DE3200979A1

DE3200979A1 - Elektrodenvorschubsystem fuer elektrische bearbeitung

Info

Publication number: DE3200979A1
Application number: DE19823200979
Authority: DE
Inventors: Akihiko Kawasaki Kanagawa Shimizu
Original assignee: Japax Inc
Current assignee: Japax Inc
Priority date: 1981-01-14
Filing date: 1982-01-14
Publication date: 1982-08-05
Also published as: FR2497708A1; IT1147653B; GB2093747A; FR2497708B1; GB2093747B; IT8247562A0; JPS622928B2; US4439659A; JPS57121423A

Description

Japax Incorporated Kawasaki-shi, Kanagawa-ken, Japan

Elektrodenvorschubsystem für elektrische Bearbeitung

Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektrodenvorschubsystem für elektrische Bearbeitung und insbesondere auf ein solches System mit einer raschen Ansprechfähigkeit der Elektrodenzurückziehung und -Hin- und -Herbewegung. Während die Erfindung im folgenden hauptsächlich unter Hinweis auf die elektrische Entladungsbearbeitung (EDM) beschrieben wird, sei darauf hingewiesen, daß der Begriff "elektrische Bearbeitung" hier auch die elektrochemische Bearbeitung (ECM), die elektrochemische Entladungsbearbeitung (ECDM), die galvanische Abscheidung (galvanische Beschichtung und Galvanoplastik) und jeden anderen Bearbeitungsprozeß umfassen soll, der herkömmlich als eine Art der elektrischen Bearbeitung anerkannt und bekannt ist und wo die Grundsätze der Erfindung anwendbar sind.

Bei der elektrischen Bearbeitung wird eine Werkzeug- oder Arbeitselektrode unter Abstand einem Werkstück über einen Bearbeitungsspalt gegenübergestellt, der mit einer Bearbeitungsflüssigkeit gefüllt oder gespült wird, und man läßt einen elektrischen Bearbeitungsstrom zwischen der Werkzeugelektrode und dem Werkstück durch den Spalt fließen, um das Werkstück zu "bearbeiten". Bei den EDM-, ECM- und ECDM-Verfahren bedeutet die Bearbeitung die Materialabtragung vom Werkstück, und bei der galvanischen Beschichtung oder Galvanoplastik bedeutet das "Bearbeiten" eine Metallabscheidung aus der Bearbeitungsflüssigkeit (dem Elektrolyt) auf dem Werkstück. Bei den EDM-, ECM- und ECDM-Verfahren, die allgemein elektroerosive Bearbeitung genannt werden, ist der Bearbeitungsstrom gewöhnlich oder vorzugsweise in der Form einer Folge elektrischer Impulse. Ein pulsierender elektrischer Strom wurde auch bei der galvanischen Abscheidung als vorteilhaft erkannt. Während die "Bearbeitung¹¹ fortschreitet, soll die Werkzeug- oder Arbeitselektrode relativ zum Werkstück allgemein mittels eines Hilfsvorschubsysteras verschoben (vorgerückt oder zurückgezogen) werden (elektroerosive Bearbeitung) oder wird vorzugsweise verschoben (galvanische Abscheidung), um die Abmessung des Bearbeitungsspaltes im wesentlichen konstant zu halten.

Bei der elektrischen Entladungsbearbeitung wird eine Gruppe von seitlich beabstandeten, einzelnen elektrischen Entladungen durch den Bearbeitungsspalt erzeugt, um erosiv Material vom Werkstück abzutragen.

Bearbeitungsspäne, Gase und Teer werden so erzeugt, die zur Ansammlung im Bearbeitungsspalt und zur übermäßigen Verunreinigung des Bearbeitungsbereichs und dadurch zur/Verursachung kontinuierlicher Lichtbogen- oder Kurzschlußbedingungen neigen. Um die Entfernung dieser Spaltprodukte aus der Bearbeitungszone zu erleichtern, wurde daher als wünschenswert erkannt, daß außer dem Servovorschubsystem, das hauptsächlich zum Ausgleich der Materialabtragung und zum Ansprechen auf einen zeitweiligen Kurzschluß ausgelegt ist, Mittel vorgesehen werden, die zur Hin- und Herbewegung der Arbeitselektrode oder zu deren periodischen Zurückziehung mit einem gegebenen Zeitintervall oder im Ansprechen auf eine Ansammlung der Entladungsprodukte im Bearbeitungsspalt eingesetzt werden, um dadurch eine laufende Erneuerung frischer oder weniger verunreinigter Bearbeitungsflüssigkeit im Bearbeitungsbereich zu sichern.

Ein typisches früheres Elektrodenvorschubsystem mit üer Eignung nicht nur zum Servovorschub, sondern auch zur Elektrodenzurückziehung und -Bin- und Herbewegung, wie vorstehend angedeutet, ist in Fig. 1 der Zeichnung aargesteilt. Das System enthält einen Elektromotor 1, z. B. einen Gleichstrommotor, einen Schrittmotor oder einen Wechselstrommotor, der auf einer Säule 2 montiert ist, die aufrecht auf einem Fundament 3 der EDM-Bearbeitungsanlage steht. Der Motor 1, der in zwei Richtungen drehbar ist, hat seine Ausgangsantriebswelle in Antriebsverbindung mit einer Vorschubspindel 4, die sich in einen hohlen Werkzeugkopf 5 erstreckt. Die Vorschubspindel 4 ist im Eingriff mit einer Vorschub-

mutter 6, die am Werkzeugkopf 5 an dessen Schulter befestigt ist. Der Werkzeugkopf 5 wird gleitbar an einer vertikalen Führungsebene 5a in der Säule 2 zur vertikalen Aufwärts- und Abwärtsbewegung geführt und ist gegen Drehbewegung festgelegt. Der Werkzeugkopf 5 trägt nach der Darstellung eine Werkzeugelektrode 7, die einem Werkstück 8 gegenübersteht, das fest auf einem Werkstückträger 9 montiert ist, der von einer Quervorschubeinheit 10 zur Lageeinstellung des Werkstücks 8 in einer Horizontalebene getragen wird. Das Werkstück 8 ist in ein in einem Werkstücktank 11 enthaltenes flüssiges Dielektrikum 11a eingetaucht. Der Motor 1 spricht nicht nur auf ein Servovorschubsignal, das von einem Servosteuerkreis 12 im Ansprechen auf ein Spaltsignal zur Verschiebung der Werkzeugelektrode 7 geliefert wird, um die Spaltweite aufrechtzuerhalten, sondern auch auf ein Steuersignal an, das von einem Hin- und Herbewegungs-Steuerkreis 13 geliefert wird, um eine Hin- und Herbewegung oder ein zyklisches Zurückziehen der Werkzeugelektrode 7 zu bewirken. Das Servospaltsignal wird vom Bearbeitungsspalt zwischen üer Werkzeugelektrode und dem Werkstück 8 abgeleitet und kann typisch an einem mit der Werkzeugelektrode 7 und dem Werkstück 8 verbundenen Spaltabtastkreis 14 erfaßt werden. Der Hin- und Herbewegungs-Steuerkreis wird mit einem Voreinstell-Signal gespeist und kann zusätzlich auf ein Spaltsignal ansprechen.

Es ist üblich, daß das Ausmaß des Zurückziehens oder die Amplitude der Hin- und Herbewegung der Werkzeugelektrode 7 maximal einige mm bei der elektrochemischen

Bearbeitung und galvanischen Abscheidung erreicht, jedoch bei der elektrischen Entladungsbearbeitung so gering wie höchstens 1 mm und typisch 0,05 bis 0,8 mm ist. Die Periode der unterbrochenen Zurückziehungen oder der Hin- und Herbewegung ist typisch weniger als 1 s. Es ist gut bekannt, daß das besondere Ausmaß oder die besondere Amplitude und die Dauer der Hin- und Herbewegung oder der intermittierenden Zurückziehungen von den besonderen Verfahren der elektrischen Bearbeitung und den jeweils benötigten Bearbeitungsergebnissen und vorliegenden Bedingungen abhängen und im Steuerkreis 13 voreingestellt werden.

Andererseits wird in wachsendem Maß erkannt, daß das einen Motor 1 verwendende Servosystem mit einer Übertragung mittels einer Vorschubspindel 4 und einer Vorschubmutter 6, das besonders dazu ausgelegt ist, den Werkzeugkopf 5 und die Werkzeugelektrode 7 stufen- oder schrittweise mit einer feinen voreingestellten Schrittgröße der Verschiebung zu fördern, vorteilhaft ist und zu einer erheblichen Verbesserung des Betriebswirkungsgrades gegenüber hydraulischen Servosystemen führt.

Unabhängig von den Typen der verwendeten Motoren wurde jedoch gefunden, daß Motorservosysteme im Ansprechen viel langsamer als hydraulische Servosysterne sind und sich, wenn zur Bewirkung der intermittierenden Zurückziehung oder Hin- und Herbewegung der Werkzeugelektrode zusätzlich zu der Servovorschubfunktion eingesetzt, nicht zur Erreichung eines ausreichenden ßearbeitungswirkungsgrades eignen, insbesondere wo

ein enges und tiefes Loch oder eine entsprechende Ausnehmung zu bearbeiten ist oder eine massive und schwere Elektrode vorliegt.

Der Erfindung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Elektrodenvorschubsystem für elektrische Bearbeitung zu entwickeln, das eine schnei] ansprechende Zurückziehung und Hin- und Herbewegung der Elektrode ermöglicht, wobei insbesondere ein Elektrodenvorschubsystem für elektrische Bearbeitung mit einer Vorschubspindel und einer Vorschubmutter, die als Antriebsübertragung des Ausganges eines elektrischen Servomotors zum Servosteuervorschub der Werkzeugelektrode funktionieren, entwickelt werden soll, das derart aufgebaut und eingerichtet ist, daß die intermittierenden Zurückziehungen oder die Hin- und Herbewegung der Werkzeugelektrode mit einem schnelleren Ansprechen als beim herkömmlichen System ermöglicht werden.

Gegenstand der Erfindung, womit diese Aufgabe gelöst wird, ist ein Elektrodenvorschubsystem für elektrische Bearbeitung zwischen einer Werkzeugelektrode und einer Werkstückelektrode durch einen Bearbeitungsspalt mit einem axial beweglichen Elektrodenkopf zum Festhalten einer der Elektroden, einer Vorschubspindel, die sich in den Elektrodenkopf erstreckt und antriebsmäßig mit einem Elektromotor zur Rotation damit verbunden ist, einem Steuerkreis zur Lieferung eines Steuersignals zum Drehen des Motors und einer Vorschubmutter, die im Eingriff mit der Vorschubspindel im Elektrodenkopf und gegen Drehung darin festgehalten ist, zur Axialbewegung des Elektrodenkopfes bei Drehung der

Vorschubspindel im Ansprechen auf das dem Motor zugeführte Steuersignal und dadurch Verschiebung der einen Elektrode zum Ausgleich des Fortschritts der elektrischen Bearbeitung im Bearbeitungsspalt, mit dem Kennzeichen,daß ein Zylinder im Elektrodenkopf gebildet ist, daß die Vorschubmutter im Zylinder zur Axialbewegung relativ dazu gleitbar aufgenommen und zur Begrenzung eines Paares von getrennten Kammern im Zylinder ausgebildet und angeordnet ist und daß eine Hin- und Herpumpeinrichtung zur abwechselnden Druckbeaufschlagung der beiden getrennten Kammern im Zylinder mit einem Druckfluid zwecks axialer Hin- und Herbewegung des Elektrodenkopfes vorgesehen ist.

Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Falls für die Hin- und Herpumpeinrichtung ein Gleichstrommotor vorgesehen ist, ist dieser vorzugsweise mit einem Codierer versehen.

Die Erfindung wird anhand eines in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiels näher erläutert; darin zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht einer elektrischen Entladungsbearbeitungsmaschine mit einem herkömmlichen Elektrodenvorschubsystem, das schematisch teilweise im Schnitt und teilweise in Blockdiagrammform gezeigt ist; und

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines neuen Elektrodenvorschubsystems gemäß der Erfindung, das teilweise in Schnittansicht und teilweise in Blockdiagrammform gezeigt ist.

Fig. 1 wurde .bereits weiter oben beschrieben.

In Fig. 2 ist ein Motor 1O1, z. B. ein Schrittmotor, Gleichstrommotor oder Wechselstrommotor, wie in Fig. 1 auf einer Säule 2 einer EDM-Bearbeitungsanlage montiert gezeigt und hier so ausgelegt, daß er ausschließlich durch einen Servosteuerkreis wie in Fig. 1 gezeigt, speisbar ist. Der Motor 101, der in einer Richtung oder in zwei Richtungen drehbar ist, hat seine Antriebswelle, wie im System nach Fig. 1, antriebsmäßig mit einer Vorschubspindel 104 verbunden, die sich in einen hohlen Werkzeugkopf 105 erstreckt. Der Werkzeugkopf 105 ist hier wieder gleitbar an einer vertikalen Führungsebene (Fig. 5a in Fig.1) in der Säule 2 zur vertikalen Auf- und Abbewegung geführt und kann gegen Drehbewegung festgehalten sein. Der Werkzeugkopf 105 hat einen Elektrodenhalter 120, der daran über eine Isolierplatte 121 fest angebracht ist und natürlich eine Werkzeug- oder Arbeitselektrode (7 in Fig. 1) trägt, die einem Werkstück (8 in Fig. 1) gegenübergestellt ist. Das Werkstück ist eingerichtet und angeordnet, wie im Zusammenhang mit Fig.1 beschrieben wurde.

Die Vorschubspindel 104 ist, wie im System nach Fig. 1, im Eingriff mit einer Vorschubmutter 106, die hier jeaoch nicht am Werkzeugkopf 105 befestigt, sondern so ausgelegt ist, daß der letztere relativ zur Vorschubmutter 106 gleitbar beweglich ist.

So ist der Werkzeugkopf 105 mit einem inneren zylindrischen Hohlraum 122 ausgebildet, und die Vorschubmutter

mit einem mittleren Flansch 106a ist so gestaltet, daß sie als ein Kolben in einem Zylinder arbeitet, der durch den inneren Hohlraum 122 gebildet wird, wie noch erläutert werden soll.

Man erkennt, daß die Vorschubmutter 106 hier einfach gegen Drehbewegung festgehalten ist und vertikal bewegt wird, um den Werkzeugkopf 105 vertikal zu verschieben, wenn die Vorschubspindel 104 durch den Motor 101 im Ansprechen auf den Servosteuerkreis gedreht wird, um die Werkzeugelektrode zu verschieben und so den Bearbeitungsspalt im wesentlichen konstant zu halten oder um die Werkzeugelektrode mit genau der Geschwindigkeit vorzurücken, wie die Bearbeitung im Bearbeitungsspalt fortschreitet.

Die Vorschubmutter 106 ist so gestaltet, daß sie ein Paar von getrennten koaxialen Kammernji 22a und 122b im Zylinder 122 begrenzt. Ausgleichsfedern 123a und 123b sind in den Kammern 122a bzw. 122b angebracht, um die Vorschubmutter 106 federnd im Zylinder 122 abzustützen und die Vorschubmutter 106 so zu drücken, daß sie normalerweise in ihrer mittleren neutralen Lage darin angeordnet ist.

Eine Hin- und Herpumpeinrichtung 124 ist außerhalb des Werkzeugkopfes 105 vorgesehen, um alternativ die beiden getrennten Kammern 122a und 122b im Zylinder unter Druckeinwirkung mit einem Druckfluid, z. B. öl oder Luft, zu setzen und dadurch den Werkzeugkopf vertikal hin- und herzubewegen.

Die gezeigte Hin- und Herpumpeinrichtung 124 weist eine Kolbenpumpe mit einem Zylinder 125 und einem Kolben 126 auf. Der Kolben 126 ist in seiner Lage feststehend und im Zylinder 125 gleitend aufgenommen, wobei er zwei getrennte Kammern 125a und 125b darin definiert, die in Fluidverbindung mit den zwei getrennten Kammern 122a und 122b im Zylinder 122 über Leitungen 127a bzw. 127b stehen. Der Zylinder 125 weist eine daran befestigte Mutter 128 auf, die im Eingriff mit einer von einem Motor 130 angetriebenen Spindel 129 ist. Die Ganghöhe der Spindel 129 und der Mutter 128 ist geringer als die der Vorschubspindel 104 und der Vorschubmutter 106 und typisch 1/2 bis 1/10 der letzteren unter Berücksichtigung des Verhältnisses des Druckanstiegs und so je nach den Gewichten des Werkzeugkopfes 1O5 und der Werkzeugelektrode und der Druckaufnahmefläche der Vorschubmutter 106.

Der Motor 130 ist so ein Zweirichtungsmotor, z. B. ein Gleichstrommotor oder Schrittmotor, der mit

Steuersignalen der einen bzw. der anderen Polarität von einem Steuerkreis 131 gespeist wird, von denen jedes Signal vorzugsweise in der Form einer Folge von Impulsen ist, um den Motor 130 in jeder der beiden Richtungen schrittweise in Drehung zu versetzen. Man sieht, daß aer Zylinder 125, wenn der Motor 130 in einer Richtung rotiert, relativ zu dem in feststehender Lage befindlichen Kolben 126 aufwärtsbewegt wird, wodurch sich der Fluiddruck in der Kammer 125b erhöht. Dies verursacht einen Druckanstieg in der Kammer 122b im Zylinder 122, wodurch der Werkzeugkopf 105 und damit die Werkzeugelektrode nach unten bewegt werden. Wenn der Motor 130 in

der anderen Richtung gedreht wird, wird der Zylinder relativ zum festen Kolben 126 nach unten bewegt, wodurch der Fluiddruck im Zylinder 125a steigt. Dies bewirkt einen Druckanstieg in der Kammer 122a im Zylinder 122, wodurch der Werkzeugkopf 105 und damit die Werkzeugelektrode nach oben bewegt werden. So ergibt die abwechselnde Rotation des Motors 130 in zwei Richtungen eine Hin- und Herbewegung oder intermittierende Zurückziehung der Werkzeugelektrode relativ zum Werkstück.

Der gezeigte Steuerkreis 131 für den Motor 130 weist einen Taktschrittgenerator 132 und eine Ausgangssteuerstufe 133 auf und enthält drei Einstellstuf en, _v nämlich eine Aufwärts-Zeiteinstellung 134, eine Abwärts-Zeiteinstellung 135 und eine Frequenzeinstelleinrichtung 136. Die Einstellung 134 bestimmt eine Zeitdauer, in der der Motor 130 in einer Richtung rotiert und in der so die Werkzeugelektrode in jedem Elektroden-Hin- und -Herbewegungszyklus zurückgezogen oder aufwärtsbewegt wird, und besteht aus einem Zeitgeber, z. B. einem voreinstellbaren Zähler. Die Einstellung 135, die ebenfalls aus einem Zeitgeber, z. B. einem voreinstellbaren Zähler, gebildet wird, bestimmt 'eine Zeitdauer, in der der Motor 130 in der anderen Richtung rotiert und in der so die Werkzeugelektrode in jedem Elektroden- Hin- und -Herbewegungszyklus in ihre Lage (d. h. servogesteuerte Lage) zurückgeführt oder abwärts bewegt wird. Die Einstelleinrichtung 136 bestimmt die Frequenz oder Periode der Elektroden.'Hin- und -Herbewegungen.

Aus dem Aufbau des beschriebenen Systems ersieht man also, daß die Elektroden-Hin- und Herbewegung ausschließlich durch die Hin- und Herpumpeinrichtung 124, die durch den Steuerkreis 131 gesteuert wird, bewirkt wird, während ein feiner Elektrodenservovorschub ausschließlich durch den Motor 101 bewirkt wird, der vom Servokreis 12 gesteuert wird. Die beiden Steuereinheiten arbeiten unabhängig voneinander und derart, daß der Werkzeugelektrode zwei unabhängige Steuervorschubsignale über eine besonders ausgelegte gemeinsame Mutter/Zylinder-Anordnung zugeführt werden.

In dieser Weise eignet sich das System gemäß der Erfindung zur Bewirkung einer äußerst schnell ansprechenden Elektrodenzurückziehung und -Hin- und -Herbewegung einerseits, während eine feine und genaue Steuereignung beim Elektrodenfolge- oder -servovorschubvorgang andererseits beibehalten wird. Beim Betrieb des neuen Aufbaus des beschriebenen Systems löst jedesmal, wenn ein Taktsignal von der Frequenzeinstelleinrichtung 136 erzeugt wird, der Aufwärts-Zeitgeber 134 ein Aufwartsbewegungssignal zur raschen Zurückziehung der Werkzeugelektrode durch einen hydraulischen Kraftantriebsmechanismus aus, der im Ansprechen viel schneller als der herkömmliche Motor-(Spindel/Mutter)-Kraftantriebsmechanismus ist. Wenn diese Aufwärtsbewegung beendet ist, ist der Abwärtss»Zeitgeber 135 bereit, unverzüglich ein Abwärtsbewegungssignal zur schnellen Rückführung der Werkzeugelektrode in ihre Lage durch den hydraulischen Kraftantriebsmechanismus auszulösen.

Im Steuerkreis 131 sind die Zeitgeber 134 und 135 und die Frequenzeinstelleinrichtung 136 zusätzlich mit einem Eingang für Spalt-Signale dargestellt, der mit dem Bearbeitungsspalt verbunden ist, um die Elektroden-Aufwärtsbewegungszeit (Hub) und die Elektrodenabwärtsbewegungszeit (Hub) und die Wiederholungsgeschwindigkeit der Elektroden-Hin- und -Herbewegungen entsprechend einer Zustandsbedingung des Bearbeitungsspalts zu bestimmen.

S omit wird erfindungsgemäß ein neues und verbessertes Elektrodenvorschubsystem für die elektrische Bearbeitung zur Verfügung gestellt.

Claims

Ansprüche

f1. /Elektrodenvorschubsystem für elektrische Bearbeitung zwischen einer Werkzeugelektrode und einer Werkstückelektrode durch einen Bearbeitungsspalt mit einem axial beweglichen Elektrodenkopf zum Festhalten einer der Elektroden,

einer Vorschubspindel, die sich in den Elektrodenkopf erstreckt und antriebsmäßig mit einem Elektromotor zur Rotation damit verbunden ist,

einem Steuerkreis zur Lieferung eines Steuersignals zum Drehen des Motors und

einer Vorschubmutter, die im Eingriff mit der Vorschubspindel im Elektrodenkopf und gegen Drehung darin festgehalten ist, zur Axialbewegung des Elektrodenkopfes bei Drehung der Vorschubspindel im Ansprechen auf das dem Motor zugeführte Steuersignal und dadurch Verschiebung der einen Elektrode zum Ausgleich des Fortschritts der elektrischen Bearbeitung im Bearbeitungsspalt,

dadurch

gekennzeichnet,

daß ein Zylinder (122) im Elektrodenkopf (105) gebildet

ist,

daß die Vorschubmutter (106) im Zylinder (122) zur Axialbewegung relativ dazu gleitbar aufgenommen und zur Begrenzung eines Paares von getrennten Kammern (122a, 122b) im Zylinder (122) ausgebildet und angeordnet ist

und

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daß eine Hin- und Herpumpeinrichtung (124) zur abwechselnden Druckbeaufschlagung der beiden getrennten Kanunern (122a, 122b) im Zylinder (122) mit einem Druckfluid zwecks axialer Hin- und Herbewegung des Elektrodenkopfes (105) vorgesehen ist.
2. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die Hin- und Herpumpeinrichtung (124)

einen zweiten Zylinder (125), der außerhalb des Elektrodenkopfes (105) angeordnet ist und ein zweites Paar getrennter Kammern (125a, 125b) darin enthält, wobei jede der Kammern (125a, 125b) des zweiten Paares in Fluidverbindung mit einer zugehörigen Kammer (122a, 122b) des ersterwähnten Paares im ersterwähnten Zylinder (122) ist, und

eine Hin- und Her-Antriebseinrichtung (126, 128, 129) 130) zur Druckbeaufschlagung einer Kammer (125a) des zweiten Paares zur Fluiddruckeinwirkung auf eine Kammer (122a) des ersten Paares, die damit in Fluidverbindung ist, und danach zur Druckbeaufschlagung der anderen Kammer (125b) des zweiten Paares zur Fluiddruckeinwirkung auf die andere Kammer (122b) des ersten Paares, die in Fluidverbindung damit ist, zwecks axialer Hin- und Herbewegung des Elektrodenkopfes (105) aufweist.
3. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die Hin- und Her-Antriebseinrichtung

einen in seiner Lage festgehaltenen und im zweiten Zylinder (125) unter Begrenzung der zwei getrennten Kammern (125a, 125b) des zweiten Paares darin gleitbar aufgenommenen Kolben (126) und

eine mit dem zweiten Zylinder (125) antriebsmäßig verbundene Zweirichtungs-Motoreinheit (128, 129, 130) zur Hin- und Herbewegung des zweiten Zylinders (125) relativ zum festen Kolben (126) zwecks abwechselnder Druckbeaufschlagung der einen und der anderen Kammer (125a, 125b) des zweiten Paares enthält.
4. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,

daß die Zweirichtungs-Motoreinheit

einen in einer ersten und einer zweiten. Drehrichtung drehbaren zweiten Elektromotor (130) und

einen zweiten Steuerkreis (131) zum abwechselnden Drehen des Motors (130) in den beiden Drehrichtungen aufweist.
5. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

daß der zweite Steuerkreis (131) zum Speisen des zweiten Motors (130) mit einem Speisestrom in der Form einer Folge von Impulsen zum schrittweisen Drehen des zweiten Motors (130) in jeder der beiden Richtungen eingerichtet ist.
6. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

aaß der zweite Motor (130) ein Schrittmotor ist.
7. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

daß der zweite Motor (130) ein Gleichstrommotor ist.
8. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 4, dadurch gekenn aaichnet,

daß der zweite Steuerkreis (131) außerdem zwei getrennte Zeitgeber (134, 135) zur Einstellung einer ersten und einer zweiten Zeitdauer zur Drehung des zweiten Motors (130) in der ersten ^bzw. der aveiten Richtung in jedem abwechselnden Zyklus aufweist.
9. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

daß wenigstens einer der Zeitgeber (134, 135) einen mit dem Bearbeitungsspalt verbundenen Eingang zur Bestimmung wenigstens einer der Zeitdauern entsprechend einer Zustandsbedingung des Bearbeitungsspalts aufweist.
10. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 4 oder 8, dadurch gekennzeichnet,

daß der zweite Steuerkreis (131) außerdem eine Einstelleinrichtung (136) zur Festlegung der Frequenz oder Dauer der abwechselnden Drehungen des zweiten Motors (130) aufweist.
11. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,

daß die Einstelleinrichtung (136) einen mit dem Bearbeitungsspalt verbundenen Eingang zur Bestimmung der Frequenz oder Dauer entsprechend einer Zustandsbedingung des Bearbeitungsspalts aufweist.

Μ· Κ _
12. Elektrodenvorschubsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die Vorschubmutter (106) im Zylinder (122) zur Förderung des Einnehmens einer neutralen Lage darin federnd gehalten ist.