DE3320935A1 - Ultraschall-sensor - Google Patents
Ultraschall-sensorInfo
- Publication number
- DE3320935A1 DE3320935A1 DE19833320935 DE3320935A DE3320935A1 DE 3320935 A1 DE3320935 A1 DE 3320935A1 DE 19833320935 DE19833320935 DE 19833320935 DE 3320935 A DE3320935 A DE 3320935A DE 3320935 A1 DE3320935 A1 DE 3320935A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ultrasonic transducer
- ultrasonic
- reflector
- ultrasonic sensor
- sensor according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/28—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using reflection, e.g. parabolic reflectors
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/32—Sound-focusing or directing, e.g. scanning characterised by the shape of the source
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S310/00—Electrical generator or motor structure
- Y10S310/80—Piezoelectric polymers, e.g. PVDF
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
ftf» »Μ - rt β* a if rt Λ
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen Berlin und München VPA 83 P 3 1 7 7 OE
Ultraschal!-Sensor
Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Sensor zur Objekterfassung in Luft oder anderen Gasen, der
einen ersten Ultraschallwandler mit einem Piezokörper
als Sender enthält.
Sensoren sind Vorrichtungen, die so gestaltet sind, daß sie physikalische Parameter, wie z.B. Druck, Temperatur,
Position oder Geschwindigkeit in einem Meßbereich, mengenmäßig bestimmen oder nachweisen können.
Durch das Anwachsen der elektronischen, industriellen Prozeßkontrollsysteme ist die Nachfrage für komplexere
Sensoren bei verhältnismäßig niedrigen Preisen gestiegen. Ein solcher Sensor ist beispielsweise ein Ultraschall-Näherungsschalter,
der Objekte oder Personen erfassen kann. Im Schaltbereich von beispielsweise etwa
100 cm Abstand ist die Objekterfassung mit induktiven
oder kapazitiven Näherungsschaltern problematisch. Außerdem können die Ultraschall-Näherungsschalter
störsicherer auch kleine Objekte erfassen. So gut wie alle Werkstoffe sind für diese Art der Objekterfassung
geeignet.
Für solche Ultraschall-Echolot-Systeme sind Ultraschallwandler
vorgesehen, die einen Schall strahl mit besonders geringem Öffnungswinkel erzeugen. Dadurch
können störende Reflexionen des Ultraschalls vermieden werden, so daß ein besonders hohes Auflösungsvermögen erreicht werden kann und nahe beeinanderliegende
Objekte unterschieden werden können. Bei einem Ultraschallwandler sind die Abmessungen im wesentlichen
Ur 2 Hag / 6.6.1983
durch die vorgesehene Betriebsfrequenz und das Material des Wandlers vorgegeben. Mit den Abmessungen des Ultraschallwandlers
ist auch die Größe der Schallabstrahlfläche des Wandlers bestimmt/ wobei durch die Größe der
Schallabstrahlfläche im wesentlichen der Öffnungswinkel
des erzeugten Schallstrahls bestimmt ist. Bei einer Betriebsfrequenz von etwa 49 kHz und Blei-Zirkonat-Titanat
PZT als Material für den Wandler ergibt sich beispielsweise ein Öffnungswinkel von etwa 10° bis 12°.
Es ist ein Ultraschallwandler bekannt, der einen Piezokörper,
eine 3,/4-Anpassungsschicht und einen Beschwerungsring
enthält. Auf einer Stirnfläche des Piezokörpers ist die 3,/4-Anpassungsschicht angeordnet,
deren Durchmesser wesentlich größer ist als der Durchmesser des Piezokörpers. Der über den Rand des Piezokörpers
überstehende ringförmige Oberflächenbereich der 3./4-Anpassungsschicht ist mit dem Beschwerungsring
versehen (deutsche Auslegeschrift 25 41 492). Durch den
Beschwerungsring wird erreicht, daß eine große Fläche, deren Abmessungen wesentlich größer sind, als die
Stirnfläche des Piezokörpers, zu gleichphasigen Schwingungen angeregt wird.
Ferner ist ein Ultraschall-Näherungsschalter bekannt, der berührungs- und kontaktlos als Distanz-Sensor
arbeitet. Der Kern dieses Näherungsschalter ist ein piezokeramischer Ultraschallwandler, der in Luft oder
anderen Gasen arbeitet. Bei der Betriebsart Näherungsschalter wird das zu erfassende Objekt als Ultraschall-Reflektor
benutzt, wobei der nutzbare Erfassungsbereich zwischen 20 cm und 100 cm und der nicht
nutzbare Nahbereich zwischen 0 cm und 20 cm liegt. Die zu erfassenden Objekte können fest, flüssig oder
pulverförmig sein mit einer ebenen, glatten, polierten
-J-
VPA 83 P 3 1 7 7 OE
oder matten Oberfläche. Außerdem kann das Material dieser Oberflächen durchsichtig oder von beliebiger
Einfärbung sein (H.CH. Münzing "Distanz-Sensor für große Schaltabstände" etz Bd. 103 (1982), Heft 10,
Seiten 518 und 519).
Mit diesem Ultraschall-Näherungsschalter können nur für die Reflexion geeignete Objekte erfaßt werden, deren
Reflexionsfläche senkrecht zur Schallkeulenachse innerhalb der Halbwertsbreite angeordnet sind. Abweichungen
von - 3° der Senkrechten zur Achse der Schallkeule sind ( v zulässig.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, einen Ultraschall-Sensor zur Objekterfassung in Luft oder
anderen Gasen anzugeben, dessen Empfangsapertur vergrößert ist, damit auch Objekte erfaßt werden können,
deren Reflexionsflächennormale um einen Objektlagewinkel, die wesentlich größer sind als - 3°', zur
Schallkeulenachse geneigt sind. Außerdem soll man auch Objekte mit einer gewölbten Reflexionsfläche eindeutig
erfassen können.
^ Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit den kennzeichnenden
Merkmalen des Anspruchs 1. Dadurch, daß die dem ersten Ultraschallwandler zugewandte Oberfläche
einen Abschnitt eines Ellipsoids bildet und der zweite Ultraschallwandler im Brennpunkt dieses Ellipsoids angeordnet
ist, kann man Objekte erfassen, die sich annähernd im zweiten Brennpunkt des Ellipsoids befinden
und deren Reflexionsflächennormale außerhalb der Halbwertsbreite des ersten Ultraschallwandlers liegt.
Dieser Objektlagewinkel ist abhängig vom Durchmesser des Reflektors und von der Arbeitsentfernung.
35
-X- VPA 83 P 31 7 7 OE
In einer weiteren Ausgestaltung des Ultraschall-Sensors bildet die dem Reflektor zugewandte Oberfläche des
zweiten Ultraschallwandlers eine Kalotte. Diese Kalotte kann aus mehreren ebenen Einzel schwingern bestehen, die
in einer Facettenkonstruktion angeordnet sind. Ferner kann der zweite Ultraschallwandler mehrere ringförmige
Einzelschwinger und einen Kegel enthalten, deren Mantelflächen die Kalottenform ergeben. Durch diese Gestaltung
kann man mit dem zweiten Ultraschallwandler Schallwellen aus dem durch den Reflektor gegebenen
Raumwinkelbereich erfassen, die von einem Objekt annähernd im zweiten Brennpunkt abgestrahlt werden. Wegen
der räumlichen Ausdehnung des zweiten Ultraschallwandlers und der Schallkeule des ersten Ultraschallwandlers
ist man nicht nur auf die Arbeitsentfernung beschränkt, sondern man kann Objekte in einem gewissen
Tiefenschärfenbereich um den zweiten Brennpunkt des Ellipsoids erfassen.
In einer vorteilhaften weiteren Ausgestaltung des Ultraschall-Sensors enthält der zweite Ultraschallwandler
einen Tragkörper, der als Abschnitt einer Kugel gestaltet ist, und eine piezoelektrische Kunststofffolie,
die auf diesen Kugelabschnitt aufgebracht ist.
Der Tragkörper ist als hartes Backing im Bezug auf die piezoelektrische Kunststoffolie vorgesehen. Diese
piezoelektrische Kunststoffolie kann beispielsweise aus Polyvinyliden-Fluorid PVDF bestehen. Durch diese Gestaltung
erhält man einen einfachen Aufbau des zweiten Ultraschallwandlers.
Zur weiteren Erläuterung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in der ein Ausführungsbeispiel eines Ultraschall-Sensors
nach der Erfindung schematisch veran-35
-jr- VPA 83 P 31 7 7 DE
schaulicht ist.
Figur 1 zeigt einen Ultraschall-Sensor gemäß der
Erfindung und in
Figur 2 ist ein Ausführungsbeispiel des zweiten
Ultraschallwandlers gemäß der Erfindung
dargestellt.
Figur 3 veranschaulicht eine weitere Ausführungsform
Figur 3 veranschaulicht eine weitere Ausführungsform
des zweiten Ultraschallwandlers und Figur 4 zeigt eine vorteilhafte Ausführungsform des
zweiten Ultraschallwandlers.
In der dargestellten Ausführungsform nach Figur 1 ist
ein Ultraschall-Sensor 2 zur Objekterfassung in Luft
oder anderen Gasen veranschaulicht. Dieser Ultraschall-Sensor 2 enthält einen ersten Ultraschallwandler 4,
einen Reflektor 6 und einen zweiten Ultraschallwandler 8. Der erste Ultraschallwandler 4 enthält einen scheibenförmigen
Piezokörper 10, der auf einer seiner beiden
Flachseiten mit einer 2/4-Anpassungsschicht 12 versehen ist, die beispielsweise wesentlich größere Abmessungen
hat, als der Piezokörper 10. Der überstehende Bereich
der Z/4-Anpassungsschicht 12 ist auf der Seite des Piezokörpers 10 mit einem Beschwerungsring 14 verbunden.
Die "2/4-Anpassungsschicht 12 besteht aus einem Material, dessen akustischer Schallwellenwiderstand
ein Maß besitzt, das zwischen der Größe des Schallwellenwiderstandes des Piezokörpers 10 und der Größe
des Schallwellenwiderstandes des Mediums liegt, in dem sich der Schall ausbreiten soll.
Die Oberfläche des Reflektors 6, die dem ersten Ultraschallwandler
4 zugewandt ist, bildet einen Abschnitt eines Ellipsoids. Im ersten Brennpunkt, d.h. im
reflektornahen Brennpunkt ist der zweite Ultraschall-
-&-
VPA 83 P 3 1 7 7 DB
wandler 8 angeordnet. Der Durchmesser D des Reflektors
6 ist abhängig vom Objektabstand a, der den Abstand der
beiden Brennpunkte des Ellipsoids angibt, und vom möglichen Objektlagewinkel Ts , der Winkel, der von der
Schallkeulenachse 16 und der Reflexionsflächennormale
des zu erfassenden Objektes 18 eingeschlossen wird. Der
Zusammenhang von Durchmesser D, Objektabstand a und Objektlagewinkel i/"läßt sich durch die folgende
Gleichung
7? = arc tan ^
darstellen. Bei der Auslegung des Ultraschall-Sensors
für den Nahbereich, d.h. der Objektabstand a ist ungefähr
etwa 20 cm und der Durchmesser D des Reflektors wird mit ungefähr etwa 10 cm vorbestimmt, so ergibt
sich für den Objektlagewinkel einen Winkel von beispielsweise etwa - 14°. Bei der Auslegung des Ultraschall-Sensors
2 für den Fernbereich ergibt sich für den Objektlagewinkel ν bei einem vorbestimmten
Objektabstand a von ungefähr etwa 80 cm und einem vorbestimmten Durchmesser D von ungefähr etwa 20 cm
einen Winkel von beispielsweise etwa - 7°.
Der zweite Ultraschallwandler 8 ist im ersten Brennpunkt des Reflektors 6 angeordnet. Die dem Reflektor
zugewandte Oberfläche 20 dieses zweiten Ultraschallwandlers 8 bildet eine Kalotte. Ferner ist die dem
Reflektor 6 abgewandte Oberfläche 21 des zweiten Ultraschallwandlers 8 zu den Stirnflächen des ersten
Ultraschallwandlers 4 parallel angeordnet.
Durch diese Wölbung der Empfangsfläche des Ultraschall-Sensors 2 kann man in Luft oder anderen Gasen
befindliche Objekte 18 erfassen, deren Reflexionsflächennormale um einen Objektlagewinkel ^zur Schallkeulenachse
16 geneigt ist und außerdem kann man auch
-ϊ- VPA 83 P 3 1 7 7 OE
Objekte mit einer gewölbten Reflexionsfläche eindeutig
erfassen.
Die Figur 2 zeigt eine Ausführungsform des zweiten
Ultraschallwandlers 8, der im ersten Brennpunkt des
Reflektors 6 angeordnet ist. Die dem Reflektor 6 zugewandte Oberfläche 20 dieses zweiten Ultraschallwandlers
8 bildet eine Kalotte. Diese Kalotte besteht aus mehreren Einzelschwingern 22, die in einer
Facettenkonstruktion angeordnet sind.
In einer weiteren Ausführungsform des zweiten Ultraschallwandlers
8 gemäß Figur 3 enthält dieser mehrere ringförmige Einzelschwinger 24 und einen Kegel 26. Die
Mantelflächen 28 der ringförmigen Einzelschwinger 24 und des Kegels 26 ergeben die Kalottenform des zweiten
Ultraschallwandlers 8.
Mit Hilfe dieser Ausführungsformen kann man mit dem
zweiten Ultraschallwandler 8 Schallwellen aus dem durch den Reflektor 6 gegebenen Raumwinkelbereich erfassen.
In einer vorteilhaften weiteren Ausgestaltung des zweiten Ultraschallwandlers 8 gemäß Figur 4 enthält
dieser einen Tragkörper 30 und eine piezoelektrische Kunststoffolie 32. Der Tragkörper 30 ist als Abschnitt
einer Kugel gestaltet und außerdem als hartes Backing im Bezug auf die piezoelektrische Kunststoffolie 32
vorgesehen. Auf der gewölbten Mantelfläche des Tragkörpers
30 ist die piezoelektrische Kunststoffolie 32 aufgebracht. Diese piezoelektrische Kunststoffolie 32
kann beispielsweise aus Polyvinyliden-Fluorid PVDF sein. Durch diese Gestaltung erhält man einen einfachen
Aufbau des zweiten Ultraschallwandlers 8.
7 Patentansprüche
4 Figuren
4 Figuren
- Leerseite -
Claims (7)
- »Ο n*i A<« RA OM Ft«Patentansprüche©Ultraschall-Sensor (2) zur Objekterfassung in Luft oder anderen Gasen, der einen ersten Ultraschallwandler (4) mit einem Piezokörper (10) als Sender enthält, dadurch ge kennzeichnet, daß ein Reflektor (6) vorgesehen ist, dessen dem ersten Ultraschallwandler (4) zugewandte Oberfläche einen Abschnitt eines Ellipsoids bildet, und daß zwischen dem ersten Ultraschallwandler (4) und dem Reflektor (6) ein zweiter Ultraschallwandler (8) vorgesehen ist, der im ersten Brennpunkt des Reflektors (6) angeordnet ist.
- 2. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Reflektor(6) zugewandte Oberfläche (20) des zweiten Ultraschallwandlers (8) eine Kalotte bildet.
- 3. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kalottenform des zweiten Ultraschallwandlers (8) aus mehreren ebenen Einzelschwingern (22) angenähert ist, die in einer Facettenkonstruktion angeordnet sind.
- 4. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß der zweite Ultraschallwandler (8) mehrere ringförmige Einzelschwinger (24) und einen Kegel (26) enthält, deren Mantelflächen (28) die Kalottenform ergeben.
- 5. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der zweite Ultraschallwandler (8) einen Tragkörper (30), der als Abschnitt einer Kugel vorgesehen ist, und eine piezoelektrische Kunststoffolie (32) enthält.-4- VPA 83 P 3 1 7 7 DE
- 6. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß die piezoelektrische Kunststoffolie (32) auf der gewölbten Mantelfläche des Kugelabschnitts angeordnet ist.
- 7. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Reflektor (6) abgewandte Oberfläche (21) des zweiten Ultraschallwandlers (8) zu den Flachseiten des Piezokörpers (10) parallel angeordnet ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833320935 DE3320935A1 (de) | 1983-06-09 | 1983-06-09 | Ultraschall-sensor |
US06/602,394 US4528853A (en) | 1983-06-09 | 1984-04-20 | Ultrasonic sensor |
EP84106099A EP0128450A3 (de) | 1983-06-09 | 1984-05-29 | Ultraschall-Sensor |
JP59117410A JPS6024473A (ja) | 1983-06-09 | 1984-06-07 | 超音波センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833320935 DE3320935A1 (de) | 1983-06-09 | 1983-06-09 | Ultraschall-sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3320935A1 true DE3320935A1 (de) | 1984-12-13 |
Family
ID=6201108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833320935 Withdrawn DE3320935A1 (de) | 1983-06-09 | 1983-06-09 | Ultraschall-sensor |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4528853A (de) |
EP (1) | EP0128450A3 (de) |
JP (1) | JPS6024473A (de) |
DE (1) | DE3320935A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3905099C1 (de) * | 1989-02-20 | 1990-08-09 | Schoeller Transportautomation Gmbh, 5120 Herzogenrath, De | |
WO1992017795A1 (en) * | 1991-03-28 | 1992-10-15 | Kdg Mobrey Limited | Acoustic system for use in pulse echo rangefinding |
DE4435156A1 (de) * | 1994-09-30 | 1996-04-04 | Microsonic Ges Fuer Mikroelekt | Ultraschallsensor |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8400504A (nl) * | 1984-02-16 | 1985-09-16 | Optische Ind De Oude Delft Nv | Inrichting voor het aanrakingsloos vergruizen van zich in een lichaam bevindende concrementen. |
JPS63275975A (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-14 | Yokogawa Electric Corp | 超音波距離計の送受波器 |
US4859897A (en) * | 1988-04-07 | 1989-08-22 | Frank Massa | Directional waterproof ultrasonic transducer for operating in air |
JPH02223881A (ja) * | 1989-02-23 | 1990-09-06 | Omron Tateisi Electron Co | 超音波センサ |
DE3907605C2 (de) * | 1989-03-09 | 1996-04-04 | Dornier Medizintechnik | Stosswellenquelle |
US5176631A (en) * | 1989-09-05 | 1993-01-05 | Pacesetter Infusion, Ltd. | Ultrasonic air-in-line detector for detecting entrained air in a medication infusion system |
US5053747A (en) * | 1989-09-05 | 1991-10-01 | Pacesetter Infusion, Inc. | Ultrasonic air-in-line detector self-test technique |
US5064412A (en) * | 1989-09-05 | 1991-11-12 | Pacesetter Infusion, Ltd. | Ultrasonic air-in-line detector for a medication infusion system |
US5126616A (en) * | 1989-09-05 | 1992-06-30 | Pacesetter Infusion, Ltd. | Ultrasonic transducer electrical interface assembly |
US5000663A (en) * | 1989-09-05 | 1991-03-19 | Pacesetter Infusion, Ltd. | Automatic tubing lock for ultrasonic sensor interface |
NZ243294A (en) * | 1991-06-25 | 1995-04-27 | Commw Scient Ind Res Org | Time of flight of acoustic wave packets through fluid: reduction of higher order acoustic mode effects |
US5736642A (en) * | 1997-01-08 | 1998-04-07 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Nonlinear ultrasonic scanning to detect material defects |
DE69736630D1 (de) | 1997-06-19 | 2006-10-19 | St Microelectronics Srl | Hermetisch abgeschlossener Sensor mit beweglicher Mikrostruktur |
CA2321745A1 (en) | 1998-03-03 | 1999-09-10 | Sensotech Ltd. | Ultrasonic transducer |
DE102005012193B3 (de) * | 2005-03-15 | 2006-08-17 | Landis+Gyr Gmbh | Ultraschallkopf |
WO2007024000A1 (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | 超音波探触子、超音波探傷装置、超音波探傷方法及び継目無管の製造方法 |
DK3117784T3 (en) | 2009-07-08 | 2019-04-08 | Sanuwave Inc | USE OF INTRACORPORAL PRESSURE SHOCK WAVES IN MEDICINE |
ITMO20090219A1 (it) * | 2009-09-01 | 2011-03-02 | Imal Srl | Dispositivo ad ultrasuoni ad elevata efficienza. |
RU2467500C2 (ru) * | 2009-12-31 | 2012-11-20 | Зао "Сатурн Хай-Тек" | Акустическая система с регулируемой диаграммой направленности |
ITTO20120542A1 (it) | 2012-06-20 | 2013-12-21 | St Microelectronics Srl | Dispositivo microelettromeccanico con instradamento dei segnali attraverso un cappuccio protettivo e metodo per controllare un dispositivo microelettromeccanico |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2399820A (en) * | 1942-09-02 | 1946-05-07 | Rca Corp | Piezoelectric apparatus |
FR70023E (fr) * | 1956-08-11 | 1959-02-02 | Realisations Ultrasoniques Sa | Procédé et dispositif pour le contrôle automatique de matière en feuille, notamment de tôle au moyen d'ultrasons |
US3106839A (en) * | 1958-03-05 | 1963-10-15 | Automation Ind Inc | Ultrasonic transducer |
DE1264681B (de) * | 1961-07-05 | 1968-03-28 | Siemens Ag | Fuer die medizinische Ultraschalldiagnose nach dem Impuls-Echoverfahren bestimmtes ultraschall-spiegeloptisches System zum Senden und Empfangen von Ultraschallwellen |
US4203162A (en) * | 1964-04-10 | 1980-05-13 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Electrically steerable spherical hydrophone array |
US3912954A (en) * | 1974-01-14 | 1975-10-14 | Schaub Engineering Company | Acoustic antenna |
JPS5593394A (en) * | 1979-01-10 | 1980-07-15 | Toshiba Corp | Sound detector |
FR2473242A1 (fr) * | 1980-01-08 | 1981-07-10 | Thomson Csf | Transducteur electroacoustique a dome actif |
-
1983
- 1983-06-09 DE DE19833320935 patent/DE3320935A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-04-20 US US06/602,394 patent/US4528853A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-05-29 EP EP84106099A patent/EP0128450A3/de not_active Withdrawn
- 1984-06-07 JP JP59117410A patent/JPS6024473A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3905099C1 (de) * | 1989-02-20 | 1990-08-09 | Schoeller Transportautomation Gmbh, 5120 Herzogenrath, De | |
WO1992017795A1 (en) * | 1991-03-28 | 1992-10-15 | Kdg Mobrey Limited | Acoustic system for use in pulse echo rangefinding |
DE4435156A1 (de) * | 1994-09-30 | 1996-04-04 | Microsonic Ges Fuer Mikroelekt | Ultraschallsensor |
DE4435156C2 (de) * | 1994-09-30 | 2002-06-27 | Microsonic Ges Fuer Mikroelekt | Ultraschallsensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0128450A2 (de) | 1984-12-19 |
US4528853A (en) | 1985-07-16 |
EP0128450A3 (de) | 1985-03-13 |
JPS6024473A (ja) | 1985-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3320935A1 (de) | Ultraschall-sensor | |
DE2541492B2 (de) | Ultraschallwandler | |
DE3147482C1 (de) | Ultraschallpruefkopf mit einer Vielzahl von Ultraschallwandlern | |
DE3815359A1 (de) | Sender/empfaenger eines ultraschall-entfernungsmessgeraetes | |
DE2245322C3 (de) | Verfahren zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer durch eine oberflächliche Werkstoffstrukturveränderung betroffenen Schicht eines Körpers | |
DE3721209C2 (de) | Schall-/Ultraschallmeßgerät | |
CN108499831A (zh) | 用于微加工的超声换能器的声学镜片 | |
DE3732410A1 (de) | Ultraschallwandler mit astigmatischer sende-/empfangscharakteristik | |
DE3545381A1 (de) | Ultraschallwandler zur messung der schalleistung eines fokussierten ultraschallfeldes | |
EP0647119A1 (de) | Vorrichtung zur identifikation von fingerabdrücken mittels ultraschall | |
EP0229981B1 (de) | Verfahren zur Kontrolle der Eigenschaften des Fokus eines Ultraschallfeldes und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE2820120C2 (de) | ||
DE19937479A1 (de) | Ultraschall-Sensoranordnung | |
EP0033463B1 (de) | Ultraschall-Multi-Sensor | |
DE2744823C3 (de) | Sende-Empfangsanordnung fur Schalloder Ultraschallwellen fur die Abstandsmessung nach dem Echolotprinzip | |
DE2656857A1 (de) | Wandler fuer schiffs-ultraschall- dopplernavigationssysteme | |
EP0381796A1 (de) | Ultraschall-Sensor | |
DE102008055031A1 (de) | Messsystem mit mindestens einem Ultraschallsender und mindestens zwei Ultraschallempfängern | |
DE3401979A1 (de) | Ultraschall-wandler | |
DE3710339C2 (de) | ||
DE3842759C2 (de) | Richtscharfer Ultraschall-Wandler mit gekrümmter Abstrahlfläche | |
DE2712595C3 (de) | Radar-Antwortbake mit elektroakustischer Verzögerungsleitung mit Mehrfachreflexion zur Impulscodierung | |
DE3200762A1 (de) | Ultraschallsonde | |
DE2249091C3 (de) | Ultraschallwandler für Echolotungen in Technik und Medizin | |
DE3135053A1 (de) | "ultraschall-diagnosegeraet" |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8130 | Withdrawal |