DE3225255C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine federnde Aufhängung in einem
Kraftumformer der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen
Gattung.
Bei Kraftumformern, wie sie z. B. aus den US-PS
37 02 073 und 41 82 187 sowie 42 50 757 bekannt sind,
ist ein Fühler an einem Befestigungsorgan bzw. einem
Haltering mittels einer federnden Aufhängung gesichert,
die es dem Fühler erlaubt, sich aufgrund der Einwirkung
kleiner Kräfte relativ zu dem Befestigungsorgan zu bewegen.
Bei einem solchen Beschleunigungsmesser kann die
federnde Aufhängung von bifilarem Aufbau sein und aus
zwei dünnen ebenen Elementen bestehen.
Zur Herstellung elektrischer Anschlüsse an Schaltungskomponenten,
die an dem Fühler angeordnet sind, können entweder
biegsame Zuleitungen zwischen Haltering und Fühler verwendet
werden, oder es kann eine Dünnschicht aus elektrisch leitfähigem
Werkstoff direkt auf die federnde Aufhängung oder auf
eine nichtleitende Beschichtung auf dieser, falls sie selbst
elektrisch leitfähig ist, aufgebracht werden. Wenn solche
Werkstoffe auf die Aufhängung aufgebracht werden, werden in
der federnden Aufhängung Spannungen erzeugt infolge der
unterschiedlichen Temperaturkoeffizienten von Aufhängung und
leitfähigen Werkstoffen oder auch durch das Aufbringverfahren
selbst. Diese Spannungen resultieren wiederum in Kräften,
die danach trachten, den Fühler aus einer Neutrallage
auszulenken. Bei Umformern mit Servosystem, bei denen eine
Rückstellkraft zur Einwirkung gelangt, um den Fühler in der
Neutrallage zu halten, wird infolge dieser Spannungen ein
Auslenkungsfehler erzeugt. Bei Umformern mit Steuersystem,
bei denen der Auslenkungsbetrag des Fühlers erfaßt wird,
wird ebenfalls ein Auslenkungsfehler erzeugt.
Bei solchen Umformern, die leitfähige Beschichtungen verwenden,
wird versucht, die Dünnschichtspannungen dadurch
auszugleichen, daß die Dünnschichten gleichmäßig auf die
obere und die untere Seite der Aufhängungsabschnitte aufgebracht
werden. Bei dieser Ausbildung werden zwar Fehler in
gewissem Umfang reduziert, es ist dabei jedoch ein exakter
Ausgleichsvorgang während der Schichtabscheidung erforderlich,
um die Schichtdicke auf beiden Seiten der Aufhängungsabschnitte
gleich zu machen. Ferner hängt dieser Ausgleichsvorgang
von der Stabilität der Schichtspannungen über die
Zeit sowie auch von weiteren Faktoren wie Umgebungstemperatur,
Werkstoffreinheit und Oberflächenverschmutzung ab.
Bei bekannten Umformern hat es sich als erwünscht erwiesen,
die dünnstmögliche federnde Aufhängung zu verwenden, die mit
den Festigkeits- und Elastizitäts-Anforderungen an einen
ordnungsgemäßen Betrieb vereinbar ist, so daß Spannungs-Auswirkungen,
die zu Auslenkungsfehlern führen, minimiert
werden. Es hat sich jedoch gezeigt, daß die Federkonstante,
und zwar unabhängig davon, ob es sich um die Winkel- oder
die lineare Federkonstante handelt, die durch eine federnde
Aufhängung gegeben ist, der dritten Potenz der Dicke t der
Aufhängung proportional ist, wogegen das Biegemoment der
Aufhängung infolge von durch das Aufbringen leitfähiger
Streifen hervorgerufenen mechanischen Spannungen nur der
Dicke t proportional ist. Wenn z. B. die Dicke der Aufhängung
um 30% verringert wird, so daß die dadurch erhaltene
Winkelfederkonstante von 20 g/rad auf 7 g/rad geändert
wird, wird das durch Spannungsauswirkungen in der leitfähigen
Beschichtung auftretende Fehlermoment nur um einen
Faktor 1,42 verringert. Somit ist ersichtlich, daß die
Untergrenze des Bereichs annehmbarer Federkonstanten, die
durch eine konventionelle Aufhängung erhalten werden, längst
erreicht ist, bevor das Fehlermoment auf einen unerheblichen
Wert verringert wird. Infolgedessen müssen bei diesen
Aufhängungsarten Kompromisse geschlossen werden zwischen der
Erzielung der erwünschten Federkonstanten und Aufhängungs-
Festigkeit und der Minimierung der zu Fehlern führenden
Spannungsauswirkungen.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Kraftumformers
mit federnder Aufhängung, bei der elektrisch leitfähige
Beschichtungen auf Flächen vorgesehen sind, die im wesentlichen
auf oder in der neutralen Biegeebene der Aufhängung
liegen, wobei mechanische Spannungen in der Grenzfläche
zwischen der leitfähigen Schicht und der Aufhängung nicht
zu Auslenkungsfehlern führen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden
Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Da die leitfähige Beschichtung auf einer Fläche positioniert
ist, die im wesentlichen in der neutralen Biegeebene der
Aufhängung liegt, führen mechanische Spannungen in der
Grenzfläche zwischen der leitfähigen Schicht und der Aufhängung
nicht zu Auslenkungsfehlern, und zwar deshalb,
weil das durch solche mechanischen Spannungen bewirkte
Biegemoment der Entfernung der Grenzfläche von der neutralen
Biegeebene proportional ist. Da diese Entfernung im
wesentlichen Null ist, wird das Biegemoment minimiert,
und Auslenkungsfehler werden praktisch vollständig,
mindestens jedoch ganz erheblich, reduziert.
Die Aufhängung kann aus einem oder mehreren Teilen bestehen,
deren jeder einen oder mehrere Kanäle mit einer vertieften
Fläche enthält, die im wesentlichen in der neutralen
Biegeebene der Aufhängung liegt.
Da die leitfähige Beschichtung immer auf oder nahe der
neutralen Biegeebene angeordnet ist, ist die Größe eines
von der leitenden Beschichtung eingeführten Fehlers im
wesentlichen unabhängig von Dicke und Gesamtlänge und
-breite der Aufhängung. Infolgedessen kann die federnde
Aufhängung so ausgebildet sein, daß sich eine ausreichende
Festigkeit und die erwünschte Federkonstante für den
Beschleunigungsmesser ergeben, ohne daß merkliche Auslenkungsfehler
infolge von Schichtspannungen hervorgerufen
werden.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise
näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine teilweise geschnittene perspektivische
Explosionsansicht eines Kraftumformers mit
federnder Aufhängung;
Fig. 2 eine größere Teildraufsicht auf die Aufhängung
von Fig. 1;
Fig. 3 eine teilweise Perspektivansicht längs der
Linie 3-3 von Fig. 3;
Fig. 4 eine Querschnittsansicht einer Aufhängung
mit Kanälen ungleicher Breite;
Fig. 5 eine Perspektivansicht ähnlich Fig. 3, die
ein weiteres Ausführungsbeispiel der bifilaren
federnden Aufhängung zeigt; und
Fig. 6 und 7 teilweise Perspektivansichten ähnlich Fig. 3,
die zwei Ausführungsbeispiele einer Aufhängung
mit einem einzigen Teil zeigen.
Die Fig. 1 und 2 zeigen einen Kraftumformer in Form eines
Beschleunigungsmessers 10 mit Servosystem, wobei eine
federnde Aufhängung 12 vorgesehen ist. Der Beschleunigungsmesser
10 entspricht dem Typ gemäß der US-PS 37 02 073,
obwohl die federnde Aufhängung natürlich auch in anderen
Kraftumformern einsetzbar ist, die eine Winkel- oder eine
geradlinige Bewegung eines Fühlers nutzen.
Der Beschleunigungsmesser 10 besteht aus zwei zylindrischen
Gehäusehälften 14 a, 14 b sowie einem zwischen beiden gesicherten
Feder-Masse-System 16.
Die Gehäusehälften 14 a, 14 b sind im wesentlichen identisch
ausgebildet, und somit wird nur die Gehäusehälfte 14 a
erläutert. Diese umfaßt eine zylindrische Gehäusewand
17 mit einer nach innen verlaufenden Rippe 18, die ein
magnetisches Polstück bildet und um einen Boden verläuft,
so daß eine Basis 19 gebildet ist. Das Polstück 18 hat
eine zylindrische Innenwand 20, die eine Aussparung 22
definiert. Auf der Basis 19 innerhalb der Aussparung 22
ist ein zylindrischer Dauermagnet 24 gesichert, dessen
Außenumfangsfläche von der zylindrischen Innenwand 20
beabstandet ist, so daß zwischen beiden ein Ringspalt
26 gebildet ist.
Das Feder-Masse-System 16 umfaßt einen Fühler bzw. einen
Flügel 30, der schwenkbar mittels der federnden Aufhängung
12 an einem Haltering bzw. einem Befestigungsorgan 32
gesichert ist.
Bei dem gezeigten Beschleunigungsmesser kann der Fühler
30 sich infolge der federnden Aufhängung 12 relativ zu
dem Haltering 32 auf einer gekrümmten Bahn bewegen. Es
ist jedoch zu beachten, daß die federnde Aufhängung auch
bei einem Umformer verwendbar ist, der eine geradlinige
Bewegung des Fühlers längs der Achse des Kraftumformers
nutzt.
Auf der Oberseite 40 und der Unterseite 41 des Fühlers
30 sind zwei Rückstell- bzw. Drehmomentspulen 42 bzw.
43 angeordnet. Die Rückstellspulen 42, 43 sind auf Spulenkörper
gewickelt, die in den in jeder Gehäusehälfte 14 a, 14 b
gebildeten Ringspalt 26 einsetzbar sind, wenn die verschiedenen
Bauteile des Beschleunigungsmessers 10 zusammengefügt
werden.
Auf der Oberseite 40 des Fühlers 30 ist eine elektrisch
leitfähige Schicht 45 vorgesehen. Eine gleichartige elektrisch
leitfähige Schicht ist auf der Unterseite 41 des
Fühlers 30 vorgesehen. Diese Schichten bilden zwei Kondensatorplatten,
die mit einer Fläche 21 des Polstücks 18 und
einer entsprechenden Fläche des Polstücks der Gehäusehälfte
14 b in noch zu erläuternder Weise in Wechselwirkung treten.
Auf einer Oberfläche 36 des Halterings 32 sind drei Befestigungs-
Druckunterlagen 34 (nur zwei davon sind gezeigt)
angeordnet. Drei zusätzliche Druckunterlagen sind axial
entgegengesetzt den Druckunterlagen 34 auf der Unterseite
38 des Halterings 32 angeordnet.
Der Haltering 32 ist zwischen den Gehäusehälften 14 a, 14 b
so gesichert, daß eine Lippe der zylindrischen Gehäusewand
17 und eine entsprechende Lippe der Gehäusehälfte 14 b die
Befestigungs-Druckunterlagen beaufschlagen, und die Rückstellspulen
42, 43 sind in dem Ringspalt 26 bzw. einem
entsprechenden Ringspalt der Gehäusehälfte 14 b aufgenommen.
Zwei veränderliche Kondensatoren 48, 49 sind in dem Beschleunigungs
messer 10 ausgebildet, wobei der eine aus
der Fläche 21 und der Beschichtung auf der Unterseite
38 und der andere aus einer der Fläche 21 entsprechenden
Fläche des Polstücks der Gehäusehälfte 14 b und der Beschichtung
45 auf der Oberseite 40 des Fühlers 30 besteht.
Die Leiterschichten auf der Oberseite 40 und der Unterseite
41 sowie die Rückstellspulen 42, 43 sind an äußere Schaltkreise
über vier Leiterbahnen 47 a-d angeschlossen, die
über die federnde Aufhängung 12 zu dem Haltering 32 verlaufen.
Die elektrischen Anschlüsse an externe Schaltkreise
erfolgen vom Haltering 32 über vier Anschlußstifte (nicht
gezeigt), die in den Gehäusewandungen der Gehäusehälften
14 a, 14 b angeordnet sind.
Wenn der Beschleunigungsmesser 10 mit einer Beschleunigung
längs seiner Achse beaufschlagt wird, verschiebt sich
der Fühler 30 relativ zu dem Haltering 32 und den Gehäusehälften
14 a, 14 b, wodurch sich eine Kapazitätsänderung
der Kondensatoren 48, 49 ergibt. Die Kapazitätsänderung
wird von einem Servosystem (nicht gezeigt) erfaßt, das
wiederum ein der Kapazitätsänderung proportionales Signal
an die Rückstellspulen 42, 43 anlegt. Das von den Rückstellspulen
42, 43 erzeugte resultierende Magnetfeld gelangt
mit dem von den Dauermagneten in den Gehäusehälften 14 a,
14 b erzeugten Magnetfeld in Wechselwirkung und wirkt der
Verschiebung des Fühlers 30 entgegen. Der Strom, den die
Rückstellspulen 42, 43 benötigen, um den Fühler 30 in
einer Nullage zu halten, bezeichnet die Beschleunigungskraft,
mit der der Beschleunigungsmesser beaufschlagt wird.
Eine nähere Erläuterung des Beschleunigungsmessers 10
findet sich in der US-PS 37 02 073.
Fig. 3 zeigt das bevorzugte Ausführungsbeispiel der federnden
Aufhängung 12.
Die Aufhängung ist als bifilare Schwenkeinheit ausgebildet
mit zwei Aufhängungsabschnitten 60, 62, die zwischen dem
Fühler 30 und dem Haltering 32 angeordnet sind. Die Aufhängungs
abschnitte 60 und 62 sind durch einen Spalt voneinander
beabstandet, der ebenfalls zwischen dem Haltering 32 und
dem Fühler 30 verläuft.
Die Aufhängungsabschnitte 60 und 62 haben im wesentlichen den
gleichen Querschnitt, und so wird nur der Teil 60 erläutert.
Der Aufhängungsabschnitt 60 umfaßt eine Oberseite und eine
Unterseite 64 und 66, die im wesentlichen parallel zueinander
verlaufen, sowie zwei Randflächen 68, 70, die im wesentlichen
senkrecht zu den Seiten 64 und 66 verlaufen. Die Ober- und
die Unterseite 64 und 66 könnten auch nichtparallel zueinander
verlaufen, wobei die Nullachse-Kanäle trotzdem verwendet
werden könnten.
Der Aufhängungsabschnitt 60 weist zwei Kanäle 71, 73 auf, die
in den Oberflächen 64, 66 angeordnet sind. Die Kanäle 71, 73
haben vertiefte Flächen 72, 74, die im wesentlichen koplanar
sind und mit der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts
zusammenfallen.
Die neutrale Biegeebene ist diejenige Ebene, die bei einer
Wölbung der Aufhängung keinem mechanischen Zug bzw. keiner
Kompression ausgesetzt ist. Bei einer federnden Aufhängung
mit gleichmäßigem Viereckquerschnitt, die durch zwei parallele
Flächen und zwei Ränder entsprechend Fig. 3 gebildet
ist, besteht die neutrale Biegeebene aus Punkten, die
von den Flächen der Aufhängevorrichtung im wesentlichen
gleichbeabstandet sind, d. h., der in der Mitte zwischen
den Flächen der Aufhängung liegenden Ebene.
Wenn die Kanäle jeder einzelnen Aufhängung nicht die gleiche
Breite haben entsprechend Fig. 3, so schneidet die neutrale
Biegeachse (-ebene) die Aufhängung nicht, sondern ist
statt dessen zum schmaleren Kanal hin versetzt. Ein Querschnitt
einer solchen Aufhängung ist in Fig. 4 gezeigt. In
einem solchen Falle ist die Lage der Neutralachse durch die
folgende Formel bestimmt:
Y = Y₀[-( Δ p/Δ ul) + [( Δ p/Δ ul)²-1]1/2] (1)
wobei Y eine Koordinate der Aufhängungs-Mittenlinie des
Bodens jedes Kanals ist wobei Δ p/Δ ul 1. Y₀ ist die
halbe Gesamtdicke der Aufhängung; Δ p ist 2× (Aufhängungsbreite)-
(Summe der Kanalbreiten). Δ ul ist (Breite oberer
Kanal)-(Breite unterer Kanal).
Es ist zu beachten, daß die tatsächliche neutrale Biegeachse
geringfügig außerparallel mit der Ebene der Aufhängung
verläuft infolge der Asymmetrie um die jeweilige Aufhängungs-
Mittenlinie; zwar ist dieser Effekt normalerweise
gering, jeder Kanal könnte jedoch so positioniert sein, daß
die neutrale Biegeachse durch die Mitte des Kanals verläuft,
wenn die Winkelrotation erheblich wird.
Die Kanäle 71, 73 haben ferner Seitenwandungen 71 a, 71 b bzw.
73 a, 73 b. Die Kanäle sind zwar in den Fig. 1-3 als mit
ebenen Wandungen 71 a, 71 b und 73 a, 73 b ausgebildet gezeigt,
die zu den Flächen 64, 66 senkrecht verlaufen; diese Flächen
können aber auch abgeschrägt oder gekrümmt mit einem kleinen
Radius verlaufen. Ferner können die Aufhängungsabschnitte im
Bereich ihrer Verbindung mit dem Fühler 30 und dem Haltering
32 abgeschrägt oder gekrümmt sein, um einen gleichmäßigen
Übergang zwischen diesen vorzusehen anstelle des abrupten
Übergangs nach den Fig. 1 und 2.
Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind der Fühler
30, der Haltering 32 und die Aufhängung 12 aus einem Stück
Quarzglas gebildet, das durch Ätzen oder in anderer Weise
die erwünschte Form erhält.
Nachdem die vertieften Flächen 72, 74 ausgebildet sind,
wird eine dünne Schicht aus elektrich leitfähigem Werkstoff,
z. B. Gold, über die Länge der vertieften Flächen beider
Aufhängungsabschnitte aufgebracht, daß sie zwischen dem
Fühler 30 und dem Haltering 32 verläuft.
Die Aufhängung 12 kann auch aus elektrisch leitfähigem
Werkstoff gebildet sein, wobei zuerst eine nichtleitende
Beschichtung auf die Aufhängung und anschließend die Leiterstreifen
47 aufgebracht werden.
Da das Biegespannungsmoment der Dünnschicht der Entfernung
proportional ist und die Leiterstreifen 47 auf der neutralen
Biegeachse bzw. -ebene angeordnet sind, erzeugt eine an
der neutralen Biegeebene parallel zu deren Oberfläche einwirkende
Kraft kein Biegemoment, da die Entfernung dann gleich
Null ist. Infolgedessen wird durch einen direkt auf der
neutralen Biegeachse der Aufhängung aufgebrachten Leiterstreifen
kein Fehler am Ausgang des Umformers infolge von
mechanischen Spannungen an der Grenzfläche zwischen Leiterstreifen
und federnder Aufhängung erzeugt. Da der Leiterstreifen
eine endliche Dicke hat, verlaufen idealerweise
- jedoch nicht notwendigerweise - die Kanalflächen 72, 74
um eine halbe Streifendicke neben der neutralen Biegeachse,
so daß der Leiterstreifen selbst auf der neutralen Biegeachse
zentriert ist.
Die folgenden Abmessungen haben sich beispielsweise als
günstig für zufriedenstellende Ergebnisse erwiesen:
Die Konfiguration der Aufhängung 12 von Fig. 3 wird nachstehend
als antisymmetrisch bezeichnet, d. h., die Aufhängungsabschnitte
haben zwar im wesentlichen gleichen Querschnitt,
sind aber nicht spiegelbildlich gleich.
Die Dicke, Länge und Breite der Aufhängungsabschnitte kann
so gewählt werden, daß sich eine ausreichende Festigkeit
und die erwünschte Federkonstante für einen ordnungsgemäßen
Betrieb des Beschleunigungsmessers einstellen, ohne daß
Auslenkungsfehler merklich erhöht werden. Infolgedessen
ist, im Gegensatz zu bekannten Kraftumformern, die Größe
des Fehlers, der von den Leiterstreifen 47 eingeführt wird,
im wesentlichen unabhängig von den Abmessungen der Aufhängungs
abschnitte. Es ist zu beachten, daß jeder Kanal auch
mehr als einen isolierten Leiterstreifen tragen kann.
Fig. 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel, das ausgewählte Merkmale
der Ausführungsbeispiele nach den Fig. 3 und 4 vereinigt.
Diese Konfiguration ist z. B. dann vorteilhaft, wenn ein geringerer
Lastwiderstand erforderlich ist, jedoch aufgrund der
Geometrie des Beschleunigungsmesserrs Symmetrie verlangt wird.
Wie aus Fig. 5 ersichtlich ist, sind zwei Aufhängungsabschnitte
100, 102 symmetrisch, d. h. sie sind spiegelbildlich
gleich, haben jedoch die allgemeine Konfiguration der Teile
nach Fig. 3. Es ist zu beachten, daß die Aufhängungsabschnitte
im wesentlichen die gleichen Abmessungen wie in Fig. 3 haben.
Fig. 6 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel, jedoch ohne
eine trennende Öffnung zwischen den Aufhängungsabschnitten.
Diese Ausbildung kann in einer bifilaren Konfiguration
verwendet werden, bei der mehr als vier elektrische Zuleitungen
notwendig sind und die Kanäle nicht mehr als einen
Leiter aufnehmen können, oder sie kann in einer einteiligen
Konfiguration verwendet werden, bei der für
eine bifilare Konstruktion nicht ausreichend Platz
vorhanden ist, so daß die breitere Fläche 110 zwei isolierte
Leiterstreifen tragen kann. Es ist eine einteilige Aufhängung
104 gezeigt mit Kanälen 106, 108 und 110, die vertiefte
Flächen 107, 109 bzw. 111 aufweisen. Zwei Kanäle 106, 108
sind in einer Oberfläche 114 der Aufhängung 104 ausgebildet,
und der dritte Kanal 110 ist in der anderen Oberfläche 116
ausgebildet, so daß die Fläche 111 zwischen den Flächen 107,
109 liegt und koplanar damit verläuft. Die Flächen 107, 109
und 111 sind jeweils im wesentlichen in der neutralen
Biegeebene der Aufhängung vorgesehen, und die Leiterstreifen
47 sind auf die Flächen aufgebracht. Wenn die Breite des
Kanals 107 plus diejenige des Kanals 109 gleich der Breite
des Kanals 110 ist, liegt die neutrale Biegeachse in der die
Aufhängung 104 halbierenden Ebene; im übrigen ist die Lage
der neutralen Biegeachse durch eine Formel entsprechend der
Zweikanal-Formel nach Gleichung (1) bestimmt. Diese Konfiguration
weist ebenfalls keine Rotation der neutralen Achse
relativ zu der Ebene der Aufhängung auf.
Fig. 7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel mit einer
einstückigen Aufhängung, bei der die Asymmetrie minimiert
ist. Es ist auch möglich, mehr als eine solche Aufhängung zu
verwenden. Ein Abschnitt 120 umfaßt zwei Paare von Kanälen
mit miteinander ausgerichteten vertieften Flächen 122, 124
und 126, 128. Zwei Stegteile 130, 132 sind gebildet, und
zwar einer zwischen den Flächen 122, 124 und einer zwischen
den Flächen 126, 128.
Die vertieften Flächen 122, 128 sind im wesentlichen in der
neutralen Ebene der Aufhängung, während die vertieften
Flächen 124, 126 geringfügig von dieser neutralen Ebene
versetzt sind. Infolgedessen resultiert das Aufbringen von
Leitermaterial auf die vertieften Flächen 122, 124, 126, 128
im Auftreten von mechanischen Spannungen nur in zwei der
vier Kanäle, d. h., mechanische Spannungen treten nur
infolge des Leitermaterials in den vertieften Flächen 124,
126 auf. Alternativ kann Leitermaterial auch nur auf die auf
der neutralen Achse liegenden Flächen 122, 128 aufgebracht
werden. Die Lage dieser Flächen kann über eine Gleichung
bestimmt werden, die ähnlich der Zweikanal-Formel von
Gleichung (1) ist. Jedenfalls ergeben sich die richtige
Federkonstante und Festigkeit der Aufhängung im wesentlichen
durch relativ dicke Rippen 140, 142, 144, die zu beiden
Seiten der Stegabschnitte 130, 132 vorgesehen sind.
Wie vorstehend erwähnt, kann die Aufhängung nach Fig. 7 in
einer bifilaren Konfiguration verwendet werden, wobei diese
entweder symmetrisch oder antisymmetrisch sein kann. Bei der
antisymmetrischen Konfiguration können zwei identische
Aufhängungen der Art nach Fig. 8 verwendet werden, wobei das
Leitermaterial nur auf die in der neutralen Ebene liegenden
Flächen 122 und 128 beider Aufhängungen aufgebracht ist.
Bei einer weiteren Anordnung kann die Aufhängung nach Fig. 7
so ausgebildet sein, daß beide vertieften Flächen auf einer
Seite der Aufhängung, z. B. 124 und 128, in der neutralen
Ebene der Aufhängung liegen. Ferner brauchen federnde
Aufhängungen dieser Art keine parallelen Flächen aufzuweisen,
sondern diese können z. B. in Richtung zum Fühler
verjüngt verlaufen, um eine Aufhängung mit gleichbleibender
Festigkeit zu erhalten.
Ferner ist zu beachten, daß die vorstehend erläuterte
Möglichkeit zur Verminderung der Auswirkung mechanischer
Spannungen einer Beschichtung auf einer Aufhängung auch mit
einer Aufhängung anwendbar ist, die nicht unbedingt die
Haupthalterung des Fühlers darstellt. Ein solcher Aufbau,
der einen Fühler mit einem Befestigungsorgan verbindet,
würde immer noch eine gewisse strukturelle Integrität
erfordern, während gleichzeitig minimale Auslenkungskräfte
oder -momente erzeugt werden. Ferner ist zwar bei der
Aufhängung nach den Fig. 1-4 der dünne Abschnitt der
Aufhängung einstückig mit den dickeren Rippen
ausgebildet, bei manchen Anwendungsfällen ist es aber
nicht notwendig, daß der die Leiterstreifen 47 aufweisende
dünne Abschnitt mit den Stützrippen
verbunden ist.
Bei den verschiedenen erläuterten Ausführungsbeispielen der
Erfindung ist vorgesehen, daß die verschiedenen Kanäle, die
mit der neutralen Biegeachse der Aufhängung fluchten, auf
Aufhängungen positioniert sind, die die Hauptstütze des
Fühlers 30 in bezug auf den Haltering 32 bilden. Das Konzept
der Aufbringung von Leitermaterial wie etwa der Leiterstreifen
47 längs der neutralen Biegeachse eine Aufhängung läßt
sich jedoch ebenso auf eine keine Last tragende Aufhängung
oder ein biegbares Element anwenden.
Ferner ist zu beachten, daß zwar bei den verschiedenen
Ausführungsbeispielen die Kanäle von dem Fühler 30 zu dem
Haltering 32 verlaufen, daß aber das elektrisch leitfähige
Material 47 auch nur auf einen Teil der neutralen Biegeachse
der Aufhängung aufbringbar ist, und zwar bevorzugt dort, wo
die geringste Festigkeit der Aufhängung verlangt wird, um so
die durch die Leiterstreifen 47 erzeugten mechanischen
Spannungen zu minimieren.
Claims (46)
1. Federnde Aufhängung in einem Kraftumformer, der ein
Befestigungsorgan und einen Fühler mit einem elektrischen
Schaltungsbauteil aufweist, zur Sicherung des Fühlers
an dem Befestigungsorgan, wobei ein Ende der federnden
Aufhängung an dem Befestigungsorgan und ihr anderes
Ende an dem Fühler befestigt ist,
gekennzeichnet durch
- - mindestens einen Aufhängungsabschnitt mit zwei Oberflächen und zwei Randflächen, der sich zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt;
- - mindestens einen Kanal mit einer vertieften Fläche, der sich von einer der Oberflächen in den Aufhängungsabschnitt erstreckt, wobei mindestens eine vertiefte Fläche einer Randfläche benachbart ist und die vertieften Flächen mit der neutralen Biegeachse des Aufhängungsabschnitts fluchtend ausgerichtet sind; und
- - ein elektrisches Leitermaterial (47), das auf die vertiefte Fläche aufgebracht ist und sich zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt.
2. Aufhängung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf die federnde Aufhängung ein elektrisches Leitermaterial
(47) aufgebracht ist und sich zwischen dem
elektrischen Schaltungsbauteil (45, 49) und dem Befestigungsorgan
(32) erstreckt, wobei mindestens ein
Teil des Leitermaterials (47) auf der Aufhängung mit
der neutralen Biegeachse der Aufhängung (12) fluchtet.
3. Aufhängung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Teil des Leitermaterials (47), der auf der
Aufhängung (12) mit der neutralen Biegeachse fluchtend
vorgesehen ist, sich über die Gesamtlänge der Aufhängung
erstreckt.
4. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß ungefähr die Hälfte des Leitermaterials, das mit
der neutralen Biegeachse fluchtend angeordnet ist,
über und das verbleibende Leitermaterial unter der
neutralen Biegeachse liegt.
5. Federnde Aufhängung gemäß Oberbegriff von Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
- - einen Aufhängungsabschnitt (60), dessen eines Ende an dem Fühler (30) und dessen anderes Ende an dem Befestigungsorgan (32) gesichert ist;
- - einen in dem Aufhängungsabschnitt (60) ausgebildeten Kanal (71) mit einer vertieften Oberfläche (72), die sich über mindestens einen Teil der Entfernung zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt, wobei mindestens ein Teil der vertieften Fläche (72) mit der neutralen Biegeachse des Aufhängungsabschnitts (60) fluchtet; und
- - ein auf die vertiefte Fläche (72) aufgebrachtes elektrisches Leitermaterial (47), das sich zwischen dem elektrischen Schaltungsbauteil (45) auf dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt.
6. Aufhängung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Leitermaterial (47) auf die vertiefte Fläche
(72) so aufgebracht ist, daß es längs der neutralen
Biegeachse ausgerichtet ist.
7. Aufhängung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich die vertiefte Fläche (72) über die Gesamtlänge
der Aufhängung (12) vom Fühler (30) zum Befestigungsorgan
(32) erstreckt.
8. Aufhängung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der mit der neutralen Biegeachse im wesentlichen
fluchtende Teil der vertieften Fläche (72) sich im
wesentlichen über die Gesamtlänge der vertieften Fläche
erstreckt.
9. Aufhängung nach einem der Ansprüche 5-8,
dadurch gekennzeichnet,
daß ungefähr die Hälfte des elektrischen Leitermaterials
oberhalb und das übrige Leitermaterial unterhalb der
neutralen Biegeachse angeordnet ist.
10. Federnde Aufhängung gemäß Oberbegriff von Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
- - einen Aufhängungsabschnitt (60) mit zwei Oberflächen (64, 66), die zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verlaufen;
- - mindestens einen Kanal (71) mit einer vertieften Fläche (72), der sich von einer der Flächen (64, 66) in den Aufhängungsabschnitt (60) erstreckt, wobei die vertiefte Fläche (72) mit der neutralen Biegeachse des Aufhängungsabschnitts (60) fluchtet; und
- - ein elektrisches Leitermaterial (47), das auf die vertiefte Fläche zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) aufgebracht ist.
11. Aufhängung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß in jeder der Oberflächen (64, 66) ein Kanal angeordnet
ist, so daß jede vertiefte Fläche (72, 74) der
Kanäle (71, 73) längs der neutralen
Biegeachse des Aufhängungsabschnitts (60) verläuft.
12. Aufhängung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Aufhängungsabschnitt (60) ferner zwei Randflächen
(70, 68) aufweist, die zwischen dem Fühler
(30) und dem Befestigungsorgan (32) verlaufen, und
daß die Kanäle (71, 73) von den Randflächen (70, 68)
beabstandet sind.
13. Aufhängung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Kanal (110) in einer Oberfläche (116)
und ein zweiter und ein dritter Kanal (106, 108) in
der anderen Oberfläche (114) angeordnet sind, so daß
die vertieften Flächen (107, 109, 111) von mindestens
zwei Kanälen (106, 108, 110) in der
Ebene der neutralen Biegeachse liegen.
14. Aufhängung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß die vertiefte Fläche (111) des ersten Kanals (110)
zwischen den vertieften Flächen (107, 109) des zweiten
und des dritten Kanals (106, 108) liegt, wobei sämtliche
vertieften Flächen (107, 109, 111) in der Ebene der
neutralen Biegeachse liegen.
15. Aufhängung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß in jeder Oberfläche zwei Kanäle ausgebildet sind,
so daß zwei vertiefte Flächen (122, 124, 126, 128)
der Kanäle längs der neutralen Biegeachse des Auf
hängungsabschnitts liegen.
16. Aufhängung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Kanäle mit den längs der neutralen Biegeachse
verlaufenden vertieften Flächen (122, 124, 126, 128)
in entgegengesetzten Oberflächen des Aufhängungsabschnitts
ausgebildet sind.
17. Aufhängung nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß jeder Kanal mit einer vertieften Fläche (122, 128)
längs der neutralen Biegeachse mit jeweils einem der
Kanäle in der anderen Oberfläche des Aufhängungsabschnitts
fluchtet.
18. Aufhängung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Kanäle, die vertiefte Flächen (122, 128) längs
der neutralen Biegeachse aufweisen, in derselben Oberfläche
des Aufhängungsabschnitts ausgebildet sind.
19. Aufhängung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Kanäle mit vertieften Flächen längs der neutralen
Biegeachse fluchtend mit den Kanälen in der
anderen Oberfläche des Aufhängungsabschnitts angeordnet
sind.
20. Aufhängung nach einem der Ansprüche 10-19,
gekennzeichnet durch
einen zweiten Aufhängungsabschnitt (62), der in bezug
auf den ersten Aufhängungsabschnitt (60) antisymmetrisch
ausgebildet ist.
21. Aufhängung nach einem der Ansprüche 10-19,
gekennzeichnet durch
einen zweiten Aufhängungsabschnitt (62), der in bezug
auf den ersten Aufhängungsabschnitt (60) symmetrisch
ausgebildet ist.
22. Federnde Aufhängung gemäß Oberbegriff von Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
- - einen Aufhängungsabschnitt (60) mit zwei Oberflächen (64, 66), der zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verläuft;
- - einen ersten und einen zweiten Kanal (71, 73) mit jeweils einer vertieften Fläche (72, 74), der von jeder Oberfläche (64, 66) in den Aufhängungsabschnitt (60) hineinverläuft, wobei die vertieften Flächen (72, 74) koplanar, jedoch seitlich voneinander beabstandet sind und auf der neutralen Biegeachse des Aufhängungsabschnitts (60) liegen; und
- - eine elektrisch leitende Beschichtung (47) auf den vertieften Flächen (72, 74) zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32).
23. Aufhängung nach Anspruch 22,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie einen zweiten Aufhängungsabschnitt (62) aufweist,
der zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan
(32) verläuft und der vom ersten Aufhängungsabschnitt
(60) durch eine Öffnung getrennt ist, wobei der zweite
Aufhängungsabschnitt (62) mit dem ersten Aufhängungsabschnitt
(60) identisch, jedoch in bezug auf diesen
antisymmetrisch ist.
24. Federnde Aufhängung gemäß Oberbegriff von Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
- - einen ersten und einen zweiten Aufhängungsabschnitt (60, 62), die durch eine Öffnung voneinander getrennt sind und die sich zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstrecken, wobei sie jeweils eine Ober- und eine Unterfläche (64, 66) aufweisen, die in einer ersten und einer zweiten Randfläche (70, 68) endet;
- - einen ersten Kanal (71) mit einer ersten vertieften Fläche (72), der von der Oberfläche (64) in den ersten Aufhängungsabschnitt (60) verläuft, wobei die vertiefte Fläche (72) näher an der ersten (70) als an der zweiten Randfläche (68) angeordnet ist;
- - einen zweiten Kanal (73) mit einer zweiten vertieften Fläche (74), die von der Unterfläche (66) in den ersten Aufhängungsabschnitt (60) verläuft, wobei die vertiefte Fläche (74) näher an der zweiten (68) als an der ersten Randfläche (70) angeordnet ist, wobei die erste und die zweite vertiefte Fläche (72, 74) koplanar sind und mit der neutralen Biegeebene des Aufhängungsabschnitts (60) zusammenfallen; und
- - eine elektrisch leitende Beschichtung (47) auf den vertieften Flächen (72, 74), die zwischen dem Befestigungsorgan (32) und dem Fühler (30) verläuft.
25. Aufhängung nach Anspruch 24,
dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Aufhängungsabschnitt (62) mit dem ersten
Aufhängungsabschnitt (60) identisch, jedoch in bezug
auf diesen antisymmetrisch ist.
26. Aufhängung nach Anspruch 25,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Breite jedes Aufhängungsabschnitts ungefähr
das 1,5fache seiner Länge beträgt.
27. Aufhängung nach Anspruch 25,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Tiefe der Kanäle der halbe Abstand zwischen
den Oberflächen der Aufhängungsabschnitte ist.
28. Aufhängung nach Anspruch 25,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen den Oberflächen jedes Aufhängungsabschnitts
in der Größenordnung von 1/100 der
Länge jedes Aufhängungsabschnitts liegt.
29. Aufhängung nach Anspruch 25,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen den Oberflächen (64, 66) jedes
Aufhängungsabschnitts ca. 0,03 mm beträgt.
30. Aufhängung nach Anspruch 29,
dadurch gekennzeichnet,
daß die vertiefte Fläche von jeder Oberfläche einen
Abstand von ca. 0,01 mm aufweist.
31. Aufhängung nach Anspruch 30,
dadurch gekennzeichnet,
daß jeder Aufhängungsabschnitt eine Länge von ca.
2,54 mm und eine Breite von ca. 3,81 mm hat.
32. Aufhängung nach Anspruch 31,
dadurch gekennzeichnet,
daß jede vertiefte Fläche eine Breite von ca. 0,89 mm
hat.
33. Aufhängung nach Anspruch 32,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen benachbarten Randflächen des
ersten und des zweiten Aufhängungsabschnitts ca. 1,52 mm
beträgt.
34. Federnde Aufhängung gemäß Oberbegriff von Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
- - mindestens einen Aufhängungsabschnitt (104) mit zwei Oberflächen (114, 116), der sich zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt;
- - mindestens einen Kanal (106, 108) mit einer vertieften Fläche (107, 109), der von einer (114) der Oberflächen in den Aufhängungsabschnitt verläuft, wobei die vertiefte Fläche (107, 109) von den Oberflächen (114, 116) gleichbeabstandet ist; und
- - ein elektrisches Leitermaterial (47), das auf die vertiefte Fläche aufgebracht ist und sich zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt.
35. Aufhängung nach Anspruch 34,
dadurch gekennzeichnet,
daß in jeder Oberfläche (114, 116) ein Kanal angeordnet
ist, so daß die vertieften Flächen der Kanäle
in einer Ebene liegen.
36. Aufhängung nach Anspruch 35,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Aufhängungsabschnitt ferner zwei Randflächen
aufweist, die zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan
(32) verlaufen, und daß die Kanäle
von den Randflächen beabstandet sind.
37. Aufhängung nach Anspruch 34,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein erster Kanal (110) in einer Oberfläche (116)
und zwei weitere Kanäle (106, 108) in der anderen Oberfläche
(114) ausgebildet sind, so daß die vertieften
Flächen (107, 109, 111) von mindestens zwei Kanälen
(106, 108, 110) in einer Ebene liegen.
38. Aufhängung nach Anspruch 37,
dadurch gekennzeichnet,
daß die vertiefte Fläche (111) des ersten Kanals (110)
zwischen den vertieften Flächen (107, 109) der zwei
weiteren Kanäle (106, 108) liegt, wobei sämtliche vertieften
Flächen in einer Ebene liegen.
39. Aufhängung nach Anspruch 37,
gekennzeichnet durch
einen vierten Kanal, der in der einen Oberfläche angeordnet
ist, so daß die vertieften Flächen eines Kanals
in der einen Oberfläche in einer gemeinsamen Ebene
mit den vertieften Flächen eines Kanals in der anderen
Oberfläche liegt, wobei die gemeinsame Ebene von den
Oberflächen des Aufhängungsabschnitts gleichbeabstandet
ist.
40. Federnde Aufhängung gemäß Oberbegriff von Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
- - einen Aufhängungsabschnitt (60) mit zwei Oberflächen (64, 66), der zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verläuft;
- - einen ersten und einen zweiten Kanal (71, 73) mit jeweils einer vertieften Fläche (72, 74), der sich von jeder Oberfläche (64, 66) in den Aufhängungsabschnitt (60) erstreckt, wobei die vertieften Flächen (72, 74) koplanar, jedoch seitlich voneinander beabstandet sind und gleichbeabstandet von den Oberflächen (64, 66) sind; und
- - eine elektrisch leitende Beschichtung (47) auf den vertieften Flächen (72, 74), die sich zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt.
41. Aufhängung nach Anspruch 40,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Aufhängungsabschnitt (60) ferner zwei Randflächen
(70, 68) aufweist, die zwischen dem Fühler
(30) und dem Befestigungsorgan (32) verlaufen, und
daß die Kanäle (71, 73) von den Randflächen (70, 68)
im Abstand angeordnet sind.
42. Aufhängung nach Anspruch 41,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Aufhängung ferner einen zweiten Aufhängungsabschnitt
(62) aufweist, der sich zwischen dem Fühler
(30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt und der
vom ersten Aufhängungsabschnitt (60) durch eine zwischen
beiden befindliche Öffnung getrennt ist.
43. Aufhängung nach Anspruch 42,
dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Aufhängungsabschnitt (62) mit dem ersten
Aufhängungsabschnitt (60) identisch ausgebildet, jedoch
in bezug auf diesen antisymmetrisch ist.
44. Aufhängung nach Anspruch 40,
gekennzeichnet durch
eine dritte vertiefte Fläche (111), die einen dritten
Kanal (110) definiert, der sich von einer der Oberflächen
in den Aufhängungsabschnitt erstreckt, wobei
sämtliche vertieften Flächen koplanar, jedoch von den
Oberflächen seitlich beabstandet sind.
45. Aufhängung nach Anspruch 44,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste vertiefte Fläche des Kanals in einer
der Oberflächen zwischen den vertieften Flächen der
Kanäle in der anderen Oberfläche liegt.
46. Aufhängung nach Anspruch 40,
gekennzeichnet durch
zwei zusätzliche Kanäle mit jeweils einer weiteren
Fläche (124, 128) in jeder Oberfläche, wobei die eine
zusätzliche Fläche (124) entgegengesetzt zu der ersten
vertieften Fläche (122) ausgerichtet ist und die zweite
zusätzliche Fläche (128) entgegengesetzt zu der zweiten
vertieften Fläche (126) ausgerichtet ist.
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US06/283,340 US4399700A (en) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | Force transducer flexure with conductors on surfaces in the neutral bending plane |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3225255A1 DE3225255A1 (de) | 1983-02-24 |
DE3225255C2 true DE3225255C2 (de) | 1990-10-11 |
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---|---|---|---|
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Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4400979A (en) * | 1981-07-14 | 1983-08-30 | Sundstrand Data Control, Inc. | Force transducer flexure with conductors on surfaces in the neutral bending plane |
US5042301A (en) * | 1986-08-25 | 1991-08-27 | Hanson Richard A | Pendulous assembly for use in an accelerometer |
US4779463A (en) * | 1987-01-13 | 1988-10-25 | Systron Donner Corporation | Servo accelerometer |
US4932258A (en) * | 1988-06-29 | 1990-06-12 | Sundstrand Data Control, Inc. | Stress compensated transducer |
US5024089A (en) * | 1988-06-29 | 1991-06-18 | Sundstrand Data Control, Inc. | Stress compensated transducer |
DE4102805A1 (de) * | 1991-01-31 | 1992-08-13 | Bosch Gmbh Robert | Kapazitiver beschleunigungssensor |
US5532665A (en) * | 1994-01-21 | 1996-07-02 | Alliedsignal, Inc. | Low stress magnet interface |
US5557044A (en) * | 1994-01-21 | 1996-09-17 | Alliedsignal, Inc. | Low stress magnet interface |
US5524488A (en) * | 1994-01-24 | 1996-06-11 | Alliedsignal Inc. | Flux control groove |
US5488865A (en) * | 1994-08-15 | 1996-02-06 | Alliedsignal Inc. | Wide-band servo accelerometer with flat leaf flexure suspension |
DE19816802C2 (de) * | 1998-04-16 | 2000-08-31 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrischer Beschleunigungssensor |
GB0506081D0 (en) * | 2005-03-24 | 2005-05-04 | Gallagher George | Force sensors |
US10335897B2 (en) * | 2016-07-28 | 2019-07-02 | Applied Physics, Inc. | Laser ablation of accelerometer proof mass |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3020767A (en) * | 1959-10-05 | 1962-02-13 | Kistler Instr Corp | Linear accelerometer |
US3229530A (en) * | 1960-12-12 | 1966-01-18 | North American Aviation Inc | Accelerometer |
US3331253A (en) * | 1963-08-05 | 1967-07-18 | Systron Donner Corp | Accelerometer and sensing assembly therefor |
US3339419A (en) * | 1964-07-02 | 1967-09-05 | North American Aviation Inc | Accelerometer |
NL136155C (de) * | 1966-09-09 | |||
US3513711A (en) * | 1966-10-03 | 1970-05-26 | Singer General Precision | Subminiature single axis accelerometer |
US3702073A (en) * | 1969-02-28 | 1972-11-07 | Sundstrand Data Control | Accelerometer |
US4182187A (en) * | 1978-04-24 | 1980-01-08 | Sundstrand Data Control, Inc. | Force balancing assembly for transducers |
NO152885C (no) * | 1978-05-15 | 1985-12-04 | Sundstrand Data Control | Baereanordning for et avfoelingselement i transdusere. |
US4250757A (en) * | 1979-11-05 | 1981-02-17 | Sundstrand Data Control, Inc. | Movable element with position sensing means for transducers |
US4342227A (en) * | 1980-12-24 | 1982-08-03 | International Business Machines Corporation | Planar semiconductor three direction acceleration detecting device and method of fabrication |
US4400979A (en) * | 1981-07-14 | 1983-08-30 | Sundstrand Data Control, Inc. | Force transducer flexure with conductors on surfaces in the neutral bending plane |
-
1981
- 1981-07-14 US US06/283,340 patent/US4399700A/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-06-16 AU AU84913/82A patent/AU555277B2/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-06-17 CA CA000405420A patent/CA1184048A/en not_active Expired
- 1982-06-30 IL IL66177A patent/IL66177A/xx not_active IP Right Cessation
- 1982-07-05 JP JP57115643A patent/JPS5814024A/ja active Granted
- 1982-07-06 DE DE19823225255 patent/DE3225255A1/de active Granted
- 1982-07-08 IT IT48776/82A patent/IT1149011B/it active
- 1982-07-08 SE SE8204218A patent/SE451897B/sv not_active IP Right Cessation
- 1982-07-08 NO NO822382A patent/NO822382L/no unknown
- 1982-07-12 CH CH4238/82A patent/CH654921A5/it not_active IP Right Cessation
- 1982-07-15 FR FR8212363A patent/FR2509865B1/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE451897B (sv) | 1987-11-02 |
JPH049267B2 (de) | 1992-02-19 |
IT1149011B (it) | 1986-12-03 |
CA1184048A (en) | 1985-03-19 |
FR2509865A1 (fr) | 1983-01-21 |
SE8204218L (en) | 1983-01-15 |
SE8204218D0 (sv) | 1982-07-08 |
NO822382L (no) | 1983-01-17 |
IL66177A (en) | 1988-10-31 |
AU8491382A (en) | 1983-01-20 |
JPS5814024A (ja) | 1983-01-26 |
IT8248776A0 (it) | 1982-07-08 |
AU555277B2 (en) | 1986-09-18 |
FR2509865B1 (fr) | 1987-03-06 |
CH654921A5 (it) | 1986-03-14 |
DE3225255A1 (de) | 1983-02-24 |
US4399700A (en) | 1983-08-23 |
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