CH663844A5

CH663844A5 - Thermischer massendurchflussmesser, insbesondere fuer gase.

Info

Publication number: CH663844A5
Application number: CH6809/83A
Authority: CH
Inventors: Gerhard Wiegleb; Helmut Heimel; Rudi Roess; Albert Randow
Original assignee: Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg
Priority date: 1983-01-22
Filing date: 1983-12-21
Publication date: 1988-01-15
Also published as: DE3302080A1; US4972708A; JPH0368325B2; GB8400675D0; FR2539869A1; GB2134266A; JPS59182315A; GB2134266B; FR2539869B1; NL8400012A

Description

BESCHREIBUNG Die Erfindung betrifft einen thermischen Massendurchflussmesser, insbesondere für Gase, bestehend aus einem Strömungskanal mit mindestens zwei dem Strömungsmedium auszusetzenden temperaturabhängigen Messwiderständen, von denen mindestens einer im Strömungsprofil angeordnet ist, mit mindestens einer im Einflussbereich der Messwiderstände angeordneten Wärmequelle sowie aus einer Auswerteschaltung für die Umsetzung der Widerstandswerte in durchflussproportionale Grössen.

Das Messprinzip derartiger Massendurchflussmesser kann auch als «Anemometer-Prinzip» bezeichnet werden. Dieses Messprinzip wurde jedoch bisher ausschliesslich für die Messung von Strömungsgeschwindigkeiten in praktisch reinen Gasen und bei niedrigen Gastemperaturen angewandt.

Durch den Aufsatz «Reverse flow sensing hot wire anemo-meter», veröffentlicht in Journal of Physics and Scientific Instruments, Vol. 5, August/September 1972, Seiten 849 bis 852 ist ein derartiges Anemometer bekannt, bei dem zwei dünne Drähte mit temperaturabhängigem Widerstand in Strömungsrichtung beiderseits eines Hitzdrahts ausgespannt sind. Bei ruhendem Gas heizen sich beide Messwiderstände unter dem Einfluss des Hitzdrahts gleichmässig auf, so dass die Anzeige Null ist. Dieser Stabilitätszustand ändert sich aber mit Einsetzen der Gasströmung. Das Messprinzip beruht darauf, dass der stromaufwärts gelegene Messwiderstand durch die Gaströmung relativ abgekühlt, der stromabwärts liegende Messwiderstand jedoch zusätzlich durch den Wärmetransport vom Hitzdraht aufgeheizt wird. Die Widerstandsdifferenz lässt sich in einer Auswerteschaltung in eine der Strömungsgeschwindigkeit proportionale Grösse umsetzen. In der Regel wird hierfür eine Brückenschaltung verwendet, deren Einzelheiten gleichfalls in dem genannten Aufsatz beschrieben sind.

Durch die US-PS 2 645 117 ist die Anwendung des Anemo-meter-Prinzips für Leckmessungen bekannt. Zwei dünne, durch direkten Stromdurchgang beheizte Drähte mit temperaturabhängigem Widerstand befinden sich in verschiedenen Kammern eines Messblocks. Die eine Kammer wird von der zu messenden Gasströmung beaufschlagt, während in der anderen Kammer zur Bestimmung eines Referenzwertes eine ruhende Gasatmosphäre vorliegt. Auch hier dient die Verstimmung einer Brückenschaltung zur Erzeugung eines Mess- oder Anzeigewertes. Durch die US-PS 2 509 889 ist ein Differential-Höhenmesser für Flugzeuge bekannt, der nach dem Anemometer-Prinzip arbeitet und in Strömungsrichtung beiderseits eines Heizwiderstandes-zwei Thermistoren besitzt, deren Temperaturpegel sich im Falle einer Strömungsbeaufschlagung gegenüber dem Beharrungszustand verschieben. Auch hier wird mittels einer Brückenschaltung aus der Differenz der Widerstandswerte die Strömungsgeschwindigkeit bestimmt.

Es ist auch bekannt, anstelle der Messwiderstände bzw. Thermistoren Thermoelemente zu verwenden (DE-AS 2052 645).

Sämtlichen bisher bekannten Anemometern haftete jedoch der Mangel an, dass sie nur in einer sehr reinen oder wenigstens annähernd reinen Gasatmosphäre bei verhältnismässig niedrigen Temperaturen (z.B. Umgebungsluft) verwendet werden konnten, da andernfalls eine rasche Zerstörung eintrat.

Soweit Durchflussmesser für hohe Temperaturen (oberhalb 500 K) und für stark korrosive Gase (Säuredämpfe, Chlorgas etc.) benötigt wurden, hat man sich bisher mit sogenannten Schwebekörper-Durchflussmessern beholfen. Diese bestehen aus einem innen schwach konischen Rohr, in denen ein spindelförmiger Schwebekörper durch das strömende Gas getragen wird. Je nach der Höhenlage des Schwebekörpers wird infolge der Konizität des Rohres ein mehr oder weniger grosser Ringspalt freigegeben, so dass die Höhenlage des Schwebekörpers ein Mass für die Durchflussmenge ist. Während derartige Durchflussmesser eine ausreichend genaue optische Anzeige ermöglichen, ist die Gewinnung

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von elektrischen Signalen problematisch, die dem Durch-fluss proportional sind. Die bekannten Durchflussmesser dieser Art sind daher lediglich mit Grenzwertkontakten auf optischer oder induktiver Basis ausgestattet.

Durchflussmesser, die nach dem Doppler-Prinzip (optisch oder akustisch) aufgebaut sind, machen in der Regel einen sehr hohen Aufwand im Hinblick auf die erforderliche elektronische Signalverarbeitung erforderlich, so dass sie wegen des damit verbundenen hohen Kostenaufwandes nur für Spe-zialmessungen verwendet werden, beispielsweise für Laser-Dopplermessungen in Flammen.

Es hat daher naturgemäss nicht an Versuchen gefehlt, das Anemometer-Prinzip auch für die Messung von Massendurchflüssen bei korrosiven Gasen und/oder Gasen hoher Temperatur einzusetzen.

So ist es beispielsweise durch eine Firmenschrift der Firma Brooks (USA) mit dem Titel «Thermal Mass Flow Meters» bekannt, einen Strömungskanal in seinem mittleren Bereich mit einem Heizwiderstand und in Strömungsrichtung beiderseits dieses Heizwiderstandes mit zwei Messwiderständen zu umwickeln. Speziell für die Messung korrosiver Gase werden mit dem Gas in Berührung kommende Oberflächen entweder aus nichtrostendem Stahl oder einem entsprechend resistenten Kunststoff ausgeführt. Bei ruhendem Gas fliesst die Wärme vom Heizwiderstand in gleicher Menge zu beiden Messwiderständen, so dass dort gleiche Temperaturen anzutreffen sind. Mit zunehmender Strömungsgeschwindigkeit wird jedoch der Kanal im Bereich des stromaufwärts gelegenen Messwiderstandes abgekühlt und im Bereich des stromabwärts gelegenen Messwiderstandes zusätzlich aufgeheizt. Die Differenz der Widerstandswerte ist auch hier ein Mass für den Massenstrom.

Obwohl in der genannten Firmenschrift von einem flinken Ansprechen die Rede ist, reagiert die bekannte Vorrichtung für eine Vielzahl von Anwendungsfällen dennoch erheblich zu träge, was sich durch die Wärmeträgheit des Strömungskanals einerseits und die schlechten Wärmeübergangswerte in Richtung auf die Messwiderstände andererseits erklärt. Hierbei ist zu beachten, dass sämtliche elektrische Teile relativ zueinander elektrisch isoliert sein müssen, und leider sind gute elektrische Isolatoren in der Regel auch gute Wärmeisolatoren, d.h. schlechte Wärmeleiter. Durch die unvermeidbaren hohen Temperaturgradienten ist die bekannte Vorrichtung auch nur für die Anwendung bei relativ niedrigen Temperaturen (angegeben ist Raumtemperatur) geeignet.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Massendurchflussmesser nach dem Anemometerprinzip anzugeben, der bei flinkem Ansprechen auf unterschiedliche Massenströme und -temperaturen gegenüber agressiven Gasen und/oder Gasen mit hoher Temperatur beständig ist.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs beschriebenen Massendurchflussmesser erfindungsge-mäss durch folgende Merkmale:

a) Die temperaturabhängigen Messwiderstände bestehen aus einem Dünnschichtwiderstand, der auf einem keramischen Isolierkörper angeordnet ist,

b) der Dünnschichtwiderstand mit dem Isolierkörper ist über ein Glaslot mit einem keramischen Stützkörper verbunden, und c) der Stützkörper ist seinerseits mittelbar oder unmittelbar über ein Glaslot mit dem Strömungskanal abgedichtet verbunden.

Durch die erfindungsgemässen Merkmale wird ein Massendurchflussmesser erreicht, der dem zu messenden Medium soweit wie irgend möglich ausgesetzt ist, ohne dass die eigentliche Widerstandsschicht jedoch dem gegebenenfalls agressiven Medium direkt ausgesetzt ist. Sie wird auf der einen Seite durch den keramischen Isolierkörper geschützt, auf dem sie aufgebracht ist, auf der anderen Seite durch das Glaslot, durch das der Dünnschichtwiderstand mit dem keramischen Stützkörper verbunden ist. Sowohl der keramische Isolierkörper als auch das Glaslot sind ausreichend dünn bzw. haben eine ausreichende Wärmeleitfähigkeit, so dass die Zeitkonstante des Messwiderstandes ausreichend kurz ist.

Sofern nur einer der Messwiderstände im Strömungsprofil angeordnet ist, handelt es sich um denjenigen, der das eigentliche Messsignal liefert. Randeinflüsse des Strömungskanals, insbesondere durch dessen Wärmeträgheit, werden vollständig ausgeschaltet. Der keramische Stützkörper verhindert seinerseits eine merkliche Beeinflussung der Messung durch Wärmeleitung von der Aussenseite des Strömungskanals her. Auch dieser Stützkörper ist über ein Glaslot mit dem Strömungskanal abgedichtet verbunden, so dass eine hinreichende thermische und elektrische Isolation bei hoher Korrosionsbeständigkeit gewährleistet ist. Die Verbindung kann dabei mittelbar oder unmittelbar erfolgen, d.h. der keramische Stützkörper kann über das Glaslot mit einem hohlen Schraubstopfen verbunden sein, der in den Strömungskanal eingesetzt ist, oder aber der Stützkörper kann unmittelbar über das Glaslot mit der Wandung des Strömungskanals verbunden sein.

Dünnschicht-Messwiderstände, die an sich zur Temperaturmessung durchaus bekannt sind, wurden für Anemometer bzw. Massendurchflussmessungen bisher nicht verwendet; insbesondere wurden sie nicht durch direkten Stromdurchgang auf eine Temperatur aufgeheizt, die die Grundlage des Anemometer-Prinzips bildet.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des Erfindungsgegenstandes ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen ; die hinsichtlich der verschiedenen Ausführungsformen etwas zu differenzierenden Vorteile werden anhand der Kennlinien in der Detailbeschreibung näher erläutert.

Hier sei nur noch so viel gesagt, dass es hinsichtlich der Verbindung mit dem Glaslot zwei wesentliche Alternativen gibt. Einmal kann gemäss Anspruch 2 der Dünnsehicht-widerstand bei nach aussen weisendem Isolierkörper über das Glaslot mit der Stirnfläche des Stützkörpers verlötet sein, so dass der Dünnschichtwiderstand durch den Isolierkörper vollständig abgedeckt und geschützt ist, während der Schutz nach den Seiten hin von dem Glaslot übernommen wird.

Eine solche Möglichkeit ist in Fig. 1 dargestellt. Alternativ kann der Isolierkörper bei nach aussen weisendem Dünnschichtwiderstand über das Glaslot mit der Stirnfläche des Keramikrohrs verbunden sein, wobei zum Schutz des Dünnschichtwiderstandes das auch diesen benetzende Glaslot dient. Eine solche Möglichkeit ist Gegenstand von. Patentanspruch 3 und Fig. 2.

Ausführungsbeispiele und Variationsmöglichkeiten des Erfindungsgegenstandes werden nachfolgend anhand der Fig. 1 bis 8 näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 und 2 unterschiedliche Ausbildungen des Messfühlers selbst im Hinblick auf die Anordnung des keramischen Isolierkörpers mit dem Dünnschichtwiderstand gegenüber dem Stützkörper,

Fig. 3,5 und 7 unterschiedliche Einbaumöglichkeiten der Messfühler nach den Fig. 1 und 2 in einen Strömungskanal und

Fig. 4,6 und 8 Kennlinien der Messanordnungen nach den Fig. 3,5 und 7.

In Fig. 1 ist ein Wandausschnitt aus einem Strömungskanal 1 dargestellt, der gemäss den Fig. 3,5 und 7 als zylindrischer Rohrabschnitt mit einer Längsbohrung 2 und einer Achse A-A ausgeführt ist, so dass das Maximum der Strömungsgeschwindigkeit in der Achse A-A liegt. Die Längs5

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bohrung 2 ist an beiden Enden mit Anschlussgewinden 3 für entsprechende Rohranschlüsse versehen. Die Strömungsrichtung ist in den Fig. 3,5 und 7 mit dem mit «m» bezeichneten Pfeil versehen, wobei «m» für den Massenstrom steht. Als Werkstoff für den Strömungskanal wird ein Metall aus der Gruppe Nickel, hoch-nickelhaltige Legierungen ( = Hastelloy C ; Monel), Tantal und Titan ausgewählt und der Strömungskanal bevorzugt in Massivausführung hergestellt.

Im Strömungskanal 1 befindet sich eine radiale Bohrung 4 mit einer stufenförmigen Eindrehung 5, deren Funktion nachfolgend noch näher beschrieben wird. In die Bohrung 4 ist ein Stützkörper 6 mit einer zylindrischen Aussenfläche 7 und zwei zu seiner Achse senkrecht stehenden ebenen Stirnflächen 8 und 9 eingesetzt, der aus einem beständigen keramischen Werkstoff besteht, beispielsweise aus technischem Porzellan. Die Aussenfläche 7 ist im Bereich der Eindrehung 5 über ein Glaslot 10 mit dem Strömungskanal 1 verbunden, und die innere Stirnfläche 9 ist gleichfalls über ein Glaslot 11 mit einem Messwiderstand 12 verbunden, der aus einem Dünnschichtwiderstand 13 und einem keramischen Isolierkörper 14 besteht, auf den der Dünnschichtwiderstand 13 unlösbar durch eines der üblichen Beschichtungsverfahren (Vakuumaufdampfen, Katodenzerstäuben) zuvor aufgebracht worden ist. Der Dünnschichtwiderstand besteht dabei aus Platin, wobei der Isolierkörper Heine Fläche von etwa 4 mm2 besitzt. Zum Dünnschichtwiderstand 13 führen zwei elektrische Leitungen 15, die durch entsprechende, nicht näher bezeichnete achsparallele Bohrungen im Stützkörper 6 hindurchgeführt sind. Die Leitungen 15 führen zu Anschlussklemmen 16 und 17, so dass der Dünnschichtwiderstand 13 in den Zweig einer Messbrücke eingeschaltet werden kann.

Der Messwiderstand 12 liegt im Bereich der Achse A-A und hat einen Abstand von der inneren Stirnfläche 9, der etwa 2 mm beträgt, aber weitgehend unkritisch ist. Dieser Abstand ist unter guter Benetzung sowohl des Messwiderstands 12 als auch der Stirnfläche 9 mit dem bereits beschriebenen Glaslot 11 ausgefüllt, so dass der Dünnschichtwiderstand 13 allseitig durch keramisches bzw. mineralisches Material geschützt ist. In Wirklichkeit dringt das Glaslot etwas in die achsparallelen Bohrungen des Stützkörpers 6 ein, was hier jedoch der Einfachheithalber nicht dargestellt ist.

Als Glaslot wird bevorzugt ein Bleiboratglas der Firma Schott Glaswerke in Mainz (Bundesrepublik Deutschland) verwendet, welches unter der Glas-Nummer 84 72 im Handel erhältlich ist und mit den zu verbindenden Teilen eine ausgezeichnet wärmebeständige Verbindung eingeht. Die Löttemperatur liegt bei 410°C; die Dauerbeständigkeit bei einer Temperatur von ca. 300°C.

In Fig. 2 sind gleiche Teile wie in Fig. 1 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Der Messwiderstand 12 ist hier jedoch in Hochkant-Anordnung ausgeführt, d.h. der Dünnschichtwiderstand 13 ist auf einer schmalen Stirnseite des Isolierkörpers 14 angeordnet, und dieser stösst unmittelbar an die Stirnfläche 9 des Stützkörpers 6 an. Das Glaslot 11 (gleicher Beschaffenheit) überzieht hier unter guter Benetzung die gesamten freien Flächen des Messwiderstands 12, also einschliesslich des Dünnschichtwiderstandes 13. Dadurch wird der Dünnschichtwiderstand 13 noch unmittelbarer dem zu messenden strömenden Medium ausgesetzt als bei dem Gegenstand von Fig. 1, wobei gleichzeitig der Wär-meeinfluss über den Stützkörper 6 noch weiter zurückgedrängt wird.

In Fig. 3 sind im axialen Abstand «D» zwei Messwider-stände 12a und 12b angeordnet, von denen der eine (12a) im Strömungsprofil (bevorzugt im Bereich der Achse A-A) und der andere (12b) in einem Sackloch 18 ausserhalb des Strömungsprofils angeordnet ist. Dadurch wird der Messwiderstand 12a der Strömung und der Temperatur des strömenden Mediums ausgesetzt, während der Messwiderstand 12b nur derTemperatur des Mediums ausgesetzt ist. Der Messwiderstand 12b «sieht» gewissermassen die Temperatur des Messmediums. Beide Messwiderstände werden durch eine konstante Brückenspannung Ußr auf eine definierte Temperatur Ti aufgeheizt. Ohne einen Massenstrom (m = 0) nehmen beide Fühler die gleiche Temperatur und damit auch gleiche Widerstände an, so dass die Differenz der Brückenspannung AUßr ebenfalls 0 ist. Durch eine Strömung ändert sich nun die Temperatur des Messwiderstandes 12a, der sich in der Strömung befindet, während der Messwiderstand 12b aufgrund seiner Unterbringung in einem Sackloch seine Temperatur beibehält. Die dadurch erfolgende Verstimmung einer Messbrücke 19 steht in einem proportionalen Zusammenhang mit dem Massenstrom m und lässt sich mittels eines Anzeigegeräts 20 anzeigen.

In Fig. 4 ist die Kennlinie der Anordnung nach Fig. 3 dargestellt, und zwar für beide Strömungsrichtungen. Der positive Teil der Abszisse steht für die in Fig. 3 durch den Pfeil «m» angegebene Strömungsrichtung, während der negative Teil der Abszisse «-m» für die umgekehrte Strömungsrichtung (Strömungsumkehr) steht. Es ist einerseits erkennbar, dass die Differenz der Brückenspannung ÄUBr die Strömungsrichtung nichterkennen lässt. Andererseits werden (im Gegensatz zu den Kennlinien nach den Fig. 6 und 8) völlig eindeutige Kennlinien erhalten, die keine Maxima oder Minima aufweisen, so dass sich stets ein eindeutiger Massenstrom bestimmen lässt. Der lineare Bereich ist durch «x» gekennzeichnet; er wird für die üblichen Messungen in der Regel verwendet. Es ist allerdings durch eine Mikroprozessorsteuerung möglich, Korrekturwerte für den nichtlinearen Teil der Kennlinien einzuspeisen, so dass auch dieser Teil der Kennlinien noch für Messzwecke verwendet werden kann, beispielsweise im Hochgeschwindigkeitsbereich.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 5 sind beide Messwiderstände 12a und 12b im Strömungsprofil, d.h. in der Achse A-A der Längsbohrung 2 angeordnet. Auch in diesen Fällen geschieht die Beheizung beider Messwiderstände durch direkten Stromdurchgang, und auch die Brük-kenschaltung 19 ist mit derjenigen nach Fig. 3 identisch. Ohne einen Massenstrom (m = 0) ist die Messspannung AUßr ebenfalls 0. Durch einen Massenstrom wird nun der stromaufwärts liegende Messwiderstand 12a abgekühlt, während der stromabwärts liegende Messwiderstand 12b durch den Wärmetransport zusätzlich aufgeheizt wird. Die sich daraus ergebende Widerstandsänderung lässt sich ebenfalls über die Messbrücke 19 und das Anzeigegerät 20 zur Anzeige bringen. In diesem Fall ändert allerdings bei einer Strömungsumkehr auch die Widerstandsänderung ihr Vorzeichen, d.h. im Bereich des negativen Teils der Abszisse wird auch eine negative Messspannung erzeugt. Verwendbar ist in diesem Falle nur der lineare Bereich gemäss Fig. 6, die erkennen lässt, dass die Kennlinie ausserhalb des linearen Bereichs ein Maximum und ein Minimum aufweist, so dass hier eine Doppeldeutigkeit der Messspannung gegeben ist. Andererseits kann die Erkennung der Strömungsrichtung für bestimmte Anwendungsfälle wichtig sein, so dass auch diese Anordnung ihre Vorteile besitzt. Die Steigung der Kennlinie im linearen Bereich «x» lässt sich durch den axialen Abstand «D» der Messwiderstände 12a und 12b variieren.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 7 sind gleichfalls zwei Messwiderstände 12a und 12b im Bereich der Achse A-A der Längsbohrung 2, d.h. im Strömungsprofil s

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angeordnet, sie sind jedoch nicht durch Stromdurchgang beheizt. Zwischen den Messwiderständen I2a und 12b befindet sich im Abstand D/2 und gleichfalls in der Achse A-A ein dritter Messwiderstand 12c, dessen Aufbau mit demjenigen der Messwiderstände 12a und 12b identisch ist. Der Messwiderstand 12c wird jedoch in diesem Fall ausschliesslich als Heizelement benutzt, d.h. durch direkten Stromdurchgang aufgeheizt. Solange ein Massenstrom nicht fliesst, erhalten beide Messwiderstände 12a und 12b die gleiche Wärmemenge, und die Anzeige ist 0. Im Falle eines Massenstroms wird der stromaufwärtsliegende Messwiderstand 12a abgekühlt, und der stromabwärtsliegende Messwiderstand 12b wird durch den Wärmetransport aufgeheizt,

wodurch sich eine Verstimmung der Messbrücke 19 und eine Anzeige am Anzeigegerät 20 ergibt.

Auch bei der Anordnung gemäss Fig. 7 ergibt sich eine Kennlinie, die in Fig. 8 dargestellt und derjenigen gemäss s Fig. 6 weitgehend ähnlich ist. Es ist erkennbar, dass einerseits die Strömungsrichtung bestimmbar ist, andererseits aber ausserhalb des linearen Bereichs eine Doppeldeutigkeit der Messwerte vorliegt.

Als Anwendungsgebiet kommen in Frage die chemische l» Industrie sowie die Energieversorgung, bei denen es erforderlich ist, Massenströme korrosiver Medien hoher Temperatur so genau wie möglich zu erfassen. Mit «m» ist der Massenstrom bezeichnet, d.h. dm/dt.

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2 Blatt Zeichnungen

Claims

663844 PATENTANSPRÜCH E

1. Thermischer Massendurchflussmesser, insbesondere für Gase, bestehend aus einem Strömungskanal mit mindestens zwei dem Strömungsmedium auszusetzenden temperaturabhängigen Messwiderständen, von denen mindestens einer im Strömungsprofil angeordnet ist, mit mindestens einer im Einflussbereich der Messwiderstände angeordneten Wärmequelle, sowie aus einer Auswerteschaltung für die Umsetzung der Widerstandswerte in durchflussproportionale Grössen, dadurch gekennzeichnet, dass a) die temperaturabhängigen Messwiderstände(12,12a, 12b, 12c) aus einem Dünnschichtwiderstand (13) bestehen, der auf einem keramischen Isolierkörper (14) angeordnet ist,

b) der Dünnschichtwiderstand (13) mit Isolierkörper (14) über ein Glaslot (11) mit einem keramischen Stützkörper (6) verbunden ist und c) der Stützkörper (6) seinerseits mittelbar oder unmittelbar über ein Glaslot (10) mit dem Strömungskanal (1) abgedichtet verbunden ist.

2. Thermischer Massendurchflussmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stützkörper (6) ein Keramikrohr mit ebener Stirnfläche (9) ist und dass der Dünnschichtwiderstand (13) bei nach aussen weisendem Isolierkörper ( 14) über das Glaslot (11) mit der Stirnfläche (9) verlötet ist, derart, dass das Glaslot den Abstand zwischen Dünnschichtwiderstand und Stirnfläche vollständig ausfüllt.

3. Thermischer Massendurchflussmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stützkörper (6) ein Keramikrohr mit ebener Stirnfläche (9) ist und dass der Isolierkörper (14) bei nach aussen weisendem Dünnschichtwiderstand (13) über das Glaslot (11) mit der Stirnfläche verbunden ist.

4. Thermischer Massendurchflussmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Messwiderstände (12a, 12b) vorgesehen sind, von denen der eine (12a) im Strömungsprofil und der andere (12b) ausserhalb des Strömungsprofils in einem Sackloch ( 18) des Strömungskanals (1) angeordnet ist und dass beide Messwiderstände (12a, 12b) durch direkten Stromdurchgang beheizbar sind.

5. Thermischer Massendurchflussmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Messwiderstände (12a, 12b) vorgesehen sind, die beide im Strömungsprofil des Strömungskanals (1) angeordnet sind, und dass beide Messwiderstände ( 12a, 12b) durch direkten Stromdurchgang beheizbar sind.

6. Thermischer Massendurchflussmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass drei Messwiderstände (12a, 12b, 12c) in einer Reihe vorgesehen sind, die sämtlich im Strömungsprofil des Strömungskanals (1) angeordnet sind, und dass der mittlere Messwiderstand (12c) durch direkten Stromdurchgang beheizbar ist.

7. Thermischer Massendurchflussmesser nach Anspruch

I, dadurch gekennzeichnet, dass als Glaslot ein Bleiboratglas mit einem Ausdehnungskoeffizienten <X2o/3oo = 12,0» 19~6/C° Verwendung findet.

8. Thermischer Massendurchflussmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Strömungskanal ( 1 ) aus einem Metall aus der Gruppe Nickel, hoch-nickelhaltige Legierungen, Tantal und Titan in Massivausführung besteht.