CN101133314A - 光声光谱学探测器和系统 - Google Patents
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Abstract
一种声探测器(10)，其用于探测通过流体对光的吸收而在光声光谱学系统(1)内生成的声信号，所述声探测器(10)包括传感单元(11)，所述传感单元(11)在所述声信号的频率上或附近表现出结构共振。所述传感单元(11)形成了空腔共振器的至少一部分，将所述空腔共振器布置为能够在所述空腔共振器内形成压力驻波，所述压力驻波处于基本与所述传感单元(11)的结构共振频率一致的空腔共振频率。本发明以这样一种认识为基础，即，将声探测器形成为空腔共振器，通过选择其尺寸使得探测器的空腔共振与探测器中包括的传感单元的结构共振协作，从而实现对PAS系统中生成的声信号的最佳放大，由此在PAS系统中获得了声探测器的增强灵敏度。
Description
技术领域
本发明涉及声探测器，其用于探测通过流体对光的吸收而在光声光谱学系统中生成的声信号，所述声探测器包括传感单元，所述传感单元在所述声信号的频率上或附近表现出结构共振。
本发明还涉及光声光谱学系统，其包括光源、根据本发明的声探测器和被配置为向用户显示来自所述探测器的信息的输出装置。
技术领域
在光声光谱学(Photo-Acoustic Spectroscopy，PAS)中，对于在样本内含有的特殊分子的吸收频率处发光的光源，例如激光器进行幅度或频率调制。这一调制导致了含有样本的测试单元内的周期性压力变化，其原因在于由样本内光的吸收导致的温度变化。可以通过诸如传声器的声探测器拾取这些周期性压力变化，因而能够获得有关吸收量的信息，所述吸收量与样本内吸收分子的浓度成正比。
PAS是一项用于痕量气体探测的已知技术，近来有人研究将其应用于呼吸测试。
呼吸测试应用的代表性例子为监视哮喘、呼吸酒精、肠胃紊乱探测和急性器官排异反应。此外，早期的临床试验表明可能将其应用于乳腺癌和肺癌的预筛查。
一氧化氮(NO)是人体呼吸中一种最为重要的诊断气体。例如，可以在哮喘病人体内发现NO浓度升高。在人体呼吸内发现的典型呼出NO浓度水平处于十亿分之几(ppb)的范围内，并且只有以化学致发光或先进的光学吸收光谱法为基础采用昂贵的大型设备才能测量到。
因而需要一种小巧的低成本装置来测量这些人的呼吸中诸如NO的痕量气体的极低的浓度。除了人的呼吸外，人们对于监测工业过程气体的纯度方面的痕量气体探测以及大气和汽车尾气中的污染气体的探测也表现出了越来越高的兴趣。
常规PAS系统的缺陷在于需要大功率的、桌面尺寸的激光器和大型气室。
旨在减轻这一缺陷的一项最新进展表明，将尺寸可以和常规半导体激光器比拟的红外量子级联激光器用于PAS系统是可行的。
在WO 03104767中，公开了另一项旨在实现更为紧凑的PAS系统的最新进展。这里，采用石英音叉作为PAS系统中的探测器，例如，所述石英音叉可能应用于手表中。在上述专利申请中，还将石英音叉与优选由不锈钢或玻璃制造的声共振器或声管结合。将这一声共振器布置为在所述共振器内形成驻波，并将音叉插入到共振器内的波腹位置。因而放大了音叉股(prong)之间的压力变化。
这一布局的缺陷在于，必须对音叉精确定位，才能受益于放大的声信号。这样可能导致耗时长，并且在采用测量系统之前要执行精密调整。
考虑到现有技术的上述和其他缺陷，本发明的总体目的在于实现一种对诸如人的呼吸的流体中的诸如痕量气体的物质的浓度的改善测量。
发明内容
本发明的目的在于在PAS系统中提供一种改进的探测器。
本发明的另一目的在于提供一种更为灵敏的PAS系统。
根据本发明的这些和其他目的是通过声探测器实现的，所述声探测器用于探测在光声光谱学系统中通过流体对光的吸收而生成的声信号，气包括传感单元，所述传感单元在所述声信号的频率上或附近表现出结构共振，其中，所述传感单元形成了空腔共振器的至少一部分，将所述空腔共振器布置为能够在所述空腔共振器内形成压力驻波(standing pressure waves)，其具有基本与传感单元的结构共振频率一致的空腔共振频率。
一般将“共振”定义为振荡系统的一种现象，处于窄频带内的微弱的周期性外部扰动(驱动力)能够借此导致振荡系统幅度的显著增大。所述幅度增大取决于驱动力的频率，当外部扰动接近系统的固有频率时达到最大幅度。
在本发明的PAS系统中，声探测器为振荡系统，流体内的压力变化构成了外部扰动。在根据本发明的声探测器中涉及两种共振，即结构共振和空腔共振，在将其有效结合后，二者能够对探测器的灵敏度提供进一步的提升。
“空腔共振”是一种几何学现象，其中，由空腔的尺寸和空腔内的流体中的音速决定共振频率。在声波(压力波)进入具有适当尺寸的空腔共振器时，在空腔共振器内形成驻波，从而在波腹处对声波进行了放大，在波节处对其进行了抵消。
“结构共振”是指实体结构的内部共振，其由材料特性和几何形状决定。
本发明以这样一种认识为基础，即，将声探测器形成为空腔共振器，通过选择其尺寸使得探测器的空腔共振与探测器中包括的传感单元的结构共振协作，从而实现对PAS系统中生成的声信号的最佳放大，由此在PAS系统中获得了声探测器的增强灵敏度。
与现有技术相比，根据本发明的声探测器具有几种优点。
与现有技术相比，显著提高了探测器的传感面积以及探测器与音量之间的相互作用。实际上，采用在探测器内形成的压力驻波的波腹中累积的能量激励探测器中具有传感单元的结构共振频率之一的振动，由此极大提高了灵敏度。
此外，由于能够通过一个单元实现具有结构共振频率的探测器和空腔共振器的功能，因而不需要对音叉传感器和几何声放大管进行几何调整，因而节省了时间。
传感单元优选可以包括诸如石英的压电材料。
压电材料是在受到电场作用时发生形变的材料。反之，在材料发生形变时将在压电材料的两端生成电压。
通过形成声探测器中包含的传感元件使其包括诸如石英、钛酸钡、锆钛酸铅(PZT)或聚偏二氟乙烯(PVDF)的压电材料，由此能够直接从探测器获得具有电信号形式的输出，而不是通过(例如)对光路的调制(干涉测量法)间接获得所述输出。
为了在探测器的设计和制造中提供更多的自由度，并且能够降低成本，可以由两种或更多材料形成所述传感单元。一种材料可以是石英，另一种材料可以是塑料材料或金属。可以基于其机械性能、机械加工或模制简便度以及成本选择所述另一种材料。在另一个实施例中，可以将所述探测器配置为微型机电系统(MEMS)共振器，其中，将周期性位置变化转化为能够以电的方式探测的电容变化。
根据本发明的探测器的一个实施例，所述传感单元能够形成空腔。
通过提供具有空腔形式的传感单元，所述传感单元可以起到独立声探测器的作用，其中，所述传感单元的空腔共振频率基本与所述传感单元的结构共振频率一致。
在根据本发明的探测器的另一实施例中，所述传感单元可以包括管，所述管具有适于在由包括所述管的探测器形成的空腔内实现空腔共振的内部尺寸，所述空腔共振的频率基本与所述管的结构共振频率一致。
例如，所述管可能具有圆柱形，并且具有长度、半径和两个末端，所述末端可以是开口或闭合的。可以将两端开口的管容易地放到具有透明壁并且含有有待分析的样本的气室内。能够容易地计算出管的空腔共振频率，特别地，圆柱状管的制造直接简便。
根据本发明的探测器的另一实施例，上述管包括处于管的管壳内的至少一个狭缝，所述狭缝基本沿轴向延伸。
如果将所述传感管改造为在管的管壳内具有一个或几个狭缝，那么能够对管的结构共振频率细调，同时保持空腔共振频率(在管内产生驻波的频率)基本不变。
优选将所述传感管内的至少一个狭缝布置为从所述管的第一末端朝向所述管的第二末端延伸，其延伸超过半程。
通过将管改造为具有基本沿管的长度方向延伸的一个或几个狭缝，能够提高包括所述管的传感单元的品质因数，并由此提高灵敏度和SNR(信噪比)。
根据本发明的探测器的另一实施例，将所述传感管沿轴向划分为至少两个段，所述段通过连接机构结合起来，所述连接机构包括形成于所述段之间的桥接条。
通过提供具有分段管的形式的传感单元，基本将压电材料的膨胀和收缩定位至所述连接机构。由此，能够获得更大的信号，因为由压力波波腹施加的力将在所述连接机构内导致比在非分段管中更大的膨胀。
通过连接一对管段的至少一个桥接条形成了用于压电材料的局部化膨胀和收缩的明确区域。可以将电极分别布置在桥接条的内侧(面对分段管的内部)和外侧上。由此能够获得对应于桥接条的厚度(沿径向)的电压。这一厚度与压力波施加在管段上的力成反比。通过这种方式，实现了更为灵敏的测量。
根据本发明的声探测器的另一实施例，所述传感单元可以是具有附着于底座的两个股的音叉。
通过将所述传感单元形成为具有附着于底座的两个股的音叉，能够利用音叉的高品质因数和窄结构共振，其中所述两个股优选由压电材料构成。
上述探测器还可以优选包括空腔形成构件，将所述构件布置为能够形成由所述空腔形成构件以及所述音叉的股和底座包围的空腔。
通过这种方式对诸如板的空腔形成构件定位，从而形成以所述板以及所述音叉的底座和两股为壁的空腔，由此能够形成空腔共振器。通过适当配置这一空腔共振器的尺寸，能够使所述空腔共振与所述音叉的结构共振协同工作。优选使所述空腔形成构件的位置与所述音叉股间隔小距离，但不与其接触。
根据另一实施例，可以将所述音叉的股配置为形成处于所述股之间的基本为管状的空腔。
通过这种方式设计音叉股的形状，使得所述股一起形成了实质为管状的空腔，可以使空腔内的空腔共振与音叉的结构共振协作，由此实现从声能到来自音叉的电信号的非常有效的转化，所述音叉可以具有压电股和/或压电底座。
根据本发明的探测器的另一实施例，将所述传感单元形成为端面开口盒(open-ended box)，其具有适于实现由所述探测器形成的空腔的空腔共振的尺寸，所述空腔共振具有基本与所述端面开口盒的结构共振频率一致的频率。
有利地，所述端面开口盒的两面由压电材料构成，所述面彼此相对并且由两个彼此相对的无源板结合起来。
通过这一布局，能够容易地监视两个压电面的膨胀和收缩。当包括端面开口盒的探测器的空腔共振与盒的压电壁的结构共振一致时，这些膨胀和收缩变得尤为强烈。通过根据上述说明将传感单元形成为端面开口盒，能够方便具有适当的结构共振频率的空腔共振器的设计。
优选将所述端面开口盒的所述无源板配置为在其间形成实质为管状的空腔。
根据另一实施例，本发明的探测器还包括信号增强机构，将所述信号增强机构布置为与所述传感单元协作，以形成具有适于实现探测器的空腔共振的尺寸的空腔共振器，所述空腔共振具有基本与所述传感单元的结构共振频率一致的频率。
在某些情况下，采用尺寸可能不适于形成处于预期频率范围内的空腔共振器的传感单元可能是有利的。之后，仍然可以通过采用所述信号增强机构使所述探测器的空腔共振与所述传感单元的结构共振频率基本一致。优选将所述信号增强机构布置为尽可能接近所述传感单元，从而连同所述传感单元一起形成空腔共振器。
附图说明
现在将参考示出了本发明的当前优选实施例的附图更详细地描述本发明的这些和其他方面。
图1是现有技术PAS系统的示意图，其中，采用音叉作为声探测器。
图2是包括根据本发明第一实施例的声探测器的PAS系统的示意图。
图3a是根据本发明第一实施例的声探测器的例子的示意图。
图3b是图3a中的传感单元的电极设置(poling)构造的例子的示意图。
图4a是根据本发明第二实施例的声探测器的第一例子的示意图。
图4b是根据本发明第二实施例的声探测器的第二例子的示意图。
图5是根据本发明第三实施例的声探测器的示意图。
图6是根据本发明第四实施例的声探测器的示意图。
图7a是根据本发明第五实施例的声探测器的第一例子的示意图。
图7b是根据本发明第五实施例的声探测器的第二例子的示意图。
图8a是根据本发明第六实施例的探测器布局的第一例子的示意图。
图8b是根据本发明第六实施例的探测器布局的第二例子的示意图。
图8c是根据本发明第六实施例的探测器布局的第三例子的示意图。
具体实施方式
在下文中，通过相同的附图标记表示相同或类似的元件。
图1以引用的方式示出了根据现有技术的PAS系统1。这里，含有具有所要探测的痕量气体的样本的流体室2围绕石英音叉3。将来自激光器4的激光束聚焦在处于音叉3的股5之间的中心位置，该位置处于音叉开口之下的精确位置。将激光器4调谐至流体室2内含有的痕量气体的吸收频率，并以石英音叉3的结构性固有频率的一半对其进行频率调制，其导致了由于痕量气体内的光吸收引起的周期性压力变化，其频率与石英音叉3的结构性固有频率(可能在30kHz左右)一致。之后，由音叉3拾取这些压力变化，并通过适当的设备将其显示给操作员。
图2示意性地示出了根据本发明第一实施例的PAS系统1，其包括具有传感单元11的声探测器10。图2所示的PAS系统1通常由与图1所示的现有技术系统相同的功能元件构成。但是，一项基本差异在于声探测器10的构造，这里，其设有具有管12的形式的传感单元11，所述管12由诸如PZT、石英或类似物的压电材料制造。管12具有本征频率fsr，n，即结构共振频率，其由管的材料和尺寸决定，并且是该特定管12的特性。管12还具有内部半径R和长度L。管内空腔的尺寸，即参数R和L，连同管内存在的流体的属性决定了由管12形成的空腔共振器的一系列空腔共振频率fcr，n。为了利用在管12的结构共振频率附近获得的放大以及空腔共振器的放大，如此选择管12的尺寸(R和/或L)使得管的空腔共振频率fcr，n之一基本与管的结构共振频率fsr，n之一一致。
图3a示意性地示出了管11的尺寸的例子。可以选择市场上可买到的来自“Piezomechanik Dr.Lutz Pickelmann GmbH(D)”公司的PZT管12。根据数据表，所选的管12具有下述数据：
R＝5mm
L＝36mm
fsr＝65kHz(沿径向)
从这一数据可以认识到，在与图1类似的设置中，应当将激光器4的波长调制频率调谐至65kHz/2＝32.5kHz。对于光谱具有宽吸收特征并且具有快速驰豫时间的气体，可以在65kHz处采用激光幅度调制以替代波长调制。接下来，确定是否照原样使用管12或者必须对其进行改造。通过下述表达式给出了开口管的空腔共振频率：
fcr，n＝nvsound/2Leff
其中，Leff是在开口管中针对空腔共振的末端校正导致的有效长度，其通过下述表达式计算：
Leff＝L+1.226R
vsound＝344+0.6(T-20℃)m/s(空气当中)
就当前例子的数据以及17℃的样本室2内的温度而言，Leff＝42.13mm，fcr，n≈4061.2nHz。
n＝16时，fcr＝64980Hz，其基本与所述的65kHz的固有频率一致。
在上述例子中，还通过存在于管内的波腹进一步增强了在其呼吸模式固有频率下振荡的声探测器的灵敏度，并且不必对所选的管进行任何改造。应当指出，来自数据表的有关结构共振频率(固有频率)的信息不具有所要求的精确度，所采用的每种类型的管都应当首先受到受控温度下的扫频，从而更为精确地确定管的结构共振频率。
通常，可以通过激励使管进入几种结构共振。材料特性、取向和电极化方向均影响这些结构共振。
图3b示出了有利的电极设置构造。借助内部电极33和外部电极32沿径向为由锆酸铅/钛酸铅(PZT)制造的传感管12提供电极。可以将这些电极以(例如)镍或银构成的薄膜的形式施加到管的内部和外部表面上。可以通过这一电极构造有效地拾取呼吸模式结构共振，其中，所述管沿径向振荡。使电极32和33接触，并通过连接线35将电信号传递至适当的探测电子器件34。呼吸模式结构共振与声频接近呼吸模式结构共振频率(固有频率)时由管12形成的处于空腔共振器内的驻波图案具有强耦合。
在图4a-b中示出了根据本发明第二实施例的声探测器11的例子的示意图。
图4a的探测器设有具有经改造的管21的形式的传感单元11，在管21中形成了沿径向彼此相对的两条沿轴向延伸的狭缝22a和22b。通过按照这种方式修改所述管，从某种程度上降低了空腔共振的效率，但是可以增强结构共振频率处的放大，从而能够提高探测器的总放大Aacoustic*Astructural。只要狭缝具有小宽度，那么就能够通过改变所述狭缝的长度，在对空腔共振造成较低影响的同时调整结构共振频率。除了具有一个或多个局部狭缝的构造之外，具有沿管的整个长度的一个狭缝的构造对于光声探测器可能是有利的。除了通过修改管的尺寸和结构来调谐结构共振之外，可以通过选择材料成分来获得所需的结构共振频率。
图4b示出了以分段管31的形式提供的传感单元11的例子，将管31沿圆柱轴进行分割，并通过两个或更多的桥接条32a、32b将其固定在一起。因而将由所要分析的痕量气体内对激光的吸收引起的压力变化导致的振动转化为了将半圆柱片33a、33b固定到一起的桥接条32a、32b的伸长。
图5示出了根据第四实施例的声探测器10，其中，所述声探测器由具有音叉50的形式的传感单元11和具有板的形式的空腔形成元件54形成。探测器10具有截面为矩形的声腔51。音叉50优选由材料组合构成。这里，股52a和52b由压电材料构成，并且是有源传感构件。将两个压电板52a和52b固定到底座53上，以形成平面音叉结构50。将这一组合结构固定到空腔形成构件54附近但仍然与之分离，这里，空腔形成构件具有额外的块的形式，因而能够获得具有适当的空腔共振的空腔51。
在图6中示出了根据本发明的第四实施例的声探测器。在由传感单元11形成的情况下，声探测器的外形表现为具有底座61和两个股62a和62b的音叉60的形式。在这一例子中，整个音叉60由压电材料构成。但是，应当指出，分别用于股62a、62b和底座61的材料组合可能是有利的。根据这一实施例，将股62a和62b配置为形成处于股62a和62b之间的、实质为管状的空腔63。靠近空腔63的股之间的间隔64应当尽可能小。由于压电材料的高度刚性，因而股62a、62b的振幅处于nm范围，基于此优选采用处于微米范围的间隔。
图7a-b示出了根据本发明的第五实施例的声探测器的两个例子。
根据图7a示意性地示出的第一个例子，所述声探测器由具有端面开口盒70的形式的传感单元11形成，所述端面开口盒70具有由压电材料构成的两面71a、71b，所述两个面通过两个形成了所述端面开口盒的其余面的额外构件72a、72b合并到一起。由端面开口盒70形成了具有矩形截面的空腔73。通过选择端面开口盒70的面71a、71b、72a、72b的适当尺寸，能够使空腔共振与传感单元11的结构共振协同工作，由此放大由声探测器拾取的信号。
根据图7b示意性地示出的第二个例子，使两个半圆柱状元件74a、74b附着于端面开口盒70的无源面72a、72b。由传感单元70形成的空腔75由此将变得实质上为管状。
图8a-c示出了说明本发明的第六实施例的例子的声探测器10，除了传感单元11之外，它还包括很多用于支撑的，但就其自身而言非感测信号的增强机构82a、82b。
在图8a中示出了第六实施例的第一个例子。这里，将具有管12的形式的传感单元11与两个由非压电有源材料构成的管82a、82b结合。通过一种方式配置所有的管12、82a、82b的尺寸，使得存在一种跨越三个管延伸的特定空腔共振。为了最佳地约束由三个管形成的空腔共振器内的空腔共振模式，管部分之间的间隔83a、83b应当尽可能小。
在图8b中示出了本发明的第六实施例的第二个例子。这里，声探测器10包括具有音叉60(参考图6)的形式的传感单元11和圆柱状非压电信号增强机构82a、82b。使信号增强管82a、82b的位置尽可能靠近音叉60，从而使间隔83a、83b变小，并形成一个基本连续的空腔共振器。在音叉60(参考图6)的股之间形成的空腔应当支持空腔共振模式。可以通过将股之间的圆柱形空腔的半径选择为与管状信号增强机构82a、82b的半径一样而实现这一目的。
在图8c中示出了本发明的第六实施例的第三个例子。这里，声探测器10包括具有端面开口盒70的形式的传感单元11和非压电信号增强机构82a、82b，所述端面开口盒70(参考图7b)围住了基本为管状的空腔。使信号增强管82a、82b的位置尽可能靠近端面开口盒81，从而使间隔83a、83b变小，并形成一个基本连续的空腔共振器。形成于端面开口盒(参考图7b)内的空腔应当支持空腔共振模式。可以通过将端面开口盒内的圆柱形空腔的半径选择为与管状信号增强机构82a、82b的半径一样而实现这一目的。本领域技术人员应当认识到，本发明决不限于所述优选实施例，例如，其不限于开口结构，也可以采用封闭或半封闭空腔共振器，只要光束能够通过各个面中的至少一个并且包含了用于流体交换的小孔即可。此外，可以在管的管壳的任何部分内形成狭缝，例如，平行于管的末端，并且可以将管划分为具有任何形状的段。管的截面未必一定为圆柱形，其可以是，例如，矩形或椭圆形。
Claims (14)
1.一种声探测器(10)，其用于探测通过流体对光的吸收而在光声光谱学系统(1)内生成的声信号，所述声探测器(10)包括传感单元(11)，所述传感单元(11)在所述声信号的频率上或附近表现出结构共振，
其特征在于所述传感单元(11)形成了空腔共振器的至少一部分，将所述空腔共振器布置为能够在所述空腔共振器内形成压力驻波，所述压力驻波处于基本与所述传感单元(11)的结构共振频率一致的空腔共振频率。
2.根据权利要求1所述的探测器(10)，其中，所述传感单元(11)包括诸如石英的压电材料。
3.根据权利要求1所述的探测器(10)，其中，所述传感单元(11)包括管(12；21；31)，所述管具有适于在由所述探测器(1 0)形成的空腔内实现空腔共振的内部尺寸，所述空腔共振的频率基本与所述管(12)的结构共振频率一致。
4.根据权利要求3所述的探测器(10)，其中，所述结构共振频率为所述管(12)的呼吸模式固有频率。
5.根据权利要求3所述的探测器(10)，其中，所述管(21)包括至少一个处于所述管(21)的管壳内的狭缝(22a，22b)，所述狭缝(22a，22b)基本沿轴向延伸。
6.根据权利要求3所述的探测器(10)，其中，将所述管(31)沿轴向划分为通过连接机构(32a，32b)结合起来的至少两段(33a，33b)，所述连接机构包括在所述段(33a，33b)之间形成的桥接条(32a，32b)。
7.根据权利要求1所述的探测器(10)，其中，所述传感单元(11)为具有附着于底座(53；61)上的两个股(52a，52b；62a，62b)的音叉(50；60)。
8.根据权利要求7所述的探测器(10)，其中，将所述音叉(60)的股(62a，62b)配置为在所述股(62a，62b)之间形成空腔(63)，所述空腔(63)具有适于实现探测器(10)的空腔共振的尺寸，所述空腔共振具有基本与所述音叉(60)的结构共振频率一致的频率。
9.根据权利要求7所述的探测器(10)，还包括空腔形成构件(54)，将所述构件布置为能够形成由所述空腔形成构件(54)以及所述音叉(50)的所述股(52a，52b)和底座(53)限定的空腔(51)，所述空腔(51)具有适于实现所述探测器(10)的空腔共振的尺寸，所述空腔共振具有基本与所述音叉(50)的结构共振频率一致的频率。
10.根据权利要求1所述的探测器(10)，其中，将所述传感单元(11)形成为端面开口盒(70)，其具有适于实现所述探测器(10)的空腔共振的尺寸，所述空腔共振具有基本与所述端面开口盒(70)的结构共振频率一致的频率。
11.根据权利要求10所述的探测器(10)，其中，所述端面开口盒的两个面(71a，71b)由压电材料构成，所述面(71a，71b)彼此相对，并且通过彼此相对的两个无源元件(72a，72b)结合起来。
12.根据权利要求11所述的探测器(10)，其中，将所述端面开口盒(70)的所述无源元件(72a，72b)配置为在其之间形成基本为管状的空腔(75)。
13.根据权利要求1所述的探测器(10)，还包括信号增强机构(82a，82b)，将所述信号增强机构(82a，82b)布置为与所述传感单元(11)协作，以形成具有适于实现所述探测器(10)的空腔共振的尺寸的空腔共振器，所述空腔共振具有基本与所述传感单元(11)的结构共振频率一致的频率。
14.一种光声光谱学系统(1)，其包括光源(4)、根据权利要求1-14中的任何一项所述的声探测器(10)和被配置为向用户显示来自所述探测器(10)的信息的输出装置(34)。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20080227 |