DE3331727A1 - Elektromagnetischer wandler - Google Patents
Elektromagnetischer wandlerInfo
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Description
BESCHREIBUNG:
Die Erfindung bezieht sich auf einen elektromagnetischen Wandler der im
Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bezeichneten Art.
Ein derartiger Wandler wird in der Dissertation H. Licht, TH Aachen,
1973, "über eine berührungslose Anregungs-und Empfangsmöglichkeit von
Lamb-Wellen in elektrisch leitfähigen Platten durch ein modenselektives
elektrodynamisches Wandlersystem" beschrieben. Um eine aussagefähige Modenspektroskopie
bei dünnen Werkstücken vornehmen zu können, sieht der bekannt gewesene Wandler auswechselbare Leiterplatten, welche unterschiedliche
Leiterbahnanordnungen aufweisen, vor, um somit die jeweilige Wellenlänge festzulegen. Die Prüffrequenz ist demgegenüber kontinuierlich
einstellbar. Man kommt auf diese Weise zwar zu einem aussagefähigen Prüfergebnis, jedoch ist der zeitliche Bedarf hierfür beträchtlieh.
Insbesondere ist es hiernach nicht möglich, im Durchlaufverfahren
modenspektroskopische Untersuchungen vorzunehmen. Daneben treten noch weitere Störeinflüsse auf. Außerdem besteht eine Beschränkung bezüglich
der Prüflinge in Form dünner Platten und demgemäß in der Wellenart in
Form von Lamb-Wellen.
Auch der erfindungsgemäße elektromagnetische Wandler soll bei ferromagnetischen
Werkstoffen die Erzeugung und den Empfang von Ultraschallwellen aufgrund des Lorentz-Effektes und des Magnetostriktions-Effektes ermöglichen,
die beide umkehrbar sind, so daß auf diese Weise die Sendung und der Empfang möglich sind. Bei para- oder diamagnetischen Metallen
entfällt hingegen der Magnetostriktions-Effekt, wie auch oberhalb des
Curie-Punktes; indes ermöglicht auch der Lorentz-Effekt für sich al leine die Sendung und den Empfang. Der jeweilige Plattenwellenmode ergibt sich
dann bei vorgegebener Banddicke und Wellenlänge durch geeignete Frequenzwahl gemäß dem als bekannt vorauszusetzenden Dispersionsdiagramm.
Im übrigen sollen bei Prüfung dicker Werkstücke auch andere Wellenarten
(longitudinal, transversal und Rayleigh) angeregt und empfangen werden.
Im Falle der Begrenzung auf den Lorentz-Effekt erzeugt der in den Sendewandler
eingespeiste Wechsel Stroms ei η elektromagnetisches Wechselfeld, wodurch in der Oberfläche des Werkstückes Wirbelströme induziert werden.
Durch die Wechselwirkung des Wirbelstrom mit einem horizontalen, magnetischen Gleichfeld wirken Lorentz-Kräfte
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auf die freien Elektronen und damit indirekt auch auf das Metallgitter
des Prüfobjekts ein. Sie regen auf Grundihrer räumlichen und zeitlichen Periodizität eine Ultraschallwelle an, deren Wellenlänge durch die Wandlergeometrie
und deren Frequenz durch den Wechselstrom vorgegeben sind.
Im Falle von ferritischen Werkstoffen erzeugen die durch den Sendewandler
in der Oberfläche der Werkstücke induzierten Wirbelströme ein magnetisches Wechselfeld, welches sich dem eingeprägten magnetischen Sleichfeld
überlagert. Das resultierende modulierte Magnetfeld bewirkt lokale
magnetostriktive Dehnungen des ferritischen Werkstoffes und erzeugt somit
eine Ultraschallwelle mit vorgegebener Frequenz und Wellenlänge.
Für die berührungslose Ultraschallprüfung kommt es nun darauf an, neben
der Feststellung und Lokalisierung von Fehlern auch eine bewertende
Klassifizierung nach Art der Fehler, Größe und Lage zu ermöglichen, indem beispielsweise ein Riß oder eine voluminöse Fehlstelle, deren
charakteristische lineare Abmessungen und die Orientierung der Fehlerhauptachsen
zur Schallausbreitungsrichtung erfaßt werden.
Da bei dem gattungsgemäß zugrundegelegten Stande der Technik geführte
•\ Wellen eingesetzt werden, ermöglicht die Modenspektroskopie die Klassifizierung
und Bewertung der Fehler unter Verwendung von Algorithmen. Die gleiche Fehlstelle wird hierbei um Multiplex-Betrieb nacheinander
mit mehreren verschiedenen Moden angeschallt, wobei außerdem bei jedem Mode sukzessiv mehrere verschiedene Wellenlängen benutzt werden.
Die Tatsache, daß bei der Beugung einer geführten Welle der Reflexionsfaktor
nicht nur, wie bei einer freien Welle, von der Wellenlänge, den charakteristischen Linearabmessungen des Fehlers, der Art und der Orientierung
des Fehlers abhängt, sondern außerdem auch noch mit den geometrischen Abmessungen des Wellenleiters und in Abhängigkeit vom verwendeten
Material variiert, läßt sich dann für eine modenspektroskopische Fehlerklassierung nutzen.
Indes eröffnet auch die Verwendung von freien Ultraschallwellen in
Form von Longitudinal- oder Transversal well en beim Einsatz mehrerer
Wellenlängen im Multiplex-Betrieb zumindest die Möglichkeit der Klassierung
der detektierten Fehler durch die normale Spektroskopie, die erfindungsgemäß
nicht ausgeschlossen sein soll.
b Vom einleitend beschriebenen Stand der Technik ausgehend liegt der
Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen elektromagnetischen Wandler zu
schaffen, bei welchem eine Spektroskopie, insbesondere eine Modenspektroskopie des Prüflings mit sehr kurzer Taktfolge verwirklicht werden
kann. Vor allem soll sich der neue elektromagnetische Wandler aufgrund
dieser Eignung für die Ultraschallprüfung durchlaufender Bleche bzw. Bänder verwenden lassen und dabei auch Störeinflüsse weitgehend
auszuschalten gestatten.
Diese Aufgabenstellung wird im Vorschlag gemäß dem Kennzeichnungsteil
des Patentanspruchs 1 gelöst, für welchen die Vorschläge der Unteransprüche 2 bis 12 vorteilhafte Weiterentwicklungen vorsehen.
Man kommt auf diese Weise zu einem Wandler, bei welchem die Frequenzen
und Wellenlängen matrixweise vorggebbar sind,wobei die einzelnen Operationen
innerhalb der Frequenz-Wellenlängen-Matrix durch Ansteuerung
über die Schaltelemente ausführbar sind. Die dazu einzusetzenden Mittel
sind elektronischer Art, wie zum Beispiel elektronische Schalter, und als solche bekannt. So können in einen nach Maßgabe des Vorschlages
des Patentanspruchs 1 ausgeführten elektromagnetischen Wandler die Schalter
integriert werden, so daß die Matrix-Operationen voll elektronisch und damit zugleich in hinreichend kurzer Taktfolge ausführbar sind.
Wenngleich die benötigten Zeiten extrem kurz sind, so sind dennoch
die vorzunehmenden Matrix-Operationen in der Praxis begrenzt. Beispielsweise kommt man mit 4 bis 8 verschiedenen Frequenzen aus, wohinqeqen
die Verhältniszahlen der Wellenlängen in der Regel lediglich 2, 3 und oder 3, 4 und 5 betragen.· Nur in Ausnahmefällen wird es erforderlich
sein, noch die Verhältniszahl 7 zu berücksichtigen, um damit zu 4 verschiedenen Wellenlängen zu kommen.
3b
3b
'<ξ»κκειοητ[ - 7 -
Eine weitgehende Anpassung an die Abmessungen der zu prüfenden Werkstücke
sowie an ihre Werkstoffarten wird dadurch erreicht, daß die Leiterbahnen jeweils mehrwindig sind und gleiche Abstände voneinander
haben. Dabei haben zweckmäßig auch die Windungsteile gleiche Abstände voneinander. Dies gestattet die Einhaltung genau vorgebbarer geometrischer
Konfigurationen, welche die einzelnen Wellenlängen bestimmen. In der Praxis sind derartige Leiterbahnen präzise mittels der Photo-1ithographietechnik
herste!!bar.
Eine noch weitere Anpassung im bereits erwähnten Sinne ermöglicht eine
Polaritätsbelegung der Leiterbahnen derart, daß sich wahlweise eine Spule oder ein Mäander ergibt.
Um für den neuen Wandler einen möglichst hohen Wirkungsgrad zu erhalten,
ist es angebracht, den Wechselstromwiderstand desselben, der bekanntlich
frequenzabhängig ist, einzuebnen. Zu diesem Zwecke sind die Leiterbahnen mit Anzapfungen in demgemäßen Abständen ausgeführt. Man
kann auf diese Weise die Anzahl der effektiv genutzten Windungsteile variieren und eine konstante Wandlerimpedanz erreichen. Hierfür sind
die mehrwindigen Leitungsbahnen insbesondere geeignet, die im übrigen - empfängerseitig eine hohe Induktivität bewirken.
Zur Erzielung einer Richtwirkung -jst es weiterhin zweckmäßig, zwei
seitlich beabstandete Segmente übereinander vorzusehen, die eine grundsätzlich identische Konfiguration besitzen. Sie sind zweckmäßig seitlich
um einen Bruchteil <als 1/2 der Wellenlängen gegeneinander versetzt.
Zeitlich lassen sich derartige Segmente über eine steuerbare Leistungsverzögerungsleitung gegeneinander verschiebbar betreiben. Bei
einer gegebenen Frequenz ist es somit möglich, das Generatorsignal für ein Segment elektrisch um die gleichen Bruchteile der Periodendauer zu
verzögern, wie sie für die Wellenlängen bestehen. Dadurch überlagern
sich die ausgesendeten Schallfelder der Sendewandler in einer Richtung
konstruktiv und in der Gegenrichtung destruktiv. Dies führt zu einer gewünschten Richtwirkung des Sendewandlers.
Die während des Betriebes auftretenden Magnetkräfte sind sehr groß.
-o-
-ο-Ι Insbesondere bei durchlaufendem Bandmaterial muß darauf geachtet werden,
daß trotz des starken Magnetfeldes, der Abstand des Wandlers vom Prüfling eingehalten wird. Dies gelingt zweckmäßig durch elektrisch
leitende Kunststoffrollen, die auf dem zu prüfenden Werkstück leitfähig
ablaufen und es zugleich mit dem Erdungsanschluß des empfangenden Wandlers
verbinden.
Die Fehlerdetektion findet zweckmäßig mit einer digitalen Signalerkennungsschaltung
statt. Hierbei wird das Empfangssignal nach dem Vorschlag des Patentanspruchs 7 verarbeitet. Dadurch ist es insbesondere möglich,
mit einer entsprechend hohen Prüffolgefrequenz bzw. entsprechend kurzer
Taktfolge zu senden und zu empfangen, um somit zugleich eine Fehlerortung und -klassierung vollautomatisch vorzunehmen.
Die bereits erwähnte Photolithographietechnik wird bei der vorliegenden
Erfindung zweckmäßig so ausgeführt, daß photolithographisch strukturierte
Leiterbahnen auf ein elektrisch und magnetisch nicht leitendes Basismaterial in Form von Metallbahnen aufgedampft werden. Letztere bestehen
vorteilhaft aus Aluminium, wenn für das Basismaterial Si-Einkristallplättchen verwendet werden. Ein besonderer Vorteil bietet sich
dann für die Untersuchung heißer Bleche an; der neue Wandler ist dann nämlich auch unter extremen Einsatzbedingungen thermisch völlig zuverlässig.
Die Windungsteile der Leiterbahnen werden je nach beabsichtigter Wellenlänge
bzw. Polarität in unterschiedlicher Weise miteinander verbunden. Dies schließt nicht aus, daß es zu sich kreuzenden Leitern kommt. In
sehr einfacher Weise läßt sich die Isolation im Kreuzungsbereich dadurch schaffen, daß die jeweils kreuzenden Leitern auf der anderen Sei-
^O te des Basismaterials verlaufen.
Zur weiteren Veranschaulichung der Erfindung wird auf die sich auf
Ausführungsbeispiele beziehenden Zeichnungen Bezug genommen.
JL 9 -
Darin zeigen:
Figur 1 den schematischen, noch nicht vervollständigten Segmentaufbau
des neuen Wandlers,
Figur 2 die Schaltung des neuen Wandlers als Mäander,
Figur 3 die Schaltung des neuen Wandlers als Spule,
Figur 4 die Energieversorgung des neuen Wandlers mit der Leistungsverzögerungsleitung,
Figur 5 einen Elementarbaustein der Leistungsverzögerungsleitung und
Figur 5 einen Elementarbaustein der Leistungsverzögerungsleitung und
Figur 6 die digitale Signalerkennungsschaltung.
Figur 1 zeigt ein Segment 1, welches aus den Leiterbahnen 2 besteht,
von denen lediglich eine mit dem Bezugszeichen versehen wurde. Bei jeder Leiterbahn 2 sind 5 Windungen verwirklicht, von denen eine
mit 3 bezeichnet ist. Der mittlere Abstand der Leiterbahnen ist mit 4 bezeichnet. Sowohl dieser als auch die Abstände der Windungsteile
3 voneinander sind konstant. Man kann also sehr differenzierte geometrische Konfigurationen mit dem neuen Wandler verwirklichen.
Hierfür sei das Beispiel eines Sendewandlers mit 1 = 2 Wellenlängen
erläutert. Geht man von einer Windungszahl η = 5 aus,-ferner von einer
Periodenzahl m = 2 und von den Wellenlängen/L = 6 mm und Λ2 = 9 mm,
so ergibt sich bei einer mäanderförmigen, achser.symmetri sehen Polaritätsbelegung
die in Figur 2 wiedergegebene Konfiguration. Bei einer
spulenförmigen Polaritätsbelegung würde man das in Figur 3 dargestellte ι
Bild erhalten.
Die praktische Ausführung entspricht den zeichnerisch wiedergegebenen
Konfigurationen gemäß Figur 2 und Figur 3 mit der Abweichung, daß
zeichnerisch ein Vergrößerungsmaßstab von 1 : 5 gewählt wurde. Man j kann die Anordnung auch so treffen, daß mehrere Wellenlängen (1
> 2) j
BAD
verwirklicht werden, ferner mit anderen Windungszahlen η und anderen,
geradzahligen Periodenzahlen(m > 2), wobei die Wellenlängen im erfindungsgemäß
vorgeschlagenen Verhältnis kleiner, ganzer und teilerfremder Zahl en stehen. (A1 : A2 : /U = P1 : P2 : P3 - )
Die Begrenzung ergibt sich im übrigen daraus, daß die Länge L des Wandlers
(ohne die Randbreiten) gegeben ist durch das Produkt
L =γ.A1 -J1 P1-L=I
Die Anpassung des Wandlers bezüglich seines Wellenwiderstandes findet
durch Anzapfung der Leiterbahnen statt. Figur 2 zeigt Anzapfungen 5 dieser Art, durch welche man den Frequenzgang des Wellenwiderstandes
einebnen kann.
Wie ebenfalls Figur 2 erkennen läßt, sind 2 seitlich beabstandete Mäander
β, 7 vorgesehen, die ineinander geschachtelt sind. Auch Figur
3 zeigt die Leiterbahnanordnungen 6, 7, die in diesem Falle Spulen
sind.
Das Stromversorgungsteil der Segmente Lw, L'w veranschaulicht Figur
4. Die Leistung des Generators G wird im Leistungsteilerübertrager aufgespalten, um beide Segmente mit nur einem Leistungsgenerator
betreiben zu können. Die Leistung beträgt in einem praktischen Aus-,führungsbeispiel
36 KW. Die von den Leiterbahnanordnungen gebildeten Wandler werden mit den einstellbaren Widerständen R,, und R'v
und Kapazitäten Cw und C v beschaltet, wobei einem noch eine zusätzlich
einstellbare Leistungsverzögerungsleitung ,f-^
vorgeschaltet ist, wie im unteren Leitungszweig der Figur 4 zwischen dem Übertrager und dem Widerstand R'v erkennbar ist. Somit läßt
SQ sich bei vorgegebenen Frequenzen das Generatorsignal für jedes Segment
um einen Bruchteil 4C 1/2 der Periodendauer verzögern. Die
Schallfelder des Sendewandlers überlagern sich dadurch in der schon
beschriebenen Weise unter Ausbildung einer Richtwirkung des Sendewandlers. Ein Baustein der Leistungsverzögerungsleitung ist aus-
oa führlicher in Figur 5 wiedergegeben. Die Wicklung besteht dabei aus
Kupferlackdraht, der auf einen elektrisch und
. - 11 -
magnetisch nicht leitenden Körper gewickelt ist. Bei geeigneter Wahl
der Werte für L, M (Gegeninduktivität) und C erreicht man die gewünschte Verzögerungszeit der Leistungsverzögerungsleitung. Falls eine
der Anordnungen gemäß Figur 5 nicht ausreicht, lassen sich mehrere derartige Bausteine zusammenschalten.
Die mittels der Leistungsverzögerungsleitung einstellbaren Verzögerungszeiten sind zweckmäßig binär abgestuft. Die Verzögerungszeiten können
dabei sowohl manuell als auch mit einer Rechnersteuerung vorgegeben werden. Da die Spannungen im Wandler beträchtlich sind und zwischen
1.000 bis 3.000 V betragen, ist eine hochspannungsfeste Ausführung der
Leistungsschalter Voraussetzung. Reflexionen an unbenutzten Teilen werden bei der vorgesehenen Schaltung vermieden. Der Wellenwiderstand
der Leisturigsverzögerungsleitung hat den Wert Rg und ist damit sowohl
an den Generatorinnenwiderstand als auch an die Last angepaßt. Sämtliche Komponenten des Stromkreises besitzen eine binäre Abstufung und
lassen sich von Hand oder über einen Rechner ansteuern. '
Die bereits erwähnte digital e Signalerkennungsschaltung gemäß Figur 6
wird mit einem Pulsgenerator betrieben, der eine konstante Anzahl von Pulsen pro Scan erzeugt. Diese Pulse dienen dem Schieberegistersatz
aus den beiden hintereinander geschalteten Schieberegistern als Schiebetakt. Am Dateneingang des Schieberegistersatzes liegt das
detektierte Empfangssignal als Digital wert von ein bit Länge an.
Damit erscheint im Schieberegister eine "1", wenn der Fehl erschwel 1-wert
vom EmpfangssiQnal überschritten wurde. In jedem der beiden Schieberegister
wird ein Scan gespeichert. Durch die Hintereinanderschaltung sind am Ende eines Scans der gerade beendete und der vorherige
gespeichert. Mittels der nachgeschalteten Logik können drei Scans miteinander verglichen werden. Da der Schiebetakt mit in den Vergleich
einbezogen wird, erhält man als Maß für die Dauer der überdeckung eine Anzahl von Pulsen. Ein gesetzter Rückwärtszähler zählt die Pulse-Sofern
dessen Pulszahlvorgabe überschritten wird, ist der Borrow bzw. der Entnahmeausgang des Rückwärtszählers kurzzeitig aktiv, was einer
Diskriminierung des Empfangs- g^ ORIGINAL
- 12 -
- 12 signals als Ul.traschallsignal entspricht.
Die Pulszahlvorgabe liegt für einen beschalteten Wandlersatz fest.
Sie entspricht der um "1" verminderten Mindestpulszahl für die überdeckungsdauer
bei Ul traschall signal en. Da hierbei ein Ultraschallsignal
mindestens auf drei aufeinanderfolgenden Scans vorkommen muß, um erkannt zu werden, ist eine entsprechend große Prüffolgefrequenz zu
wählen.
Wenn für den erfindungsgemäßen Wandler Silizium-Einkristallplättchen
verwendet werden, finden hierbei beispielsweise die nachfolgenden Prozeß-Schritte Anwendung:
1. Herstellung eines Silizium-Einkristalls
2. Ausschneiden einer dünnen (d = 200/^m) Siliziumscheibe mit definierter
Kristallorientierung ("Wafer")
3. Oxidation der Waferoberfläche
4. Aufbringen einer Photoschicht (UV-Licht-empfindliches, organisches
Polymer)
2^ 5. Herstellung der Photomaske (Glasplatte mit der aufgebrachten Wandlerstruktur)
6. Photolithographische Prozesse zur öffnung spezifischer Flächen im
Oxid oder im Silizium unter Anwendung von isotropen und anisotropen Ätzmitteln
7. Herstellung von Kontakten und Leiterbahnen durch Aufdampfen (oder Aufsputtern oder Bonden)
7. Herstellung von Kontakten und Leiterbahnen durch Aufdampfen (oder Aufsputtern oder Bonden)
8. Beschichtung des Wafers mit Schutzschichten (SiO2, SiN4 oder ähnlichem)
Bei Anwendung einer Dünnschichtfolie vollziehen sich beispielsweise
die folgen Prozeßschritte :
1. Auswahl eines flexiblen Substrates als Träger des Wandlers ("Wandlerkörper"
)
2. Einfaches Beschichten durch eine Maske hindurch, die auf das Substrat
gepreßt wird
3. Photolithographie mit den Zwischenschritten:
beschichtetes Substrat mit Photolack yersehen, durch Masken belichten,
den Photolack entwickeln, Ätzen der Schicht, Entfernung des Rest-Photolackes
4. Aufbringen einer Isolationsschicht aus Parylene C (Polymerschicht)
Bei Verwendung jeder dieser beiden Herstellungsmethoden für die elektromagnetischen
Wandlerspulen lassen sich
1. die Sendewandler durch geeignete Wahl von Le-iterbahnzahl, -breite,
-dicke und -abstand so auslegen, daß die in dem transformierten Widerstand des Prüflings verbrauchte Leistung bezogen auf die maximal
abgegebene Leistung des Generators im jeweils gewünschten Frequenzbereich ein hohes und breites Maximum besitzt und daß die Reaktanz
der Spulen sich durch Zuschalten von Kapazitäten bei der jeweiligen Arbeitsfrequenz auf Serienresonanz abstimmen läßt;
2. die Empfangswandler durch geeignete Wahl von Leiterbahnzahl, -breite,
-dicke und -abstand so auslegen, daß die Leiterbahnzahl nur insofern
nach oben begrenzt wird als die Frequenz der Eigenresonanz der Segmenteoberhalb des jeweils gewünschten Frequenzbereiches liegen
muß und daß die Reaktanz der Segmentesich durch Zuschalten von Kapazitäten bei der jeweiligen Arbeitsfrequenz auf Parallel resonanz abstimmen
läßt.
Figur 2 zeigt einige sich kreuzende Leiter von denen die mit 8, 9 und 10 bzeichneten charakteristisch sind. Bei einer Spulenanordnung
gemäß Figur 3 kommen auch einzelne Windungsteile 11 für Kreuzungen
in Betracht. Diese sich kreuzenden Windungsteile werden, wie schon
30
erwähnt, am einfachsten auf der Rückseite des Basismaterials angeordnet.
- Leerseite -
Claims (12)
1. Elektromagnetischer Wandler für die Anregung und den Empfang von Ultraschallwellen
bei der koppelmittelfreien Untersuchung metallischer Werkstücke, insbesondere
von Flachband oder Blechen aus ferritischen oder austenitischen Stäh
in Gestalt eines oder mehrerer Segmente mit mehreren, parallel zueinander verlaufenden
Leiterbahnen, die auf im wesentlichen ebenen Leiterplatten ange-
■ ordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß für eine Wellenlängenspektroskopie
und insbesondere eine Modenspektroskopie der empfangenen Ultraschallwellen für das oder die Segmente (1) Frequenzen und Wellenlängen in einer Matrix-Verknüpfung
mit kurzer Taktfolge vorgebbar sind, wobei die Leiterbahnen (2) derart durch Ansteuerung mittels Schaltelementen verbindbare Windungsteile
(3) aufweisen, daß sich je Frequenz in mehreren Schaltzuständen Wellenlängen
im Verhältnis kleiner, ganzer, teilerfremder Zahlen ergeben.
2. Elektromagnetischer Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,daß
die Leiterbahnen (2) jeweils mehrwindig sind und gleiche Abstände (4) voneinander
haben.
3. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennül^ii»
daß die Leiterbahnen (1) für eine als Spule (Figur 3) oder als
Mäander (Figur 2) wahlweise Änderung ihrer Polaritätsbelequng ausgeführt
sind.
4. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Leiterbahnen (2) Anzapfungen (5) in derartigen Abständen aufweisen, die im Betriebsbereich des Wandlers den Frequenzgang seines Wellenwiderstandes einzuebnen gestatten.
5. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß zwei seitlich beabstandete Segmente (1) übereinander vorgesehen sind, die eine identische Konfiguration besitzen und zeitlich über
eine steuerbare Leistungsverzögerungsleitung (Figur 5) gegeneinander verschiebbar
sind.
6. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß er über seinen Erdungsanschluß an elektrisch leitende Kunststoffrollen angeschlossen ist, die auf dem zu prüfenden Werkstück leitfähig
ablaufen und es auf Abstand von ihm halten.
7. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß das Empfangssignal eine Störunterdrückung mittels einer digitalen Signalerkennungsschaltung erfährt, bei der es auf ein erstes Schieberegister
gemeinsam mit den Schiebetaktpulsen eines Pulsgenerators, einen Komparator-Logik-Baustein
und einen Rückwärtszähler geschaltet ist, wobei dem ersten Schieberegister ein zweites Schieberegister nachgeschaltet ist und beide
Schieberegisterausgänge dem Komparator zugeführt sind, dem der Rückwärtszähler nachgeschaltet ist, dessen Entnahmeausgang bei überschreiten einer
Pulszahl vorgabe aktiviert wird.
8. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichdaß
die fotolithografisch strukturierten Leiterbahnen auf ein elektrisch und
magnetisch nicht leitendes Basismaterial aufgedampfte Metallbahnen sind.
9. Elektromagnetischer Wandler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
die Metallbahnen aus Aluminium bestehen.
10. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 8 und 9, dadurch gekennzeichdaß
die Metallbahnen auf einer Dünnschichtfolie aufgedampft sind.
11. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 8 und 9 , dadurch gekennzeichnet,
daß das Basismaterial aus Silizium-Eirikristallplättchen besteht
welches eine Oxidationsschicht trägt.
12. Elektromagnetischer Wandler nach den Ansprüchen 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet,
daß das Basismaterial einseitig die Leiterbahnen trägt und auf der anderen Seite die die Leiterbahnen bzw. deren Windungsteile kreuzende
Leiter (8, 9, 10, 11) tragt.
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