DE3345077A1 - Optoakustisches geraet zum messen einer gaskonzentration - Google Patents

Optoakustisches geraet zum messen einer gaskonzentration

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Description

>: -'ßoriß&Xwi. - HO-121
- 3 BESCHREIBUNG
Die Erfindung betrifft ein optoakustisches Gerät gemäß dom Oberbegriff des Hauptanspruches.
Ein derartiges Gerät dient dazu, die Konzentration besonderer fester/Teilchen in einem zu messenden Gas oder die Konzentration besonderer Gasmoleküle festzustellen. Die Teilchen sind zum Beispiel solche (Rauch), wie sie im Abgas von Fahrzeugen und dergleichen vorkommen. Die zu messenden Gasmoleküle sind zum Beispiel Ammonium,Äthylen oder Ozon. Das zu messende Gas wird in eine optoakustische Zelle geleitet und die Konzentration von Gasmolekülen und/oder Teilchen wird durch den optoakustischen Effekt gemessen.
Als Beispiel wird die Messung der Konzentration von Teilchen in Autoabgasen erläutert. Wenn Laserstrahlen durch das in eine optoakustische Zelle geleitete Abgas gestrahlt werden, absorbieren die im Gas enthaltenen Teilchen optische Energie und werden dadurch aufgeheizt. Wenn der Laserstrahl zerhackt wird, findet eine abwechselnde Erwärmung und Abkühlung der Teilchen in Übereinstimmung mit der Zerhackerfrequeriz statt. Dadurch findet auch eine Druckänderung, das heißt eine Änderung des akustischen Druckes in der Zelle statt.
Diese Änderung des akustischen Druckes, das heißt die Frequenz der Tonwelle (im folgenden der Einfachheit halber als Signalton bezeichnet) entspricht der Zerhackerfrequenz der Laserstrahlen. Die Stärke des Signaltones ist proportional zur optischen Energie, die durch die Teilchen absorbiert ist. Dadurch kann die Konzentration der Teilchen dadurch gemessen werden, daß die Stärke des Signaltones durch ein Mikrofon gemessen wird.
Der Signalton, der in der optoakustischen Zelle erzeugt wird, ist jedoch sehr schwach, so daß ein sehr empfindliches Mikrofon zu verwenden ist, um den Ton zu empfangen. Es ist ein Verstärker erforderlich, um dieses schwache Signal in ein geeignetes elektrisches Signal umzuwandeln. Beim Stand der Technik ist dazu ein teurer Schmalbandverstärker oder ein synchronisierter gleichrichtender Verstärker oder eine Kopplung solcher Verstärker erforderlich, da Fremdtöne, das heißt Rauschen, groß sind im Vergleich zum Signalton.
Besonders dann, wenn die Konzentration von Teilchen im Abgas eines Motors gemessen werden, werden Abgasschwingungsfrequenzen über das zu messende Abgas an die Zelle übertragen. Um dies zu vermeiden, wird ein Schalldämpfer, wie ein Puffertank, in die Gaszuführung geschaltet. Ein solcher Schalldämpfer wie ein Puffertank ist auch zwischen die Zelle und eine Saugpumpe geschaltet, um Schwingungen zu dämpfen, die von der Saugpumpe, die das Gas in die Zelle führt, übertragen werden, zu vermeiden.
Es ist erforderlich, einen großen und teuren Schalldämpfer zu benutzen, um Abgas- und Saugpumpenschwingungen ausreichend zu unterdrücken. Es ergibt sich jedoch der Nachteil, daß sich eine Verzögerung beim Zuführen des Probengases ergibt, daß Teilchen im Schalldämpfer gesammelt werden, usw. Diese Nachteile führen zu Fehlern bei der Messung, besonders auch durch die natürlichen Grenzen in der Wirksamkeit der Schalldämpfer. Wenn die Störschwingungen den zulässigen Bereich des Mikrofones und des Verstärkers übersteigen, wird eine Messung unmöglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optoakustisches Gerät der eingangs genannten Art anzugeben, das verbesserte Meßempfindlichkeit aufweist.
- HO-42,1/ r η 7-y
Die erfindungsgemäße Lösung ist im Hauptanspruch gekennzeichnet. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß ein Mikrofon verwendet wird, das eine schmale Bandbreite aufweist und das über einen Resonator verfügt, in dessen Resonanzband die Zerhackerfrequenz fällt. Durch das Messen im Resonanzfrequenzbereich ergibt sich eine sehr hohe Empfindlichkeit.
Erfindungsgemäß ist es also nur erforderlich, die Zerhackerfrequenz so einzustellen, daß feste Teilchen und Gasmoleküle, von denen die Konzentration im Meßgas zu bestimmen ist, Signaltöne innerhalb dem Frequenzbereich abgeben, der durch das Mikrofon empfangen wird. Das Mikrofon empfängt Signaltöne innerhalb dem schmalen Frequenzband. Dieses liegt neben den Frequenzbändern von Abgasschwingungen und anderen Schwingungen. Das Mikrofon spricht also selektiv auf Signaltöne an und gibt kein Signal bei Schwingungen innerhalb von Frequenzbändern, die außerhalb dem Frequenzband des Signaltones liegen. Dadurch ist eine sehr genaue Messung möglich, die nicht durch Fremdschwingungen beeinflußt ist. Es werden einfach Signaltöne verstärkt, die ohne die bisher verwendeten hochempfindlichen Mikrofone, teure und große Schmalbandverstärker und synchronisierende gleichrichtende Verstärker oder unter Zuhilfenahme großer Schalldämpfer empfangen sind, was nur zu Schwierigkeiten bei der Messung führt. Selbstverständlich können aber auch zusammen mit einem erfindungsgemäßen optoakustischen Gerät schmalbandige Verstärker, ein synchronisierender gleichrichtender Verstärker oder gute, wenn a.uch einfache Schalldämpfer verwendet werden, wenn besonders geringe Konzentrationen bei starken Störungen gemessen werden sollen.
Die Erfindung wird im folgenden an Hand von Figuren näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein Blockdiagramm eines optoakustischen Gerätes zum Messen der Konzentration von Gasen und Teilchen, und
Fig. 2 und J> perspektivische Ansichten zweier Mikrofonaufbauten.
Eine bevorzugte Ausfuhrungsform des Anmeldegegenstandes wird nun an Hand der Figuren erläutert. Fig. 1 zeigt ein optoakustisches Gerät zum Messen der Konzentration von Teilchen in Abgas, welches das zu messende Gas ist. Es sind eine optoakustische Meßzelle 1 und eine optoakustische Referenzzelle 2 vorhanden. Über ein Zuführrohr 4 wird Abgas von einem Motor 3 in die optoakustische Zelle 1 geleitet. Ein Absaugrohr 6 verbindet eine Säugpumpe 5 mit der optoakustischen Meßzelle 1. Ein Abzweigrohr 7 zweigt vom Zuführrohr 4 ab und ist über ein Filter 10 zum Entfernen von Teilchen mit der opto kustischen Referenzzelle 2 verbunden, so daß dieser Abgas ohne Teilchen zugeführt wird. Die Referenzzelle 2 ist über ein Saugrohr 9 mit einer Saugpumpe 8 verbunden.
Von einem Laser 11 abgestrahlte Laserstrahlen werden durch einen Strahlteiler 12 in zwei optische Wege I3 und 14 aufgespalten. Die optoakustische Meßzelle 1 ist im optischen Weg 13 angeordnet, während die Referenzzelle 2 im zweiten optischen Weg 14 angeordnet ist. Statt der zwei optischen Wege 13 und 14 können zwei optische Fasern oder zwei Laser vorhanden sein.
Im optischen Weg Ij5 ist ein sich drehender Zerhacker I5 und im optischen Weg 14 ein sich drehender Zerhacker 16 angeordnet. Wenn zerhackte Laserstrahlen durch das in die
Zellen 1 und 2 geleitete Gas gestrahlt werden, werden, wie oben beschrieben, Signaltöne in den Zellen 1 und 2 erzeugt, deren Frequenzen den Zerhackerfrequenzen der Laserstrahlen entsprechen. Diese Zerhackerfrequenzen der Laserstrahlen sind so eingestellt, daß die Frequenzen der Signaltöne neben dem Frequenzband von Abgas schwingungen vom Motor J>, von Saugschwingungen der Pumpen 5 und 8 und anderen Störschwingungen liegen.
Die Zerhackerfrequenzen können leicht geändert werden und zum Beispiel durch getrennt angetriebene Zerhacker 15 und durch Gleichspannungsmotoren Ml und M2 dadurch eingestellt werden, daß die Gleichspannung dieser Motoren verändert wird. Dadurch wird die Zerhackerfrequenz des einen Zerhackers 15 vorzugsweise so eingestellt, daß sie der Resonanzfrequenz der Zelle 1 im optischen Weg 13 entspricht, während die Zerhackerfrequenz des anderen Zerhackers 16 so eingestellt wird, daß sie der Resonanzfrequenz der Referenzzelle 2 im zweiten optischen Weg 14 entspricht. Die Resonanzeigenfrequenz der Zellen 1 und 2 liegen neben den Frequenzbändern der oben beschriebenen verschiedenen Störschwingungen.
Mikrofone I7 und l8 messen die in den beiden Zellen 1 bzw. erzeugten Signaltöne. Die Mikrofone I7 und l8 sind jeweils im Mittenbereich einer Zelle angeordnet, wo der Signalton am stärksten ist.
Wie in Fig. 2 dargestellt, weisen die Mikrofone I7 und 18 einen Stimmgabelresonator I9 und schwingende Platten 21 auf, die über Verbindungselemente 20 an dem Platz befestigt, sind, an dem der Resonator I9 für Schwingung besonders empfindlich ist. Der Resonator I9 besteht aus einem Kristall, der ein piezoelektrisches Element darstellt, das in einem Bereich J50 enger Bandbreite Resonanzfaufweist, innerhalb welchem Band die Resonanzfrequenzen der Laserstrahlen liegen. Mit der Resonanzschwingung wird ein piezoelektrisches Signal erzeugt.
Wenn die schwingenden Platten 21 durch die Signaltöne zu Schwingungen angeregt werden, werden die Schwingungen über das Verbindungselement 20 auf den Resonator 19 übertragen, wodurch dieser ein den Schwingungen entsprechendes elektrisches Signal von einer Elektrode 22 an Anschlüsse 23 gibt. Durch Verstärker 2Ά werden die elektrischen Signale von den zwei Zellen verstärkt, in einer Teilschaltung 25 werden sie geteilt. In der Blockschaltung gemäß Fig. 1 sind weiterhin Kondensorlinsen 26, Zuführrohre 27 für Ausblasluft, Prusterfenster 28 und Laserleistungsmesser 29 vorhanden.
Gemäß dem oben beschriebenen Aufbau kann der Einfluß interferierender Bestandteile im Abgas ausgeschaltet werden und die Konzentration der Teilchen kann auf Grund der elektrischen Signale gemessen werden. Wenn die Laserausgangsleistung nicht stabil ist, kann durch die Meßergebnisse der Laserleistungsmesser 29 eine Korrektur durchgeführt werden.
Selbst wenn die Meßzelle 1 und die Referenzzelle 2 gleiche Form aufweisen, sind der Druck in der Meßzelle 1, die Dichte und Jie spezifische Wärme des durch die Meßzelle 1 fließenden Gases unterschiedlich von den entsprechenden Werten in der Referenzzelle 2. Dadurch ist die der Meßzelle 1 eigene Resonanzfrequenz unterschiedlich von derjenigen der Referenzzelle 2. Die Zerhackerfrequenzen der Laserstrahlen können aber auf einfache Weise an die Resonanzfrequenzen der ZeI-len 1 und2 angepaßt werden, indem die Zerhackerfrequenzen der Zerhacker 15 bzw. 16 eingestellt werden. Auch dies erhöht die Meßgenauigkeit.
Das in Fig. 3 dargestellt Mikrofon 17 tizw. 18 einer zweiten Ausführungsform weist einen metallischen Stimmgabelresonator 19 enger Bandbreite für Resonanzfrequenzen auf. Die Resonanzfrequenz umfaßt die Zerhackerfrequenzen der Laserstrahlen. Ein piezoelektrisches Element 30 gibt aus den
BAD
- HO-121
Schwingungen des Resonators 19 umgewandelte elektrische Signale ab. Es können, wie strichpunktiert angedeutet, schwingende Platten 21 über ein Verbindungselemente 20 mit dem Resonator 19 verbunden sein. Schmalbandige Mikrofone 17 und 18 mit einem Resonator 19, der ein Resonanzfrequenzband aufweist, das die Zerhackerfrequenzen der Laserstrahlen beinhaltet, können also in unterschiedlichen Konstruktionen ausgebildet sein.
-40·
- Leerseite -

Claims (4)

  1. I-."=· i. .:.""· O O 33 A 5077 TER MEER-MÜLLER-STEINMEISTER
    PATENTANWÄLTE - EUROPEAN PATENT ATTORNEYS
    Dipl.-Chem. Dr. N. ter Μθθγ Dipl.-lng. H. Steinmeister
    ÄSJXae J?" MÜI!er Artur-Ladebeok-Strasse 51
    D-800O MÜNCHEN 22 D-48OO BIELEFELD 1
    Mü/j/ho 13. Dezember 1983
    HO-121
    HORIBA, LTD.
    2 Miyanohigashi-machi, Kissyoin, Minami-ku, Kyoto, Japan
    Optoakustisches Gerät zum Messen einer Gaskonzentration
    Priorität: 8. Januar I985, Japan, Nr.(P) 2614/83
    PATENTANSPRÜCHE
    S- "Ν.
    ( 1.J Optoakustisches Gerät zum Messen der Konzentration von Gas und/oder von Teilchen mit
    - einer optoakustischen Zelle (1), in die das zu messende Gas eingeleitet wird,
    - einem Laser zum Einstrahlen von Laserstrahlen in die optoakustische Zelle,
    - einem Zerhacker (15) sum Zerhacken der vom Laser ausgestrahlten Laserstrahlen mit einer Zerhackerfrequenz und
    - einem Mikrofon (I7) zum Ermitteln von Änderungen des
    Innendruckes der optoakustischen Zelle, dadurch gekennzeichnet,
    daß das Mikrofon (17) enge Bandbreite aufweist und über einen Resonator (19) verfügt mit einem Resonanzfrequenzband, in dem die Zerhackerfrequenz liegt.
  2. 2. Gerät nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß mit ihm Teilchen im Abgas eines Motors gemessen werden.
  3. 5· Gerät nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Referenzzelle (2), in die Referenzgas eingeleitet wird.
  4. 4. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3* dadurch gekennzeichnet , daß das Mikrofon (17, 18) einen Stimmgabel-Resonator (19)> ein Paar schwingender Platten (21) und ein Verbindungselement (20) zum Verbinden des Resonators mit den schwingenden Platten aufweist.
DE3345077A 1983-01-08 1983-12-13 Optoakustisches Gerät zur Konzentrationsmessung von Gasen und/oder Teilchen Expired DE3345077C2 (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0685728A1 (de) * 1994-06-04 1995-12-06 Orbisphere Laboratories Neuchatel Sa Photoakustisches Analysegerät und Methode
CN103293107A (zh) * 2013-06-28 2013-09-11 中国科学院半导体研究所 基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置
DE102017130988A1 (de) * 2017-12-21 2019-06-27 Infineon Technologies Ag Vorrichtungen und verfahren zur nutzung des photoakustischen effekts

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5129255A (en) * 1989-10-06 1992-07-14 The Aerospace Corporation Photoacoustic detection and tracking apparatus
EP0431394A3 (en) * 1989-12-07 1992-01-22 Siemens Aktiengesellschaft Method and apparatus for gas analysis
DK163537C (da) * 1990-03-05 1992-08-03 Fls Airloq As Fremgangsmaade og apparat til overfoersel af et akustisk signal i en fotoakustisk celle
EP0640822B1 (de) * 1993-08-30 1998-04-22 Millipore Investment Holdings Limited Prüfung der Unversehrtheit poröser Strukturen mittels Schallemission
DE69425817D1 (de) * 1994-06-04 2000-10-12 Orbisphere Lab Vorrichtung und Verfahren zur Luminiszenzanalyse
US5596146A (en) * 1994-06-06 1997-01-21 Iowa State University Research Foundation, Inc. Photoacoustic measurement of unburned carbon in fly-ash
FR2815122B1 (fr) * 2000-10-06 2003-02-07 Univ Reims Champagne Ardenne Dispositif de detection de gaz
WO2002031475A1 (de) * 2000-10-09 2002-04-18 Siemens Building Technologies Ag Optoakustische messanordnung und deren verwendung
EP1195597A1 (de) * 2000-10-09 2002-04-10 Siemens Building Technologies AG Optoakustische Messanordnung und Verwendung der Messanordnung
US7213445B2 (en) * 2001-12-05 2007-05-08 Wayne State University Acoustic particulates density sensor
AU2002307967A1 (en) * 2002-04-03 2003-10-13 Universite De Reims Champagne-Ardenne Gas detection device
US7245380B2 (en) * 2002-06-10 2007-07-17 William Marsh Rice University Quartz-enhanced photoacoustic spectroscopy
EP1386690B1 (de) * 2002-08-01 2008-05-28 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Laserbearbeitungsmaschine
US7797983B2 (en) * 2004-03-29 2010-09-21 Gasera Ltd. Method and system for detecting one or more gases or gas mixtures and/or for measuring the concentration of one or more gases or gas mixtures
CN101133314A (zh) * 2005-03-04 2008-02-27 皇家飞利浦电子股份有限公司 光声光谱学探测器和系统
EP1883803B1 (de) * 2005-04-26 2012-06-13 Koninklijke Philips Electronics N.V. Kostengünstige vorrichtung zum nachweis stickstoffhaltiger gasverbindungen
US20070251221A1 (en) * 2006-04-28 2007-11-01 Lueschow Kevin J System and method for monitoring a filter
JP5039137B2 (ja) * 2006-08-31 2012-10-03 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 改良されたフィードバック・ループをもつ空洞増強型光音響式微量気体検出器
WO2008030250A2 (en) 2006-09-07 2008-03-13 William Marsh Rice University Integrated embedded processor based laser spectroscopic sensor
DE102007014520B3 (de) * 2007-03-27 2008-10-30 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Photoakustischer Detektor mit zwei Strahlengängen für das Anregungslicht
JP5358065B2 (ja) * 2007-04-18 2013-12-04 日本電信電話株式会社 成分濃度測定装置
US20100192669A1 (en) * 2007-07-06 2010-08-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Photo acoustic sample detector with light guide
WO2009146710A1 (en) * 2008-06-03 2009-12-10 Nkt Flexibles I/S A pipe system, a gas sensing system for a pipe system, and a method of determining a gas component in a cavity of a pipe
KR101387683B1 (ko) * 2008-06-20 2014-04-25 트룸프 베르크초이그마쉬넨 게엠베하 + 코. 카게 레이저 가공 장치
US20110016962A1 (en) * 2009-07-21 2011-01-27 Baker Hughes Incorporated Detector for Characterizing a Fluid
JP5525808B2 (ja) * 2009-12-25 2014-06-18 株式会社堀場製作所 磁気圧力式酸素分析計
US8327686B2 (en) * 2010-03-02 2012-12-11 Li-Cor, Inc. Method and apparatus for the photo-acoustic identification and quantification of analyte species in a gaseous or liquid medium
US8746038B2 (en) * 2011-04-01 2014-06-10 Honeywell International Inc. Photoacoustic detector with acoustic and vibration noise compensation
US20130008229A1 (en) * 2011-07-07 2013-01-10 Honeywell International Inc. Resonant photo acoustic system
US9243998B2 (en) * 2011-07-07 2016-01-26 Honeywell International Inc. Resonant photo acoustic system
CN103163080B (zh) * 2011-12-14 2015-07-15 中国科学院合肥物质科学研究院 一种用于农田多种气体实时在线监测装置
WO2020051786A1 (en) 2018-09-12 2020-03-19 Shenzhen Voxtech Co., Ltd. Signal processing device having multiple acoustic-electric transducers
CN103983544B (zh) * 2014-05-28 2015-12-30 南京大学 多通道气溶胶散射吸收测量仪
CN106687798A (zh) * 2014-09-03 2017-05-17 库珀技术公司 光学气敏传感器
DE102015106373B4 (de) * 2015-04-24 2023-03-02 Infineon Technologies Ag Photoakustisches gassensormodul mit lichtemittereinheit und einer detektoreinheit
FR3042866A1 (fr) * 2015-10-21 2017-04-28 Aerovia Dispositif de detection de gaz a tres forte sensibilite base sur un resonateur de helmholtz
US9696283B1 (en) * 2016-10-11 2017-07-04 Aerodyne Research, Inc. Apparatus and methods for photoacoustic measurement of light absorption of particulate and gaseous species
CN107064012B (zh) * 2017-04-11 2019-06-25 山西大学 基于拍频效应的石英增强光声光谱气体检测装置及方法
WO2019014134A1 (en) * 2017-07-11 2019-01-17 Saudi Arabian Oil Company PHOTO-ACOUSTIC DETECTION OF GAS
US10228322B2 (en) * 2017-07-13 2019-03-12 Cymer LLC Apparatus for and method of sensing fluorine concentration
WO2019060164A1 (en) 2017-09-25 2019-03-28 Cymer, Llc FLUORINE DETECTION IN A GAS DISCHARGE LIGHT SOURCE
EP3693725B1 (de) * 2019-02-11 2021-04-07 Infineon Technologies AG Photoakustischer sensor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2921226A1 (de) * 1978-05-26 1979-11-29 Allied Chem Verfahren zum spektroskopischen analysieren von stoffen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US4200399A (en) * 1978-11-20 1980-04-29 General Motors Corporation Resonant optoacoustic spectroscopy apparatus

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3513415A (en) * 1967-05-09 1970-05-19 Bulova Watch Co Inc Tuning fork filters having broadened band-pass
CH797368A4 (de) * 1968-05-29 1970-04-15
US3559100A (en) * 1969-02-03 1971-01-26 Philamon Lab Inc Electromagnetically driven tuning fork
US3998557A (en) * 1974-06-03 1976-12-21 Massachusetts Institute Of Technology Gas detector
JPS5945088B2 (ja) * 1976-09-13 1984-11-02 株式会社東芝 赤外吸収検出装置
US4193008A (en) * 1977-04-18 1980-03-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Tuning fork formed of rolled invariable elasticity material
JPS53153832U (de) * 1977-05-09 1978-12-04
US4163382A (en) * 1978-04-28 1979-08-07 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method and apparatus for optoacoustic spectroscopy
US4255964A (en) * 1978-11-30 1981-03-17 The Garrett Corporation Fluid monitor
US4371785A (en) * 1980-08-14 1983-02-01 Panametrics, Inc. Method and apparatus for detection and analysis of fluids
FI812870L (fi) * 1980-12-16 1982-06-17 Econics Corp Stoerningsfilter foer foerbraenningsgasanalysator
JPS595939A (ja) * 1982-07-03 1984-01-12 Horiba Ltd パ−テイキユレ−ト連続測定装置
US4489239A (en) * 1982-09-24 1984-12-18 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Portable remote laser sensor for methane leak detection
US4480191A (en) * 1982-09-27 1984-10-30 Sun Electric Corporation Automatic gain control for an infrared source of an automotive emissions analyzer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2921226A1 (de) * 1978-05-26 1979-11-29 Allied Chem Verfahren zum spektroskopischen analysieren von stoffen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US4200399A (en) * 1978-11-20 1980-04-29 General Motors Corporation Resonant optoacoustic spectroscopy apparatus

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
US-Z.: Science 173, 1971, S. 45-47 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0685728A1 (de) * 1994-06-04 1995-12-06 Orbisphere Laboratories Neuchatel Sa Photoakustisches Analysegerät und Methode
CN103293107A (zh) * 2013-06-28 2013-09-11 中国科学院半导体研究所 基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置
DE102017130988A1 (de) * 2017-12-21 2019-06-27 Infineon Technologies Ag Vorrichtungen und verfahren zur nutzung des photoakustischen effekts
US10996201B2 (en) 2017-12-21 2021-05-04 Infineon Technologies Ag Photoacoustic measurement systems and methods using the photoacoustic effect to measure emission intensities, gas concentrations, and distances
DE102017130988B4 (de) 2017-12-21 2022-07-07 Infineon Technologies Ag Vorrichtungen und verfahren zur nutzung des photoakustischen effekts

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0441297B2 (de) 1992-07-07
US4817413A (en) 1989-04-04
JPS59145957A (ja) 1984-08-21
DE3345077C2 (de) 1986-04-10

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