DE3242856A1 - Verfahren zum festklemmen und kuehlen eines halbleiterplaettchens waehrend seiner bearbeitung - Google Patents

Verfahren zum festklemmen und kuehlen eines halbleiterplaettchens waehrend seiner bearbeitung

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DE3242856A1
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Robert Billings Bramhall jun.
Norman Leonard Gloucester Mass. Turner
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    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
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    • H—ELECTRICITY
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