DE3302080A1 - Thermischer massendurchflussmesser, insbesondere fuer gase - Google Patents

Thermischer massendurchflussmesser, insbesondere fuer gase

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NL8400012A NL8400012A (nl) 1983-01-22 1984-01-03 Thermische massastromingsmeter, in het bijzonder voor gassen.
GB08400675A GB2134266B (en) 1983-01-22 1984-01-11 Thermal mass flow-meter
JP59005848A JPS59182315A (ja) 1983-01-22 1984-01-18 熱式質量流量計
FR8400918A FR2539869B1 (fr) 1983-01-22 1984-01-20 Debitmetre de masse thermique, notamment pour gaz
US07/370,397 US4972708A (en) 1983-01-22 1989-06-22 Thermal mass flow-meter particularly for gases

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3517240A1 (de) * 1985-05-13 1986-11-13 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Vorrichtung zur messtechnischen auswertung von gasen mittels mindestens einer auf gasstroemungen ansprechenden messzelle
DE3542788A1 (de) * 1985-12-04 1987-06-19 Degussa Vorrichtung zur thermischen massenstrommessung von gasen und fluessigkeiten
DE19640773A1 (de) * 1995-10-07 1997-04-24 Hiss Eckart Meßfühler
DE102010037994B4 (de) 2009-10-07 2024-02-08 Wika Alexander Wiegand Se & Co. Kg Messstelle bestehend aus einem abgeflachten Rohrabschnitt und einem damit ohne Stufen stofflich verbundenen Messsonden-Adapter

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3604202C2 (de) * 1985-02-14 1997-01-09 Nippon Denso Co Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung
DE3606849A1 (de) * 1986-03-03 1987-09-10 Vdo Schindling Anordnung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit
US5081866A (en) * 1990-05-30 1992-01-21 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Respiratory air flowmeter
US5582628A (en) * 1991-05-29 1996-12-10 Wood; Tony J. Unit and system for sensing fluid velocity
US5417110A (en) * 1991-05-29 1995-05-23 Wood; Tony J. Unit and system for sensing fluid velocity
US5511415A (en) * 1994-01-18 1996-04-30 Cambridge Aeroflow, Inc. Gas flow and temperature probe and gas flow and temperature monitor system including one or more such probes
JP3423083B2 (ja) * 1994-10-17 2003-07-07 神奈川県 流量計センサ
DE19512111C2 (de) * 1995-04-03 1999-01-07 Ifm Electronic Gmbh Wärmeübergangskontroll- und/oder -meßgerät
US7109842B1 (en) * 1998-12-07 2006-09-19 Honeywell International Inc. Robust fluid flow and property microsensor made of optimal material
US6794981B2 (en) 1998-12-07 2004-09-21 Honeywell International Inc. Integratable-fluid flow and property microsensor assembly
US6269692B1 (en) * 1999-02-01 2001-08-07 Dxl Usa Inc. Mass flow measuring assembly having low pressure drop and fast response time
JP2002289407A (ja) * 2001-03-23 2002-10-04 Denso Corp 温度センサおよびその製造方法
EP1249691A1 (en) 2001-04-11 2002-10-16 Omron Corporation Electronic clinical thermometer
US7106167B2 (en) * 2002-06-28 2006-09-12 Heetronix Stable high temperature sensor system with tungsten on AlN
FR2856880B1 (fr) 2003-06-27 2005-09-23 Auxitrol Sa Resistance chauffante notamment pour la chauffe d'une piece massive telle qu'une sonde de temperature et/ou de prise de pression
DE102010015813A1 (de) * 2010-04-20 2011-10-20 Krohne Messtechnik Gmbh Sensoranordnung für ein kalorimetrisches Massedurchflussmessgerät
MX336937B (es) * 2012-05-17 2016-02-08 Micro Motion Inc Alimentacion pasante, electrica. ignifuga.
DE102012111058A1 (de) * 2012-11-16 2014-05-22 Endress + Hauser Flowtec Ag Sensor und Durchflussmessgerät
JP2014119257A (ja) * 2012-12-13 2014-06-30 Mitsubishi Materials Corp 気流センサ
JP6096070B2 (ja) * 2013-06-20 2017-03-15 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計の製造方法
DE102015223910A1 (de) * 2015-12-01 2017-06-01 Brose Fahrzeugteile GmbH & Co. Kommanditgesellschaft, Würzburg System aus einem ersten Bauteil mit einem Leiter und einem Trennwandelement und ein Verfahren zur Herstellung des Systems
DE202016107242U1 (de) * 2016-12-21 2018-03-22 Nordson Corp. Sensoreinrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines flüssigen Heißschmelzklebstoffes

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2947938A (en) * 1954-04-09 1960-08-02 Victory Engineering Corp Electrothermal measuring apparatus and method for the calibration thereof
DE1256909B (de) * 1961-09-14 1967-12-21 Reactor Centrum Nederland Kalorischer Massenstrommesser
DE1920597A1 (de) * 1968-08-16 1970-02-26 Ford Werke Ag Elektrische Schnellheizung fuer den Fahrgastraum von Kraftfahrzeugen
DE2711281A1 (de) * 1976-06-11 1977-12-15 Kyma Corp Richtungsempfindlicher heissfilm- anemometer-wandler
DE7903594U1 (de) * 1978-02-10 1979-07-19 Societe Chimique Des Charbonnages S.A., Paris Durchsatzaufnehmer
DE2804850A1 (de) * 1978-02-04 1979-08-09 Degussa Vorrichtung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit von gasen
DE2914275A1 (de) * 1978-04-10 1979-10-18 Hitachi Ltd Luftdurchsatz-messvorrichtung
DE3006584A1 (de) * 1980-02-22 1981-09-03 Degussa Ag, 6000 Frankfurt Thermischer durchflussmesser

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE295475C (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) * 1916-07-24
US2802925A (en) * 1954-03-13 1957-08-13 Degussa Resistance thermometer
US3333470A (en) * 1964-06-01 1967-08-01 Thermo Systems Inc Method and apparatus for sensing fluid properties
US3363462A (en) * 1964-09-30 1968-01-16 Cullen M. Sabin Fluid anemometer system
US3900819A (en) * 1973-02-07 1975-08-19 Environmental Instruments Thermal directional fluid flow transducer
GB1454816A (en) * 1974-02-19 1976-11-03 Rosemount Eng Co Ltd Resistance thermometer sensors
DE2827766C2 (de) * 1978-06-24 1983-10-13 Degussa Ag, 6000 Frankfurt Hitzdrahtanemometer zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit von Gasen und Flüssigkeiten
DE8003431U1 (de) * 1980-02-09 1980-05-14 Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Vormals Roessler, 6000 Frankfurt Messwiderstand fuer widerstandsthermometer

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2947938A (en) * 1954-04-09 1960-08-02 Victory Engineering Corp Electrothermal measuring apparatus and method for the calibration thereof
DE1256909B (de) * 1961-09-14 1967-12-21 Reactor Centrum Nederland Kalorischer Massenstrommesser
DE1920597A1 (de) * 1968-08-16 1970-02-26 Ford Werke Ag Elektrische Schnellheizung fuer den Fahrgastraum von Kraftfahrzeugen
DE2711281A1 (de) * 1976-06-11 1977-12-15 Kyma Corp Richtungsempfindlicher heissfilm- anemometer-wandler
DE2804850A1 (de) * 1978-02-04 1979-08-09 Degussa Vorrichtung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit von gasen
DE7903594U1 (de) * 1978-02-10 1979-07-19 Societe Chimique Des Charbonnages S.A., Paris Durchsatzaufnehmer
DE2914275A1 (de) * 1978-04-10 1979-10-18 Hitachi Ltd Luftdurchsatz-messvorrichtung
DE3006584A1 (de) * 1980-02-22 1981-09-03 Degussa Ag, 6000 Frankfurt Thermischer durchflussmesser

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
H. Strickert: Hitzdruck- und Hitzfilmanemometrie, VEB Verlag Technik, Berlin, 1974, S. 39-41 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3517240A1 (de) * 1985-05-13 1986-11-13 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Vorrichtung zur messtechnischen auswertung von gasen mittels mindestens einer auf gasstroemungen ansprechenden messzelle
DE3542788A1 (de) * 1985-12-04 1987-06-19 Degussa Vorrichtung zur thermischen massenstrommessung von gasen und fluessigkeiten
DE19640773A1 (de) * 1995-10-07 1997-04-24 Hiss Eckart Meßfühler
DE19640773C2 (de) * 1995-10-07 1999-06-10 Hiss Eckart Meßfühler
DE102010037994B4 (de) 2009-10-07 2024-02-08 Wika Alexander Wiegand Se & Co. Kg Messstelle bestehend aus einem abgeflachten Rohrabschnitt und einem damit ohne Stufen stofflich verbundenen Messsonden-Adapter

Also Published As

Publication number Publication date
CH663844A5 (de) 1988-01-15
GB8400675D0 (en) 1984-02-15
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GB2134266A (en) 1984-08-08
GB2134266B (en) 1986-09-17
NL8400012A (nl) 1984-08-16
FR2539869A1 (fr) 1984-07-27
US4972708A (en) 1990-11-27
JPS59182315A (ja) 1984-10-17
FR2539869B1 (fr) 1987-01-30

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