DE3229343C2

DE3229343C2 -

Info

Publication number: DE3229343C2
Application number: DE19823229343
Authority: DE
Inventors: Rainer Dipl.-Ing. Hankel; Minh-Chanh Dipl.-Ing. Pham; Sieghart Ing.(Grad.) 1000 Berlin De Peuser
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Corrsys Datron Sensorsysteme GmbH
Priority date: 1981-12-15
Filing date: 1982-08-06
Publication date: 1993-04-29
Also published as: DE3229343A1

Description

Die Erfindung geht von einem Sensor nach der Gattung des Anspruchs 1 aus.

Stand der Technik

Es ist eine derartige Vorrichtung bekannt (US-A 42 18 623), mit der Bewegungen eines optischen Abbildes festgestellt werden können. Die bekannte Vorrichtung enthält eine Reihe von lichtempfindlichen Elementen, die verschiedene Formen und Flächen aufweisen. Die Elemente sind in Gruppen aufgeteilt und in bestimmter Weise miteinander verbunden. Das Ausgangssignal der einzelnen Gruppen wird über einen Strom-Spannungswandler zu einer Modulationsschaltung geführt, in welcher eine Sinusspannung für die Modulation des Ausgangssignals erzeugt wird. Danach werden alle modulierten Signale addiert. Das durch die Addition erhaltene Signal wird über ein Bandpaßfilter an eine Schaltung weitergeleitet, in welcher die Phasendifferenz zwischen dieser Signalspannung und einer an den Ausgängen des Sinusgenerators liegenden Sinusspannung gemessen wird. Tritt eine größer werdende Phasendifferenz auf, so bedeutet dies nur, daß das optische Abbild sich von einer Seite zur anderen Seite des Sensors bewegt. Mit der bekannten Vorrichtung kann auch die Richtung der Bewegung ermittelt werden.

Es ist weiterhin eine Einrichtung zum berührungslosen Messen der Geschwindigkeit bekannt (DE-OS 24 50 439), bei der der von zwei um 90° zueinander versetzten Sensoren erfaßte Teil einer Bezugsfläche auf den Gitterebenen abgebildet wird, deren Struktur als Fotoempfänger ausgebildet ist. Aus den von den Fotoempfängern abgegebenen Frequenzspektren wird je eine bestimmte Mittenfrequenz abgeleitet, die ein Maß für die Geschwindigkeit und die Bewegungsrichtung ist. Die Bestimmung der Bewegungsrich tung ist jedoch nur in dem durch die gegenseitige Lage der beiden Sensoren gegebenen Quadranten des Koordinatensystems möglich. Das Meßergebnis ist somit mehrdeutig, wenn die Geschwindigkeitsvekto ren den gleichen Betrag haben, aber in entgegengesetzter Richtung verlaufen, wie zum Beispiel bei einem Kraftfahrzeug, das vorwärts und rückwärts fahren kann.

Die beiden vorstehend erläuterten bekannten Einrichtungen sind nicht für die Erfassung aller relevanten Bewegungen eines Kraftfahrzeuges geeignet.

Aufgabe der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sensor für Relativbewegungen von insbesondere Kraftfahrzeugen zu schaffen, mit dem folgende Größen ermittelt werden können:

- die augenblickliche Geschwindigkeit,
- der zurückgelegte Weg,
- die augenblickliche Fahrtrichtung,
- die Vorwärts- bzw. Rückwärtsrichtung des Sensors bzw. des Kraftfahrzeuges.

Lösung der Aufgabe

Die vorstehend beschriebene Aufgabe wird bei einem Sensor der eingangs genannten Art durch die im jeweiligen Kennzeichen des Anspruchs 1 bzw. 2 offenbarten Maßnahmen gelöst. Die Gitter können als ein monolithisch integriertes Bauteil realisiert werden, so daß, wenn zum Beispiel die Silizium- Planartechnik angewendet wird, eine Sensorfertigung als Serienfertigung bei hoher Präzision möglich ist.

Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines bekannten Sensors für Relativbewegungen,

Fig. 2 eine bekannte Fotoempfängerstruktur mit zwei kammförmigen, ineinander verschachtelten Gittern,

Fig. 3 eine erfindungsgemäße Fotoempfängerstruktur von vier kammförmigen, ineinander ver schachtelten Gittern,

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Sensors mit zwei Fotoempfängerstrukturen nach Fig. 3 zum Erfassen der Bewegung eines Fahrzeuges, und

Fig. 5 eine Alternative zu der Fotoempfänger-Anordnung gemäß Fig. 4.

Beschreibung der Erfindung

Bei der in Fig. 1 gezeigten prinzipiellen Darstellung eines Sensors für Relativbewegungen wird eine Bezugsfläche 10 über ein optisches System 11, das als optische Linse dargestellt ist, auf einem Gittersystem 12 abgebildet. Die Bezugsfläche muß eine statistische Struktur aufweisen, wie es beispiels weise bei einem Straßenbelag für erdgebundene Fahrzeuge oder bei der Erdoberfläche für ein Flugzeug der Fall ist. In der Gitter- bzw. Bildebene ist die Gitterstruktur 13 durch Fotoempfänger realisiert. Das durch diese gitterartig angeordneten Fotoempfänger erzeugte elektrische Signal weist neben niederfre quenten Änderungen eine Modulation auf, deren Frequenz in einem Zusammenhang mit der Geschwin digkeit der Bezugsfläche 10 relativ zum Sensor nach Fig. 1 steht. Es gilt die Beziehung:

f = (m · v)/G , (1)

wobei v die relative Geschwindigkeit zwischen Bezugsfläche 10 und Sensor 11, 12 in Metern pro Sekunde, G eine rasterabhängige Gitterkonstante in Metern, m der optische Abbildungsmaßstab, mit dem die Bezugsfläche 10 auf dem Gittersystem 12 abgebildet wird, und f die Frequenz des Geschwindigkeitssi gnals in 1/s bedeuten. Will man anstelle der Geschwindigkeit v den zurückgelegten Weg s bestimmen, so muß die Anzahl der Perioden des Geschwindigkeitssignals ermittelt werden.

Das Meßprinzip selbst und die Auswertung ist dem Fachmann durch den Stand der Technik hinreichend bekannt.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten bekannten monolithisch integrierten Gittersystem 12 ist auf einem Si- Substrat 14 vom ersten Leitungstyp (zum Beispiel n-leitend) eine Gitterstruktur 13 aufgebracht, die aus streifenförmigen Diffusionszonen vom zweiten Leitungstyp (zum Beispiel p-leitend) besteht. Somit bilden sich als Fotodioden geeignete p-n-Übergänge aus. Anstelle von Fotodioden können natürlich grundsätz lich auch Fototransistoren oder andere fotoelektrische Wandler eingesetzt werden. Über zwei streifenför mige Metallisierungen 15, 16 werden die streifenförmigen Diffusionszonen der Gitterstruktur 13 so miteinander verbunden, daß zwei ineinander verschachtelte, kammförmige Fotodiodenstrukturen entste hen, die eine Gitterkonstante G aufweisen, die gleich dem doppelten Abstand benachbarter Diffusionszo nen ist. Die elektrische Verbindung der Metallisierungen 15, 16 mit Gitterstruktur 13 ist durch Rechtecke 17 entsprechend den Kontaktfenstern im Oxid beim Silizium-Planarprozeß dargestellt. Da die Fotodioden in dieser Anordnung eine gemeinsame Elektrode - hier das Substrat 14 als Kathode - aufweisen, ist eine Subtraktion der Fotoströme zur Unterdrückung des Gleichlichtanteils durch Antiparallelschaltung nicht möglich. Der Strom der über die Metallisierung 15 verbundenen Dioden wird daher dem invertierenden Eingang eines Verstärkers 18 zugeführt, der über einen Widerstand 19 gegengekoppelt ist. Der nichtinvertierende Eingang des Verstärkers 18 liegt an Masse. Der Ausgang des Verstärkers 18 ist sowohl mit einer ersten Ausgangsklemme 20 als auch über einen Widerstand 21 mit dem invertierenden Eingang eines zweiten Verstärkers 22 verbunden, dem der Strom der über die Metallisierung 16 verbundenen Dioden zugeführt ist. Dieser zweite Verstärker 22 ist über einen Widerstand 23 gegengekop pelt. Der nichtinvertierende Eingang liegt an Masse. Der Ausgang ist mit einer zweiten Ausgangsklemme 24 verbunden.

Die beschriebene, bekannte Anordnung ermöglicht bei gleichzeitigem Kurzschlußbetrieb der Dioden der Gitterstruktur 13 die Subtraktion der Fotoströme. Durch diese Subtraktion wird der Anteil des Gleichlichtes unterdrückt und nur die aus dem Ortsspektrum gefilterte Komponente verstärkt. Der Betrag der Spannung am Ausgang des Verstärkers 18 ist - in Abhängigkeit von dem Widerstand 19 - direkt proportional zum Strom der mit der Metallisierung 15 verbundenen Dioden. Die mit der Metallisierung 16 verbundenen Dioden speisen den Strom in den invertierenden Eingang des Verstärkers 22 ein. Die Gegenkopplung der Verstärker 18, 22 bewirkt, daß die invertierenden Eingänge virtuell auf dem Potential Null gehalten werden. Die Verbindung des Ausgangs des Verstärkers 18 mit dem Eingang des Verstärkers 22 über den Widerstand 21 prägt daher dem Eingang des Verstärkers 22 einen Strom ein, der genau dem negativen Wert des Stroms der mit der Metallisierung 15 verbundenen Dioden entspricht, sofern die Widerstände 19, 21 gleich groß sind. Die Ausgangsspannung an der Klemme 24 ist somit - in Abhängigkeit von dem Widerstand 23 - proportional zur Differenz der Ströme aus den beiden Metallisierungen 15, 16. An der Ausgangsklemme 20 liegt, wie bereits erwähnt, das verstärkte Signal aus den mit der Metallisierung 15 verbundenen Dioden. Dieses Signal enthält noch den Gleichlichtanteil und kann beispielsweise zu Meßzwecken verwendet werden.

Es sei noch erwähnt, daß es beim Messen von Bewegungen erforderlich sein kann, bestimmte Kennungen, zum Beispiel Startinformationen zur Initialisierung des Auswertesystems, zu übermitteln. Werden diese Kennungen als kontrastreiche Muster, zum Beispiel helle Streifen auf dunklem Grund, die die Informationen in geeigneter Kodierung enthalten, auf die Bezugsfläche 10 aufgebracht, ist es beispielsweise mit der Anordnung gemäß Fig. 2 möglich, über das an der Ausgangsklemme 20 des Verstärkers 18 vorliegende Signal die Kennungen zu erfassen und nach entsprechender Signalverfor mung und Dekodierung in das Auswertesystem einzulesen.

In Fig. 3 ist ein Gittersystem 30 dargestellt, dessen Gitterstruktur 13 aus streifenförmigen Diffusions zonen besteht. Diese Diffusionszonen sind über vier streifenförmige Metallisierungen 31 bis 34 in der Weise miteinander verbunden, daß vier kammförmige, ineinander verschachtelte Gitter entstehen. Dies geschieht dadurch, daß versetzt jede vierte Diffusionszone der Gitterstruktur 13 mit einer Metallisierung verbunden ist. Die Verbindungspunkte sind in Fig. 3 durch Rechtecke 17 symbolisiert. Die Gitterkonstante G entspricht dem Abstand zwischen vier Diffusionszonen. Die Metallisierungen 31 und 33 sind mit einer ersten Subtrahierstufe 35 und die Metallisierungen 32 und 34 mit einer zweiten Subtrahierstufe 36 verbunden, wodurch wie bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 die entsprechenden Fotodiodenströme subtrahiert werden. Dabei können die Subtrahierstufen 35 und 36 entsprechend der Schaltung nach Fig. 2 aufgebaut sein. Die beiden Ausgangsfrequenzen f und f′ der Subtrahierstufen 35 und 36 sind zueinander phasenversetzt und werden einer Phasendifferenz-Meßstufe 37 zugeführt. Durch die Phasendifferenz zwischen den Ausgangsfrequenzen f und f′ kann festgestellt werden, ob die Bewegung des optischen Abbildes der Bezugsfläche 10 (Fig. 1) von links nach rechts oder von rechts nach links bezüglich des Gittersystems 30 erfolgt ist.

Soll eine zweidimensionale Bewegung eines Landfahrzeuges erfaßt werden, so werden gemäß Fig. 4 zwei Gittersysteme 40, 41, die den gleichen Aufbau wie das Gittersystem 30 nach Fig. 3 haben einschließlich ihrer Stufen 35, 36, 37, derart zu einem Sensor 42 vereinigt, daß ihre Symmetrieachsen 43 und 44 einen Winkel 2α einschließen, wobei α der Winkel zwischen einer Symmetrieachse 45 des Sensors 42 und je einer Symmetrieachse 43, 44 der Gittersysteme liegt.

Eine weitere Möglichkeit zur Erfassung des Bewegungsvektors zeigt der Sensor 50 nach Fig. 5. Dazu werden zwei mit ihren Symmetrieachsen 53, 54 um 90° zueinander versetzte Gittersysteme 51, 52 nebeneinander angeordnet. Der Bewegungswinkel β ist dabei der Winkel zwischen der Symmetrieachse 55 des Sensor 50 und dem Bewegungsvektor , der durch das Zentrum des in der Fig. 5 dargestellten unteren Gittersystems 52 führt. Die Ausgangssignale sind vom oberen Gittersystem 51:

f₁ = (m/G) v · cos β und sign (v · cos β)

vom unteren Gittersystem 52:

f₂ = (m/G) v · sin β und sign (v · sin β) .

Durch Auflösen der Gleichungen lassen sich wiederum die erforderlichen Größen zur eindeutigen Festlegung der zweidimensionalen Bewegung errechnen.

Claims

1. Sensor für Relativbewegungen zu einer Bezugsfläche (10), wobei der jeweils erfaßte Teil der Bezugsfläche auf einem Gittersystem (30) aus kammförmigen, ineinander verschachtelten fotoelektri schen Gittern abgebildet und erfaßt wird, welches mit einer Vorrichtung (37) zur Messung der Phasendifferenz zwischen einem von dem Gittersystem abgeleiteten ersten Signal und einem zweiten Signal verbunden ist, und wobei von dem Ausgangssignal der Vorrichtung (37) ein Bewegungsvektor abgeleitet wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwei aus je vier kammförmigen Gittern (13, 31 . . . 34) bestehende Gittersysteme (40, 41) vorgesehen sind, die um einen festlegbaren Winkel 2α zueinander versetzt angeordnet sind, wobei α der Winkel zwischen der Symmetrieachse (45) des Sensors (42) und der Symmetrieachse (43, 44) des jeweiligen Gittersystems (40, 41) ist, daß das erste und dritte Gitter eines jeden Gittersystems mit einer dritten Subtrahierstufe (35) und das zweite und vierte Gitter eines jeden Gittersystems mit einer zweiten Subtrahierstufe (35) verbunden sind, daß je zwei mit einem Gittersystem verbundene Subtrahierstufen (35, 36) mit den Eingängen je einer Vorrichtung (37) verbunden sind und jeweils das erste und zweite Signal liefern, und daß die Ausgangssignale der beiden Vorrichtungen (37) und die Frequenzen der Ausgangssignale der Subtrahierstufen (35, 36) zur Berechnung des Betrages und des Winkels des Geschwindigkeitsvektors und des zurückgelegten Weges bei der Relativbewegung dienen.

2. Sensor für Relativbewegungen zu einer Bezugsfläche (10), wobei der jeweils erfaßte Teil der Bezugsfläche auf einem Gittersystem (30) aus kammförmigen, ineinander verschachtelten fotoelektri schen Gittern abgebildet und erfaßt wird, welches mit einer Vorrichtung (37) zur Messung der Phasendifferenz zwischen einem von dem Gittersystem abgeleiteten ersten Signal und einem zweiten Signal verbunden ist, und wobei von dem Ausgangssignal der Vorrichtung (37) ein Bewegungsvektor abgeleitet wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwei aus je vier kammförmigen Gittern (13, 31 . . . 34) bestehende Gittersysteme (51, 52) vorgesehen sind, von denen die Symmetrieachse (53) des einen Gittersystems (51) einen Winkel α₁=0° und die Symmetrieachse (54) des anderen Gittersystems (52) einen Winkel α₂=90° gegenüber der Symmetrieachse (55) des Sensors (50) aufweisen, und daß das erste und das dritte Gitter eines jeden Gittersystems mit einer ersten Subtrahierstufe (35) und das zweite und vierte Gitter eines jeden Gittersystems mit einer zweiten Subtrahierstufe (36) verbunden ist, daß je zwei mit einem Gittersystem verbundene Subtrahierstufen (35, 36) mit den Eingängen je einer Vorrichtung (37) verbunden sind und jeweils das erste bzw. zweite Signal liefern, und daß die Ausgangssignale der beiden Vorrichtungen (37) und die Frequenzen der Ausgangssignale der Subtrahier stufen (35, 36) zur Berechnung des Betrages und des Winkels des Geschwindigkeitsvektors und des zurückgelegten Weges bei der Relativbewegung dienen.