DE3317947A1

DE3317947A1 - Gasentladungs-anzeigevorrichtung

Info

Publication number: DE3317947A1
Application number: DE3317947A
Authority: DE
Inventors: Tadao Okabe (verstorben), Hachioji; Yukio Sagamihara Okamoto; Shinichi Kokubunji Shinada
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1982-05-17
Filing date: 1983-05-17
Publication date: 1983-11-24
Also published as: GB2122404A; GB2122404B; JPS58199390A; US4566006A; DE3317947C2; GB8313591D0

Description

HITACHI, LTD.

6, Kanda Surugadai 4-chome, Chiyoda-ku,

Tokyo, Japan

Gasentladungs-Anzeigevorrichtung

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anzeigevorrichtung zur Anzeige von graphischen Mustern, Buchstaben od. dgl. unter Ausnutzung einer Gasentladung. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung eines elektronischen Typs, die vorteilhaft anstelle der bisher bekannten mechanischen Bewegungspunkt-(Läufer-)Anzeigevorrichtungen verwendet werden und weite Anwendungsmöglichkeiten für Meßinstrumente u. dgl. finden kann.

Eine Balkendiagramm-Anzeigevorrichtung, die eine typische Gasentladungs-Anzeigevorrichtung ist, wird kurz anhand von Fig. 1 zusammen mit Fig. 2 erläutert, wobei Fig. 1 eine Querschnittsdarstellung eines Anzeigefeldes mit Leitungen oder Verbindungen zwischen den einzelnen Elektroden ist, während.Fig. 2 ein Taktsteuerungsdiagramm zur Veranschaulichung von Wellenformen der Steuerspannungen zeigt. In Fig. 1 erkennt man ein Substrat 10, auf dem Anodenelektroden 20 und Kathodenelektroden 30 abwechselnd angeordnet und über Zweiphasenverbindungen 80 und 90 mit zugehörigen Anschlüssen 81, 82 bzw. 91, 92 verbunden sind.

Eine Frontplatte 40 ist mit Ausnahme der Bereiche (Anzeigeelemente) 60 schwarz gefärbt, die den Kathoden 30 gegenüberliegen, wodurch ein Schwarzmatrixmuster 50 gebildet wird. Das Feld ist aus dem Substrat 10 und der Frontplatte 40 zusammengesetzt, die unter Zwischenfügung von (nicht dargestellten) Abstandsstücken gestapelt sind, durch die ein Entladungshohlraum oder eine Entladungskammer 70 gebildet wird, die sich zum Aushalten eines Vakuums hohen Grades eignet.

Gemäß Fig. 2 werden Zweiphasenimpulsspannungen A01 und A02 einerseits und K01 und K02 andererseits den Anodenanschlüssen 81 und 82 bzw. den Kathodenanschlüssen 91 und 92 zugeführt. Da die Impulsspannungen auf einer Zeitfolgebasis zugeführt werden, wird die zwischen der Anode und der Kathode auftretende elektrische Entladung nacheinander von der linken Seite zur rechten Seite, in Fig. 1 betrachtet, verschoben oder übergeführt. Wenn diese Entladungsverschiebung (als Selbstrücklauffunktion bezeichnet) in einer bestimmten Häufigkeit oder Periode wiederholt wird, wird ein Strich- oder Balkendiagramm angezeigt.

Die vorstehend erläuterte Gasentladungs-Anzeigevorrichtung hat folgende Vorteile:

1) Da alle Elektroden auf einer und derselben Ebene gebildet sind, läßt sich das Herstellungsverfahren vereinfachen und erleichtern.

Z) Eine Farbanzeige läßt sich leicht erzeugen, indem man lediglich einen Leuchtstoff auf die Anzeigelemente 60 aufbringt.

3) Aufgrund der Seibstrücklauffunktion kann die Anzeigevorrichtung durch vier Steuerkreise (Stationen) unabhängig von der Zahl der Anzeigeelemente gesteuert werden, wodurch auch die Betriebsverläßlichkeit verbessert werden kann.

^ Jedoch leidet diese Gasentladungs-Anzeigevorrichtung an folgenden ernstlichen Nachteilen:

a) Eine Anzeige mit einer hohen Auflösung (d. h. mit einem kleinen Einheitsabstand 1. der Anzeigeelemente) ist unmöglich, da die Anoden zwischen den benachbarten Kathoden gebildet sind und so zwangsläufig den Einheitsabstand der Anzeigeelemente um die Summe der Breite 1 der Anode und eines Zwischenelektrodenspalts d erhöhen.

b) Wegen einer großen Abmessung des Anzeigeelements (d. h. der Anzeigefläche) 60 verkürzt sich die Nutzlebensdauer der Anzeigevorrichtung aufgrund der Senkung des Gasdrucks und/oder des Anstiegs des Entladestromes, wobei sich die Gleichmäßigkeit der Anzeige verschlechtert.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung zu entwickeln, bei der die erwähnten Nachtei-le der bekannten Anzeigevorrichtung überwunden sind, deren Vorteile jedoch beibehalten bleiben und sowohl eine verlängerte Nutzlebensdauer als auch eine hohe Anzeigeauflösung erreicht werden, so daß sie für vielfältige Anwendungsmöglichkeiten geeignet ist.

Gegenstand der Erfindung, womit diese Aufgabe gelöst wird, ist eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung, die ein

Gasentladungs-Anzeigefeld mit einer Mehrzahl von auf einem Substrat gebildeten Elektroden in einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand und Anschlußleitern zur Verbindung der Mehrzahl der Elektroden durch Mehrphasenverbindungen und Spannungszuführeinrichtungen zum aufeinanderfolgenden Zuführen bipolarer Impulsspannungen zu jeder Phase der Mehrphasenverbindungen aufweist, mit dem Kennzeichen, „.daß jede der Elektroden abwechselnd als Anode und als Kathode auf einer Zeitaufteilungsbasis im Ansprechen auf die bipolaren Impulsspannungen derart betreibbar ist, daß die zwischen der Anode und der Kathode erzeugte Entladung zum Selbstrücklauf steuerbar ist.

Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiele näher erläutert; darin zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung des Aufbaus einer Gasentladungs-Anzeigevorrichtung, die erfindungsgemäß verbessert werden seil;

Fig. 2 ein Taktsteuerungsdiagramm zur Veranschaulichung von· Wellenformen der zum Steuern des in Fig. 1 dargestellten Gasentladungs-Anzeigefel des zugeführten Spannungen;

Fig. 3 bis 10 Darstellungen zur Veranscnaulichung einer Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach einem Aus-.führungsbeispiel der Erfindung, worin

Fig. 3 eine Tei1schnittdarstel1ung eines in der Gasentladungs-Anzeigevorrichtung verwendeten Anzeigefeldes ist,

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Fig. 4Α bis 4E Darstellungen zur Veranschaulichung von Beispielen von Anzeigemustern sind,

Fig. 5 ein Verbindungsleiterschema zeigt;

Fig. 6 Wellenformen der Steuerspannungen zeigte

Fig. 7 ein Blockschaltbild zur Darstellung einer Beispiel sanordnung eines Steuerimpulserzeugungsschaltkreises ist,"

Fig. 8 ein Schaltungsdiagramm zur Darstellung einer beispielsweisen Anordnung eines Hochspannungsimpuls-Erzeugungskreises ist,

Fig. 9 (A) bis 9 (C) Wellenformen von Eingangs- und Ausgangsspannungen der in Fig. 8 gezeigten Schaltung zeigen;

Fig. 10 eine auseinandergezogene Perspektivdarstellung des Anzeigefeldes ist; und

Fig. 11 eine Teil Schnittdarstellung eines Anzeigefeldes der Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung.

Die Erfindung wird im einzelnen anhand der bevorzugten Ausf Ii h rung s bei spiele erläutert.

Gemäß Fig. 3, die in einer Teilquerschnittsdarstellung ein in der Gasentladungs-Anzeigevorrichtung gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung verwendetesJAnzeigefeld zeigt, ist eine Anzahl von Elektroden 25 auf einem Substrat mit einem einheitlichen Abstand 1, dazwischen gebildet. Wenn der in Fig. 3 gezeigte Abstand 1„ (= 2Jl₃) gleich dem in Fig. 1 gezeigten I₁ (Einheitsabstand der Anzeigeelemente)

gewählt wird, d. h. I^ = Ig = 2Jl₃, dann lä"3t sich der Einheitsabstand der Anzeigeelemente des in Fig. 3 gezeigten Anzeigefeldes auf die Hälfte des entsprechenden Einheitsabstandes in dem in Fig. 1 gezeigten Anzeigefeld mit dem Ergebnis verringern, daß die Dichte (Feinheit) der Anzeige mit großen Vorteilen doppelt so hoch gemacht werden kann. Der Zwischenraum zwischen den einzelnen Elektroden ist mit d bezeichnet. Bei dieser Anordnung kann eine Auswahl von Anzeigemustern, wie die Fig. 4B bis 4E zeigen, für ein in Fig. 4A gezeigtes Elektrodenreihenmuster erzeugt werden. Beispielsweise kann ein Anzeigemuster 60a mit einer Mehrzahl von Musterelementen, deren jedes jeweils einer der Elektroden 25 entspricht, erzeugt werden, wie Fig. 4B zeigt. Im Fall eines in Fig. 4E gezeigten Musters 60d wird jedes der Musterelemente zwischen den benachbarten Elektroden erzeugt. Weiter können Kombinationen der Muster 60a und 6Od erzeugt werden, wie in den Fig. 4C bzw. 4D gezeigt ist.

In diesem Zusammenhang sollte erwähnt werden, daß, auch wenn die Anzeigefläche wie im Fall des in Fig. 4D gezeigten Musters erhöht wird, dennoch eine Gleichmäßigkeit der Anzeige erhalten werden kann, da der Einheitsabstand der Anzeigeelemente auf die Hälfte desjenigen des in Fig. 1 gezeigten Anzeigefeldes verringert ist. Weiter kann dank der Tatsache, daß die wirksame Fläche der Kathodenelektrode im Vergleich mit der des Feldes nach Fig. 1 merklich verringert ist, die Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach dem dargestellten AusfUhrungsbeispiel mit einem niedrigen Strom in einem hohen Gasdruckbereich betrieben werden,\da die Streufläche negativer Glimmentladung über der Kathodenoberfläche dem Entladungsstrom proportional ist und dem Quadrat des Gasdrucks umgekehrt proportional ist. Außerdem kann unter Berücksichtigung der Tatsache, daß

- ίο -

die Zerstäubrigsgeschwindigkei t dem Quadrat oder dem Kubikwert des Entladungsstromes proportional und der dritten oder fünften Potenz des Gasdrucks umgekehrt proportional ist, eine Verschlechterung der Leuchtdichte, die sich durch Abscheidung des zerstäubten Kathodenmaterials auf der Leuchtstoffschicht ergibt, beträchtlich unterdrückt und so die Nutzlebensdauer der Gasentladungs-Anzeigevorrichtung verlängert werden.

Nun soll der Betrieb der Gasentladungs-Anzeigevorrichtung anhand der Fig. 5 und 6 erläutert werden, von denen Fig. 5 eine beispielsweise Anordnung und gegenseitige Verbindung der Elektroden in dem. in Fig. 3 gezeigten Anzeigefeld zeigt, während Fig. 6 beispielsweise Wellenformen und Taktfolgen von den einzelnen Anschlüssen des Anzeigefeldes zugeführten Steuerspannungen veranschaulicht. In Fig. 6 sind die Wellenformen der Spannungen mit denselben Bezugszeichen wie denen der Anschlüsse (Fig. 5) versehen, denen sie jeweils zugeführt werden. Gemäß Fig. wird eine Zahl von auf einer und derselben Ebene gebildeten Elektroden 25 in Mehrphasenanordnung, z. B. in Vierphasenanordnung 85 zur Verbindung mit den Anschlüssen A, B, C und D untereinander verbunden. Entladungsstrom-Begrenzungswiderstände r sind in den geradzahligen bzw. ungeradzahligen Phasenanschlüssen eingefügt. Weiter sind an einem Ende der aus den einzelnen Elektroden (E^, E₃₅ ··., ^E _n) 25 zusammengesetzten Elektrodengruppe eine mit dem Anschluß R verbundene Rückstellelektrode (E₁) 26 und ein Paar von Hilfseiektroden 27 vorgesehen.

Bipolare Impulsspannungen der in Fig. 6 bei A, B, C und D gezeigten Wellenformen werden den zugehörigen Anschlüssen A, B₅ C und D auf der Zeitfolgebasis mit der

in Fig. 6 veranschaulichten Taktfolge zugeführt. Nach Zuführen der Inipulsspannung tritt zunächst eine Rückstellentladung zwischen den Elektroden E, und E~ auf, die dann nacheinander zu den Elektroden E„ und E₀, E., und E₄, ... , und Ε,,, yerschoben wird. Diese Verschiebung wird als Seibstrücklauffunktion bezeichnet. Im Lauf der Verschiebung der Entladung dienen die einzelnen Elektroden abwechselnd als Anode und als Kathode. Wenn die Polarität der dem Rückstellanschluß R zugeführten Impulsspannung umgekehrt wird, wird auch die Polarität aller anderen Impulsspannungen umgekehrt. Wenn die Periode T (Fig. 6) so gewählt wird, daß ein Flimmern nicht merkbar (z. B. Kürzer als 30 ms) ist, ergibt sich ein Aussehen, als wenn sämtliche Anzeigeelemente gleichzeitig arbeiteten (d. h. Licht ausstrahlen), um eine balkenartige Anzeige zu erzeugen. Die Länge desJBalkens (angezeigte Information) läßt sicn durch Steuern der Zahl der Impulse (entsprechend t,,)

ti

mindestens in' den geradzahligen Phasen oder ungeradzahl igan Phasen steuern.

Wenn die Gasentladungs-Anzeigevorrichtung mit der oben erwähntenlsel bstrückl auf funktion versehen ist. kann die Anzeigevorrichtung mit Hilfe eines einzelnen Rücksssllsteuerkreises und der vier Steuerkreise ohne Rücksicht auf die Zahl der vorhandenen Elektroden (oder dig Zahl czr Anzeigeelemente) betrieben werden. Die Anzeigevorrichtung kann so unaufwendig mit verbesserter Verläßlichkeit sehr vorteilhaft hergestellt werden.

Fig. 7 zeigt eine Schaltkreisanordnung zur Erzeugung der oben beschriebenen Impulsspannungen. In dieser Figur ist dasein Fig. 3 gezeigte Anzeigefeld mit 200 bezeichnet.

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Ein Rückstel1impulsgenerator 210 erzeugt den in Fig. 6 bei R gezeigten Rückstel1impuls. Ein Taktimpulsteneratcr erzeugt ein Taktimpulssignal synchron zum Rückstel1impuls. Die bei A, B, C und D gezeigten Vierphasensteuerimpulssignale werden vom Ausgangstaktimpulssignal durch einen Kathoden-Vierphasenimpulsgenerator 240 und einen Anoden-Vierphasenimpulsgenerator 250 abgeleitet. Dabei wird eine Phasenjustierung durch einen Phasensteuerkreis derart bewirkt, daß die Phasendifferenz zwischen dem Vierphasenimpulssignal der negativen Polarität und dem Vierphasenimpul ssignal/positiven Polarität t_Q ist. Die Zahl der Steuerimpulse wird durch einen Impulszahlbegrenzer 270 entsprechend dem anzuzeigenden Signal 260 gesteuert. Die Impulsspannungssignale werden auf ein geeignetes Spannungsniveau durch Steuerkreise 280, 290, 291, 292 und 293 verstärkt, um den^zugehörigen Anschlüssen und damit den im Anzeigefeld 200 vorgesehenen Elektroden zugeführt zu werden.

Fig. 8 zeigt eine beispielsweise Schaltkreisanordnung des Steuerkreises 290. Es versteht sich, daß auch die anderen Steuerkreise 291, 292 und^93 in gleicher Art ausgeführt sind. Die Vierphasenimpulssignale negativer und positiver Polaritäten, die in Fig. 9 bei (A) bzw. (B) dargestellt sind, werden Eingangsanschlüssen I₁ und I₂ des in Fig. 8 dargestellten Schaltkreises zugeführt, so daß als Ergebnis an einem Ausgangsanschluß 0 ein bipolares Impuls Spannungssignal der in Fig. 9 bei (C) gezeigten Wellenform erzeugt wird, deren Amplitude in Abhängigkeit von den Spannungen einer Anodenstromquelle E. (von 0 bis V, variierend) und einer Kathodenstromquelle E„ (von 0 bis -V_K variierend)bestimmt wird. Durch Einstellen der QeIlenspannung E. oder der Quellenspannung E_K auf Erd-

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potential läßt sich der Schaltkreis mit einer einzigen Stromquelle steuern.

Fig. 10 zeigt in einer auseinandergezogenen Perspektivdarstel lung einen beispielsweisen Aufbau des in Fig. 3 gezeigten Anzeigefeldes. Es sind danach auf einem Isoliersubstrat 10 aus Natronglas od. dgl. die Anschlüsse Verbindungsleiter 26a und 27a für die Rückstel1 elektrode und die HiIfseiektroden 27 und Verbindungsleiter 25a für die Elektroden 25 unter Verwendung von Goldpaste :

einem
od. dgl. nach Druck- und Einbrennverfahren gebildet.

Anschließend werden die Elektroden 25, die RUckstellelektrode 26 und die HiIfseiektroden 27 aus Nickelpaste od. dgl. nach dem Druck- und Einbrennverfahren gleichzeitig gebildet. Die Zahl der Verfahrensschritte kann so bei Steigerung der Ausbeute verringert werden. Anschließend wird eine (nicht dargestel l.te)/lsol ierschicht aus Glaspaste od. dgl. über der gesamten Oberfläche des Substrats "0 nach einem Druck- und Einbrennverfahren mit Ausnahme der Flächen gebildet, wo die Elektroden 25, der Anschluß 85 und die Verbindungsleiter 25a mit den Mehrphasenleitern zu verbinden sind (d. h. an den Stellen, wo durchgehende Löcher zu bilden sind). Die Mehrphasenverbindungsleiter werden aus Goldpaste od. dgl. auf der Isolierschicht nacn einem Druck- und Einbrennverfahren gebildet. In dieser Weise werden die Elektroden 25 mit den Anschlüssen 85 durch die Viel Schichtverbindungsanordnung verbunden. Schließlich wird eine (nicht dargestellte) dünne Isolierschicht aus Glaspaste nach einem Druck- und Einbrennverfahren mit Ausnahme für d^'e Sereiche gebildet, wo die Anschlüsse und die einzelnen Elektroden angebracht sind.

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Auf der so vorbereiteten Substrateinheit wird ein Abstandskörper 75 angeordnet, der aus einem Isoliermaterial, wie z. B. Natronglas od. dgl .,gebildet ist, um den Entladungshohlraum 70 zu bilden. Schließlich wi^d eine aus einem transparenten Isoliermaterial, wie z. B. Natronglas, gebildete Grundplatte 40 auf dem Abstandskörper angeordnet. Die Rückseite der Frontplatte 40 wird mit einer Schwarzmatrix 50 versehen, die aus schwarzer Glaspaste nach einem Druck- und Einbrennverfahren gebildet ist, um äußere Lichtstrahlen abzuschirmen und dadurch den Kontast der Anzeige zu verbessern. Fall.s die Anzeige in Farbe zu erzeugen ist, werden die Anzeigeelemente mit geeignetem Leuchtstoff überzogen.

Der gestapelte Aufbau des Substrats 10, des Abstandskörpers 75 und der Frontplatte 40 wird unter Verwendung von Glasfritte od. dgl. hermetisch abgedichtet und nach Evakuieren auf ein hohes Vakuum mit Ne-Ar oder He-Xe-Gas mit einem Druck von 130 bis 650 mbar gefüllt. Dabei kann dem Füllgas eine geringe Hg-Menge zugesetzt werden, um ein Zerstäuben zu verhindern.

Fig. 11 zeigt in Schnittdarstellung ein Anzeigefeld nach einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung, das sich durch eine dielektrische Schicht 100 aus Glaspaste od, dgl. über der Anzahl von Elektroden 25 kennzeichnet,welche

nach einem Druck- und Einbrennverfahren aufgebracht ist.. Eine Schicht aus MgO od. dgl. kann noch auf der dielektrischen Schicht 100 gebildet sein. Bezüglich der anderen Einzelheiten des Aubaus ist das in Fig. 11 gezeigte Anzeigefeld dem in den Fig. 3 und 10 gezeigten gleichartig. Mit dem in Fig, 11 gezeigten Aufbau ist dem Anzeigefeld eine Speicherfunktion verliehen, und es eignet sich zur Erzeugung der Anzeige mit hoher Leuchtdichte.

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Es zeigt sich, daß das Anzeigefeld gemäß der Erfindung graphische Muster u. dgl. mit hoher Dichte (Feinheit oder Auflösung) dank dieser Anordnung anzeigen kann, bei der die gleichen Elektroden zum abwechselnden Dienen als Anode und Kathode auf Zeitaufteilungsbasis eingerichtet sind. Außerdem lassen sich die Anzeigeelemente mit großer Flächenausdehnung stabil und gleichmäßig mit einem schwachen Strom steuern, wodurch die Nutzlebensdauer des Anzeigefeldes beträchtlich vergrößert werden kann. Außerdem weist das erfindungsgemäße Anzeigefeld andere Vorteile, wie z. B. die Selbstrücklauffunktion, Farbanzeige u. a.m., auf.

Claims

17. Max 1983 Patentansprüche

.^Gasentladungs-Anzeigevorrichtung, die ein Gasentladungsmzeigefeld mit einer Mehrzahl von auf einem Substrat gebildeten Elektroden in einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand und Anschlußleitern zur Verbindung der Mehrzahl der Elektroden durch Mehrphasenverbindungen und Spannungszuführeinrichturvgen zum aufeinanderfolgenden Zuführen bipolarer Impulsspannungen zu jeder Phase der Mehrphasenverbindungen aufweist,

dadurch gekennzeichnet, daß jede der Elektroden (25) abwechselnd als Anode und als Kathode auf einer Zeitaufteilungsbasis im Ansprechen auf die bipolaren Impulsspannungen derart betreibbar ist, daß die zwischen der Anode und der Kathode erzeugte Entladung zum Selbstrücklauf steuerbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Mehrzahl der Elektroden (25) mit einem dielektrischen Material (100) bedeckt ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die Spannungszuführeinrichtungen eine erste und eine zweite Mehrphasenspannungserzeugungseinrichtung (240, 250) zur Erzeugung von Mehrphasenimpulsspannungen entgegengesetzter Polaritäten, die untereinander um die Breite der Impulsspannung phasenverschoben sind, und Zuführkreise (290, 291, 292, 293) zum überlagern der durch die erste und die

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zweite Mehrphasenspannungserzeugungseinrichtung (240, 250) erzeugten Impulsspannungen zwecks Zuführung der bipolaren Impulsspannung zu jeder Phase der Mehrphasenverbindungen (85) aufweist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,

daß sie eine ImpulszahlSteuereinrichtung (270) zum Steuern der Zahl der Mehrphasen-Impulsspannungen in Abhängigkeit von einem anzuzeigenden Signal enthält, wodurch die Lage der Selbstrücklaufentladung durch die Impulszahlsteuereinrichtung (270) gesteuert wird.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet,

daß das Gasentladungs-Anzeigefeld ein Paar aus einem ersten und einem zweiten isolierenden Substrat (10, 40) enthält, von denen wenigstens ein Substrat (40) transparent ist, die Mehrzahl der Elektroden (25) und die Anschlußleiter (85, 86) auf dem ersten Substrat gebildet sind und ein Isolierkörper (75) zwischen den beiden Substraten (10, 40) unter Bildung eines Hohlraumes (70) eingefügt ist, innerhalb dessen die zwischen den Elektroden (25) erzeugte Entladung begrenzt ist und ein Gas hermetisch eingeschlossen ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,

daß die dem ersten Substrat (10) zugewandte Oberfläche des zweiten Substrats (40) mit einem schwarzen Material (50) mit Ausnahme der Bereiche (60) überzogen ist, die der Mehrzahl der Elektroden (25) gegenüberliegen.

7, Vorrichtung nach Anspruch 5,

dadurch gekennzeichnet,

daß die dem ersten Substrat (10) zugewandte Oberfläche des zweiten Substrats (40) in den Bereichen (60), die der Mehrzahl der Elektroden (25) gegenüberliegen, mit Leuchtstoff überzogen ist.