DE3208195A1 - Ultraschall-reinigungsverfahren - Google Patents

Ultraschall-reinigungsverfahren

Info

Publication number
DE3208195A1
DE3208195A1 DE19823208195 DE3208195A DE3208195A1 DE 3208195 A1 DE3208195 A1 DE 3208195A1 DE 19823208195 DE19823208195 DE 19823208195 DE 3208195 A DE3208195 A DE 3208195A DE 3208195 A1 DE3208195 A1 DE 3208195A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
abrasive
workpiece
suspension
cleaned
arrangement according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19823208195
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE3208195C2 (cs
Inventor
Rainer 7900 Ulm Schmieg
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SCHMIEG, RAINER, 7900 ULM, DE
Original Assignee
Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Licentia Patent Verwaltungs GmbH filed Critical Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority to DE19823208195 priority Critical patent/DE3208195A1/de
Publication of DE3208195A1 publication Critical patent/DE3208195A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3208195C2 publication Critical patent/DE3208195C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
DE19823208195 1982-03-06 1982-03-06 Ultraschall-reinigungsverfahren Granted DE3208195A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19823208195 DE3208195A1 (de) 1982-03-06 1982-03-06 Ultraschall-reinigungsverfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19823208195 DE3208195A1 (de) 1982-03-06 1982-03-06 Ultraschall-reinigungsverfahren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3208195A1 true DE3208195A1 (de) 1983-09-08
DE3208195C2 DE3208195C2 (cs) 1992-01-02

Family

ID=6157561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19823208195 Granted DE3208195A1 (de) 1982-03-06 1982-03-06 Ultraschall-reinigungsverfahren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3208195A1 (cs)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4404473A1 (de) * 1994-02-14 1995-09-07 Gevi Gmbh Verfahren zur Sanierung von Rohrleitungen
DE19602917A1 (de) * 1996-01-20 1997-07-24 Hielscher Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von faden- oder von bandförmigen Erzeugnissen, insbesondere von Draht

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE743794C (de) * 1940-02-29 1944-01-03 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zum Reinigen von Gegenstaenden
US3175567A (en) * 1962-08-10 1965-03-30 Elliott Brothers London Ltd Apparatus for effecting ultrasonic cleaning of the interior of vessels
DE2624369A1 (de) * 1975-06-02 1976-12-09 Mccord James W Ueberschallreinigungsgeraet
DE2747082A1 (de) * 1976-10-26 1978-05-03 Branson Ultrasonics Corp Verfahren und vorrichtung zum reinigen von werkstuecken mittels ultraschall

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE743794C (de) * 1940-02-29 1944-01-03 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zum Reinigen von Gegenstaenden
US3175567A (en) * 1962-08-10 1965-03-30 Elliott Brothers London Ltd Apparatus for effecting ultrasonic cleaning of the interior of vessels
DE2624369A1 (de) * 1975-06-02 1976-12-09 Mccord James W Ueberschallreinigungsgeraet
DE2747082A1 (de) * 1976-10-26 1978-05-03 Branson Ultrasonics Corp Verfahren und vorrichtung zum reinigen von werkstuecken mittels ultraschall

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4404473A1 (de) * 1994-02-14 1995-09-07 Gevi Gmbh Verfahren zur Sanierung von Rohrleitungen
DE4404473C2 (de) * 1994-02-14 1998-01-15 Gevi Gmbh Verfahren zur Sanierung von Rohrleitungen
DE19602917A1 (de) * 1996-01-20 1997-07-24 Hielscher Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von faden- oder von bandförmigen Erzeugnissen, insbesondere von Draht
DE19602917C2 (de) * 1996-01-20 1998-10-08 Hielscher Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von fadenförmigen Erzeugnissen, insbesondere von Draht

Also Published As

Publication number Publication date
DE3208195C2 (cs) 1992-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69308638T2 (de) Verfahren zur Ultraschallreinigung eines Werkstücks
DE112009000361B4 (de) Ultraschall-Reinigungsvorrichtung und Ultraschall-Reinigungsverfahren
AT411693B (de) Elektrochemisches verfahren zum reinigen von oberflächen metallischer werkstücke
EP0779647B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Halbleitermaterial
DE102019212581A1 (de) Polierscheibe
EP0420039B1 (de) Einrichtung zum Reinigen des Befestigungsschaftes eines Werkzeuges oder eines Werkzeughalters
EP0347462A1 (de) Vorrichtung zum bearbeiten von äusseren oberflächen zylindrischer werkstücke mittels eines magnetischen schleifverfahrens
DE3208195A1 (de) Ultraschall-reinigungsverfahren
WO1997011209A3 (de) Verfahren und vorrichtung zum behandeln von sich in werkstücke erstreckenden löchern oder vertiefungen mit flüssigen behandlungsmitteln
DE10233277B4 (de) Verfahren zum Entgraten und Reinigen von Werkstücken
DE68910115T2 (de) Ultraschall-polierung.
JPS56139682A (en) Rust removing agent
DE10230146B4 (de) Verfahren zum Bearbeiten eines scheibenförmigen Werkstückes
DE10161243B4 (de) Mikrostrukturierung mit ultraschallunterstütztem Schleifen
DE3321741C2 (de) Verfahren zum zerstörungsfreien Reinigen und Ablösen von Ablagerungen von Trägermaterialien und Vorrichtung zur Durchführung desselben
DE69635534T2 (de) Verbesserungen bei der oder in Bezug auf die Halbleiterverarbeitung
DE69700374T4 (de) Polierscheibe-Träger und Polierverfahren
EP0087427B1 (de) Verfahren zur Herstellung zylindrischer Körper durch Ultraschallbohren und Ultraschallbohrvorrichtung hierfür
EP1214173A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum befreien metallischer werkstücke von festgeklemmten gleitschleifkörpern oder dergleichen
JPH07185486A (ja) 超音波洗浄方法
DE4237767A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Bauteiloberflächen, insbesondere von mit Partikeln kontaminierten hochreinen Oberflächen von für die Elektronikfertigung bestimmten Bauteilen, wie Masken, Wafern od. dgl.
DE10259367A1 (de) Verfahren zur Verbesserung der Wechselwirkung zwischen einem Medium und einem Bauteil
DE2823600A1 (de) Verfahren zur behandlung von schneidkanten
DE20321140U1 (de) Elektrode zur elektrochemischen Reinigung von Oberflächen metallischer Werkstücke
DE3225558A1 (de) Ultraschallbohrvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8120 Willingness to grant licences paragraph 23
8110 Request for examination paragraph 44
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: TELEFUNKEN SYSTEMTECHNIK GMBH, 7900 ULM, DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: SCHMIEG, RAINER, 7900 ULM, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee