DE3225236C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3225236C2 DE3225236C2 DE3225236A DE3225236A DE3225236C2 DE 3225236 C2 DE3225236 C2 DE 3225236C2 DE 3225236 A DE3225236 A DE 3225236A DE 3225236 A DE3225236 A DE 3225236A DE 3225236 C2 DE3225236 C2 DE 3225236C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- suspension
- sensor
- section
- suspension section
- fastening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
- G01P15/132—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electromagnetic counterbalancing means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Control Of Vending Devices And Auxiliary Devices For Vending Devices (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Springs (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine federnde Aufhängung in einem
Kraftumformer der im Oberbegriff des Anspruchs 1 ange
gebenen Gattung.
Bei Kraftumformern, wie sie z. B. aus den US-PS 37 02 073
und 41 82 187 sowie 42 50 757 bekannt sind, ist ein Fühler
an einem Befestigungsorgan bzw. einem Haltering mittels
einer federnden Aufhängung gesichert, die es dem Fühler
erlaubt, sich aufgrund der Einwirkung kleiner Kräfte relativ
zu dem Befestigungsorgan zu bewegen. Bei einem solchen
Beschleunigungsmesser kann die federnde Aufhängung bifilar
aufgebaut sein und aus zwei dünnen ebenen Elementen be
stehen.
Zur Herstellung elektrischer Anschlüsse an Schaltungskompo
nenten, die an dem Fühler angeordnet sind, können entweder
biegsame Zuleitungen zwischen Haltering und Fühler verwendet
werden, oder es kann eine Dünnschicht aus elektrisch leit
fähigem Werkstoff direkt auf die federnde Aufhängung oder
auf eine nichtleitende Beschichtung auf dieser, falls sie
selbst elektrisch leitfähig ist, aufgebracht werden. Wenn
solche Werkstoffe auf die Aufhängung aufgebracht werden,
werden in der federnden Aufhängung Spannungen erzeugt
infolge der unterschiedlichen Temperaturkoeffizienten von
Aufhängung und leitfähigen Werkstoffen oder auch durch das
Aufbringverfahren selbst. Diese Spannungen resultieren
wiederum in Kräften, die danach trachten, den Fühler aus
einer Neutrallage auszulenken. Bei Umformern mit Servo
system, bei denen eine Rückstellkraft angelegt wird, um den
Fühler in der Neutrallage zu halten, wird infolge dieser
Spannungen ein Auslenkungsfehler erzeugt. Bei Umformern mit
Steuersystem, bei denen der Auslenkungsbetrag des Fühlers
erfaßt wird, wird ebenfalls ein Auslenkungsfehler erzeugt.
Bei solchen Umformern, die leitfähige Beschichtungen verwen
den, wird versucht, die mechanischen Dünnschichtspannungen
dadurch auszugleichen, daß die Dünnschichten gleichmäßig auf
die obere und die untere Seite der Aufhängungsabschnitte
aufgebracht werden. Bei dieser Ausbildung werden zwar Fehler
in gewissem Umfang reduziert, es ist dabei jedoch ein
exakter Ausgleichsvorgang während der Schichtaufbringung
erforderlich, um die Schichtdicke auf beiden Seiten der
Aufhängungsabschnitte gleich zu machen. Ferner hängt dieser
Ausgleichsvorgang von der Stabilität der Schichtspannungen
über die Zeit sowie auch von weiteren Faktoren wie Umge
bungstemperatur, Werkstoffreinheit und Oberflächenver
schmutzung ab.
Bei bekannten Umformern hat es sich als erwünscht erwiesen,
die dünnstmögliche federnde Aufhängung zu verwenden, die mit
den Festigkeits- und Elastizitäts-Anforderungen an eine
ordnungsgemäße Funktionsweise vereinbar ist, so daß Span
nungs-Auswirkungen, die zu Auslenkungsfehlern führen,
minimiert werden. Es hat sich jedoch gezeigt, daß die
Federkonstante unabhängig davon, ob es sich um die Winkel-
oder die lineare Federkonstante handelt, die durch eine
federnde Aufhängung gegeben ist, der dritten Potenz der
Dicke t der Aufhängung proportional ist, wogegen das Biege
moment der Aufhängung infolge von durch das Aufbringen
leitfähiger Streifen hervorgerufenen mechanischen Spannungen
nur der Dicke t proportional ist. Wenn z. B. die Dicke der
Aufhängung um 30% verringert wird, so daß die dadurch
erhaltene Winkelfederkonstante von 20g/rad auf 7g/rad
geändert wird, wird das durch Spannungsauswirkungen in der
leitfähigen Beschichtung auftretende Fehlermoment nur um
einen Faktor 1,42 verringert. Somit ist ersichtlich, daß die
Untergrenze des Bereichs tolerierbarer Federkonstanten, die
durch eine konventionelle Aufhängung erhalten werden, längst
erreicht ist, bevor das Fehlermoment auf einen unerheblichen
Wert verringert wird. Infolgedessen muß bei diesen Aufhän
gungsarten ein Kompromiß gefunden werden zwischen der
Erzielung der erwünschten Federkonstanten und Aufhängungs-
Festigkeit und der Minimierung der zu Fehlern führenden
Spannungsauswirkungen.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer federnden
Aufhängung für Kraftumformer, bei der elektrisch leitende
Beschichtungen auf Flächen vorgesehen sind, die im wesent
lichen auf oder in der neutralen Biegeebene der Aufhängung
liegen, wobei mechanische Spannungen in der Grenzfläche
zwischen der leitfähigen Schicht und der Aufhängung nicht
zu Auslenkungsfehlern führen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnen
den Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Da die leitfähige Beschichtung auf einer Fläche positioniert
ist, die im wesentlichen in der neutralen Biegeebene der
Aufhängung liegt, führen mechanische Spannungen in der
Grenzfläche zwischen der leitfähigen Schicht und der Auf
hängung nicht zu Auslenkungsfehlern, weil das durch solche
mechanischen Spannungen bewirkte Biegemoment dem Abstand
der Grenzfläche von der neutralen Biegeebene proportional
ist. Da dieser Abstand im wesentlichen Null ist, wird
das Biegemoment minimiert, und Auslenkungsfehler werden
praktisch vollständig, mindestens jedoch ganz erheblich,
reduziert.
Die Aufhängung kann aus einem oder mehreren Teilen bestehen,
deren jeder einen oder mehrere Kanäle mit einer Bodenfläche
enthält, die im wesentlichen in der neutralen Biegeebene
der Aufhängung liegt.
Da die leitfähige Beschichtung immer auf oder nahe der
neutralen Biegeebene angeordnet ist, ist die Größe eines
von der leitenden Beschichtung eingeführten Fehlers im
wesentlichen unabhängig von Dicke und Gesamtlänge und
-breite der Aufhängung. Infolgedessen kann die federnde
Aufhängung so ausgebildet sein, daß sich eine ausreichende
Festigkeit und die erwünschte Federkonstante für den
Beschleunigungsmesser ergeben, ohne daß merkliche Aus
lenkungsfehler infolge von mechanischen Schichtspannungen
hervorgerufen werden.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise
näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine teilweise geschnittene perspektivische
Explosionsansicht eines Kraftumformers mit
federnder Aufhängung;
Fig. 2 eine größere Teildraufsicht auf die Auf
hängung von Fig. 1;
Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel einer bifilaren
federnden Aufhängung.
Die Fig. 1 und 2 zeigen einen Kraftumformer in Form eines
Beschleunigungsmessers 10 mit Servosystem, wobei eine
federnde Aufhängung 12 vorgesehen ist. Der Beschleunigungs
messer 10 entspricht dem Typ gemäß der US-PS 37 02 073,
obwohl die federnde Aufhängung natürlich auch in anderen
Kraftumformern einsetzbar ist, die eine Winkel- oder eine
geradlinige Bewegung eines Fühlers nutzen.
Der Beschleunigungsmesser 10 besteht aus zwei zylindrischen
Gehäusehälften 14 a, 14 b sowie einem zwischen beiden gesi
cherten Feder-Masse-System 16.
Die Gehäusehälften 14 a, 14 b sind im wesentlichen identisch
ausgebildet, und somit wird nur die Gehäusehälfte 14 a
erläutert. Diese umfaßt eine zylindrische Gehäusewand 17 mit
einer nach innen verlaufenden Rippe 18, die ein magne
tisches Polstück bildet und um einen Boden ver
läuft, so daß eine Basis 19 gebildet ist. Das Polstück 18
hat eine zylindrische Innenwand 20, die eine Aussparung 22
definiert. Auf der Basis 19 innerhalb der Aussparung 22 ist
ein zylindrischer Dauermagnet 24 gesichert, dessen Außenum
fangsfläche von der zylindrischen Innenwand 20 beabstandet
ist, so daß zwischen beiden ein Ringspalt 26 gebildet
ist.
Das Feder-Masse-System 16 umfaßt einen Fühler bzw. Flügel
30, der schwenkbar mittels der federnden Aufhängung 12 an
einem Haltering bzw. Befestigungsorgan 32 gesichert ist.
Bei dem gezeigten Beschleunigungsmesser kann der Fühler 30
sich infolge der federnden Aufhängung 12 relativ zu dem
Haltering 32 auf einer gekrümmten Bahn bewegen. Es ist
jedoch zu beachten, daß die federnde Aufhängung auch bei
einem Umformer verwendbar ist, der eine geradlinige Bewegung
des Fühlers entlang der Achse des Kraftumformers nutzt.
Auf der Oberseite 40 und der Unterseite 41 des Fühlers 30
sind zwei Rückstell- bzw. Drehmomentspulen 42 bzw. 43
angeordnet. Die Rückstellspulen 42, 43 sind auf Spulenkörper
gewickelt, die in den in jeder Gehäusehälfte 14 a, 14 b
gebildeten Ringspalt 26 einsetzbar sind, wenn die verschie
denen Bauteile des Beschleunigungsmessers 10 zusammengefügt
werden.
Auf der Oberseite 40 des Fühlers 30 ist eine elektrisch
leitfähige Schicht 45 vorgesehen. Eine gleichartige elek
trisch leitfähige Schicht ist auf der Unterseite 41 des
Fühlers 30 vorgesehen. Diese Schichten bilden zwei Kondensa
torplatten, die mit einer Fläche 21 des Polstücks 18 und
einer entsprechenden Fläche des Polstücks der Gehäusehälfte
14 b in noch zu erläuternder Weise in Wechselwirkung treten.
Auf einer Oberfläche 36 des Halterings 32 sind drei Befesti
gungs-Druckunterlagen 34 (nur zwei davon sind gezeigt)
angeordnet. Drei zusätzliche Druckunterlagen sind axial
entgegengesetzt zu den Druckunterlagen 34 auf der Unterseite
38 des Halterings 32 angeordnet.
Der Haltering 32 ist zwischen den Gehäusehälften 14 a, 14 b so
gesichert, daß eine Lippe der zylindrischen Gehäusewand 17
und eine entsprechende Lippe der Gehäusehälfte 14 b die
Befestigungs-Druckunterlagen beaufschlagen, und die Rück
stellspulen 42, 43 sind in dem Ringspalt 26 bzw. einem
entsprechenden Ringspalt der Gehäusehälfte 14 b aufgenommen.
Zwei veränderliche Kondensatoren 48, 49 sind in dem Beschleunigungs
messer 10 ausgebildet, wobei der eine aus der Fläche 21 und
der Beschichtung auf der Unterseite 38 und der andere aus
einer der Fläche 21 entsprechenden Fläche des Polstücks der
Gehäusehälfte 14 b und der Beschichtung 45 auf der Oberseite
40 des Fühlers 30 besteht.
Die Leiterschichten auf der Oberseite 40 und der Unterseite
41 sowie die Rückstellspulen 42, 43 sind an äußere Schalt
kreise über vier Leiterbahnen 47 a-d angeschlossen, die über
die federnde Aufhängung 12 zu dem Haltering 32 verlaufen.
Die elektrischen Anschlüsse an externe Schaltkreise erfolgen
vom Haltering 32 über vier Anschlußstifte (nicht gezeigt),
die in den Gehäusewandungen der Gehäusehälften 14 a, 14 b
angeordnet sind.
Wenn der Beschleunigungsmesser 10 mit einer Beschleunigung
entlang seiner Achse beaufschlagt wird, verschiebt sich der
Fühler 30 relativ zu dem Haltering 32 und den Gehäusehälften
14 a, 14 b, wodurch sich eine Kapazitätsänderung der Konden
satoren 48, 49 ergibt. Die Kapazitätsänderung wird von einem
Servosystem (nicht gezeigt) erfaßt, das wiederum ein der
Kapazitätsänderung proportionales Signal an die Rückstell
spulen 42, 43 anlegt. Das von den Rückstellspulen 42, 43
erzeugte resultierende Magnetfeld gelangt mit dem von den
Dauermagneten in den Gehäusehälften 14 a, 14 b erzeugten
Magnetfeld in Wechselwirkung und wirkt der Verschiebung des
Fühlers entgegen. Der Strom, den die Rückstellspulen 42,
43 benötigen, um den Fühler 30 in einer Nullage zu halten,
bezeichnet die Beschleunigungskraft, mit der der Beschleu
nigungsmesser beaufschlagt wird.
Eine nähere Erläuterung des Beschleunigungsmessers 10
findet sich in der US-PS 37 02 073.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel der federnden Auf
hängung 12, das eingesetzt werden kann, wenn die Art der
jeweiligen Kraftumformer-Konfiguration eine Erhöhung des
Lastwiderstands erlaubt.
Die Aufhängung ist als bifilare Schwenkeinheit ausgebildet
mit zwei Aufhängungsabschnitten 80, 88, die zwischen dem
Fühler 30 und dem Haltering 32 angeordnet sind. Die Auf
hängungsabschnitte 80 und 88 sind durch einen Spalt von
einander beabstandet, der ebenfalls zwischen dem Haltering
32 und dem Fühler 30 verläuft.
Die Aufhängungsabschnitte 80 und 88 haben im wesentlichen
den gleichen Querschnitt, und so wird nur der Aufhängungs
abschnitt 80 erläutert.
Der Aufhängungsabschnitt 80 umfaßt eine Oberfläche 86
und eine Unterfläche 90, die im wesentlichen parallel
zueinander verlaufen, sowie zwei Seitenflächen 84, die
im wesentlichen senkrecht zu den Flächen 86 und 90 ver
laufen. Die Ober- und die Unterfläche 86 und 90 können
auch nichtparallel zueinander verlaufen, wobei die Null
achse-Kanäle immer noch verwendet werden können.
Der Aufhängungsabschnitt 80 weist in der Oberfläche 86
und der Unterfläche 90 angeordnete Kanäle 83, 85 auf.
Die Kanäle 83, 85 haben Bodenflächen 82, 87, die im we
sentlichen koplanar sind und mit der neutralen Biegeebene
des Aufhängungsabschnitts 80 zusammenfallen.
Die neutrale Biegeebene ist diejenige Ebene, die bei einer
Wölbung der Aufhängung keinem mechanischen Zug bzw. keiner
Kompression ausgesetzt ist. Die Boden
fläche 82 des Kanals 83 im Aufhängungsabschnitt 80 grenzt
an eine Randfläche 84 ohne Zwischenabschnitt einer Ober
fläche 86 an. Der zweite Aufhängungsabschnitt 88 ist ein
Spiegelbild des Aufhängungsabschnitts 80, d. h., sie sind
symmetrisch um die Ebene, die den Raum zwischen den beiden
Aufhängungsabschnitten 80, 88 schneidet und senkrecht
zur Oberfläche 86 und der Unterfläche 90 verläuft.
Die Kanäle 83, 85 haben ferner abgeschrägte Seitenwände
83 a und 85 a, 85 b. Diese Wände können jedoch auch senkrecht
zu den Flächen 86, 90 oder gekrümmt mit einem kleinen
Radius verlaufen. Ferner können die Aufhängungsabschnitte
im Bereich ihrer Verbindung mit dem Fühler 30 und dem
Haltering 32 abgeschrägt oder gekrümmt sein, um einen
gleichmäßigen Übergang zwischen diesen vorzusehen.
Die Bodenfläche 82 und eine Bodenfläche 87 liegen wiederum
im wesentlichen auf der neutralen Biegeachse bzw. -ebene
der Aufhängungsabschnitte 80, 88. Ferner sind Leiterstrei
fen 47 auf die Bodenflächen 82, 87 aufgebracht, und somit
wird durch in der Grenzfläche zwischen der Aufhängung
und dem leitfähigen Werkstoff erzeugte mechanische Spannungen
kein entsprechendes Biegemoment in der federnden Aufhängung
erzeugt.
Bei dem Ausführungsbeispiel sind der Fühler 30, der Halte
ring 32 und die Aufhängung 12 aus einem Stück Quarzglas
gebildet, das durch Ätzen oder in anderer Weise die er
wünschte Form erhält.
Nachdem die Bodenflächen ausgebildet sind, wird eine dünne
Schicht aus elektrisch leitfähigem Werkstoff, z. B. Gold,
über die Länge der Bodenflächen beider Aufhängungsabschnitte
so aufgebracht, daß sie zwischen dem Fühler 30 und dem
Haltering 32 verläuft.
Die Aufhängung 12 kann auch aus elektrisch leitfähigem
Werkstoff gebildet sein, wobei zuerst eine nichtleitende
Beschichtung auf die Aufhängung und anschließend die Lei
terstreifen 47 aufgebracht werden.
Da das Biegespannungsmoment der Dünnschicht der Entfernung
proportional ist und die Leiterstreifen 47 auf der neu
tralen Biegeachse bzw. -ebene angeordnet sind, erzeugt
eine an der neutralen Biegeebene parallel zu deren Ober
fläche einwirkende Kraft kein Biegemoment, da die Ent
fernung dann gleich Null ist. Infolgedessen wird durch
einen direkt auf der neutralen Biegeachse der Aufhängung
aufgebrachten Leiterstreifen kein Fehler am Ausgang des
Umformers infolge von mechanischen Spannungen an der Grenz
fläche zwischen Leiterstreifen und federnder Aufhängung
erzeugt. Da der Leiterstreifen eine endliche Dicke hat,
verlaufen idealerweise - jedoch nicht notwendigerweise -
die Bodenflächen 82, 87 eine halbe Streifendicke neben
der neutralen Biegeachse, so daß der Leiterstreifen selbst
auf der neutralen Biegeachse zentriert ist.
Die folgenden Abmessungen haben sich beispielsweise als
günstig für zufriedenstellende Ergebnisse erwiesen:
Gesamtbreite a der Aufhängung 12 25,4 mm
Breite b jedes Aufhängungsabschnitts 3,81 mm
Breite a der Bodenflächen 82, 87 0,89 mm
Dicke e der Aufhängungsabschnitte 80, 88 0,03 mm
Tiefe f der neutralen Biegeachse von Flächen 86, 90 0,01 mm
Länge g der Aufhängung 12 2,54 mm
Abstand h zwischen benachbarten Rändern der Aufhängungsabschnitte 80, 88 1,52 mm
Dicke der Leiterstreifen 47 2600Å
Breite b jedes Aufhängungsabschnitts 3,81 mm
Breite a der Bodenflächen 82, 87 0,89 mm
Dicke e der Aufhängungsabschnitte 80, 88 0,03 mm
Tiefe f der neutralen Biegeachse von Flächen 86, 90 0,01 mm
Länge g der Aufhängung 12 2,54 mm
Abstand h zwischen benachbarten Rändern der Aufhängungsabschnitte 80, 88 1,52 mm
Dicke der Leiterstreifen 47 2600Å
Die Dicke, Länge und Breite der Aufhängungsabschnitte
kann so gewählt werden, daß sich eine ausreichende Festig
keit und die erwünschte Federkonstante für einen ordnungs
gemäßen Betrieb des Beschleunigungsmessers einstellen,
ohne daß Auslenkungsfehler merklich erhöht werden. Infolge
dessen ist im Gegensatz zu bekannten Kraftumformern die
Größe des Fehlers, der von den Leiterstreifen 47 einge
führt wird, im wesentlichen unabhängig von den Abmessungen
der Aufhängungsabschnitte. Es ist zu beachten, daß jeder
Kanal auch mehr als einen isolierten Leiterstreifen tragen
kann.
Ferner ist zu beachten, daß die vorstehend erläuterte
Möglichkeit zur Verminderung der Auswirkung mechanischer
Spannungen einer Beschichtung auf einer Aufhängung auch
mit einer Aufhängung anwendbar ist, die nicht unbedingt
die Haupthalterung des Fühlers darstellt. Ein solcher
Aufbau, der einen Fühler mit einem Befestigungsorgan ver
bindet, würde immer noch eine gewisse strukturelle Inte
grität erfordern, während gleichzeitig minimale Auslenkungs
kräfte oder -momente erzeugt werden.
Bei dem erläuterten Ausführungsbeispiel der Erfindung
ist vorgesehen, daß die verschiedenen Kanäle, die mit
der neutralen Biegeachse der Aufhängung fluchten, auf
Aufhängungen positioniert sind, die die Hauptstütze des
fühlers 30 in bezug auf den Haltering 32 bilden. Das Kon
zept der Aufbringung von Leitermaterial wie etwa der Lei
terstreifen 47 längs der neutralen Biegeachse einer Auf
hängung läßt sich jedoch ebenso auf eine keine Last tra
gende Aufhängung oder ein biegbares Element anwenden.
Ferner ist zu beachten, daß zwar bei dem Ausführungsbei
spiel die Kanäle von dem Fühler 30 zu dem Haltering 32
verlaufen, daß aber die Leiterstreifen 47 auch nur auf
einen Teil der neutralen Biegeachse der Aufhängung auf
bringbar ist, und zwar bevorzugt dort, wo die geringste
Festigkeit der Aufhängung verlangt wird, um so die durch
die Leiterstreifen 47 erzeugten mechanischen Spannungen
zu minimieren.
Claims (8)
1. Federnde Aufhängung in einem Kraftumformer, der ein
Befestigungsorgan und einen Fühler mit einem elek
trischen Schaltungsbauteil aufweist, zur Sicherung
des Fühlers an dem Befestigungsorgan, wobei ein Ende
der federnden Aufhängung an dem Befestigungsorgan
und ihr anderes Ende an dem Fühler befestigt ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens ein Aufhängungsabschnitt (80) mit einer Oberfläche (86), einer Unterfläche (90) und zwei Seiten flächen (84) zwischen dem Fühler (30) und dem Befesti gungsorgan (32) angeordnet ist,
daß mindestens ein Kanal (83) angrenzend an eine Seiten fläche (84) im Aufhängungsabschnitt (80) angeordnet ist und wobei die Bodenfläche (82) des Kanals (83) von der Ober- und Unterfläche (86, 90) gleich beabstandet ist, und
daß ein elektrischer Leiterstreifen (47) auf die Boden fläche (82) aufgebracht ist und zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verläuft.
daß mindestens ein Aufhängungsabschnitt (80) mit einer Oberfläche (86), einer Unterfläche (90) und zwei Seiten flächen (84) zwischen dem Fühler (30) und dem Befesti gungsorgan (32) angeordnet ist,
daß mindestens ein Kanal (83) angrenzend an eine Seiten fläche (84) im Aufhängungsabschnitt (80) angeordnet ist und wobei die Bodenfläche (82) des Kanals (83) von der Ober- und Unterfläche (86, 90) gleich beabstandet ist, und
daß ein elektrischer Leiterstreifen (47) auf die Boden fläche (82) aufgebracht ist und zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verläuft.
2. Aufhängung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein zweiter Kanal (85) mit einer Bodenfläche (87) an der Unterfläche (90) im Aufhängungsabschnitt (80) angeordnet ist, wobei die Bodenflächen (82, 87) in derselben Ebene liegen und mit der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts (80) koinzident sind, und
daß ein elektrischer Leiterstreifen (47) auf die Boden fläche (87) aufgebracht ist und zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verläuft.
daß ein zweiter Kanal (85) mit einer Bodenfläche (87) an der Unterfläche (90) im Aufhängungsabschnitt (80) angeordnet ist, wobei die Bodenflächen (82, 87) in derselben Ebene liegen und mit der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts (80) koinzident sind, und
daß ein elektrischer Leiterstreifen (47) auf die Boden fläche (87) aufgebracht ist und zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verläuft.
3. Aufhängung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwei Aufhängungsabschnitte (80, 88) voneinander
beabstandet zwischen dem Fühler (30) und dem Befesti
gungsorgan (32) angeordnet sind.
4. Aufhängung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Aufhängungsabschnitt (88) mit dem ersten
Aufhängungsabschnitt (80) identisch
ausgebildet, jedoch in bezug auf diesen antisymmetrisch
ist.
5. Aufhängung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Aufhängungsabschnitt (88)
ein Spiegelbild des ersten Aufhängungsabschnitts (80)
ist, so daß der zweite Aufhängungsabschnitt (88) relativ
zu einer die Öffnung halbierenden und zu der Ober- und
Unterfläche (86, 90) senkrechten Ebene zum ersten Auf
hängungsabschnitt (80) symmetrisch ist.
6. Aufhängung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Breite jedes Aufhängungsabschnitts ungefähr
dem 1,5fachen seiner Länge entspricht.
7. Aufhängung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Tiefe der Kanäle dem halben
Abstand zwischen den Oberflächen der Aufhängungsab
schnitte entspricht.
8. Aufhängung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen den Oberflächen jedes Auf
hängungsabschnitts in der Größenordnung von 1/100 der
Länge jedes Aufhängungsabschnitts liegt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/283,129 US4400979A (en) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | Force transducer flexure with conductors on surfaces in the neutral bending plane |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3225236A1 DE3225236A1 (de) | 1983-02-03 |
DE3225236C2 true DE3225236C2 (de) | 1990-10-11 |
Family
ID=23084659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823225236 Granted DE3225236A1 (de) | 1981-07-14 | 1982-07-06 | Federnde aufhaengung fuer kraftumformer |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4400979A (de) |
JP (1) | JPS5818130A (de) |
AU (1) | AU554447B2 (de) |
CA (1) | CA1178454A (de) |
CH (1) | CH654114A5 (de) |
DE (1) | DE3225236A1 (de) |
FR (1) | FR2509864B1 (de) |
IL (1) | IL66179A (de) |
IT (1) | IT1149014B (de) |
NO (1) | NO822380L (de) |
SE (1) | SE451899B (de) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4399700A (en) * | 1981-07-14 | 1983-08-23 | Sundstrand Data Control, Inc. | Force transducer flexure with conductors on surfaces in the neutral bending plane |
US4779463A (en) * | 1987-01-13 | 1988-10-25 | Systron Donner Corporation | Servo accelerometer |
US4987780A (en) * | 1987-11-16 | 1991-01-29 | Litton Systems, Inc. | Integrated accelerometer assembly |
US4932258A (en) * | 1988-06-29 | 1990-06-12 | Sundstrand Data Control, Inc. | Stress compensated transducer |
US5024089A (en) * | 1988-06-29 | 1991-06-18 | Sundstrand Data Control, Inc. | Stress compensated transducer |
US5058430A (en) * | 1989-12-29 | 1991-10-22 | Honeywell Inc. | Sensor capsule mounting |
US5557044A (en) * | 1994-01-21 | 1996-09-17 | Alliedsignal, Inc. | Low stress magnet interface |
US5532665A (en) * | 1994-01-21 | 1996-07-02 | Alliedsignal, Inc. | Low stress magnet interface |
US5524488A (en) * | 1994-01-24 | 1996-06-11 | Alliedsignal Inc. | Flux control groove |
US5488865A (en) * | 1994-08-15 | 1996-02-06 | Alliedsignal Inc. | Wide-band servo accelerometer with flat leaf flexure suspension |
US7100447B2 (en) | 2004-12-07 | 2006-09-05 | Honeywell International Inc. | Super Invar magnetic return path for high performance accelerometers |
US11422152B2 (en) | 2019-12-10 | 2022-08-23 | Honeywell International Inc. | Stress relieving sensor flange |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3020767A (en) * | 1959-10-05 | 1962-02-13 | Kistler Instr Corp | Linear accelerometer |
US3229530A (en) * | 1960-12-12 | 1966-01-18 | North American Aviation Inc | Accelerometer |
US3331253A (en) * | 1963-08-05 | 1967-07-18 | Systron Donner Corp | Accelerometer and sensing assembly therefor |
US3339419A (en) * | 1964-07-02 | 1967-09-05 | North American Aviation Inc | Accelerometer |
NL136155C (de) * | 1966-09-09 | |||
US3513711A (en) * | 1966-10-03 | 1970-05-26 | Singer General Precision | Subminiature single axis accelerometer |
US3702073A (en) * | 1969-02-28 | 1972-11-07 | Sundstrand Data Control | Accelerometer |
US4182187A (en) * | 1978-04-24 | 1980-01-08 | Sundstrand Data Control, Inc. | Force balancing assembly for transducers |
AU524751B2 (en) * | 1978-05-15 | 1982-09-30 | Sundstrand Data Control, Inc. | Movable element with position sensing means |
US4250757A (en) * | 1979-11-05 | 1981-02-17 | Sundstrand Data Control, Inc. | Movable element with position sensing means for transducers |
US4342227A (en) * | 1980-12-24 | 1982-08-03 | International Business Machines Corporation | Planar semiconductor three direction acceleration detecting device and method of fabrication |
US4399700A (en) * | 1981-07-14 | 1983-08-23 | Sundstrand Data Control, Inc. | Force transducer flexure with conductors on surfaces in the neutral bending plane |
-
1981
- 1981-07-14 US US06/283,129 patent/US4400979A/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-06-16 CA CA000405331A patent/CA1178454A/en not_active Expired
- 1982-06-16 AU AU84915/82A patent/AU554447B2/en not_active Ceased
- 1982-06-30 IL IL66179A patent/IL66179A/xx not_active IP Right Cessation
- 1982-07-06 DE DE19823225236 patent/DE3225236A1/de active Granted
- 1982-07-08 NO NO822380A patent/NO822380L/no unknown
- 1982-07-08 IT IT48779/82A patent/IT1149014B/it active
- 1982-07-08 SE SE8204220A patent/SE451899B/sv not_active IP Right Cessation
- 1982-07-12 CH CH4236/82A patent/CH654114A5/it not_active IP Right Cessation
- 1982-07-13 JP JP57120704A patent/JPS5818130A/ja active Granted
- 1982-07-15 FR FR8212362A patent/FR2509864B1/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE8204220D0 (sv) | 1982-07-08 |
AU554447B2 (en) | 1986-08-21 |
SE8204220L (sv) | 1983-01-15 |
CA1178454A (en) | 1984-11-27 |
IT8248779A0 (it) | 1982-07-08 |
IL66179A (en) | 1987-10-30 |
IT1149014B (it) | 1986-12-03 |
CH654114A5 (it) | 1986-01-31 |
SE451899B (sv) | 1987-11-02 |
FR2509864A1 (fr) | 1983-01-21 |
AU8491582A (en) | 1983-01-20 |
US4400979A (en) | 1983-08-30 |
JPH049268B2 (de) | 1992-02-19 |
JPS5818130A (ja) | 1983-02-02 |
DE3225236A1 (de) | 1983-02-03 |
FR2509864B1 (fr) | 1987-03-06 |
NO822380L (no) | 1983-01-17 |
IL66179A0 (en) | 1982-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3225236C2 (de) | ||
DE3902738C2 (de) | Düsenklappenvorrichtung | |
DE3590262C2 (de) | ||
DE3225255C2 (de) | ||
DE69832249T2 (de) | Chip-induktivität und sein herstellungsverfahren | |
DE4113745C2 (de) | Induktiver Stellungsgeber | |
DE19639946A1 (de) | Mikromechanisches Bauelement | |
DE2709945A1 (de) | Kapazitiver druckwandler und verfahren zu dessen herstellung | |
DE2916546A1 (de) | Kraftausgleichsanordnung fuer wandler | |
DE1673402B1 (de) | Beschleunigungsmesser | |
DE8407322U1 (de) | Piezoresestive druckmesszelle | |
DE2721720A1 (de) | Praezisions-messwandler fuer positionsmessungen | |
DE3941029C2 (de) | Elektrostatischer Kapazitätsdetektor des Phasendiskriminierungstyps | |
DE3540349A1 (de) | Linearer funktionsdrehmelder | |
EP0910127A2 (de) | Piezoelektrischer Aktuator | |
DE3218577A1 (de) | Kraftwandler | |
CH657490A5 (de) | Elektretwandler. | |
DE3225215C2 (de) | ||
DE2214751A1 (de) | Elektromagnetische Kraft ausübende Einrichtung | |
DE3920674A1 (de) | Druckdetektor vom elektrostatischen kapazitaetstyp | |
DE3026353A1 (de) | Messinstrument zur ueberpruefung von linearen abmessungen | |
DE4309413C2 (de) | Magnetoelastische Dehnungsmeßeinheit zur Erfassung von Dehnungen auf einer Bauteiloberfläche | |
DE3906731A1 (de) | Kondensator und verfahren zu seiner herstellung | |
DE4414070A1 (de) | Kapazitiver Drehmomentsensor | |
DE3701372A1 (de) | Flaechenfoermiger kraftaufnehmer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: SUNDSTRAND CORP. (N.D.GES.D. STAATES DELAWARE), RO |
|
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: BEETZ, R., DIPL.-ING. DR.-ING. TIMPE, W., DR.-ING. SIEGFRIED, J., DIPL.-ING. SCHMITT-FUMIAN, W., PROF. DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT. MAYR, C., DIPL.-PHYS.DR.RER.NAT., PAT.-ANWAELTE, 80538 MUENCHEN |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |