsprechende Weg wird über ein bewegliches, abgreifbares Wegstück 8 auf
den Ubersetzungshebel 4 übertragen, welcher an seinem einen. Ende an einem gehäusefesten Schneidenlager 9 schwenkbar gelagert
ist. An seinem anderen Ende trägt der Ubersetzungshabel 4 ein Gleitstück 10, welches einen Stößel 11 des
mechanisch-elektrischen Umformers 3 mehr oder weniger stark nieder, drückt. Aufgrund der einarmigen Ausbildung des über-
setzungshebels 4 beträgt der Abstand des Stößels 11 zum
Schneidenlager 9 etwa das Fünffache des Abstandes zwischen Wegstück 8 und Schneidenlager 9, so daß der Drucksensor
aufgrund dieses günstigen Übersetzungsverhältnisses eine hohe Ansprechempfindlichkeit erhält. Da zwischen Gleitstück
10 und Stößel 11 nur eine Druckanlage, nicht aber eine Gelenkverbindung besteht, werden auf den Stößel 11 keine
Querkräfte übertragen.
Der mechanisch-elektrische Umformer 3 ist als Plattenkondensator mit zwei feststehenden Kondensatorplatten 12, 13 ausgebildet.
Zwischen den beiden feststehenden Platten 12, ist eine bewegliche Kondensatorplatte 14 angeordnet, die
als eine an einem Rand 15 eingespannte Biegeplatte ausgebildet ist, welche durch Isolierschichten von den feststehenden
Platten 12, 13 getrennt ist. Die Kondensatorplatte 14 weist eine im Abstand von ihrem Einspannrand
liegende Krafteinleitstelle 16 auf, an der der Stößel 11
angebracht ist. Unterhalb der Kondensatorplatte 14 ist eine Zusatzfeder 17 eingelegt, die in Fig. 3 in Seitenansicht
gezeigt ist. Die einzelnen Kondensatorplatten 12, 13, 14 sind über Kontaktstifte 18 mit einer Auswertschaltung
19 elektrisch verbunden. Die in Subminiatur-Bauweise ausführte Auswertschaltung 19 besitzt die Form
eines flachen Bausteins, der an einer Seitenwand eines
/lip
Gehäuses 20 des Ürucksensors 1 angeordnet ist. Das Ausgangssignal
der Auswertschaltung 19 kann über Kontaktstifte
21 oder fest angeschlossene Leitungen (non detachable cords) nach außen übertragen werden; vergl. auch Fig. 2.
Der Ubersetzungshebel 4 wird mittels einer Blattfeder 22
in Anlage an dem Wegstück 8 und dem Stößel 11 gehalten, wobei die Blattfeder 22 nahe des Schneidenlagers 9 am
Ubersetzungshebel 4 eingespannt ist. Die Blattfeder 22 belastet den Ubersetzungshebel 4 an einer unmittelbar dem Wegstück
8 gegenüberliegenden Stelle und geht anschließend in einen verstellbaren Schenkel 23 über, der schräg aufwärts
abgewinkelt ist und an seinem freien Ende an eine Verstelleinrichtung 24 angeschlossen ist, welche wie in dem gezeigten
Beispiel als im Deckel des Gehäuses 20 sitzende Verstellschraube ausgebildet sein kann. Die Blattfeder 22 erstreckt
sich nahezu über die volle Länge des Gehäuses 20 und nimmt etwa die halbe Breite des Gehäuses 20 ein. Die Stärke der
Blattfeder 22 bestimmt zusammen mit der Auslegung des Umformgliedes 2 den möglichen Druckbereich des Drucksensors
1, z. B. einen Bereich von 0,8 bis 50 bar. Durch die Verstelleinrichtung
24 kann nun der Gegendruck der Blattfeder 22 auf das vom Druck des Meßmediums belastete Wegstück 8 so
dosiert werden, daß der Drucksensor 1 jeweils nur in einem kleinen, z. B. 0,5 bar großen Arbeitsbereich arbeitet.
Dieser Arbeitsbereich kann besonders fein vorgegeben werden,
da der Abstand zwischen Verstelleinrichtung 24 und dem Schneidenlager 9 nahezu siebenmal so groß wie der Abstand
vom Schneidenlager 9 zum Wegstück 8 ist.
Da die Blattfeder 22 und die Zusatzfeder 17 in ihrer Wirkung einander entgegengerxchtet sind, kann die bewegliche Kondensatorplatte
14 je nach Belastung durch den Ubersetzungshebel 4 sowohl nach oben als auch nach unten ausgelenkt sein,
so daß sich je nach ihrer Nähe zu der unteren Statorplatte 12 bzw. der oberen Statorplatte 13 verschiedene Schaltsignale
im Sinne eines Zweipunkt-und Dreipunkt-Schalters erzeugen lassen,
Fig. 4 zeigt eine Ausführungsiorm eines Drucksensors 25,
der insbesondere für einen Einsatz bei höheren Drücken bestimmt ist. Der Drucksensor weist hier zwei Druck/Weg-Umformglieder
2, 26 auf, deren Wegstücke 8, 27 durch eine Stange 28 miteinander gekoppelt sind. Innerhalb dieser
Kopplungsstange 28 befindet sich ein Kanal 29, welcher die Druckräume der beiden Umformglieder 2, 26 miteinander verbindet,
so daß beide an einen gemeinsamen Druckeingang 30 angeschlossen sind. Der in Fig. 4 gezeigte Drucksensor 25
ist ansonsten analog zu dem Beispiel nach den Fig. 1 und 2 aufgebaut. Aufgrund der Anordnung der beiden Umformglieder
2, 26 wird auf die Blattfeder 22 und den Ubersetzungshebel 4 lediglich eine Kraft übertragen, die den Unterschied der in
ihrer Größe unterschiedlich wirksamen Druckflächen der beiden Umformglieder 2, 26 entspricht.
Der Differenzdrucksensor 31 nach Fig. 5 weist ebenfalls zwei
IJmforrnglieder 2, 32 auf, die über eine Stange 33 gekoppelt
sind und im Gegensatz zum Beispiel nach Fig. 4 gleiche Größe
besitzen. Sie sind hier nicht durch einen Kanal miteinander verbunden, sondern werden über unterschiedliche Druckeingänge
34, 35 versorgt, so daß auf die Blattfeder 22 und den Ubersetzungshebel 4 lediglich der Differenzdruck zwischen
den beiden Druckeingängen 34, 35 wirksam wird.
Zur Durchführung der Stangen 28 und 33 sind in der Blattfeder 22 ein Gabelschlitz und in dem Ubertragungshebel 4
ein Langloch als Durchlässe 36,37 vorgesehen.
- L e e r s e i t e -
Claims (9)
- Patentansprücheaggressiver Medien in einem Druckbereich von etwa 0,8 bis 50 bar, insbesondere zur Überwachung von Kühlanlagen, Klimaanlagen oder Wärmepumpen, bestehend ausa) einem Druck/Weg-Umformglied (2) mit beweglichem, abgreifbarem Wegstück (8),b) aus einem mechanisch-elektrischen Umformer (3) in Form eines Plattenkondensators mit einer beweglichen Kondensatorplatte (14), die als eine an einem Rand (15) eingespannte Biegeplatte ausgebildet ist und eine im Abstand von ihrem Einspannrand (15) liegende Krafteinleitstelle (16) aufweist, wobei der Plattenkondensator seitlich neben dem Druck/Weg-Umformglied (2) angeordnet ist und seine bewegliche Platte (14) im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsrichtung des Wegstückes (8) orientiert ist,c) aus einem an einem Ende gelagerten, einarmigen Ubersetzungshebel (4) undd) aus einer Blattfeder (22) zur Einstellung eines Ansprechbereiches innerhalb des erwähnten Druckbereiches, welche auf der dem Druck/Weg-Umformglied (2) abgewandten Seite des Ubersetzungshebels (4) angeordnet ist und den Ubersetzungs-hebel (4) in Anlage an dem Wegstück (8) und an der Krafteinleitstelle (16) der beweglichen Kondensatorplatte (14) hält, wobei die Blattfeder (22) nahe am Lagerende des Ubersetzungshebels (4) eingespannt ist, den Ubersetzungshebel (4) an einer unmittelbar dem Wegstück (8) gegenüberliegenden Stelle belastet und sich mit ihrem freien, verstellbaren' Schenkel (23) über den Plattenkondensator erstreckt.
- 2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bewegliche Kondensatorplatte (14) durch eine Zusatzfeder (17) belastet ist, welche der Blattfeder (22) entgegenwirkt und daß die bewegliche Kondensatorplatte (14) zwischen zwei feststehenden Kondensatorplatten (12, 13) angeordnet ist.
- 3. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, mit einem rechteckigen länglichen Gehäuse (20), dadurch gekennzeichnet, daß die Blattfeder (22) nahezu die volle Länge des Gehäuses (20) und etwa die halbe Breite des Gehäuses (20) einnimmt.
- 4. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Blattfeder (22) von ihrer Einspannstelle bis zum Wegstück (8) etwa parallel zum Ubersetzungshebel (4) verläuft und anschließend in ihren verstellbaren Schenkel (23) übergeht, der schräg aufwärts abgewinkelt ist und an seinem freien Ende an eine Verstelleinrichtung (24) angeschlossen ist, welche am Deckel des Gehäuses (20) angebracht ist.
- 5. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bewegliche Kondensatorplatte (14) an ihrer Krafteinleitstelle (16) einen Stößel (11) trägt, auf dem der Ubersetzungshebel (4) mit einem Gleitstück (10) aufliegt.
- 6. Drucksensor (31) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß er zwei gegeneinander gerichtete, an ihren Auslenkseiten über eine Stange (33) gekoppelte Druck/Weg-Umformglieder (2, 32) gleicher Größe mit getrennten Druckeingängen (34, 35) aufweist und daß die Blattfeder (22) und der Ubertragungshebel (4) mit je einem Durchlaß (36, 37) für die Kopplungsstange (33) versehen sind.
- 7. Drucksensor (25) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß er zwei an ihrer Auslenkseite miteinander durch eine Stange (28) gekoppelte Druck/Weg-Umformglieder (2, 26) mit einem gemeinsamen Druckeingang (30) aufweist, welche unterschiedliche Größe besitzen und deren Druckräume durch einen Kanal (29) in ihrer Kopplungsstange (28) miteinander verbunden sind.
- 8. Drucksensor (1, 25, 31) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das bzw. die Druck/Weg-Umformglieder (2, 26, 32) Membranen, Membrandosen, Wellrohrbälge, Burdonrohre oder Zylinder-Kolbeneinrichtungen sind.
- 9. Drucksensor nach einem der vorangegangenen Ansprüche, insbesondere nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine elektrische Auswertschaltung (19) in Subminiatur-Bauweise in Form eines flachen Bausteins, der seitlich neben der Blattfeder (22) an einer Seitenwand des Gehäuses (20) angeordnet ist.
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Legal Events
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