DE2721720A1 - Praezisions-messwandler fuer positionsmessungen - Google Patents
Praezisions-messwandler fuer positionsmessungenInfo
- Publication number
- DE2721720A1 DE2721720A1 DE19772721720 DE2721720A DE2721720A1 DE 2721720 A1 DE2721720 A1 DE 2721720A1 DE 19772721720 DE19772721720 DE 19772721720 DE 2721720 A DE2721720 A DE 2721720A DE 2721720 A1 DE2721720 A1 DE 2721720A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- conductors
- winding
- glued
- groups
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 69
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 claims 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 5
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005065 mining Methods 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
- G01D5/2073—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by movement of a single coil with respect to two or more coils
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
- G01D5/2073—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by movement of a single coil with respect to two or more coils
- G01D5/208—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by movement of a single coil with respect to two or more coils using polyphase currents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F21/00—Variable inductances or transformers of the signal type
- H01F21/02—Variable inductances or transformers of the signal type continuously variable, e.g. variometers
- H01F21/04—Variable inductances or transformers of the signal type continuously variable, e.g. variometers by relative movement of turns or parts of windings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/045—Trimming
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49073—Electromagnet, transformer or inductor by assembling coil and core
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49155—Manufacturing circuit on or in base
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Description
Olivetti Controllo Numerico
S. ρ . A.
S. ρ . A.
MÜNCHEN: DIPL.-IN3. HANS-HKtNRICH WKY
OIPL.-ΙΝβ. KKKKHARD KÖRNKR
Berlin, den 12. Mai 1977
Präzisions-Meßwandler für Positionsmessungen
(Italien, Nr. 6821O-A/76 vom 18. Mai 1976)
10 Seiten Beschreibung
8 Patentansprüche
2 Blatt Zeichnungen
8 Patentansprüche
2 Blatt Zeichnungen
sch - 27 139 709848/0965
Die Erfindung betrifft einen Präzisions-Meßwandler für
Positionsmessungen mit einem Paar relativ zueinander beweglicher Träger, die mit einer elektrischen Wicklung versehen
sind, die aus in gleichen Abständen angeordneten Leitern besteht, welche in Serie geschaltet und auf dem
jeweiligen Träger vorgesehen sind, wobei die Wicklung des einen Trägers mindestens zwei Gruppen von Leitern umfaßt,
die zwei Kofunktionen entsprechen und miteinander verbunden sind,sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Derartige Meßwandler werden in numerisch gesteuerten Werkzeugmaschinen
und als Längendetektor für hochpräzise Verarbeitungsvorgänge benutzt.Bei derartigen Meßwandlern, die im allgemeinen
ein Paar relativ zueinander beweglicher Träger aufweisen, welche jeweils mit einer aus einer gedruckten Schaltung bestehenden Wicklung versehen sind, ist eine große Genauigkeit
der gedruckten Schaltungen und der Träger erforderlich. Die letzteren dürfen sich nicht im Laufe der Zeit
verformen und auch die Kurzzeit-Veränderungen, die durch Schwankungen externer Veränderlicher hervorgerufen werden,
wie beispielsweise Temperatur, Feuchtigkeit etc., müssen bekannt sein.
Da diejenigen Maschinenteile, an denen die Meßwandler befestigt werden, üblicherweise aus Gußeisen bestehen, müssen
die Träger im allgemeinen aus Stahl, Aluminium oder Glas gefertigt sein, damit die Verformungen der Träger mit denjenigen
dieser Maschinenteile vergleichbar sind, wobei sie von dem Leiter durch Isolation getrennt sind. Auf dem Substrat,
das durch den Träger und die Isolation gebildet wird, befindet sich eine Kupferschicht, aus der die Leiter der Wicklung
mittels photochemischer Ätzung erzeugt werden, so daß die Leiter in äußerst genauer Weise auf dem Träger angeordnet
sind.
Es ist bekannt, daß die Wicklung auf einem der beiden Träger
7098Λ8/0965 " 3 "
des Meßwandlers aus zwei Leitergruppen bestehen kann, die jeweils der Sinus- und der Kosinusfunktion zugeordnet und
in der Weise verbunden sind, daß Uberkreuzungen der Leiter auftreten müssen. Es ist daher unmöglich, diese Wicklung
auf einer einzigen Fläche ohne andere Verbindungen mittels einer gedruckten Schaltung herzustellen. Bei den bekannten
Schaltungen werden diese Verbindungen im allgemeinen durch das Anlöten von isolierten Hilfsleiterverbindungen an bestimmte
Stützpunkte oder Inselbereiche erzeugt, wobei diese Leiter in geeigneten Rillen des Trägers verlaufen. Die Anzahl
der Lötstellen ist dabei im allgemeinen groß und die Herstellung der Meßwandler entsprechend kostenaufwendig.
Es sind bereits Meßwandler für Positionsmessungen vorgeschlagen worden, bei denen die Wicklung, welche zu einem der beiden
Teile gehört, durch eine mehrschichtige Struktur erzeugt wird. Bei derartigen Meßwandlern werden die aktiven Leiter
der Wicklung - beispielsweise des Läufers - je zum Teil auf die beiden Flächen einer isolierenden Platine gedruckt. Diese
Meßwandler weisen jedoch den Nachteil auf, daß die beiden Teile der Wicklung sich in unterschiedlichem Abstand von der
Wicklung des Maßstabs befinden, so daß Signale unterschiedlicher Intensität erzeugt werden, welche Meßfehler hervorrufen.
Dazu kommt, daß derjenige Teil der Schaltung, welcher sich auf der Platinenfläche befindet, die auf den Träger geklebt
wird, bei dem Klebevorgang einer Deformation unterworfen wird, da dieser im allgemeinen nach einer Erhitzung
unter Druck erfolgt. Schließlich ist es auch äußerst schwierig, eine hinreichend genaue Anordnung der gedruckten Schaltung
zu erhalten, wenn die mehrschichtige Struktur auf den Träger geklebt wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Präzisions-Meßwandler
anzugeben, bei dem die gelöteten Verbindungen der einzelnen Leiter entfallen und die Leiter in Bezug auf den
Träger genau angeordnet sind.
709848/0965 - 4 -
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
beide Gruppen von Leitern auf eine Fläche eines menrschichtigen Elements aufgedruckt sind, wobei die andere Fläche
dieses Elements Hilfsleiter aufweist, um die Leiter der beiden Gruppen in Serie zu schalten.
Ein Verfahren zur Herstellung derartiger Meßwandler besteht darin, daß das mehrschichtige Element auf den entsprechenden
Träger aufgeklebt wird, nachdem die Hilfsleiter aufgedruckt worden sind, wobei die Gruppen von Leitern auf das
mehrschichtige Element aufgedruckt werden, nachdem dieses aufgeklebt wurde.
Durch die erfindugnsgemäße Lösung wird erreicht, daß die
aktiven Leiter der Wicklung während des Klebevorgangs nicht verformt werden und in Bezug auf den Träger örtlich genau
ausgerichtet sind.
Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
gekennzeichnet.
Ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird
im einzelnen unter Bezugnahme auf die Zeichnung nachfolgend näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine Ubersichtsdarstellung, teilweise geschnitten,
eines für lineare Positionsmessungen geeigneten Präzisions-Meßwandlers gemäß
der Erfindung,
Fig. 2 eine Schaltung der Wicklung des Meßwandlers gemäß Fig. 1,
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Fläche
der Platine, welche die Wicklung gemäß Fig. 2 enthält,
Fig. 4 eine schematische Darstellung der anderen
Fläche der Platine mit den Hilfsleitern der
709848/0965 - 5 -
Wicklung gemäß Fig. 2 und
Fig. 5 eine Schnittdarstellung der Platine entsprechend den Fign. 3 und 4.
Im Folgenden wird die Erfindung am Beispiel eines linearen
Meßwandlers beschrieben. Sie kann jedoch entsprechend auf Dreh-Meßwandler angewendet werden.
Der in Fig. 1 dargestellte Maßstab 60 des Präzisions-Meßwandlers umfaßt eine elektrische Wicklung 61, welche durch
eine Photo-Ätztechnik aus einem leitenden Band oder Streifen auf einer isolierenden Schicht eines Trägers (elastisches
Federstahl-Band 62) erzeugt wurde, der zwischen zwei Endblöcken 63 und 64 eingespannt ist. Diese sind an demjenigen
Maschinenteil befestigt, dessen Position ermittelt werden soll, beispielsweise einem Tisch 16 einer Werkzeugmaschine
oder eines Längendetektors.
Der Meßwandler weist darüber hinaus einen Läufer 17 auf, welcher eine Anordnung 18 umfaßt, die mittels Schrauben auf
einem Teil 19 der Maschine, das im Bezug auf den Tisch 16 verschieblich ist, angeordnet ist, wie beispielsweise der
Spindelkopf einer Werkzeugmaschine oder der Fühler eines Längendetektors. An der Anordnung 18 ist eine rechteckige
Stahlplatte 21 befestigt, an deren Boden eine zweite elektrische Wicklung 22 befestigt ist.
Die Wicklung 61 des Maßstabs besteht in bekannter Weise aus einer Anzahl von Querleitern 23, die in gleichen Abständen
angebracht und über ihre beiden Enden abwechselnd mit Längsleitern 24 so verbunden sind, daß sie Windungen in Form
eines Flechtbandmusters bilden. Da die Wicklung 61 keine Leiterüberkreuzungen enthält, kann sie mittels Photoätzung
in einer einzigen Schicht auf dem Band 62 erzeugt werden.
Die elektrische Wicklung 22 des Läufers 17 besteht aus einer
709848/0965 - 6 -
Anzahl von im allgemeinen in gleichen Abständen angeordneten Querleitern (Fig. 2), welche paarweise durch Längsleiter
27 so verbunden sind, daß sie U-förmige Wicklungen bilden, die in Serie geschaltet sind. Die Windungen der Wicklung
22 sind in zwei Gruppen unterteilt, welche komplementäre Funktionen bilden, die von der Phasenlage der elektrischen
Versorgungsspannung abhängig ist. Im Normalfall beträgt die Phasendifferenz 90° und die beiden Funktionen sind die
Sinus- und die Kosinusfunktion, deren Phasenwinkel demjenigen zwischen den Windungen der Wicklung 61 und den Windungen
der Wicklung 22 entspricht.
Die Querleiter 23 des Maßstabs 60 und die Querleiter des Läufers 17 (Fign. 1 und 3), welche die gegenseitige Induktion
in Abhängigkeit von der Position des Läufers 17 auf dem Maßstab 60 bestimmen, werden aktive Leiter genannt. Die
verbindenden Längsleiter 24 und 27 erzeugen keine Induktion, so daß sie als passiv angesehen werden können.
Die Wicklung 22 (Fig. 2) ist in zwei Teile unterteilt - linke und rechte Teile, welche symmetrisch zueinander angeordnet
sind. Querleiter 26 der beiden symmetrischen Teile der Wicklung 22 sind von außen nach innen aufsteigend mit den
Ziffern 1 bis 14 sowie N-1 und N versehen. In jedem der Teile wechseln die Wicklungsteile für Sinus- und Kosinusfunktionen
ab. Zur Verdeutlichung ist der Boden der U-förmigen Teile in Fig. 2 für die beiden Wicklungen versetzt dargestellt.
Bei der tatsächlichen Ausführung sind sie ausgerichtet, wie aus Fig. 3 ersichtlich ist.
Die Windungen der beiden Funktionen sind über Hilfsleiter 28 entsprechend der Darstellung gemäß Fig. 2 miteinander verbunden.
Im einzelnen erfordert die Sinusfunktion die Verbindung der Leiter 2-6, 5-9, 10-14 usw. über die Hilfsleiter 28,
während die Kosinusfunktion die Verbindung der Leiter 4-8, 7-11, 12-16 usw. erfordert.
709848/0965 - 7 -
Das rechte Ende des Leiters 1 der Sinusfunktion ist mittels eines Leiters 30 an einen Anschlußpunkt 51 angeschlossen.
Das linke Ende des Leiters 1 der selben Funktion ist andererseits über eine Verbindung 31 an die vorletzte Wicklung N-1
des rechten Teils der selben Funktion angeschlossen. Die letzte Windung N des rechten Teils ist einerseits über einen
Leiter 32 mit der letzten Windung N des linken Teils und andererseits mittels eines Leiters 33 mit einem Anschlußpunkt
52 verbunden. Auf diese Weise sind die beiden Teile der Sinusfunktion in Serie geschaltet.
Die Endleiter 3 der Kosinusfunktion sind mittels zweier Anschlußleiter
34 und 35 an zwei Anschlußpunkte 53 und 54 angeschlossen, während ein Leiter 35' den linken Teil der Kosinusfunktion
mit dem rechten Teil der selben Funktion in Serie schaltet. Die vier Anschlußpunkte 51 und 52 sind wiederum
an die Versorgung des Meßwandlers angeschlossen.
Es ist aus der Darstellung von Fig. 2 klar ersichtlich, daß sowohl innerhalb der Grenzen einer Funktion als auch zwischen
den beiden Funktionen Überschneidungen zwischen den Seiten 28 und 30 bis 35 bei einer gedruckten Schaltung auf nur
einer Fläche unvermeidlich sind. Es ist jedoch möglich, die Wicklung 22 durch die Technik gedruckter Schaltungen auf zwei
verschiedenen Oberflächen zu erzeugen.
Die aktiven Querleiter 26 und die passiven Längsleiter 27 der Sinus- und der Kosinusfunktion sind beide auf eine Fläche
36 (Fig. 3) einer isolierenden Platine aufgedruckt, welche aus einer rechteckigen Schicht eines wärmeleitenden Isoliermaterials
besteht, welches Glasfiber-Material enthält. Die Hilfsleiter 28 (Fig. 4) sind zum einen Teil auf die
Fläche 36 und zum anderen Teil auf eine weitere obere Fläche 38 der Platine 37 aufgedruckt. Die Leiter 35', 30 und 31
(Fig. 3) sind auf die Fläche 36 und die Leiter 32 bis 35 auf die Fläche 38 der Platine 37 aufgedruckt.
709848/0965
Die Leiter 26 und 27 auf der Fläche 36 sind mit der Leitern
28, 34 und 35 auf der Fläche 38 mittels einer Anzahl von metallisierten Löchern 39 (Fign. 3 und 4) verbunden, die
in der Platine 37 in der Nähe einer Kante 40 angeordnet sind. Die Anschlußleiter 34 und 35 sind darüber hinaus an zwei
leitende Inselbereiche 43 und 44, die auf die Fläche 38 aufgedruckt sind, angeschlossen, während die Leiter 30 bis 33
mittels zweier metallisierter Löcher 4 5 und 46 mit zwei anderen Inselbereichen 41 und 42 verbunden sind, welche auf
die selbe Fläche 38 der Platine 37 aufgedruckt sind. Jeder der Inselbereiche 41 bis 44 ist mit entsprechenden Inselbereichen
41', 42', die auf die Fläche 36 gedruckt sind,
mittels eines entsprechenden metallisierten Loches verbunden, das jeweils einen zugeordneten Anschluß bildet und mit
den entsprechenden Bezugszeichen 51 bis 54 gemäß Fig. 2 versehen ist.Im einzelnen wird jeder Anschluß dadurch erzeugt,
daß in jedes Loch ein goldplattierter Stift eingesetzt wird, um daran den entsprechenden Leiter der Versorgungsschaltung
des Läufers 17 anzuschließen.
Die Platine 37 ist auf der Platte 31 (Fig. 5) auf der Fläche 38 festgeklebt, welche die Hilfsleiter 28 aufweist, so
daß die aktiven Leiter 26 alle der Wicklung 61 des Maßstabs 60 zugewandt sind und sich in einem gleichmäßigen Abstand
von diesem befinden. Da die Platine 37 infolge von Temperatur- und Druckschwankungen verformt werden kann, ist es notwendig,
diese auf der Platte 21 festzukleben. Dieser Vorgang erfolgt nach dem Drucken der Hilfsleiter 28, 32, 34 und
35, sowie der Inseln 41 bis 44 auf die Fläche 38 und dem Drucken der Leiter 26, 27, 28, 30 und 31 , sowie der Inseln
41* bis 44* auf die Fläche 36.
Im einzelnen wird die Herstellung des Läufers 17 in folgen
der Weise vorgenommen. Zunächst wird die beidseitig mit Kupfer kaschierte Platine 37 bearbeitet, um alle Löcher 39,
44, 46 sowie 51 bis 54 zusammen mit anderen Löchern zu er-
709848/0965 - 9 -
zeugen, welche für Bezugs- und Montagezwecke nützlich sein können. Daraufhin erfolgt eine chemische Kupferplatierung
an den beiden Flächen der Platine 37. Auf diese Weise werden auch die Löcher mit Kupfer überzogen, so daß eine
Durchkontaktierung zur Verbindung der beiden Flächen der Platine erfolgt. Die Dicke des Kupfers auf den Flächen 36 und
38 wird auf diese Weise heraufgesetzt bis eine Kupferschicht ausreichender Dicke erzeugt ist, die in der Regel zwischen
0,035 und 0,07 mm liegt.
Mittels einer Photoätz-Technik für gedruckte Schaltungen werden nur die Hilfsleiter auf der Fläche 38, welche der
Platte 21 zugewandt sind, geätzt. Dieser an sich bekannte Vorgang umfaßt das Reinigen der Kupferschicht, das Aufsprühen
einer Photoresist-Schicht, die Kontaktphotographie, entwickeln, retuschieren und ätzen. Während dieses Vorgangs
müssen die andere Fläche 36 der Platine 37 und auch die Löcher so geschützt werden, daß der Film auf dieser
Fläche aufrechterhalten und die Durchkontaktierungen intakt bleiben.
Die Oberfläche des Kupfers auf der Fläche 38 wird anschließend mit einer oxidierenden Substanz behandelt, um diese
Fläche aufzurauhen. Es wird eine vollständige Reinigung der Fläche 38 und der Fläche der Platte 21, auf die sie aufgeklebt
werden soll, ausgeführt. Anschließend wird zwischen die Platte 21 und die Fläche 38 der Platine 37 ein Trockenkleber
oder Verbindungsfilm 59 angebracht, beispielsweise ein Film aus thermisch aushärtendem Harz mit einer Dicke
zwischen 0,05 und 0,1 mm des Typs, wie er von der Firma Minnesota Mining and Manufacturing Company unter der Bezeichnung
"Scotch-Weld Brand Bonding Film AF-13" angeboten wird.
Das "sandwich" wird durch ein geeignetes Werkzeug verbunden, welches mit Lokalisierungsstiften für die Platte
und die Platine 37 versehen ist, um eine genaue Anordnung der letzteren auf dem Läufer 17 zu bewirken. Das "sandwich"
709848/0965 - 10 -
y° -
wird jetzt mittels einer geeigneten Presse einem vorgegebenen Druck ausgesetzt und auf eine vorbestimmte Temperatur
aufgeheizt. Im einzelnen erfordert diese Behandlung - entsprechend dem verwendeten Kleber oder Verbindungsmittel
- einen Druck von 20 bis 30 kg/cm* und eine Temperatur von 120 bis 1700C für eine Zeitdauer von 0,5 bis 3 Stunden,
wobei die Zeiten, die notwendig sind, um diese Temperatur zu erreichen und für das anschließende Abkühlen nicht
mitgerechnet sind.
Die Platine 37, die auf diese Weise auf die Platte 21 aufgeklebt ist, das "sandwich", wird einer Entspannungsbehandlung
unterzogen, die aus einer Anzahl von Aufheizungs- und Abkühlungszyklen zwischen Raumtemperatur und ungefähr 750C
ohne Aufwendung von Druck besteht.
Die freie Fläche 36 der Platine 37, die mit Kupfer beschichtet ist, wird anschließend einem Photoätz-Vorgang unterworfen,
bei dem die notwendigen Vorkehrungen für das Drucken von Schaltungen mit hoher Präzision getroffen werden müssen.
Die Leiter auf der Fläche 36 werden auf diese Weise mit größter Genauigkeit in Bezug auf die Platte 21 angebracht und
werden in keiner Weise von dem Klebevorgang beeinträchtigt.
Der beschriebene Meßwandler kann auf verschiedene Weise modifiziert
werden. So können beispielsweise die Anschlußklemmen für die Versorgung zum einen Teil in der Nähe der einen
Kante und zum anderen Teil in der Nähe der gegenüberliegenden Kante der Platine 37 angeordnet sein.
Chr - 27 139
709848/0965 Patentansprüche:
Claims (1)
- ?7?17:ΠPatentansprüchePräzisions-Meßwandler für Positionsmessungen mit einem Paar relativ zueinander beweglicher Träger, die mit einer elektrischen Wicklung versehen sind, die aus in gleichen Abständen angeordneten Leitern besteht, welche in Serie geschaltet und auf dem jeweiligen Träger vorgesehen sind, wobei die Wicklung des einen Trägers mindestens zwei Gruppen von Leitern umfaßt, die zwei Kofunktionen entsprechen und miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet , daß beide Gruppen von Leitern auf eine Fläche (36) eines mehrschichtigen Elements aufgedruckt sind, wobei die andere Fläche (38) dieses Elements Hilfsleiter (28) aufweist, um die Leiter der beiden Gruppen in Serie zu schalten.Präzisions-Meßwandler nach Anspruch 1, bei dem das Element aus einer Schicht isolierenden Materials besteht, das auf den entsprechenden Träger geklebt werden kann, dadurch gekennzeichnet , daß die Leiter der einen Gruppe mit den Hilfsleitern (28) durch metallisierte, in der Schicht gebildete Löcher hindurch verbunden sind.3. Präzisions-Meßwandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht auf den entsprechenden Träger mit der Schicht, welche die Hilfsleiter (28) aufweist, aufgeklebt ist.4. Präzisions-Meßwandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Leittergruppen sich auf dem Träger des Läufers (17) befinden, während die Hilfsleiter (28) in der Nähe wenigstens einer709848/0965Kante des Läufers (17) angeordnet sind.5. Präzisions-Meßwandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklung Anschlußleiter enthält, welche zum einen Teil auf der einen Fläche (36) und zum anderen Teil auf der anderen Fläche (38) angeordnet sind, wobei die Anschlüsse jeweils mit einem Inselbereich zum Anschluß an einen Versorgungsschaltung verbunden sind, der zwischen den metallisierten Löchern und der Kante angeordnet ist.6. Verfahren zur Herstellung eines Meßwandlers nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß das mehrschichtige Element auf den entsprechenden Träger aufgeklebt wird, nachdem die Hilfsleiter (28) auf das Element aufgedruckt worden sind, wobei die Gruppen von Leitern auf das mehrschichtige Element aufgedruckt werden, nachdem dieses aufgeklebt wurde.7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß das Element nach einem Reinigungsund Beitzvorgang in Säure dadurch aufgeklebt wird, daß ein Trockenklebefilm zwischen dem halbbedruckten Element und dem entsprechenden Träger aufgebracht und die resultierende Verbindung für eine vorgegebene Zeit vorbestimmten Druck- und Temperaturverhältnissen ausgesetzt wird.8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß der Trockenklebefilm aus einem thermisch aushärtenden Acryl-Harz besteht mit einer Dicke zwi schen 0,05 und 0,1 mm und daß die Verbindung einem Druck zwi schen 20 und 30 kg/cma und einer Temperatur zwischen 120°709848/0965 " 3 "und 17O0C für eine Zeit zwischen 0,5 und 3 Stunden ausgesetzt wird.27 139/Chr709848/0965 ORIGINAL INSPECTED
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT68210/76A IT1072337B (it) | 1976-05-18 | 1976-05-18 | Trasduttore di precisione per misure di posizioni e relativo processo di fabbricazione |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2721720A1 true DE2721720A1 (de) | 1977-12-01 |
DE2721720C2 DE2721720C2 (de) | 1987-01-02 |
Family
ID=11308502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2721720A Expired DE2721720C2 (de) | 1976-05-18 | 1977-05-12 | Präzisions-Meßwandler für Positionsmessungen |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US4150352A (de) |
DE (1) | DE2721720C2 (de) |
FR (1) | FR2352277A1 (de) |
GB (1) | GB1534492A (de) |
IT (1) | IT1072337B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0287949A1 (de) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Kollmorgen Corporation | Abgeschirmter induktiver Sensor für bürstenlose Gleichstrommotoren |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3279286D1 (en) * | 1981-10-08 | 1989-01-19 | Atomic Energy Authority Uk | Transducers for providing an electrical signal representative of physical movement |
DE4408050A1 (de) * | 1994-03-10 | 1995-09-14 | Thomson Brandt Gmbh | Vorrichtung zur Umwandlung einer mechanischen in eine elektrische Größe |
US20030062889A1 (en) * | 1996-12-12 | 2003-04-03 | Synaptics (Uk) Limited | Position detector |
US6249234B1 (en) | 1994-05-14 | 2001-06-19 | Absolute Sensors Limited | Position detector |
EP0743508A2 (de) * | 1995-05-16 | 1996-11-20 | Mitutoyo Corporation | Positionssensor unter Anwendung des Strominduktionsprinzips |
US6002250A (en) * | 1996-05-13 | 1999-12-14 | Mitutoyo Corporation | Electronic linear scale using a self-contained, low-power inductive position transducer |
US5973494A (en) * | 1996-05-13 | 1999-10-26 | Mitutoyo Corporation | Electronic caliper using a self-contained, low power inductive position transducer |
US6788221B1 (en) | 1996-06-28 | 2004-09-07 | Synaptics (Uk) Limited | Signal processing apparatus and method |
US5886519A (en) * | 1997-01-29 | 1999-03-23 | Mitutoyo Corporation | Multi-scale induced current absolute position transducer |
ATE309519T1 (de) | 1997-05-28 | 2005-11-15 | Synaptics Uk Ltd | Verfahren und drahtbond-vorrichtung zur herstellung eines wandlers |
GB9720954D0 (en) | 1997-10-02 | 1997-12-03 | Scient Generics Ltd | Commutators for motors |
GB9721891D0 (en) | 1997-10-15 | 1997-12-17 | Scient Generics Ltd | Symmetrically connected spiral transducer |
GB9811151D0 (en) | 1998-05-22 | 1998-07-22 | Scient Generics Ltd | Rotary encoder |
AU769964B2 (en) * | 1998-11-27 | 2004-02-12 | Synaptics (Uk) Limited | Position sensor |
US6329813B1 (en) | 1998-12-17 | 2001-12-11 | Mitutoyo Corporation | Reduced offset high accuracy induced current absolute position transducer |
US7019672B2 (en) * | 1998-12-24 | 2006-03-28 | Synaptics (Uk) Limited | Position sensor |
US6489794B1 (en) | 2000-08-31 | 2002-12-03 | Micron Technology, Inc. | High speed pass through test system and test method for electronic modules |
US7511705B2 (en) * | 2001-05-21 | 2009-03-31 | Synaptics (Uk) Limited | Position sensor |
GB2403017A (en) * | 2002-03-05 | 2004-12-22 | Synaptics | Position sensor |
AU2003232360A1 (en) * | 2002-06-05 | 2003-12-22 | Synaptics (Uk) Limited | Signal transfer method and apparatus |
GB0317370D0 (en) * | 2003-07-24 | 2003-08-27 | Synaptics Uk Ltd | Magnetic calibration array |
GB0319945D0 (en) * | 2003-08-26 | 2003-09-24 | Synaptics Uk Ltd | Inductive sensing system |
EP2145158B1 (de) | 2007-05-10 | 2018-03-07 | Cambridge Integrated Circuits Limited | Wandler |
GB2488389C (en) | 2010-12-24 | 2018-08-22 | Cambridge Integrated Circuits Ltd | Position sensing transducer |
GB2503006B (en) | 2012-06-13 | 2017-08-09 | Cambridge Integrated Circuits Ltd | Position sensing transducer |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2866717A (en) * | 1952-08-13 | 1958-12-30 | Goodyear Tire & Rubber | Process of preparing a film casting surface |
US2866946A (en) * | 1955-09-26 | 1958-12-30 | Inductosyn Corp | Machine tool control |
US2964721A (en) * | 1957-05-13 | 1960-12-13 | Inductosyn Corp | Rotary position measuring transformer |
US3202948A (en) * | 1959-11-10 | 1965-08-24 | Inductosyn Corp | Precision transducer |
CH398098A (de) * | 1961-05-27 | 1965-08-31 | Wenczler & Heidenhain | Vorrichtung zur Bestimmung der Relativlage zweier Teile |
DE1267433B (de) * | 1959-11-10 | 1968-05-02 | Inductosyn Corp | Stellungsmesstransformator |
US3596222A (en) * | 1968-10-09 | 1971-07-27 | Olivetti & Co Spa | Precision electric transducer for position measuring on machine tools |
US3668587A (en) * | 1970-05-13 | 1972-06-06 | Inductosyn Corp | Multi-layer polyphase winding member and transformer |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3181095A (en) * | 1965-04-27 | Farrand etal precision transducers | ||
US3064218A (en) * | 1962-11-13 | farrand | ||
FR1185354A (fr) * | 1956-01-30 | 1959-07-31 | Thomson Houston Comp Francaise | Structure inductive avec circuits imprimés |
US2924798A (en) * | 1956-11-23 | 1960-02-09 | Inductosyn Corp | Wiring for slider of position measuring transformer |
US2915722A (en) * | 1957-05-13 | 1959-12-01 | Inductosyn Corp | Pattern for slider of position measuring transformer |
US2915721A (en) * | 1957-06-13 | 1959-12-01 | Inductosyn Corp | Reduction of single-turn loop coupling in position-measuring transformers |
GB1040071A (en) * | 1963-03-12 | 1966-08-24 | Rank Bush Murphy Ltd | Electrical filters or delay lines using printed inductance elements |
US3522568A (en) * | 1969-03-13 | 1970-08-04 | Inductosyn Corp | Tape scale for position measuring transformer |
US3798059A (en) * | 1970-04-20 | 1974-03-19 | Rca Corp | Thick film inductor with ferromagnetic core |
SU392539A1 (ru) * | 1971-03-05 | 1973-07-27 | Линейный индуктосин | |
US3673584A (en) * | 1971-03-08 | 1972-06-27 | Inductosyn Corp | Position-measuring transformer having end-detecting windings useful for positioning a magnetic head of a disc drive system |
US3732513A (en) * | 1971-10-14 | 1973-05-08 | Inductosyn Corp | Position-measuring transformer and scale member |
FR2159830A5 (de) * | 1971-11-10 | 1973-06-22 | Inductosyn Corp | |
US3833872A (en) * | 1972-06-13 | 1974-09-03 | I Marcus | Microminiature monolithic ferroceramic transformer |
-
1976
- 1976-05-18 IT IT68210/76A patent/IT1072337B/it active
-
1977
- 1977-04-14 US US05/787,536 patent/US4150352A/en not_active Expired - Lifetime
- 1977-04-20 GB GB16474/77A patent/GB1534492A/en not_active Expired
- 1977-05-06 FR FR7713879A patent/FR2352277A1/fr active Granted
- 1977-05-12 DE DE2721720A patent/DE2721720C2/de not_active Expired
-
1978
- 1978-10-31 US US05/956,240 patent/US4237602A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2866717A (en) * | 1952-08-13 | 1958-12-30 | Goodyear Tire & Rubber | Process of preparing a film casting surface |
US2866946A (en) * | 1955-09-26 | 1958-12-30 | Inductosyn Corp | Machine tool control |
US2964721A (en) * | 1957-05-13 | 1960-12-13 | Inductosyn Corp | Rotary position measuring transformer |
US3202948A (en) * | 1959-11-10 | 1965-08-24 | Inductosyn Corp | Precision transducer |
DE1267433B (de) * | 1959-11-10 | 1968-05-02 | Inductosyn Corp | Stellungsmesstransformator |
CH398098A (de) * | 1961-05-27 | 1965-08-31 | Wenczler & Heidenhain | Vorrichtung zur Bestimmung der Relativlage zweier Teile |
US3596222A (en) * | 1968-10-09 | 1971-07-27 | Olivetti & Co Spa | Precision electric transducer for position measuring on machine tools |
US3668587A (en) * | 1970-05-13 | 1972-06-06 | Inductosyn Corp | Multi-layer polyphase winding member and transformer |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0287949A1 (de) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Kollmorgen Corporation | Abgeschirmter induktiver Sensor für bürstenlose Gleichstrommotoren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2352277B1 (de) | 1983-08-19 |
DE2721720C2 (de) | 1987-01-02 |
GB1534492A (en) | 1978-12-06 |
US4150352A (en) | 1979-04-17 |
FR2352277A1 (fr) | 1977-12-16 |
US4237602A (en) | 1980-12-09 |
IT1072337B (it) | 1985-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2721720C2 (de) | Präzisions-Meßwandler für Positionsmessungen | |
DE3587443T2 (de) | Flüssigkristall-Anzeigebaustein. | |
DE69832249T2 (de) | Chip-induktivität und sein herstellungsverfahren | |
DE69207520T2 (de) | Elektrische Leiterplattenbaugruppe und Herstellungsverfahren für eine elektrische Leiterplattenbaugruppe | |
DE3132845A1 (de) | Elektroakustischer wandler und verfahren zu seiner herstellung | |
DE1817434B2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Leitungsanordnung | |
DE2937886A1 (de) | Leiterplatte fuer gedruckte schaltung | |
DE3013667C2 (de) | Leiterplatte und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE2558367A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer mehrschichtigen gedruckten schaltung | |
DE2315711A1 (de) | Verfahren zum kontaktieren von in einem halbleiterkoerper untergebrachten integrierten schaltungen mit hilfe eines ersten kontaktierungsrahmens | |
DE10243637A1 (de) | Leiterplatte mit mindestens einem starren und mindestens einem flexiblen Bereich sowie Verfahren zur Herstellung von sterr-flexiblen Leiterplatten | |
DE19721101A1 (de) | Elektronische Komponenten mit Harz-überzogenen Zuleitungsanschlüssen | |
DE3245272A1 (de) | Verfahren zur herstellung miniaturisierter dick- und duennschichtschaltungen | |
DE1123723B (de) | Verfahren zum Herstellen gedruckter Schaltungen | |
DE2259133A1 (de) | Verfahren zum kontaktieren einer halbleiteranordnung | |
DE1515846B1 (de) | Uebertragungsleitung mitkleinem Wellenwiderstand | |
DE69622922T2 (de) | Leiterplatte für Elektronikkomponenten mit hochdichten Anschlüssen und ihre Herstellung | |
DE69605011T2 (de) | Baugruppe aus elektrischen Leiterplatten, sowie Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE1930642A1 (de) | Leiterplatte zum Aufnehmen und Verbinden elektrischer Bauelemente | |
DE60005354T2 (de) | Leiterplattenherstellung | |
DE1765341B1 (de) | Verfahren zur herstellung einer mehrlagigen gedruckten schaltung | |
DE3938665A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines traegerbands | |
EP0278485B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Digitalisiertabletts | |
DE60129012T2 (de) | Prozess zum stapeln von schichten, die eine mehrschichtige leiterplatte bilden | |
DE3222938C2 (de) | Vielschicht-Keramikplatte mit mindestens einem darin gebildeten Kondensator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: MUELLER-BOERNER, R., DIPL.-ING., 1000 BERLIN WEY, |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |