DE3331727A1

DE3331727A1 - Elektromagnetischer wandler

Info

Publication number: DE3331727A1
Application number: DE3331727A
Authority: DE
Inventors: Des Erfinders Auf Nennung Verzicht
Original assignee: BETR FORSCH INST ANGEW FORSCH; BFI VDEH Institut fuer Angewandte Forschung GmbH
Current assignee: BETR FORSCH INST ANGEW FORSCH; BFI VDEH Institut fuer Angewandte Forschung GmbH
Priority date: 1983-09-02
Filing date: 1983-09-02
Publication date: 1985-03-21
Anticipated expiration: 2003-09-03
Also published as: US4593567A; FR2551610B3; GB2145823A; GB8421886D0; JPH0574783B2; GB2145823B; JPS6073355A; CA1223332A; FR2551610A1; DE3331727C2

Description

BESCHREIBUNG:

Die Erfindung bezieht sich auf einen elektromagnetischen Wandler der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bezeichneten Art.

Ein derartiger Wandler wird in der Dissertation H. Licht, TH Aachen, 1973, "über eine berührungslose Anregungs-und Empfangsmöglichkeit von Lamb-Wellen in elektrisch leitfähigen Platten durch ein modenselektives elektrodynamisches Wandlersystem" beschrieben. Um eine aussagefähige Modenspektroskopie bei dünnen Werkstücken vornehmen zu können, sieht der bekannt gewesene Wandler auswechselbare Leiterplatten, welche unterschiedliche Leiterbahnanordnungen aufweisen, vor, um somit die jeweilige Wellenlänge festzulegen. Die Prüffrequenz ist demgegenüber kontinuierlich einstellbar. Man kommt auf diese Weise zwar zu einem aussagefähigen Prüfergebnis, jedoch ist der zeitliche Bedarf hierfür beträchtlieh. Insbesondere ist es hiernach nicht möglich, im Durchlaufverfahren modenspektroskopische Untersuchungen vorzunehmen. Daneben treten noch weitere Störeinflüsse auf. Außerdem besteht eine Beschränkung bezüglich der Prüflinge in Form dünner Platten und demgemäß in der Wellenart in Form von Lamb-Wellen.

Auch der erfindungsgemäße elektromagnetische Wandler soll bei ferromagnetischen Werkstoffen die Erzeugung und den Empfang von Ultraschallwellen aufgrund des Lorentz-Effektes und des Magnetostriktions-Effektes ermöglichen, die beide umkehrbar sind, so daß auf diese Weise die Sendung und der Empfang möglich sind. Bei para- oder diamagnetischen Metallen entfällt hingegen der Magnetostriktions-Effekt, wie auch oberhalb des Curie-Punktes; indes ermöglicht auch der Lorentz-Effekt für sich al leine die Sendung und den Empfang. Der jeweilige Plattenwellenmode ergibt sich dann bei vorgegebener Banddicke und Wellenlänge durch geeignete Frequenzwahl gemäß dem als bekannt vorauszusetzenden Dispersionsdiagramm.

Im übrigen sollen bei Prüfung dicker Werkstücke auch andere Wellenarten (longitudinal, transversal und Rayleigh) angeregt und empfangen werden.

Im Falle der Begrenzung auf den Lorentz-Effekt erzeugt der in den Sendewandler eingespeiste Wechsel Stroms ei η elektromagnetisches Wechselfeld, wodurch in der Oberfläche des Werkstückes Wirbelströme induziert werden. Durch die Wechselwirkung des Wirbelstrom mit einem horizontalen, magnetischen Gleichfeld wirken Lorentz-Kräfte

Copy ^>

" 5 - 333 \ I

auf die freien Elektronen und damit indirekt auch auf das Metallgitter des Prüfobjekts ein. Sie regen auf Grundihrer räumlichen und zeitlichen Periodizität eine Ultraschallwelle an, deren Wellenlänge durch die Wandlergeometrie und deren Frequenz durch den Wechselstrom vorgegeben sind.

Im Falle von ferritischen Werkstoffen erzeugen die durch den Sendewandler in der Oberfläche der Werkstücke induzierten Wirbelströme ein magnetisches Wechselfeld, welches sich dem eingeprägten magnetischen Sleichfeld überlagert. Das resultierende modulierte Magnetfeld bewirkt lokale magnetostriktive Dehnungen des ferritischen Werkstoffes und erzeugt somit eine Ultraschallwelle mit vorgegebener Frequenz und Wellenlänge.

Für die berührungslose Ultraschallprüfung kommt es nun darauf an, neben der Feststellung und Lokalisierung von Fehlern auch eine bewertende Klassifizierung nach Art der Fehler, Größe und Lage zu ermöglichen, indem beispielsweise ein Riß oder eine voluminöse Fehlstelle, deren charakteristische lineare Abmessungen und die Orientierung der Fehlerhauptachsen zur Schallausbreitungsrichtung erfaßt werden.

Da bei dem gattungsgemäß zugrundegelegten Stande der Technik geführte •\ Wellen eingesetzt werden, ermöglicht die Modenspektroskopie die Klassifizierung und Bewertung der Fehler unter Verwendung von Algorithmen. Die gleiche Fehlstelle wird hierbei um Multiplex-Betrieb nacheinander mit mehreren verschiedenen Moden angeschallt, wobei außerdem bei jedem Mode sukzessiv mehrere verschiedene Wellenlängen benutzt werden. Die Tatsache, daß bei der Beugung einer geführten Welle der Reflexionsfaktor nicht nur, wie bei einer freien Welle, von der Wellenlänge, den charakteristischen Linearabmessungen des Fehlers, der Art und der Orientierung des Fehlers abhängt, sondern außerdem auch noch mit den geometrischen Abmessungen des Wellenleiters und in Abhängigkeit vom verwendeten Material variiert, läßt sich dann für eine modenspektroskopische Fehlerklassierung nutzen.

Indes eröffnet auch die Verwendung von freien Ultraschallwellen in

Form von Longitudinal- oder Transversal well en beim Einsatz mehrerer

Wellenlängen im Multiplex-Betrieb zumindest die Möglichkeit der Klassierung der detektierten Fehler durch die normale Spektroskopie, die erfindungsgemäß nicht ausgeschlossen sein soll.

b Vom einleitend beschriebenen Stand der Technik ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen elektromagnetischen Wandler zu schaffen, bei welchem eine Spektroskopie, insbesondere eine Modenspektroskopie des Prüflings mit sehr kurzer Taktfolge verwirklicht werden kann. Vor allem soll sich der neue elektromagnetische Wandler aufgrund dieser Eignung für die Ultraschallprüfung durchlaufender Bleche bzw. Bänder verwenden lassen und dabei auch Störeinflüsse weitgehend auszuschalten gestatten.

Diese Aufgabenstellung wird im Vorschlag gemäß dem Kennzeichnungsteil des Patentanspruchs 1 gelöst, für welchen die Vorschläge der Unteransprüche 2 bis 12 vorteilhafte Weiterentwicklungen vorsehen.

Man kommt auf diese Weise zu einem Wandler, bei welchem die Frequenzen und Wellenlängen matrixweise vorggebbar sind,wobei die einzelnen Operationen innerhalb der Frequenz-Wellenlängen-Matrix durch Ansteuerung über die Schaltelemente ausführbar sind. Die dazu einzusetzenden Mittel sind elektronischer Art, wie zum Beispiel elektronische Schalter, und als solche bekannt. So können in einen nach Maßgabe des Vorschlages des Patentanspruchs 1 ausgeführten elektromagnetischen Wandler die Schalter integriert werden, so daß die Matrix-Operationen voll elektronisch und damit zugleich in hinreichend kurzer Taktfolge ausführbar sind.

Wenngleich die benötigten Zeiten extrem kurz sind, so sind dennoch die vorzunehmenden Matrix-Operationen in der Praxis begrenzt. Beispielsweise kommt man mit 4 bis 8 verschiedenen Frequenzen aus, wohinqeqen die Verhältniszahlen der Wellenlängen in der Regel lediglich 2, 3 und oder 3, 4 und 5 betragen.· Nur in Ausnahmefällen wird es erforderlich sein, noch die Verhältniszahl 7 zu berücksichtigen, um damit zu 4 verschiedenen Wellenlängen zu kommen.
3b

'<ξ»κκειοητ[ - 7 -

Eine weitgehende Anpassung an die Abmessungen der zu prüfenden Werkstücke sowie an ihre Werkstoffarten wird dadurch erreicht, daß die Leiterbahnen jeweils mehrwindig sind und gleiche Abstände voneinander haben. Dabei haben zweckmäßig auch die Windungsteile gleiche Abstände voneinander. Dies gestattet die Einhaltung genau vorgebbarer geometrischer Konfigurationen, welche die einzelnen Wellenlängen bestimmen. In der Praxis sind derartige Leiterbahnen präzise mittels der Photo-1ithographietechnik herste!!bar.

Eine noch weitere Anpassung im bereits erwähnten Sinne ermöglicht eine Polaritätsbelegung der Leiterbahnen derart, daß sich wahlweise eine Spule oder ein Mäander ergibt.

Um für den neuen Wandler einen möglichst hohen Wirkungsgrad zu erhalten, ist es angebracht, den Wechselstromwiderstand desselben, der bekanntlich frequenzabhängig ist, einzuebnen. Zu diesem Zwecke sind die Leiterbahnen mit Anzapfungen in demgemäßen Abständen ausgeführt. Man kann auf diese Weise die Anzahl der effektiv genutzten Windungsteile variieren und eine konstante Wandlerimpedanz erreichen. Hierfür sind die mehrwindigen Leitungsbahnen insbesondere geeignet, die im übrigen - empfängerseitig eine hohe Induktivität bewirken.

Zur Erzielung einer Richtwirkung -j_st es weiterhin zweckmäßig, zwei seitlich beabstandete Segmente übereinander vorzusehen, die eine grundsätzlich identische Konfiguration besitzen. Sie sind zweckmäßig seitlich um einen Bruchteil <als 1/2 der Wellenlängen gegeneinander versetzt. Zeitlich lassen sich derartige Segmente über eine steuerbare Leistungsverzögerungsleitung gegeneinander verschiebbar betreiben. Bei einer gegebenen Frequenz ist es somit möglich, das Generatorsignal für ein Segment elektrisch um die gleichen Bruchteile der Periodendauer zu verzögern, wie sie für die Wellenlängen bestehen. Dadurch überlagern sich die ausgesendeten Schallfelder der Sendewandler in einer Richtung konstruktiv und in der Gegenrichtung destruktiv. Dies führt zu einer gewünschten Richtwirkung des Sendewandlers.

Die während des Betriebes auftretenden Magnetkräfte sind sehr groß.

-o-

-ο-Ι Insbesondere bei durchlaufendem Bandmaterial muß darauf geachtet werden, daß trotz des starken Magnetfeldes, der Abstand des Wandlers vom Prüfling eingehalten wird. Dies gelingt zweckmäßig durch elektrisch leitende Kunststoffrollen, die auf dem zu prüfenden Werkstück leitfähig ablaufen und es zugleich mit dem Erdungsanschluß des empfangenden Wandlers verbinden.

Die Fehlerdetektion findet zweckmäßig mit einer digitalen Signalerkennungsschaltung statt. Hierbei wird das Empfangssignal nach dem Vorschlag des Patentanspruchs 7 verarbeitet. Dadurch ist es insbesondere möglich, mit einer entsprechend hohen Prüffolgefrequenz bzw. entsprechend kurzer Taktfolge zu senden und zu empfangen, um somit zugleich eine Fehlerortung und -klassierung vollautomatisch vorzunehmen.

Die bereits erwähnte Photolithographietechnik wird bei der vorliegenden Erfindung zweckmäßig so ausgeführt, daß photolithographisch strukturierte Leiterbahnen auf ein elektrisch und magnetisch nicht leitendes Basismaterial in Form von Metallbahnen aufgedampft werden. Letztere bestehen vorteilhaft aus Aluminium, wenn für das Basismaterial Si-Einkristallplättchen verwendet werden. Ein besonderer Vorteil bietet sich dann für die Untersuchung heißer Bleche an; der neue Wandler ist dann nämlich auch unter extremen Einsatzbedingungen thermisch völlig zuverlässig.

Die Windungsteile der Leiterbahnen werden je nach beabsichtigter Wellenlänge bzw. Polarität in unterschiedlicher Weise miteinander verbunden. Dies schließt nicht aus, daß es zu sich kreuzenden Leitern kommt. In sehr einfacher Weise läßt sich die Isolation im Kreuzungsbereich dadurch schaffen, daß die jeweils kreuzenden Leitern auf der anderen Sei-

^O te des Basismaterials verlaufen.

Zur weiteren Veranschaulichung der Erfindung wird auf die sich auf Ausführungsbeispiele beziehenden Zeichnungen Bezug genommen.

JL 9 -

Darin zeigen:

Figur 1 den schematischen, noch nicht vervollständigten Segmentaufbau des neuen Wandlers,

Figur 2 die Schaltung des neuen Wandlers als Mäander,

Figur 3 die Schaltung des neuen Wandlers als Spule,

Figur 4 die Energieversorgung des neuen Wandlers mit der Leistungsverzögerungsleitung,
Figur 5 einen Elementarbaustein der Leistungsverzögerungsleitung und

Figur 6 die digitale Signalerkennungsschaltung.

Figur 1 zeigt ein Segment 1, welches aus den Leiterbahnen 2 besteht, von denen lediglich eine mit dem Bezugszeichen versehen wurde. Bei jeder Leiterbahn 2 sind 5 Windungen verwirklicht, von denen eine mit 3 bezeichnet ist. Der mittlere Abstand der Leiterbahnen ist mit 4 bezeichnet. Sowohl dieser als auch die Abstände der Windungsteile 3 voneinander sind konstant. Man kann also sehr differenzierte geometrische Konfigurationen mit dem neuen Wandler verwirklichen.

Hierfür sei das Beispiel eines Sendewandlers mit 1 = 2 Wellenlängen erläutert. Geht man von einer Windungszahl η = 5 aus,-ferner von einer Periodenzahl m = 2 und von den Wellenlängen/L = 6 mm und Λ2 = 9 mm, so ergibt sich bei einer mäanderförmigen, achser.symmetri sehen Polaritätsbelegung die in Figur 2 wiedergegebene Konfiguration. Bei einer spulenförmigen Polaritätsbelegung würde man das in Figur 3 dargestellte ι Bild erhalten.

Die praktische Ausführung entspricht den zeichnerisch wiedergegebenen Konfigurationen gemäß Figur 2 und Figur 3 mit der Abweichung, daß zeichnerisch ein Vergrößerungsmaßstab von 1 : 5 gewählt wurde. Man j kann die Anordnung auch so treffen, daß mehrere Wellenlängen (1 > 2) j

BAD

verwirklicht werden, ferner mit anderen Windungszahlen η und anderen, geradzahligen Periodenzahlen(m > 2), wobei die Wellenlängen im erfindungsgemäß vorgeschlagenen Verhältnis kleiner, ganzer und teilerfremder Zahl en stehen. (A₁ : A₂ ^: /U = P₁ : P₂ : P₃ - )

Die Begrenzung ergibt sich im übrigen daraus, daß die Länge L des Wandlers (ohne die Randbreiten) gegeben ist durch das Produkt

L =γ.A₁ -J₁ P₁-L=I

Die Anpassung des Wandlers bezüglich seines Wellenwiderstandes findet durch Anzapfung der Leiterbahnen statt. Figur 2 zeigt Anzapfungen 5 dieser Art, durch welche man den Frequenzgang des Wellenwiderstandes einebnen kann.

Wie ebenfalls Figur 2 erkennen läßt, sind 2 seitlich beabstandete Mäander β, 7 vorgesehen, die ineinander geschachtelt sind. Auch Figur 3 zeigt die Leiterbahnanordnungen 6, 7, die in diesem Falle Spulen sind.

Das Stromversorgungsteil der Segmente L_w, L'_w veranschaulicht Figur 4. Die Leistung des Generators G wird im Leistungsteilerübertrager aufgespalten, um beide Segmente mit nur einem Leistungsgenerator betreiben zu können. Die Leistung beträgt in einem praktischen Aus-,führungsbeispiel 36 KW. Die von den Leiterbahnanordnungen gebildeten Wandler werden mit den einstellbaren Widerständen R,, und R'_v und Kapazitäten Cw und C _v beschaltet, wobei einem noch eine zusätzlich einstellbare Leistungsverzögerungsleitung ,f-^ vorgeschaltet ist, wie im unteren Leitungszweig der Figur 4 zwischen dem Übertrager und dem Widerstand R'_v erkennbar ist. Somit läßt

SQ sich bei vorgegebenen Frequenzen das Generatorsignal für jedes Segment um einen Bruchteil ⁴C 1/2 der Periodendauer verzögern. Die Schallfelder des Sendewandlers überlagern sich dadurch in der schon beschriebenen Weise unter Ausbildung einer Richtwirkung des Sendewandlers. Ein Baustein der Leistungsverzögerungsleitung ist aus-

^oa führlicher in Figur 5 wiedergegeben. Die Wicklung besteht dabei aus Kupferlackdraht, der auf einen elektrisch und

. - 11 -

magnetisch nicht leitenden Körper gewickelt ist. Bei geeigneter Wahl der Werte für L, M (Gegeninduktivität) und C erreicht man die gewünschte Verzögerungszeit der Leistungsverzögerungsleitung. Falls eine der Anordnungen gemäß Figur 5 nicht ausreicht, lassen sich mehrere derartige Bausteine zusammenschalten.

Die mittels der Leistungsverzögerungsleitung einstellbaren Verzögerungszeiten sind zweckmäßig binär abgestuft. Die Verzögerungszeiten können dabei sowohl manuell als auch mit einer Rechnersteuerung vorgegeben werden. Da die Spannungen im Wandler beträchtlich sind und zwischen 1.000 bis 3.000 V betragen, ist eine hochspannungsfeste Ausführung der Leistungsschalter Voraussetzung. Reflexionen an unbenutzten Teilen werden bei der vorgesehenen Schaltung vermieden. Der Wellenwiderstand der Leisturigsverzögerungsleitung hat den Wert Rg und ist damit sowohl an den Generatorinnenwiderstand als auch an die Last angepaßt. Sämtliche Komponenten des Stromkreises besitzen eine binäre Abstufung und lassen sich von Hand oder über einen Rechner ansteuern. '

Die bereits erwähnte digital e Signalerkennungsschaltung gemäß Figur 6 wird mit einem Pulsgenerator betrieben, der eine konstante Anzahl von Pulsen pro Scan erzeugt. Diese Pulse dienen dem Schieberegistersatz aus den beiden hintereinander geschalteten Schieberegistern als Schiebetakt. Am Dateneingang des Schieberegistersatzes liegt das detektierte Empfangssignal als Digital wert von ein bit Länge an.

Damit erscheint im Schieberegister eine "1", wenn der Fehl erschwel 1-wert vom EmpfangssiQnal überschritten wurde. In jedem der beiden Schieberegister wird ein Scan gespeichert. Durch die Hintereinanderschaltung sind am Ende eines Scans der gerade beendete und der vorherige gespeichert. Mittels der nachgeschalteten Logik können drei Scans miteinander verglichen werden. Da der Schiebetakt mit in den Vergleich einbezogen wird, erhält man als Maß für die Dauer der überdeckung eine Anzahl von Pulsen. Ein gesetzter Rückwärtszähler zählt die Pulse-Sofern dessen Pulszahlvorgabe überschritten wird, ist der Borrow bzw. der Entnahmeausgang des Rückwärtszählers kurzzeitig aktiv, was einer Diskriminierung des Empfangs- g^ ORIGINAL

- 12 -

- 12 signals als Ul.traschallsignal entspricht.

Die Pulszahlvorgabe liegt für einen beschalteten Wandlersatz fest. Sie entspricht der um "1" verminderten Mindestpulszahl für die überdeckungsdauer bei Ul traschall signal en. Da hierbei ein Ultraschallsignal mindestens auf drei aufeinanderfolgenden Scans vorkommen muß, um erkannt zu werden, ist eine entsprechend große Prüffolgefrequenz zu wählen.

Wenn für den erfindungsgemäßen Wandler Silizium-Einkristallplättchen verwendet werden, finden hierbei beispielsweise die nachfolgenden Prozeß-Schritte Anwendung:

1. Herstellung eines Silizium-Einkristalls

2. Ausschneiden einer dünnen (d = 200/^m) Siliziumscheibe mit definierter Kristallorientierung ("Wafer")

3. Oxidation der Waferoberfläche

4. Aufbringen einer Photoschicht (UV-Licht-empfindliches, organisches Polymer)

²^ 5. Herstellung der Photomaske (Glasplatte mit der aufgebrachten Wandlerstruktur)

6. Photolithographische Prozesse zur öffnung spezifischer Flächen im Oxid oder im Silizium unter Anwendung von isotropen und anisotropen Ätzmitteln
7. Herstellung von Kontakten und Leiterbahnen durch Aufdampfen (oder Aufsputtern oder Bonden)

8. Beschichtung des Wafers mit Schutzschichten (SiO₂, SiN₄ oder ähnlichem)

Bei Anwendung einer Dünnschichtfolie vollziehen sich beispielsweise die folgen Prozeßschritte :

1. Auswahl eines flexiblen Substrates als Träger des Wandlers ("Wandlerkörper" )

2. Einfaches Beschichten durch eine Maske hindurch, die auf das Substrat

gepreßt wird

3. Photolithographie mit den Zwischenschritten:

beschichtetes Substrat mit Photolack yersehen, durch Masken belichten, den Photolack entwickeln, Ätzen der Schicht, Entfernung des Rest-Photolackes

4. Aufbringen einer Isolationsschicht aus Parylene C (Polymerschicht)

Bei Verwendung jeder dieser beiden Herstellungsmethoden für die elektromagnetischen Wandlerspulen lassen sich

1. die Sendewandler durch geeignete Wahl von Le-iterbahnzahl, -breite, -dicke und -abstand so auslegen, daß die in dem transformierten Widerstand des Prüflings verbrauchte Leistung bezogen auf die maximal abgegebene Leistung des Generators im jeweils gewünschten Frequenzbereich ein hohes und breites Maximum besitzt und daß die Reaktanz der Spulen sich durch Zuschalten von Kapazitäten bei der jeweiligen Arbeitsfrequenz auf Serienresonanz abstimmen läßt;

2. die Empfangswandler durch geeignete Wahl von Leiterbahnzahl, -breite, -dicke und -abstand so auslegen, daß die Leiterbahnzahl nur insofern nach oben begrenzt wird als die Frequenz der Eigenresonanz der Segmenteoberhalb des jeweils gewünschten Frequenzbereiches liegen muß und daß die Reaktanz der Segmentesich durch Zuschalten von Kapazitäten bei der jeweiligen Arbeitsfrequenz auf Parallel resonanz abstimmen läßt.

Figur 2 zeigt einige sich kreuzende Leiter von denen die mit 8, 9 und 10 bzeichneten charakteristisch sind. Bei einer Spulenanordnung gemäß Figur 3 kommen auch einzelne Windungsteile 11 für Kreuzungen

in Betracht. Diese sich kreuzenden Windungsteile werden, wie schon 30

erwähnt, am einfachsten auf der Rückseite des Basismaterials angeordnet.

- Leerseite -

Claims

PATENTANSPRÜCHE:

1. Elektromagnetischer Wandler für die Anregung und den Empfang von Ultraschallwellen bei der koppelmittelfreien Untersuchung metallischer Werkstücke, insbesondere von Flachband oder Blechen aus ferritischen oder austenitischen Stäh in Gestalt eines oder mehrerer Segmente mit mehreren, parallel zueinander verlaufenden Leiterbahnen, die auf im wesentlichen ebenen Leiterplatten ange-

■ ordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß für eine Wellenlängenspektroskopie und insbesondere eine Modenspektroskopie der empfangenen Ultraschallwellen für das oder die Segmente (1) Frequenzen und Wellenlängen in einer Matrix-Verknüpfung mit kurzer Taktfolge vorgebbar sind, wobei die Leiterbahnen (2) derart durch Ansteuerung mittels Schaltelementen verbindbare Windungsteile (3) aufweisen, daß sich je Frequenz in mehreren Schaltzuständen Wellenlängen im Verhältnis kleiner, ganzer, teilerfremder Zahlen ergeben.

2. Elektromagnetischer Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,daß die Leiterbahnen (2) jeweils mehrwindig sind und gleiche Abstände (4) voneinander haben.

3. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennül^ii» ^{daß die} Leiterbahnen (1) für eine als Spule (Figur 3) oder als Mäander (Figur 2) wahlweise Änderung ihrer Polaritätsbelequng ausgeführt sind.

4. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (2) Anzapfungen (5) in derartigen Abständen aufweisen, die im Betriebsbereich des Wandlers den Frequenzgang seines Wellenwiderstandes einzuebnen gestatten.

5. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwei seitlich beabstandete Segmente (1) übereinander vorgesehen sind, die eine identische Konfiguration besitzen und zeitlich über eine steuerbare Leistungsverzögerungsleitung (Figur 5) gegeneinander verschiebbar sind.

6. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß er über seinen Erdungsanschluß an elektrisch leitende Kunststoffrollen angeschlossen ist, die auf dem zu prüfenden Werkstück leitfähig ablaufen und es auf Abstand von ihm halten.

7. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Empfangssignal eine Störunterdrückung mittels einer digitalen Signalerkennungsschaltung erfährt, bei der es auf ein erstes Schieberegister gemeinsam mit den Schiebetaktpulsen eines Pulsgenerators, einen Komparator-Logik-Baustein und einen Rückwärtszähler geschaltet ist, wobei dem ersten Schieberegister ein zweites Schieberegister nachgeschaltet ist und beide Schieberegisterausgänge dem Komparator zugeführt sind, dem der Rückwärtszähler nachgeschaltet ist, dessen Entnahmeausgang bei überschreiten einer Pulszahl vorgabe aktiviert wird.

8. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichdaß die fotolithografisch strukturierten Leiterbahnen auf ein elektrisch und magnetisch nicht leitendes Basismaterial aufgedampfte Metallbahnen sind.

9. Elektromagnetischer Wandler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallbahnen aus Aluminium bestehen.

10. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 8 und 9, dadurch gekennzeichdaß die Metallbahnen auf einer Dünnschichtfolie aufgedampft sind.

11. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 8 und 9 , dadurch gekennzeichnet, daß das Basismaterial aus Silizium-Eirikristallplättchen besteht welches eine Oxidationsschicht trägt.

12. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Basismaterial einseitig die Leiterbahnen trägt und auf der anderen Seite die die Leiterbahnen bzw. deren Windungsteile kreuzende Leiter (8, 9, 10, 11) tragt.