NL8400012A - Thermische massastromingsmeter, in het bijzonder voor gassen. - Google Patents

Description

*4 . * -1-.

VO 5320

Thermische massastromingsmeter, in het bijzonder voor gassen.

De uitvinding heeft betrekking op een thermische massa-stromingsmeter, in het bijzonder voor gassen, bestaande uit een stro-mingskanaal met althans twee aan het stromingsmediurn Hoot te stellen, van de temperatuur afhankelijke meetweerstanden, waarvan er althans een 5 is aangebracht in het stromingsprofiel, en met althans een in het in-vloedgebied van de meetweerstanden aangebrachte warmtebron, alsmede uit een evaluatieschakeling voor het omzetten van de weerstandswaarden in met de stroming evenredige grootheden.

Het meetbeginsel van een dergelijke massastromingsmeter 10 kan ook worden aangeduid als "anemometer-beginsel". Dit meetbeginsel wordt tot nu toe echter uitsluitend toegepast voor het meten van stromingssnelheden in praktisch zuivere gassen en bij lage gastemperaturen.

üit het "Journal of Physics and Scientific Instruments", jaargang 5, augustus/september 1972, blz,849-852 is een dergelijke 15 anemometer bekend, waarbij twee dunne draden met een van de temperatuur afhankelijke weerstand in stromingsrichting zijn gespannen aan weerszijden van eeh verhittingsdraad. Bij het in rust zijn van het gas worden de twee meetweerstanden onder de invloed van de verhittingsdraad regelmatig opgewarmd, zodat de aanwijzing nul is. Deze stabiliteits-20 toestand verandert echter bij het inschakelen van de gasstroming. Het meetbeginsel berust erop, dat de stroomopwaarts liggende meetweerstand door de gasstroming wordt afgekoeld, maar de stroomafwaarts liggende meetweerstand echter aanvullend wordt opgewarmd door het warmtetransport vanaf de verhittingsdraad. Het weerstandsverschil kan in een evaluatie-25 schakeling worden omgezet in een met de stromingssnelheid evenredige grootheid. In de regel wordt hiervoor een brugschakeling gebruikt, waarvan de details eveneens zijn beschreven in het vermelde tijdschrift.

Dit het Amerikaanse octrooischrift 2.645.117 is de toepassing vain het anemometerbeginsel bekend voor lekmetingen. Twee dunne, 30 door een direkte stroomdoorgang verwarmde draden met een van de temperatuur afhankelijke weerstand, bevinden zich in verschillende kamers van een meetblok. De te meten gasstroming gaat door de ene kamer, waarbij voor het bepalen van een vergelijkingswaarde een in rust zijnde gasatmosfeer aanwezig is in de andere kamer. Ook hier dient de ontstemming 35 van een brugschakeling voor het opwekken van een meet- of aanwijswaarde.

8400012 P s -2-

Uit het Amerikaanse octrooischrift 2.509.889 is een differentiaalhoogte-meter bekend voor vliegtuigen, die werkt volgens het anemometerbeginsel, en in. de stromingsrichting aan weerszijden van een verwarmingsweerstand, twee thermistoren bezit, waarvan de temperatuurniveau's in het geval 5 van een stromingsbelasting verschuiven ten opzichte van de inertie-toestand.. Ook hier wordt door middel van een brugschakeling uit het verschil van de weerstandswaarden, de stromingssnelheid bepaald.

Ook is het bekend om in plaats van de meetweerstanden resp. thermistoren, thermo-elementen te gebruiken (Duits "Auslege-10 schrift" 2.052.645).

Aan alle tot nu toe bekende anemometers kleeft echter het nadeel, dat zij alleen kunnen worden gebruikt in een zeer zuivere of althans nagenoeg zuivere gasatmosfeer bij betrekkelijk lage temperaturen (bijv. omgevingslucht), omdat anders een snelle vernietiging 15 plaatsvindt.

Wanneer een stromingsmeter nodig is voor hoge temperaturen (boven 500°K) en voor sterk.corrosieve gassen (zuurdampen, chloorgas, enz.), is tot nu toe gebruik gemaakt van een zogenoemde stromingsmeter met zweeflichaam. Deze bestaat uit een inwendig licht kegelvormige buis, 20 waarin een speelvormig zweeflichaam wordt gedragen door het stromende gas. Afhankelijk van de hoogtestand van het zweeflichaam wordt als gevolg van de kegelvormigheid van de buis een meer of minder grote ring-spleet vrijgegeven, zodat de hoogtestand van het zweeflichaam een maat is voor de stromingshoeveelheid. Hoewel een dergelijke stromingsmeter 25 een toereikend nauwkeurige, optische aanwijzing mogelijk maakt, is. het verkrijgen van elektrische signalen, die evenredig zijn met de stroming, problematisch.. Een dergelijke stromingsmeter is derhalve alleen uit gerust met optische of inductieve grenswaardecontacten,

Een stromingsmeter, die is uitgevoerd volgens het Doppler-30 beginsel (optisch of acoustisch) maakt in de regel een zeer grote investering nodig met het oog op de vereiste elektronische signaalverwerking, zodat deze meter als gevolg van de daarmee verbonden hoge kosten alleen wordt gebruikt voor bijzondere metingen, bijv. voor laser-Doppler-metingen in vlammen.

35 Derhalve heeft.het natuurlijk niet aan pogingen ontbroken om het anemometerbeginsel ook toe te passen voor de meting van massa- 8400012 -3- stromingen bij corrosieve gassen en/of gassen met een hoge temperatuur.

Zo is het bijv. bekend om een stromingskanaal in het middengebied te omwikkelen met een verwarmingsweerstand en in stromingsrich-ting aan weerszijden daarvan met twee meetweerstanden. In het bijzonder 5 voor het meten van corrosieve gassen worden met het gas in aanraking komende oppervlakken vervaardigd van roestvrij staal of van een overeenkomstig bestendige kunststof. Bij het in rust zijn van het gas, gaat de warmte van de verwarmingsweerstand in gelijke mate naar de twee meetweerstanden, zodat daar gelijke temperaturen zijn aan te treffen.

10 Bij toenemende stromingssnelheid wordt het kanaal in het gebied van de stroomopwaarts liggende meetweerstand echter afgekoeld en in het gebied van de stroomafwaarts liggende meetweerstand aanvullend opgewarmd. Het verschil van de weerstandwaarden is ook hier een maat voor de massastroom. Deze bekende inrichting reageert voor een aantal toepassingsgevallen 15 echter aanzienlijk te traag, hetgeen kan worden verklaard door de warmte-traagheid van het stromingskanaal enerzijds, en de slechte warmte-overdrachtswaarden in de richting naar de meetweerstanden anderzijds. Hierbij moet worden bedacht, dat alle elektrische onderdelen ten opzichte van elkaar elektrisch moeten zijn geisoleerd, en helaas zijn goede 20 elektrische isolatoren in de regel ook goede warmte-isolatoren, d.w.z. slechte warmtegeleiders. Door de onvermijdelijk hoge temperatuurgradiënten is de bekende inrichting bovendien alleen geschikt voor de toepassing bij betrekkelijk lage temperaturen (aangegeven is kamertemperatuur) .

25 Aan de uitvinding ligt derhalve de opgave ten grondslag een massastromingsmeter volgens het anemometerbeginsel te verschaffen, die bij het snel aanspreken op verschillende massastromingen en -temperaturen hestendig is tegen agressieve gassen en/of gassen met een hoge temperatuur.

30 De oplossing van de gestelde opgave vindt volgens de uit vinding bij de in de aanhef beschreven massastromingsmeter volgens de uitvinding plaats door toepassing van de volgende maatregelen: a) De van de temperatuur afhankelijke meetweerstanden bestaan uit een dunne weerstandslaag, die is aangebracht op een keramisch 35 isolatielichaam, b) de dunne weerstandslaag met het isolatielichaam is via een glassoldeer verbonden met een keramisch steunlichaam en 8400012 ï- -4- c)het steunlichaam is via een glassoldeer indirekt of direkt afgedicht verbonden, met het stromingskanaal.

Door deze maatregelen wordt een massastromingsmeter verkregen, die zoveel mogelijk wordt blootgesteld aan het te meten medium 5 zonder dat de eigenlijke weerstandslaag direkt wordt blootgesteld aan het eventueel agressieve medium. De weerstandslaag wordt aan de ene zijde beschermd door het keramische isolatielichaam, waarop de laag is aangebracht en aan de andere zijde door het glassoldeer, waardoor de dunne weerstandslaag is verbonden met hë: keramische steunlichaam. Zowel ^ het keramische isolatielichaam als het glassoldeer zijn voldoende dun resp. hebben een toereikend warmtegeleidingsvermogen, zodat de tijdconstante van de meètweerstand voldoende kort is.

Wanneer slechts een van de meetweerstanden is aangebracht in het stromingsprofiel, gaat het om de meetweerstand, die het eigenlijke 15 meetsignaal levert. Randinvloeden van het stromingskanaal, in het bijzonder door de warmtetraagheid daarvan, worden volledig uitgeschakeld.

Het.· keramische steunlichaam voorkomt een duideli-jke beinvloeding van de ’meting door warmtegeleiding vanaf de buitenzijde van het stromingskanaal. Ook dit steunlichaam is via een glassoldeer afgedicht verbonden met het 20 stromingskanaal, zodat een toereikende, thermische en elektrische isolatie is gewaarborgd bij een grote corrosiebestendigheid. De verbinding kan hierbij indirekt of direkt plaatsvinden, d.w.z. dat het keramische steunlichaam via het glassoldeer kan zijn verbonden met een holle schroef-dop, die in het stromingskanaal is geplaatst of via het glassoldeer 25 direkt kan zijn verbonden met de wand van het stromingskanaal.

Meetweerstanden in de vorm van een dunne laag, die op zichzelf bekend zijn voor een temperatuurmeting, worden tot nu toe niet gebruikt voor een anemometer resp. voor een massastromingsmeting, waarbij zij in het bijzonder niet door een direkte· stroomdoorgang worden opge-30 warmd tot een temperatuur, hetgeen de grondslag vormt van het anemometer-beginsel.

Voordelige uitvoeringen van het onderwap van uitvinding blijken uit de volgconclusies, waarbij de met betrekking tot de verschillende uitvoeringsvormen enigszins verschillende voordelen aan de 35 hand van de karakteristieken in de beschrijving nader worden verduidelijkt.

Hier moge nog worden opgemerkt, dat er met betrekking tot 8400012 * * -5- de verbinding met het glassoldeer, twee wezenlijke alternatieven bestaan. Enerzijds kan de dunne weerstandslaag volgens conclusie 2 bij een naar buiten gericht isolatielichaam via het glassoldeer zijn gesoldeerd aan het voorvlak van het steunlichaam, zodat de dunne weerstandslaag 5 door het isolatielichaam volledig is afgedekt en wordt beschermd, waarbij de bescherming naar de zijden wordt overgenomen door het glassoldeer. Een dergelijke mogelijkheid is afgeheeld in figuur 1. Ook kan het isolatielichaam bij een naar buiten gerichte dunne weerstandslaag via het glassoldeer zijn verbonden met het voorvlak van de keramische buis, 10 waarbij het ook de dunne weerstandslaag bevochtigende glassoldeer dient voor het beschermen van deze laag. Een dergelijke mogelijkheid is onderwerp van conclusie 3 en figuur 2.

De uitvinding wordt nader toegelicht aan de hand van de tekening, waarin: 15 figuur 1 en 2 verschillende uitvoeringsvormen tonen van de meettaster met het oog op de aanbrenging van het keramische isolatielichaam met de dunne weerstandslaag ten opzichte van het steunlichaam, de figuur 3, 5 en 7 verschillende mogelijkheden tonen voor het in een stromingskanaal aanbrengen van de meettaster volgens figuur 20 1 en 2, en figuur 4, 6 en 8 karakteristieken tonen van de meetinrich-tingen volgens de figuur 3, 5 en 7.

In figuur 1 is een wanddoorsnede afgebeeld van een stromingskanaal 1, dat volgens de figuur 3, 5 en 7 is uitgevoerd als een 25 cylindrisch buisgedeelte met een lengteboring 2 en een hartlijn A-A, zodat het maximum van de stromingssnelheid in de hartlijn A-A ligt.

De lengteboring 2 is aan de twee einden voorzien van aansluitsqhroefdraad 3 voor bijbehorende buisaansluitingen. De stromingsrichting is in de figuur 3, 5 en 7 aangeduid met de pijl m, waarbij m staat voor de massa-30 stroom. Als materiaal voor het strominskanaal wordt een metaal gekozen uit de groep van nikkel, sterk nikkalbevattende legeringen, tantalium en titaan, waarbij het stromingskanaal bij voorkeur wordt vervaardigd als massieve uitvoering.

In het stromingskanaal 1 bevindt zich een radiale boring 35 4 met een getrapte indraaiing 5, waarvan de werking onderstaand nog wordt beschreven. In de boring 4 is een steunlichaam 6 geplaatst met een 8400012 •ί * -6- cylindrisch buitenvlak 7 en twee ten opzichte van de hartlijn daarvan loodrecht staande vlakke voorvlakken 8 en 9, welk lichaam bestaat uit een bestendig keramisch materiaal, bijv. uit technisch porcelein. Het buitenvlak 7 is in het gebied van de indraaiing 5 via een glassoldeer 5 10 verbonden met het stromingskanaal 1, en het inwendige voorvlak 9 is eveneens via een glassoldeer 11 verbonden met een meetweerstand 12, die bestaat uit een dunne weerstandslaag 13 en een keramisch isolatielichaam 14, waarop de dunne weerstandslaag 13 onlosmaakbaar vooraf is aangebracht door een van de gebruikelijke bekledingswerkwijzen (vacuum 10 opdampen, kathodeverstuiven) De dunne weerstandslaag bestaat hierbij uit platina, waarbij het isolatielichaam 14 een vlak bezit van in hoofd-2 zaak 4 mm . Naar de dunne weerstandslaag 13 voeren twee elektrische leidingen 15, die door bijbehorende, niet nader aangeduide, met de hartlijnen evenwijdig lopende boringen in het. steunlichaam 6 heen zijn 15 geleid. De leidingen 15 voeren naar aansluitklemmen 16 en 17, zodat de dunne weerstandslaag 13 kan worden geschakeld in de aftakking van een meetbrug.

De meetweerstand 12 ligt in het gebied van de hartlijn A-A en heeft een afstand vanaf het binnen voorvlak 9, die in hoofdzaak 20 2 mm bedraagt, maar helemaal niet kritisch is. Deze afstand is bij een goede bevochtiging van zowel de meetweerstand 12 als het voorvlak 9 met het reeds beschreven glassoldeer 11 opgevuld, zodat de dunne weerstandslaag 13 aan alle zijden wordt beschermd door keramisch, resp. mineraal materiaal. In werkelijkheid dringt het glassoldeer enigszins 25 naar binnen in de met de hartlijnen evenwijdig lopende boringen van het steunlichaam 6, hetgeen hier duidelijkheidshalve echter niet is afge-beeld.

Als glassoldeer wordt bij. voorkeur een loodboraatglas gebruikt, dat met de te verbinden onderdelen een uitstekend warmtebesten-30 dige verbinding aangaat. De soldeertemperatuur ligt bij 410°C en de duurzame bestendigheid bij een temperatuur van ca.300°C.

In figuur 2 is de meetweerstand 12 met de smalle kant naar boven aangebracht, d.w.z. dat de dunne weerstandslaag 13 is aangebracht op een smalle voorzijde van· het isolatielichaam 14, dat direkt tegen het 35 voorvlak 9 van het steunlichaam 6 ligt. Het glassoldeer 11 (van dezelfde aard) bekleed hierbij onder een goede bevochtiging alle vrije vlakken 840001? * ·* -7- van de meetweerstand 12 met inbegrip van de dunne weerstandslaag 13. Zodoende wordt de dunne weerstandslaag 13 nog direkter blootgesteld aan het te meten stromende medium dan bij het onderwerp van figuur 1, waarbij tevens de warmte-invloed via het steunlichaam 6 nog verder wordt 5 teruggedrongen.

In figuur 3 zijn op een axiale afstand D twee meetweer-standen 12a en 12b aangebracht, waarvan de ene (12a) is aangebracht in het stromingsprofiel (bij voorkeur in het gebied van de hartlijn A-A) en de andere (12b) in een blind gat 18 buiten het stromingsprofiel.

10 Zodoende wordt de meetweerstand 12a aan de stroming en de temperatuur van het stromende medium blootgesteld, waarbij de meetweerstand 12b alleen wordt blootgesteld aan de temperatuur van het medium. De meetweerstand 12b "ziet" in zekere mate de temperatuur van het meetmedium. De twee meetweerstanden worden door een gelijke brugspanning U opgewarmd 15 tot een bepaalde temperatuur . Zonder een massastroom (m=0) nemen de twee tasters dezelfde temperatuur aan en zodoende ook gelijke weerstanden, zodat het verschil van de brugspanning U eveneens U is. Door een stroming verandert dan de temperatuur van de meetweerstand 12a, die zich in de stroming bevindt, waarbij de meetweerstand 12b op grond van het 20 onderbrengen daarvan in een blind gat, de temperatuur behoudt. De zodoende plaatsvindende ontstemming van een meetbrug 19 staat in evenredig verband met de massastroom m en kan door middel vein een aanwijstoestel worden aangewezen.

In figuur 4 is de karakteristiek van de inrichting volgens 25 figuur 3 afgebeeld, te weten voor beide stromingsrichtingen. Set positieve deel van de X-as staat voor de in figuur 3 door de pijl m aangegeven stromingsrichting, waarbij het negatieve deel van de X-as, te weten -m, voor de omgekeerde stromingsrichting (stromingsomkeer) staat. Enerzijds is te zien, dat het verschil van de brugspanning U het 30 onderkennen van de stromingsrichting niet mogelijk maakt. Anderzijds worden (in tegenstelling tot de karakteristieken volgens figuur 6 en 8) volledig eenduidige karakteristieken verkregen, die geen maxima of minima hebben, zodat altijd een eenduidige massastroom kan worden bepaald. Set rechtlijnige gebied is aangeduid door x, en wordt in de regel gebruikt 35 voor de gebruikelijke metingen. Overigens is het door een besturing door een microprocessor mogelijk correctiewaarden in te voeren voor het niet- 8400012 -3- rechtlijnige deel van de karakteristieken, zodat ook dit deel van.de karakteristieken nog kan worden gebruikt voor meetdoeleinden, bijv. in het gebied van hoge snelheid.

Bij het uitvoeringsvoorbeeld volgens figuur 5 zijn de 5 twee meetweerstanden 12a en 12b aangebracht in het stromingsprofiel, d.w.z. in de hartlijn A-A. van de lengteboring 2. Ook in dit geval vindt de verwarming van de twee meetweerstanden plaats door een direkte stroomdoorgang, en is ook de brugschakeling 19 gelijk aan die volgens figuur 3. Zonder een massastroom (m=0) is . eveneens de meetspanning 10 O gelijk aan 0. Door een massastroom wordt dan de stroomafwaarts liggende meetweerstand 12a afgekoeld, waarbij de stroomopwaarts liggende meetweerstand 12b door het warmtetransport aanvullend wordt opgewarmd.

De daaruit voortvloeiende weerstandsverandering kan eveneens via de meetbrug 19 en het aanwijstoestal 20 worden aangewezen. In dit geval 15 wordt bij een stromingsomkeer overigens ook het teken van de weerstandsverandering veranderd, d.w.z. dat in het gebied van het negatieve deel van de X-as ook een negatieve meetspanning wordt opgewekt. In dit geval is alleen het rechtlijnige gebied volgens figuur 6,te gebruiken, die laat zien, dat de karakteristiek behalve het rechtlijnige gebied, een 20 maximum en een minimum heeft, zodat hier een dubbelzinnigheid van de meetspanning is gegeven. Anderzijds kan het onderkennen van de stro-mingsrichting van belang zijn voor bepaalde toepassingsgevallen, zodat ook deze inrichting voordelen heeft. De stijging van de karakteristiek in het rechtlijnige gebied x, kan door de axiale afstand D van de 25 meetweerstanden 12a en 12b worden veranderd.

Bij het uitvoeringsvoorbeeld volgens figuur 7 zijn eveneens twee meetweerstanden 12 a en 12b aangebracht in het gebied van de hartlijn A-A van de lengteboring 2, d.w.z. in het stromingsprofiel,die echter niet worden verwarmd door een stroomdoorgang. Tussen de meetweerstanden 30 12a en 12b bevindt zich op een afstand D/2 en eveneens in de hartlijn A-A een derde meetweerstand 12c, waarvan de constructie gelijk is aan die van de meetweerstanden 12a en 12b. De meetweerstand 12c wordt in dit geval echter uitsluitend benut als verwarmingselement, d.w.z. door een direkte stroomdoorgang opgewarmd. Zolang geen massastroom plaatsvindt, 35 krijgen de twee meetweerstanden 12a en 12b dezelfde warmtehoeveelheid, en is de aanwijzing 0. In het geval van een massastroom. wordt de stroom- S 4 0 0 0 1 2 -9- « Λ opwaarts liggende meetweerstand 12a afgekoeld en wordt de stroomafwaarts liggende meetweerstand 12b opgewarmd door het warmtetransport, waardoor een ontstemming ontstaat van de meetbrug 19 en een aanwijzing op het aanwijstoestel 20.

5 Ook bij de inrichting volgens figuur 7 ontstaat een karak teristiek, die is afgeheeld in figuur 8 en sterk lijkt op die volgens figuur 6. Te zien is, dat enerzijds de stromingsrichting kan worden bepaald, maar anderzijds buiten het rechtlijnige gebied een dubbelzinnigheid van de meetwaarden aanwezig is.

10 Als toepassingsgebied komen in aanmerking de chemische industrie, alsmede de energievoorziening, waarbij het noodzakelijk is om massastromen van corrosieve media met een hoge temperatuur zo nauwkeurig mogelijk te registreren. Met m is de massastroom aangeduid, d.w.z. dm/dt.

8400012

Claims (8)

1. Thermische massastromingsmeter, in het bijzonder voor gassen, bestaande uit een stromingskanaal met althans twee aan het stromingsmedium blootgestelde, van de temperatuur afhankelijke meetweer-standen, waarvan er althans een is aangebracht in het stromingsprofiel, 5 en met althans een in het invloedgebied van de meetweerstanden aangebrachte warmtebron, alsmede uit een evaluatieschakeling voor het omzetten van de weerstandswaarden in met de stroming evenredige grootheden, met het kenmerk, dat de van de temperatuur afhankelijke meetweerstanden (12, 12a, 12b, 12c) bestaan uit een dunne weerstandslaag (13), die is 10 aangebracht op een keramisch isolatielichaam (14), dat met de dunne weerstandslaag via een glassoldeer (11) is verbonden met een keramisch steunlichaam (6), dat via een glassoldeer (10) indirekt of direkt afge-dicht is verbonden met het stromingskanaal,(1).

2. Meter volgens conclusie 1, met het kenmerk,dat het 15 steunlichaam (6) een keramische buis met een vlak voorvlak (9) is, waarbij de dunne weerstandslaag (13) bij het naar buiten gericht zijn van het isolatielichaam (14) via het glassoldeer (11) zodanig is gesol-, deerd aan het voorvlak, dat het glassoldeer de afstand tussen de dunne weerstandslaag en het voorvlak volledig opvult.

3. Meter volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het steunlichaam (6) een keramische buis met een vlak voorvlak (9) is, waarbij het isolatielichaam (14) bij het naar buiten gericht zijn van de dunne weerstandslaag (13) via het glassoldeer (11) is verbonden met het voorvlak.

4. Meter volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat twee meet weerstanden (12a, 12b) zijn voorzien, waarvan de ene (12a) is aangebracht in het stromingsprofiel en de andere (12b) buiten het stromingsprofiel in een blind gat (18) van het stromingskanaal. (1), welke twee meetweerstanden door een direkte stroomdoorgang kunnen worden verwarmd.

5. Meter volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat twee meetweerstanden (12a, 12b) zijn voorzien, die beide zijn aangebracht in het stromingsprofiel van het stromingskanaal (1), welke twee meetweerstanden door een direkte stroomdoorgang kunnen worden verwarmd.

6. Meter volgens conclusie 1, met hetkenmerk, dat drie 35 meetweerstanden (12a, 12b, 12c) in een rij zijn voorzien en alle zijn aangebracht in het stromingsprofiel van het stromingskanaal (1), waarbij 8400012 4 ♦ * ‘ -ti de middelste meetweerstand (12c) door een direkte stroomdoorgang kan worden verwarmd.

7. Meter volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat als glassoldeer een loodboraatglas wordt gebruikt met een uitzettings- —6 o 5 coefficient <*20^./C .

8. Meter volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het stromingskanaal (1) bestaat uit een metaal uit de groep van nikkel, sterk nikkel bevattende legeringen, tantalium en titaan in een massieve uitvoering. 10 8400012