DE3205547A1

DE3205547A1 - Verfahren und modulationsgitter zum elektrofotografischen herstellen wenigstens einer kopie von einer vorlage

Info

Publication number: DE3205547A1
Application number: DE19823205547
Authority: DE
Inventors: Eiichi Hachioji Tokyo Sato
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1981-02-17
Filing date: 1982-02-17
Publication date: 1982-10-14
Also published as: JPS57135954A; US4407918A; GB2095416B; GB2095416A

Description

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DR.-ING. DIETER BEHRENS DIPL.-ING.; DIPL.-WIRTSCH.-ING. RUPERT GOETZ

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Olympus Optical Company Limited SCHWEIGERSTRASSE 2

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TELEGRAMM: PROTECTPATENT TELEX: 524070

Verfahren und Modulationsgitter zum elektrofotografischen Herstellen wenigstens einer Kopie von einer Vorlage

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und ein als Modulationsgitter wirkendes lichtempfindlichs Bauteil zum elektrofotografischen Herstellen mehrerer Kopien einer Vorlage ausgehend von ein und demselben, einzigen elektrostatischen Ladungsbild, das am lichtempfindlichen Bauteil einmal erzeugt worden ist.

Zum Herstellen mehrerer Kopien von einer Vorlage sind verschiedene Verfahren vorgeschlagen worden. Bei einem bekannten Verfahren werden von ein und demselben, einzigen Ladungsbild, das an einer lichtempfindlichen Trommel einmal erzeugt worden ist, mehrere Kopien durch wiederholtes Entwickeln mit Toner und wiederholtes Übertragen des Tonerbildes auf aufeinanderfolgende Bildaufnahmepapiere hergestellt. Damit bei einem solchen Verfahren mehrere Kopien mit hoher Bildgüte erhalten werden können, muß das an der lichtleitfähigen Trommel einmal erzeugte Ladungsbild lange Zeit stabil gehalten werden. Weil das Ladungsbild aus der an einer Oberfläche des lichtempfindlichen Bauteils angebrachten elektrostatischen Ladung besteht, kann das Ladungsbild bei bekannten Verfahren infolge unerwünschter Ableitung des Ladungsbildes durch den Toner oder unerwünschter Injektion von elektrostatischer Ladung über die Bildaufnahmepapiere von einer Übertragungs-

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vorrichtung her, an die eine/Vor- bzw. Gegenspannung angelegt ist, zerfallen oder beschädigt werden. Das Ladungsbild kann daher während des Vervielfältigungsvorganges am lichtempfindlichen Bauteil nicht stabil gehalten werden; es ist r.oinit schwierig, bei mehreren Kopien von derselben Vorlage ein vervielfältigtes Bild von hoher Güte zu erhalten. [

Um einen solchen Nachteil zu vermeiden, ist es aus der JA-OS 72.053/70 bekannt, ein elektrofotografisches lichtempfindliches Bauteil 1 zu benutzen, das sich gemäß Fig. 1 zusammensetzt aus einem elektrisch leitfähigen Substrat 2, einer ladungsspeichernden Schicht 3 aus einer elektrisch isolierenden Substanz, die auf das Substrat 2 aufgebracht ist, und einer auf die ladungsspeichernde Schicht 3 aufgebrachten lichtleitfähigen Schicht 4. Zuerst wird mittels einer Koronaionenstromquelle 5 eine erste elektrische Aufladung einer Polarität vorgenommen und gleichzeitig das Bauteil 1 gleichmäßig angestrahlt (s. Fig. IA-). Diese Bestrahlung kann nach der ersten elektrischen Aufladung durchgeführt werden. Während dieses Arbeitsschrittes sind die Ladungen an der ladungsspeichernden Schicht 3 festgehalten. Sodann wird gemäß Fig. IB mittels einer Koronaionenstromquelle 6 eine zweite elektrische Aufladung mit entgegengesetzter Polarität ausgeführt, wobei ein Bild einer zu kopierenden Vorlage auf das lichtempfindliche Bauteil 1 projiziert wird. In einem bildgerecht hellen Abschnitt L sind die Ladungen dann an der ladungsspeichernden Schicht 3, in einem bildgerecht dunklen Abschnitt D an der lichtleitfähigen Schicht 4 festgehalten.

Danach wird gemäß Fig. IC eine gleichmäßige Belichtung durchgeführt, um durch Entfernen der an der lichtleitfähigen Schicht 4 festgehaltenen Ladungen ein Ladungsbild zu erzeugen. Dieses Ladungsbild besteht nur aus den an der elektrisch isolierenden, ladungsspeichernden Schicht 3 festgehaltenen Ladungen und wird bei der Entwicklung und Übertragung kaum in Mitleidenschaft gezogen, so daß von ein und demselben, einzigen

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Ladungsbild mehrere Kopien hergestellt werden können.

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Bei diesem bekannten Verfahren besteht jedoch die Gefahr, daß der Bildrand unscharf bzw. undeutlich wird, und es ist schwierig, ein Ladungsbild von ausreichend gutem Kontrast und ausreichend hoher Auflösung herzustellen. Als Ursache für die Unscharfe des Bildrandes wird folgender Mechanismus angenommen: Bei der zweiten bzw. sekundären elektrischen Aufladung, die zusammen mit der bildgerechten Projektion vorgenommen wird (s. Fig. IB), werden die positive Ladung an der freiliegenden Fläche der lichtleitfähigen Schicht 4 und die in einer Grenzschicht zwischen der Schicht 4 und der ladungsspeichernden Schicht 3 eingefangene negative Ladung mittels Ladungsträgerpaaren gelöscht, die infolge der gleichmäßigen Belichtung (s. Fig. IC) in der lichtleitfähigen Schicht 4 erzeugt werden. Gemäß Fig. 2 werden die am Bildrand erzeugten Trägerpaaro 7 während dienes Vorgangs polarisiert und in einem unregelmäßigen elektrischen Feld 8 gehalten. Im hellen Bereich L wird daher die in der Grenzschicht zwischen der Iadungsspeichernden Schicht 3 und der lichtleitfähigen Schicht 4 eingefangene Ladung entsprechend in den dunklen Bereich D gestreut. Ferner ist die lichtleitfähige Schicht 4 des bekannten lichtempfindlichen Bauteils 1 verhältnismäßig dick, und somit besteht die Gefahr, daß das Lichtbild der Vorlage unscharf wird.

Ein anderes bekanntes Verfahren zur Vermeidung der Unscharfe am Bildrand ist in der JA-OS 43 566/-Wa¹O vorgeschlagen worden. Bei diesem Verfahren wird ein elektrofo Logral'i tschcK lichtempfindliches Bauteil 11 benutzt, das sich zusammensetzt aus einem elektrisch leitfähigen Substrat 12, einer auf dieses aufgebrachten ladungsspeichernden Schicht 13, einer auf diese aufgebrachten elektrisch isolierenden Schicht 14 und einer auf die Schicht 14 aufgebrachten lichtleitfähigen Schicht 15. Die aufeinanderfolgenden Arbeits-

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schritte zum Erzeugen des Ladungsbildes mittels tier an der
elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 14 festgehaltenen Ladungen sind die gleichen wie in Fig. IA bis IC
dargestellt. Bei diesem Verfahren werden die Ladungen einerseits in einer Grenzschicht zwischen der ladungsspeichernden Schicht 13 und der elektrisch isolierenden ladungsspeiehernden Schicht 14 und andererseits in einer Grenzschicht zwischen der Schicht 14 und der lichtleitfähigen Schicht 15 eingefangen; somit wird verhindert, daß die bei der gleichmäßigen Belichtung gemäß Fig. IC in der Schicht 15 erzeugten
Trägerpaare seitwärts gestreut werden, auch dann, wenn am
Bildrand das unregelmäßige elektrische Feld entsteht. Somit
können die durch die Streuung bzw. das Abwandern der Ladungsträger bedingten Unscharfen bis zu einem bestimmten Grad
aufgehoben werden, jedoch bleibt das Problem der durch die
dicke 1ichtleitfähige Schicht 15 hervorgerufenen Unscharfen gänzlich ungelöst.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das bekannte elektrofotografische Verfahren dahingehend zu verbessern, daß es die Unscharfen des Bildes, hervorgerufen sowohl durch die seitliche Streuung der Trägerpaare als auch durch die dicke
lichtleitfähige Schicht, vermeidet, um ein Ladungsbild von
gutem Kontrast und hoher Auflösung zu erzeugen.

Ein dies"e Aufgabe lösendes Verfahren und ein dafür geeignetes ladungsspeicherndes Modulationsgitter (Aufzeichnungsträger) sind mit ihren Ausgestaltungen in den Patentansprüchen angegeben. ,·

Erfindungsgemäß kann ein Ladungsbild von ausgezeichneter Auflösung und ausgezeichnetem Kontrast mittels der Ladungen erzeugt werden, die an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht festgehalten sind. Das Ladungsbild wird daher durch das Entwickeln und Übertragen nicht direkt be-

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einflußt und kann daher über eine sehr lange Zeit, während der mehrere Kopien von hoher Bildgüte hergestellt werden können, stabil gehalten werden. Weil das Ladungsbild im Innern des vom lichtempfindlichen Bauteil gebildeten Modulationsgitters erzeugt wird, kann außerdem¹ das entwickelte Tonerbild durch Anlegen einer verhältnismäßig niedrigeren Übertragungsgegenspannung zuverlässig auf das Kopierblatt übertragen werden, und der Resttoner am lichtempfindlichen Bauteil kann nach jeder Übertragung mit einer Reinigungsvorrichtung entfernt werden. Daher kann eine Ermüdung des Entwicklers verhindert werden.

Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt: Fig. 4 einen Querschnitt zur Verdeutlichung des Grundaufbaus des als Modulationsgitter wirkenden lichtempfindlichen Bauteils gemäß der Erfindung,

Fig. 5A bis 5D Querschnitte zur Darstellung aufeinanderfolgender Arbeitsschritte bei einer Ausführungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung,

Fig. 6A bis 6D Querschnitte zur Darstellung aufeinanderfolgender Arbeitsschritte bei einer anderen Ausführungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung,

Fig. 7A bis 7D Querschnitte zur Darstellung aufeinanderfolgender Arbeitsschritte bei einer weiteren Ausführungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung und

Fig. 8A bis 8C Querschnitte zur Darstellung aufeinanderfolgender Arbeitsschritte bei einer noch anderen Ausführungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung.

Fig. 4 zeigt den grundsätzlichen Aufbau eines als Modulations-

gitter (Aufzeichnungsträger) wirkenden elektrofotografischen lichtempfindlichen Bauteils gemäß der Erfindung. Das lichtempfindliche Bauteil bzw. Modulationsgitter 21 setzt sich zusammen aus einem elektrisch leitfähigen Substrat 22, einer auf das Substrat 22 aufgebrachten ersten lichtleitfähigen Schicht 23, einer auf die Schicht 23 aufgebrachten elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 und einer auf die Schicht 24 aufgebrachten zweiten lichtleitfähigen Schicht 25. Die beiden lichtleitfähigen Schichten .23 und 25 sind so ausgelegt, daß sie für erste und zweite Lichtbanden verschiedener Wellenlängen oder Intensitäten gezielt empfindlich sind.

Beispielsweise kann die erste lichtleitfähige Schicht 23 aus einer lichtempfindlichen Substanz hergestellt sein, die für ein als die erste Lichtbande dienendes sichtbares Licht empfindlich ist. Als dieses Material kommen nahezu alle Substanzen in Frage, die bei bekannten Modulationsgittern bzw. lichtempfindlichen Bauteilen verwendet wurden. Die erste lichtleitfähige Schicht 23 kann beispielsweise hergestellt sein aus (1) einem aufgedampften dünnen Film aus Se, einer Se-Verbindung, CdS oder amorphem Silicium; (2) einem dünnen Film aus einer feinen Dispersion von CdS, ZnO, TiO etc. in einem organischen Harz oder einem anorganischen Bindemittel; (3) einem dünnen Film aus einer organischen lichtempfindlichen Substanz, z.B. aus Polyvinylcarbazol; (4) einem dünnen Film aus einer zusammengesetzten lichtempfindlichen Substanz mit einer ladungserzeugenden Schicht aus z.B. Se-Te, amorphem Silicium und CdS, und einer ladungsübertragenden Schicht aus z.B. Polyvinylcarbazol, "Parylene" (durch Dampfphasenpolymerisation von Xylol oder dessen Substitutionsprodtikten hergestelltes Polymeres), Änthracen, Fluoren, Polyvinyltetracen, 2,4,7-Trinitro-9-fluorenon (TNF), Dinitroanthracen und Tetracyanopyren.

Die elektrisch isolierende ladungsspeichernde Schicht 24 kann

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gebildet sein von einem Polymerfilm aus z.B. fluoriertem Harz, einem Polyester, einem Polycarbonat, einem Polyurethan, einem Polyepoxid, einem Polyethylen, einem Celluloseacetat/ Vinylchlorid-Harz; von einem dünnen Polymerfilm, der durch Polymerisation in der Glimmentladung hergestellt wurde, z.B. aus Styrol, Para-Xylol; von einem anorganischen dünnen Film aus z.B. SiOp, Ta_?0 ", oder von einem durch thermische Zersetzung oder Gasphasenpolymerisation eines Dimeren hergestellten "Parylene".

Die zweite \ ichtleitfähige Schicht 25 kann aus einer lichtleitfähigen Substanz hergestellt sein, die für die erste Lichtbande, d.h. für sichtbares Licht nahezu unempfindlich, jedoch für ultraviolettes Licht als der zweiten Lichtbande empfindlich ist. Die Schicht 25 kann beispielsweise sein aus einem organischen lichtleitfähigen Material, z.B. Polyvinylcarbazol, aus einem organischen Pigment, z.B. in einem Bindemittel dispergiertes Phthalocyanin, oder aus einer polymerisierten organischen lichtleitfähigen Substanz, z.B. durch Polymerisation in der Glimmentladung hergestelltes Naphthalin-Thiophen.

Die beiden lichtleitfähigen Schichten 23 und 25 sind aus verschiedenen lichtleitfähigen Substanzen hergestellt, die auf zwei Lichtbanden verschiedener Wellenlängen ansprechen, können jedoch erfindungsgemäß aus 1ichtleitfähigem Material unterschiedlicher Empfindlichkeit für zwei Lichtbanden von derselben wellenlänge, jedoch verschiedener Intensitäten hergestellt werden. Beispielsweise sind die beiden Schichten 23 und 25 von größerer und kleinerer Empfindlichkeit, wobei die Schicht 23 mittels der ersten Lichtbande der kleineren Intensität und die Schicht 25 mittels der zweiten Lichtbande der größeren Intensität aktiviert werden. Ferner kann die zweite lichtleitfähige Schicht 23 aus einer lichtempfindlichen Substanz von solchem Gleichrichtevermögen hergestellt sein, daß,

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wenn die Schicht 23 der ersten Lichtbande ausgesetzt wird '

und die elektrische Aufladung mit einer Polarität von der Seite der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 her ausgeführt wird, eine Ladung von entgegengesetzter Polarität in einer Grenzschicht zwischen der ersten lichtleitfähigen Schicht- 23 und der ladungsspeichernden Schicht 24 induziert und darin eingeschlossen wird.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren werden eine Projektion eines Bildes einer Vorlage und eine gleichmäßige Belichtung vorgenommen. Die Arbeitsschritte können in der Weise durchgeführt werden, daß das Licht entweder von der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 oder vom elektrisch leitfähigen Substrat 22 her projiziert wird. Wenn die Lichtprojektion von der Schicht 25 her vorgenommen wird und zwei Lientbanden unterschiedlicher Wellenlängen benutzt werden, müssen die zweite lichtleitfähige Schicht 25 und die ladungsspeichernde Schicht 24 für die erste Lichtbande, auf welche die erste lichtleitfähige Schicht 23 anspricht, durchlässig sein. Vorzugsweise ist die zweite lichtleitfähige Schicht 25 und/oder die elektrisch isolierende ladungsspeichernde Schicht 24 in der Lage, die zweite Lichtbande zu absorbieren. Bei Benutzung von zwei Lichtbanden derselben Wellenlänge sollten die Schichten 25 und 24 für sie durchlässig sein. _:

Wenn andererseits die Lichtprojektion von der Seite des Substrates 22 her vorgenommen wird und die erste und die zweite Lichtbande von unterschiedlicher Wellenlänge sind, sollte das Substrat 22 für die erste und die zweite Lichtbande durchlässig sein und die erste lichtleitfähige Schicht 23 und die elektrisch isolierende ladungsspeichernde Schicht 24 müssen für die zweite Lichtbande, auf welche die zweite lichtleitfähige Schicht 25 anspricht, durchlässig sein. Außerdem ist die erste lichtleitfähige Schicht 23 und/oder die elektrisch leitfähige ladungsspeichernde Schicht 24 vorzugsweise

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in der Lage, die erste Lichtbande zu absorbieren. Haben die benutzte erste und zweite Lichtbande dieselbe Wellenlänge, sollten das Substrat 22, die erste lichtleitfahige Schicht 23 und die elektrisch isolierende ladungsspeichernde Schicht 24 für das Licht durchlässig sein.

Bei einer Ausführungsform des Modulationsgitters 21 ist die erste lichtleitfahige Schicht 23 aus Se und einer Se-Verbindung und hat eine Dicke von 20 μπι, die elektrisch isolierende ladungsspeichernde Schicht 24 ist aus einem "Parylene"-FiIm mit einer Dicke von 4 μπι und die zweite lichtleitfahige Schicht 25 ist aus einem Polyvinylcarbazol-Film mit einer Dicke von 2 μπι. Die Lichtprojektion soll von der Seite der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 her vorgenommen werden.

Fig. 5A bis 5D zeigen schematische Querschnitte zur Darstellung aufeinanderfolgender Arbeitsschritte bei einer Ausfuhrungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung. Gemäß Fig. 5A erhält das Modulationsgitter 21 eine Primärladung und wird der durch mit durchgezogenen Linien

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gezeichnete Pfeile dargestellten ersten Lichtbande gleichmäßig ausgesetzt. Diese Arbeitsschritte der Aufladung und der gleichmäßigen Belichtung können gleichzeitig oder nacheinander in dieser Reihenfolge ausgeführt werden. Zur Primäraufladung dient eine Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 31, die an der Oberfläche der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 eine gleichmäßige negative Ladung erzeugt. Zu diesem Zweck ist ein Korona-Feindraht der Koronaionenstromquelle 31 an eine negative Spannung angeschlossen. Die Belichtung durch Projizieren der sichtbaren, ersten Lichtbande geschieht gleichmäßig mit etwa 50 Luxsekunden. Bei diesem Arbeitsschritt wird ausschließlich die erste lichtleitfähige Schicht 23 aktiviert, und somit wird eine positive Ladung in einer Grenzschicht zwischen der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 und der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 eingeschlossen und eine negative Ladung wird an der freiliegenden Oberfläche der zweiten liehtleitfähigen Schicht 25 gehalten. Es wird nun angenommen, daß in dieser Phase ein Oberflächenpotential gleich V₁ ist.

In Fig. 5B sind eine Sekundäraufladung und eine bildgerechte Projektion dargestellt. Die elektrische Sekundäraufladung kann ausgeführt werden mit einer Gleichspannungs-Koronaionenquelle von zur Primäraufladung entgegengesetzter Polarität, einer Wechselspannungs—Koronaionenstromquelle oder einqp· Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle positiver Polarität,· Beim gezeigten Beispiel dient zur Aufladung des Modulationsgitters 21 mit positiver Polarität eine Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 32 von positiver Polarität. Die bildgerechte Projektion bzw. Belichtung in einem bildgerecht hellen Bereich L kann mit der ersten Lichtbande mit etwa 10 Luxsekunden ausgeführt werden.

Bei diesem Arbeitsschritt wird die erste lichtleitfähige Schicht 23 im bildgerecht hellen Bereich L örtlich aktiviert.

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Mit anderen Worten, in der Grenzschicht zwischen der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 und der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 werden mittels der die zweite lichtleitfähige Schicht 25 und die ladungsspeichernde Schicht 24 durchdringenden ersten Lichtbande Trägerpaare induziert, und die positive Ladung der Trägerpaare wird unter dem Einfluß eines elektrischen Feldes, das durch die positive Ladung an der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 erzeugt wird, über das Substrat 2 abgeleitet. Auf diese Weise wird nur die negative Ladung in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 eingeschlossen. Daher werden die Ladungen an der ladungsspeichernden Schicht 24 und an der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 festgehalten. Das Oberflächenpotential im bildgerecht hellen Bereich L wird mit V_OT angenommen.

Im bildgerecht dunklen Bereich D hat die erste lichtleitfähige Schicht 23 einen hohen Widerstandswert behalten und dient als die elektrisch isolierende Schicht. Daher kann die in der Grenzschicht zwischen der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 und der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 eingeschlossene positive Ladung nicht abwandern. Der dunkle Bereich D hat ein Oberflächenpotential V , das ungefähr gleich V_?I ist. Dies rührt daher, daß die im vorhergehenden Arbeitsschritt an die Oberfläche der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 angelegte negative Ladung durch die bei der Sekundäraufladung von der Koronaionenstromquelle 32 erzeugte positive Ladung verringert oder aufgehoben wird, und daß die negative Ladung in der Grenzschicht zwischen dem Substrat 22 und der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 erzeugt wird.

Als nächstes wird das Modulationsgitter 21 mit der ersten Lichtbande gleichmäßig belichtet (s. Fig. 5C). Bei dieser gleichmäßigen Belichtung wird die erste lichtleitfähige Schicht 23 aktiviert, und somit wird die in der Grenzschicht

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zwischen der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 und der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 im bildgerecht dunklen Bereich D eingeschlossene positive Ladung freigegeben, um mittels der an der Schicht 24 und an der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 festgehaltenen Ladungen ein Ladungsbild zu erzeugen. In diesem Falle ist im bildgerecht hellen Bereich L ein Oberflächenpotentja] V_. gleich

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^V?L' J^e<^^ocn nimmt im dunklen Bereich D ein Oberflächeripotential V„_n die zur Polarität im hellen Bereich L entgegengesetzte Polarität an.

Schließlich wird eine gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande durchgeführt (s. Fig. 5D). Die zweite Lichtbande, dargestellt durch mit gestrichelten Linien gezeichnete Pfeile, kann ultraviolettes Licht sein oder Licht von sehr großer Intensität, für das die zweite lichtleitfähige Schicht 25 empfindlich ist. Die Schicht 25 wird dann aktiviert, und die Ladungen an ihrer Oberfläche werden in die Grenzschicht zwischen der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 und der ladungsspeichernden Schicht 24 übertragen. Auf diese Weise wird mittels der an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 festgehaltenen Ladungen im Modulationsgitter 21 ein Ladungsbild erzeugt.

Durch wiederholtes Entwickeln und Übertragen des so erzeugten Ladungsbildes lassen sich mehrere Kopien herstellen. Weil die das Ladungsbild bildenden elektrostatischen Ladungen im Modulationsgitter 21 sehr lange Zeit"zurückgehalten werden, ohne daß sie durch das wiederholte Entwickeln und Übertragen nachteilig beeinflußt werden, lassen sich viele Kopien von ausgezeichneter Bildgüte erhalten. Nach Herstellung der gewünschten Kopienzahl läßt sich das Ladungsbild löschen, wenn gleichzeitig eine Aufladung mit einer Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle und eine gleichmäßige Belichtung mit sowohl der ersten als auch der zweiten Lichtbande vorgenommen werden.

In Fig. 6A bis 6D sind aufeinanderfolgende Arbeitsschritte bei einer anderen Ausführungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung dargestellt. Gemäß Fig. 6A werden eine elektrische Primäraufladung und eine bildgerechte Projektion mit der ersten Lichtbande gleichzeitig ausgeführt. Zur elektrischen Primäraufladung dient eine Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 33, die an eine Quelle für positive Spannung angeschlossen ist. Bei diesem Arbeitsschritt wird die erste lichtleitfähige Schicht 23 mit der ersten Lichtbande nur im bildgerechten hellen Bereich L aktiviert. Daher werden die Ladungen an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 und an der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 festgehalten. -Im bildgerecht dunklen Bereich D wird die positive Ladung an der Oberfläche der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 gehalten und die negative Ladung ist in der Grenzschicht zwischen dem Substrat 22 und der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 eingeschlossen. Die Menge der Ladungen ist im hellen Bereich L größer als im dunklen Bereich D.

Sodann erhält das Modulationsgitter 21 eine elektrische Sekundäraufladung im Dunklen mittels einer Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 34, deren Polarität der Polarität der mit der Koronaionenstromquelle 33 vorgenommenen Primäraufladung entgegengesetzt, also negativ ist. Diese elektrische Sekundäraufladung kann mit einer Wechselspannungs-Koronaionenstrornquelle oder mit einer Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle von negativer Polarität ausgeführt werden. Bei diesem in Fig. 6B dargestellten Arbeitsschritt wird der Kontrast des mit dem vorhergegangenen Arbeitsschritt gemäß Fig. 6A erzeugten Ladungsbildes nicht verändert, jedoch erfahren die Oberflächenpotentiale in den bildgerecht hellen und dunklen Bereichen L und D eine Änderung.

Sodann werden eine gleichmäßige Belichtung mit der ersten

Lichtbande (Fig. 6C) und eine gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande (Fig. 6D) vorgenommen. Diese Arbeitsschritte sind den in Fig. 5C und 5D dargestellten Arbeitsschritten des zuvor beschriebenen Beispiels ähnlich.

Durch Ausführen der in Fig. 6A bis 6D dargestellten aufeinanderfolgenden Arbeitsschritte ist es möglich, mittels der an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht festgehaltenen Ladungen das Ladungsbild im Innern des Modulationsgitters 21 zu erzeugen.

Die gleichmäßigen Belichtungen mit der ersten Lichtbande (Fig. 5C und 6C) und der zweiten Lichtbande (Fig. 5D und 6D) können gleichzeitig oder in zum vorstehend beschriebenen Ablauf umgekehrter Reihenfolge durchgeführt werden.

In Fig. 7A bis 7C sind aufeinanderfolgende Arbeitsschritte bei einer hoch anderen Ausführungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung dargestellt. Gemäß Fig. 7A werden zuerst eine elektrische Primäraufladung und eine gleichmäßige Belichtung mit sowohl der ersten als auch der zweiten Lichtbande ausgeführt. Die elektrische Primäraufladung und die gleichmäßige Belichtung können nacheinander in dieser Reihenfolge vorgenommen werden. Beim gezeigten Beispiel dient zur Primäraufladung mit negativer Polarität eine Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 35. Bei diesem Arbeitsschritt werden die erste und die zweite lichtleitfähige Schicht 23 und 25 beide aktiviert, und somit wird ein sehr großer Anteil der Ladungen an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 festgehalten, weil die von der Schicht 24 gebildete Kapazität sehr groß ist.

Als nächstes werden die elektrische Sekundäraufladung mit positiver Polarität, die bildgerechte Projektion mit der ersten Lichtbande und die gleichmäßige Belichtung mit der

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zweiten Lichtbande gleichzeitig ausgeführt. Zur elektrischen Sekundäraufladung dient eine Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 36 von positiver Polarität, die also der Polarität der mit der Koronaionenstromquelle 35 vorgenommenen Primäraufladung entgegengesetzt ist. Weil bei diesem Arbeitsschritt die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande durchgeführt wird, wird die zweite lichtleitfähige Schicht 25 sowohl im hellen Bereich L als auch im dunklen Bereich D gleichmäßig aktiviert, wogegen an der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 eine örtliche Aktivierung im hellen Bereich L stattfindet. Daher v/ird im bildgerecht hellen Bereich L die Ladung von zum vorherigen Arbeitsschritt entgegengesetzter Polarität an der elektrisch isolierenden Iadungsspeichernden Schicht 24 festgehalten. Weil die erste lichtleitfähige Schicht 23 nicht aktiviert ist, kann im bildgerecht dunklen Bereich D die in der Grenzschicht zwischen der Schicht 23 und der ladungsspeichernden Schicht 24 eingeschlossene Ladung nicht abwandern, und die in der Grenzschicht zwischen der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 und der Schicht 24 eingeschlossene negative Ladung wird durch die positive Ladung aus der elektrischen Sekundäraufladung herabgesetzt. Zur gleichen Zeit wird die negative Ladung in der Grenzschicht zwischen dem Substrat 22 und der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 induziert. Auf diese Weise werden die Oberflächenpotentiale der bildgerecht hellen und dunklen Bereiche L und D ungefähr gleich groß.

Schließlich wird das Modulationsgitter 21 mit der ersten Lichtbande gleichmäßig belichtet (s. Fig. 7C). Bei diesem Arbeitsschritt wird die erste lichtleitfähige Schicht 23 aktiviert. Sodann wird die in der Grenzschicht zwischen der Schicht 23 und der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 eingeschlossene positive Ladung freigegeben, und die positive Ladung, die der in der Grenzschicht zwischen der Schicht 24 und der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25

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eingeschlossenen negativen Ladung entspricht, wird in der Grenzschicht zwischen der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 und der Schicht 24 eingefangen. Auf diese Weise wird das Ladungsbild von den an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 festgehaltenen Ladungen gebildet.

Die in Fig. 7B dargestellte gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande kann nach der elektrischen Sekundäraufladung oder gleichzeitig mit der gleichmäßigen Belichtung mittels der ersten Lichtbande (s. Fig. 7C) ausgeführt werden.

In Fig. 8A bis 8C sind aufeinanderfolgende Arbeitsschritte einer weiteren Ausführungsart des elektrofotografischen Verfahrens gemäß der Erfindung dargestellt. Gemäß Fig. 8A erfährt das Modulationsgitter 21 eine elektrische Primäraüfladung, die bildgerechte Projektion mit der ersten Lichtbande und die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande. Die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande kann im Anschluß an die elektrische Primäraufladung und die bildgerechte Projektion durchgeführt werden.

Zur elektrischen Primäraufladung dient eine positive Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 37. Bei diesem Arbeitsschritt wird die zweite lichtleitfähige Schicht 25 durch die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande vollständig aktiviert, wogegen die erste lichtleitfähige Schicht 23 örtlich im bildgerecht hellen Bereich L aktiviert wird. Daher werden im bildgerecht hellen Bereich L die Ladungen an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 festgehalten und im bildgerecht dunklen Bereich D werden die positiven und negativen Ladungen in der Grenzschicht zwischen der Schicht 24 und der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 bzw. in der Grenzschicht zwischen dem Substrat 22 und der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 eingefangen. Die Menge der eingeschlossenen Ladungen wird im hellen Bereich L größer als im dunklen Bereich D.

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Als nächstes erfährt das Modulationsgitter 21 die elektrische Sekundäraufladung und die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande. Die elektrische Aufladung und die Belichtung können gleichzeitig oder nacheinander in dieser Reihenfolge durchgeführt werden. Zur elektrischen Sekundäraufladung dient eine negative Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle 38, deren Polarität somit derjenigen der Koronaionenstromquelle 37 für die elektrische Primäraufladung entgegengesetzt ist. Die elektrische Sekundäraufladung kann mit einer Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle oder mit einer negativen Wechselspannungs-Koronaionenst^omquelle durchgeführt werden.

Bei diesem Arbeitsschritt wird die zweite lichtleitfähige Schicht 25 durch die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande vollständig aktiviert. Daher werden im bildgerecht dunklen Bereich D diejenigen Ladungen, deren Polaritäten denen der Ladungen entgegengesetzt sind, die während des in Fig. 8A dargestellten Arbeitsschrittes eingefangen wurden, in der Grenzschicht zwischen der elektrisch isolierenden Iadungsspeichernden Schicht 24 und der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 und in der Grenzschicht zwischen dem Substrat und der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 eingeschlossen. Weil die erste lichtleitfähige Schicht 23 nicht aktiviert ist, kann im bildgerecht hellen Bereich L die beim vorhergegangenen Arbeitsschritt in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 eingeschlossene negative Ladung nicht abwandern, und die positive Ladung, die in der Grenzschicht zwischen den Schichten 24 und 25 eingefangen ist, wird durch die von der Koronaionenstromquelle 38 erzeugte negative Ladung herabgesetzt. Bei diesem Arbeitsschritt wird die positive Ladung in der Grenzschicht zwischen dem Substrat 22 und der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 induziert, und die Oberflächenpotentiale in den bildgerecht hellen und dunklen Bereichen L und D werden ungefähr gleich groß.

Schließlich wird gemäß Fig. 8C die gleichmäßige Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt. Weil die erste lichtleitfähige Schicht 23 aktiviert ist, wird bei diesem Arbeitsschritt im hellen Bereich L die in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 eingeschlossene negative Ladung freigegeben, und die negative Ladung, die der in der Grenzschicht zwischen den Schichten 24 und 25 eingeschlossenen positiven Ladung entspricht, wird in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 eingefangen. Im bildgerecht dunklen Bereich D wird die in der Grenzschicht zwischen dem Substrat 22 und der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 eingefangene positive Ladung in die Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 transportiert und darin eingeschlossen* Auf diese Weise wird das aus den an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 festgehaltenen Ladungen bestehende Ladungsbild erzeugt. .

Auch bei dieser Ausführungsart kann die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande (s. Fig. 8B) nach der elektrischen Sekundäraufladung oder gleichzeitig mit der in Fig. 8C dargestellten gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande ausgeführt werden.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsarten werden bei der in Fig. 5C, 6C, 7C und 8C dargestellten gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbände die Trägerpaare aufgrund der Bestrahlung mit der ersten Lichtbande in der Grenzschicht zwischen der ersten lichtleitfähigen Schicht 23 und der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 erzeugt. Diejenigen unter diesen Ladungsträgern, deren Polarität jener der Ladung entgegengesetzt ist, die in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 eingefangen ist, werden mit der darin eingeschlossenen Ladung gekoppelt, wogegen die übrigen Träger von derselben Polarität wie die eingeschlossene Ladung durch die elektrisch leitend gemachte erste lichtleitfähige Schicht

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hindurch in das Substrat 22 abgeleitet. Daher werden die Ladungsträger nicht am Bildrand zurückgehalten und es findet keine Seitwärtsstreuung der Ladung in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 statt.

Bei der gleichmäßigen Belichtung mit der zweiten Lichtbande (s. Fig. 5D und 6D) werden ferner die Ladungen an der Oberfläche der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 von der in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 eingeschlossenen Ladung angezogen und wandern somit nicht seitwärts ab. Weil außerdem die zweite lichtleitfähige Schicht 25 nicht als das hauptsächliche lichtleitfähige Bauteil für die Erzeugung des Ladungsbildes dient, kann es verhältnismäßig dünn gehalten werden. Als Folge der vorstehend beschriebenen Wirkungen können die Dunkelstellen bzw. die Unscharfe des Ladungsbildes beträchtlich herabgesetzt werden. Außerdem können auch der Kontrast und die Auflösung des Ladungsbildes auf einen hohen Grad gebracht werden. Weil das Ladungsbild an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 zuverlässig gehalten wird, besteht ein weiterer Vorteil darin, daß die erste lichtleitfähige Schicht 23 aus einer Substanz von niedrigerem Widerstand und größerer Empfindlichkeit hergestellt werden kann.

Auf diese Weise ermöglicht es die Erfindung, daß viele Kopien mit hoher Bildgüte ausgehend von ein und demselben, einzigen Ladungsbild, das aus den an der elektrisch isolierenden ladungsspeichernden Schicht 24 festgehaltenen Ladungen besteht, durch mehrmaliges Entwickeln und Übertragen hergestellt werden.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen wird die elektrische Sekundäraufladung mittels einer Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle durchgeführt; hierzu kann auch eine vorgespannte Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle oder

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eine Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle benutzt werden. j

Wenn bei den Ausführungsarten gemäß Fig. 5 und 7 die elek- j

trische Sekundäraufladung mit einer Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle durchgeführt wird, wird das Ladungsbild erzeugt, welches aus den im bildgerecht dunklen Bereich D an der ladungsspeichernden Schicht 24 festgehaltenen Ladungen besteht, wogegen bei den in Fig. 6 und 8 dargestellten Ausführungsformen das negative Ladungsbild erzeugt wird, das aus den im bildgerecht hellen Bereich L an der Schicht 24 festgehaltenen Ladungen besteht.

Die erste lichtleitfähige Schicht 23 kann aus einer lichtempfindlichen Substanz hergestellt sein, die auf die erste Lichtbande anspricht und ein solches Gleichrichtevermögen besitzt, daß, wenn die elektrische Aufladung mit einer bestimmten Polarität von der Seite der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 her durchgeführt wird, die Ladung von entgegengesetzter Polarität in der Grenzschicht zwischen den Schichten 23 und 24 induziert und eingeschlossen wird. In einem solchen Falle kann die in Fig. 5A und 7A dargestellte gleichmäßige Belichtung mit der ersten Lichtbande weggelassen werden.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen werden die bildgerechte Projektion und die gleichmäßige Belichtung von der Seite der zweiten lichtleitfähigen Schicht 25 her durchgeführt, können aber auch von der Seite des Substrater. 22 her ausgeführt werden.

Sofern die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande nicht gleichzeitig mit der bildgerechten Projektion ausgeführt wird, kann die erste lichtleitfähige Schicht 23 für die zweite Lichtbande empfindlich sein; somit können die' beiden Lichtbanden die gleiche Wellenlänge haben, aber von verschiedenen Intensitäten sein. Wenn dagegen die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig

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mit der bildgerechten Belichtung ausgeführt wird, muß die zweite lichtleitfähige Schicht 25 ausschließlich für die zweite Lichtbande empfindlich sein. Daher muß die Wellenlänge der zweiten Lichtbande von derjenigen der ersten Lichtbande verschieden sein.

Claims

PATENTANWÄLTE ΐΛΤΛΝδ. franz Vuesthoff

WUESTHOFF-v. PECHMANN -BEHRENS-GOETZ ^{DRI>HIL PREUA} ™^ESTHO"

DIPL.-ING. GERHARD PULS (1952-1971)

EUROPEANPATENTATTORNEYS d.,l.chb«.dk.b.f«,he«« von pechmahh

DR.-ING, DIETER BEHRENS

DIPL.-ING.; DIPL.--WIRTSCH.MNG. RUPERT GOETZ

lA-55 699 D-8000 MÜNCHEN 90

SCHWEIGKRSTKASSH 2

TEI.kpon: (089)6620 Ji

TEtEGRAMM: PROTECTPATENT TELEX: 524070

Patentansprüche :

Verfahren zum elektrofotografischen Herstellen wenigstens einer Kopie von einer Vorlage mittels eines als Modulationsgitter wirkenden elektrofotografischen lichtempfindlichen Bauteils, das zusammengesetzt ist aus einem elektrisch leitfähigen Substrat, einer auf dieses aufgebrachten ersten lichtleitfähigen Schicht, einer ladungsspeichernden Schicht, dje aus einer elektrisch 1 üo] Lor«ndt?n. fiubölHM/. licrgciilel I t. und auf die erste lichtleitfähige Schicht aufgebracht ist, und einer auf die ladungsspeichernde Schicht aufgebrachten zweiten lichtleitfähigen Schicht, dadurch g e k e η η zeichnet , daß

- ein Bild der zu kopierenden Vorlage auf das Modulationsgitter (21) beim Aufladen desselben mittels einer ersten Lichtbande projiziert wird, für welche die zweite lichtleitfähige Schicht (25) im wesentlichen unempfindlich ist, auf die jedoch die erste lichtleitfähige Schicht (23) anspricht ,

- nach dem Projizieren des Bildes das Modulationsgitter (21) der ersten Lichtbande gleichmäßig ausgesetzt wird, und

- das Modulationsgitter (21) einer zweiten Lichtbande gleichmäßig ausgesetzt wird, für welche die zweite lichtleitfähige Schicht (25) empfindlich ist, wodurch mittels elektrostatischer Ladungen, die an der ladungsspeichernden Schicht (24) festgehalten sind, im Modulationsgitter (21) ein Ladungsbild erzeugt wird.

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2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß vor der Bildprojektion das Modulationsgitter (21) mit einer Polarität aufgeladen und der ersten Lichtbande gleichmäßig ausgesetzt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Aufladung mit einer Polarität und die gleichmäßige Belichtung mit der ersten Lichtbande gleichzeitig durchgeführt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Aufladung mit einer Polarität und die gleichmäßige Belichtung mit der ersten Lichtbande nacheinander in dieser Reihenfolge durchgeführt werden.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichzeitig mit der Bildprojektion durchgeführte Aufladung mit einer Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle ( ) der anderen Polarität vorgenommen wird.
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichzeitig mit der Bildprojektion durchgeführte Aufladung mit einer Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle vorgenommen wird.
7. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichzeitig mit der Bildprojektion durchgeführte Aufladung mit einer in der anderen Polarität vorgespannten Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle vorgenommen wird.
8. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande nach der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.

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9. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig mit der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande nach der Bildprojektion, jedoch vor der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e η η

ζ e i cn net , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig mit der Bildprojektion durchgeführt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß nach der Bildprojektion, jedoch vor der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande, eine Sekundäraufladung vorgenommen wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekenn zeichnet , daß die Sekundäraufladung mit einer Gleichspannungs-Koronaionenstromquelle ( ) durchgeführt wird, deren Polarität derjenigen der während der Bildprojektion vorgenommenen Aufladung entgegengesetzt ist.
14. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch g e k eη η zeichnet , daß die Sekundäraufladung mit einer Wechsel e>pannungs-Koronaiom?nstromque] Ie durchgeführt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch ge kenn zeichnet , daß die Sekundäraufladung mit einer Wechselspannungs-Koronaionenstromquelle durchgeführt wird, die mit einer Polarität vorgespannt ist, welche derjenigen

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der während der Bildprojektion vorgenommenen Aufladung entgegengesetzt ist.
16. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande nach der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
17. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig mit der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
18. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande nach der Sekundäraufladung, jedoch vor der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
19. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig mit der Sekundäraufladung durchgeführt wird.
20. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig mit der Bildprojektion durchgeführt wird.
21. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß vor der Bildprojektion eine Primäraufladung des Modulationsgitters (21) durchgeführt wird.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch g e k e η η zeichnet , daß das Modulationsgitter (21) der zweiten Lichtbande während der Primäraufladung ausgesetzt wird.

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23. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die während der Bildprojektion durchgeführte Aufladung mit einer Gleichspannungs-Korona j oneristromquelle ( ) vorgenommen wird, deren Polarität derjenigen der Primäraufladung entgegengesetzt ist«
24. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die während der Bildprojektion durchgeführte Aufladung mit einer Wechselspannungs-Koronalonenstromquelle vorgenommen wird.
25. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die während der Bildprojektion durchgeführte Aufladung mit einer Wechselspannungs-KoronaJonenstromquelle vorgenommen wird, die mit einer Polarität vorgespannt ist, welche derjenigen der Primäraufladung entgegengesetzt ist.
26. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch ge kenn zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande nach der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
27. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig mit der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
28. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande nach der Bildprojektion, jedoch vor der gleichmäßigen Belichtung mit der ersten Lichtbande durchgeführt wird.
29. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch g e k e η η -

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zeichnet , daß die gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande gleichzeitig mit der Bildprojektion durchgeführt wird.
30. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 29, dadurch gekennzeichnet , daß die erste und die zweite Lichtbande von verschiedener Wellenlänge sind.
31.· Verfahren nach Anspruch 30, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die erste Lichtbande sichtbares Licht und die zweite Lichtbande ultraviolettes Licht ist.
32. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 29, dadurch gekennzeichnet , daß die erste und die zweite Lichtbandgdieselbe Wellenlänge haben, aber von verschiedener Intensität sind.
33. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß das im Modulationsgitter (21) einmal erzeugte Ladungsbild mehrmals mit Toner entwickelt wird, um Tonerbilder zu erzeugen, und daß die Tonerbilder mehrmals auf aufeinanderfolgende Bildaufnahmeblätter übertragen werden, um mehrere Kopien herzustellen.
34. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Bildprojektion und die gleichmäßigen Belichtungen mit der ersten und der zweiten Lichtbande von der Seite der zweiten lichtleitfähigen Schicht (25) her durchgeführt werden.
35. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η zeichnet , daß von den Arbeitsschritten Bildprojektion, gleichmäßige Belichtung mit der ersten Lichtbande und gleichmäßige Belichtung mit der zweiten Lichtbande wenigstens einer von der Seite des elektrisch leitfähigen Substrates (22) her durchgeführt wird.

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36. Modulationsgitter für das elektrofotografische Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Substrat (22) aus einer elektrisch leitfähigen Substanz,

eine auf das Substrat (22) aufgebrachte erste lichtleitfähige Schicht (23) ,

eine ladungsspeichernde Schicht (24), die aus einer elektrisch isolierenden Substanz hergestellt und auf die erste lichtleitfähige Schicht (23) aufgebracht ist, und

eine zweite lichtleitfähige Schicht (25), die auf die ladungsspeichernde Schicht (24) aufgebracht und für die·erste Lichtbande, auf welche die erste lichtleitfähige Schicht (23) anspricht, im wesentlichen unempfindlich ist.
37. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet , daß die erste und die zweite lichtleitfähige Schicht (23,25) je ausschließlich für die erste bzw. die zweite Lichtbande empfindlich sind.
38. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge kennzeichnet , daß die erste lichtleitfähige Schicht (23) sowohl für die erste als auch für die zweite Lichtbande empfindlich ist.
39. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch g e kennzeichnet , daß die erste liehtleitfähige Schicht (23) von einem Gleichrichtevermögen ist, bei dem eine Ladung von einer bestimmten Polarität im Dunkeln durch die erste lichtleitfähige Schicht (23) unbehindert hindurchwandern kann.
40. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge

k e η η ζ e i c h η e t , daß die erste lichtleitfähige Schicht (23) von einem aufgedampften Film aus einer Substanz aus der Gruppe mit Se, Se-Verbindungen, CdS und amorphem Silicium gebildet ist. . - -

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41. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge kennzeichnet , daß die erste lichtleitfähige Schicht (23) von einer feinen Dispersion einer Substanz aus der Gruppe mit CdS, ZnO und TiO in einer Lösung gebildet ist.
42. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge kennzeichnet , daß die erste lichtleitfähige Schicht (23) aus Polyvinylcarbazol hergestellt ist.
43. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge kennzeichnet , daß die erste Jichtleitfähige Schicht (23) gebildet ist von einer zusammengesetzten lichtleitfähigen Schicht mit einer ladungserzeugenden Schicht aus einer Substanz aus der Gruppe mit Se-Te, amorphem Silicium und CdS, und einer ladungsübertragenden Schicht aus einer Substanz aus der Gruppe mit Polyvinylcarbazol, "Parylene" (durch Dampfphasenpolymerisation von Xylol oder dessen Substitutionsprodukten hergestelltes Polymeres), Anthracen, Fluoren, Polyvinyltetracen, 2,4,7-Trinitro-9-fluorenon, Dinitroanthracen und Tetracyanopyren.
44. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge kennzeichnet , daß die ladungsspeichernde Schicht ('AA) gebildet ist von einem Pol ym<-?rf lim aus einer SubijLanz aus der Gruppe mit fluoriertem Harz, Polyester, Polycarbonat, Polyurethan, Polyepoxid, Polyethylen und Celluloseacetat/ Vinylchlorid-Harz.
45. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge kennzeichnet , daß die ladungsspeichernde Schicht (24) gebildet ist von einem Polymerfilm, der durch Polymerisation in der Glimmentladung einer Substanz aus der Gruppe mit Styrol und Para-Xylol hergestellt wurde.
46. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge

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kennzeichnet , daß die ladungsspeichernde Schicht (24) gebildet ist von einem anorganischen dünnen Film aus einer Substanz aus der Gruppe mit SiO₀ und Ta„O„.

C. C- ό _ "
47. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge kennzeichnet, daß die ladungsspeichernde Schicht (24) gebildet ist von einem dünnen Film aus durch thermische Zersetzung eines Dimeren erhaltenem Poly-p-xylol.
48. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch ge
kennzeichnet , daß die ladungsspeichernde Schicht (24) gebildet ist von einem dünnen Film aus durch Gasphasenpolymerisation erhaltenem P-Xylol.
49. Modulationsgitter nach Anspruch.36, dadurch gekennzeichnet , daß die zweite lichtleitfähige Schicht (25) von einem dünnen Film aus Polyvinylcarbazol
gebildet ist.
50. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet , daß die zweite lichtleitfähige Schicht (25) von einem in einem Bindemittel dispergierten ; organischen Pigment gebildet ist.
51. Modulationsgitter nach Anspruch 50, dadurch g e kennzeichnet , daß das organische Pigment Phthalocyanin ist.
52. Modulationsgitter nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet , daß die zweite lichtleitfähige Schicht (25) von einem dünnen Film aus durch Polymerisation in der Glimmentladung hergestelltem Naphthalin-Thiophen
gebildet ist.