DE3148083A1

DE3148083A1 - Elektrostatisches vervielfaeltigungsgeraet

Info

Publication number: DE3148083A1
Application number: DE19813148083
Authority: DE
Inventors: Haruo Fussa Tokyo Iwahashi; Masahiko Matsunawa; Noriyoshi Hachioji Tokyo Tarumi; Hiroshi Hachioji Tokyo Tokunaga
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 1980-12-12
Filing date: 1981-12-04
Publication date: 1982-06-24
Also published as: US4488160A; DE3148083C2

Description

Henkel, Kern, Feiler £r Hänzel

f 3ΊΑ8083 Patentanwälte

Registered Representatives

before the

European Patent Office

Möhlstraße 37 D-8000 München 80

Tel.: 089/982085-87 Telex: 0529802 hnkid Telegramme: ellipsoid

174,629/80 comb.

Γ k Dez 198t

KONISHIROKU PHOTO INDUSTRY CO.,LTD., Tokio, Japan

Elektrostatisches Vervielfältigungsgerät

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Elektrostatisches Vervielfältigungsgerät

Die Erfindung betrifft ein elektrostatisches Vervielfältigungsgerät für die elektrostatische Wiedergabe oder Vervielfältigung eines Vorlagenbilds durch Pestkörperabtastung unter Vervendung einer (eine Ionenmodulationselektrode enthaltenden) Ladnngsteilchen-Modulationselektrodeneinheit» und speziell ein elektrostatisches Vervielfältigungsgerät mit einem auf einem Substrat für eine Ladungsteilehen-Modulationselektrodeneinheit ausgebildeten yestkörper-Verdrahtungsabtastsystem.

Ein elektrostatisches Vervielfältigungsgerät dient zur Wiedergabe oder Vervielfältigung einer von einem elektronischen Rechner gelieferten Bildinformation» einer über eine Hachrichtenübermittlungsleitung übertragenen Information oder einer Information» die durch umwandlung eines Vorlagenbilds in ein elektrisches Signal mittels eines CCB- bzw. Ladungsversehiebungs-Bildabtasters erhalten wird» auf einem Aufzelchnungs(papier)träger. Ss sind bereits verschiedene Arten solcher Geräte vorgeschlagen worden. Bei einem derartigen Gerät wird ein Bildsignal auf einem Iadungsaufnehmer» etwa einem licht- bzw. photoempfindlichen Material oder aber einem Dielektrikum oder einem elektrostatischen Aufseichnungs- bzw. Kopierpapier» geformt. Ss ist «in elektrostatisches Vervielfältigungsgerät bekannt» bei dem ein latentes elektro- statisches bzw. Ladungsbild auf einem Dielektrikum mittels einer Ionenmodulationselektrode geformt wird» d.h. •iner Art einer Ladungsbild-Srzeugungeelnrlchtung» wel-

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cli® die von eisern £orona(entladungs)draht erzeugten Koronaionen nach HaSgäbe der Bildsignale zu modulieren vermag, flg. 1 veranschaulicht achematisch den Aufbau eines Beispiels für ein bisheriges elektrostatisches Vervielfältigungsgerät. Datei wird ein Bildsignal» das durch photoelektrische Umwandlung bzw. Umsetzung eines Torlagenbilds mittels eines Festkörper-Bildabtasters, etwa einer CCD- bzw. Ladungsverschiebungsvorrichtung, erhalten wurde» oder ein Signal entsprechend einer elektrischen Information von einem Rechner oder einer Übermittlungsleitung einer Signalverarbeitungsschaltung 1 zugeführt» deren (verarbeitetes) Signal sodann zu einer An st euer- bzw. Treiberschaltung 2 für eine Ionenaodulationselektrodeneinheit geleitet wird. Eine Steuerschaltung 3 enthält einen Taktgenerator zur Bestimmung des Abnahmetakts für die Signale von den Schaltungen 1 und 2. Sine lonenmodulationselektrodeneinheit 4 besteht aus einer Sammelelektrode (common electrode) 4a in Form einer durchgehenden Schicht eines leitenden Werkstoffs sowie einer Steuerelektrode 4b in JOrm eiser segmentiert^ Schicht aus einem leitenden Werkstoff; diese Elektroden sind auf gegenüberliegenden fläche einer Isolierschicht ausgebildet» wobei die Blektrodeneinheit eine oder zahlreiche Reihen von Ionendurchtritts-öffnungen 4c aufweist. Die Steuerelektrode 4b vermag ein Bildsignal von der Treiberschaltung 2 abzunehmen, über der Elektrodeneinheit 4 ist ein Korona-Ionengenerator 5 mit einem Koroaa(entladungs)draht 5a angeordnet» während unter ihr eine drehbare Trommel 6 aus einem Dielektrikum angeordnet 1st. um die Trommel 6 herum sind die für die Durchführung des herkömmlichen elektrophotographischen Prozesses nötigen Einheiten» wie eine Entwicklungseinheit 7» eine Übertragungselektrode 8, eine Trennklaue 9» eine Ladungsbeseitigungselektrode 10 und eine Sntwickler-Eeinlgungskllnge 11»

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angeordnett während in Bewegungsrichtung hinter der Trommel 6 eine !Fixiereinheit 12 Torgesehen ist. Die Durchtritt einenge oder -verteilung der vom Koronaionengenerator 5 gelieferten Ionen durch die Offnungen 4c wird mit einem an die Steuerelektrode 4h der Elektrodeneinheit 4 angelegten Steuersignal moduliert. Auf dem die Trommel 6 bildenden Dielektrikum wird somit ein latentes Ladungsbild entsprechend der wiederzugebenden Information erzeugt. Dieses ladungsbild wird in der Entwicklungseinheit 7 mit einem Entwickler entwickelt und dann durch die Übertragungselektrode 8 auf einen Aufzeichnungsträger, d.h. ein Kopierpapier P übertragen. Letzteres wird hierauf durch die Trennklaue 9 von der Trommel 6 getrennt» in der Piiiereinheit 12 fixiert und danach aus dem Gerät ausgegeben.

Die beim beschriebenen elektrostatischen Vervielfältigungsgerät verwendete Ionenmodulationselektrodeneinheit weist eine oder mehrere Eeihen von Ionendurchtritts-Offnungen 4c auf» wobei die Durchtrittsmenge der Ionen durch diese Offnungen mit an die Sammelelektrode 4a und die Steuerelektrode 4b angelegten Spannungen moduliert wird. Die Steuerelektrode 4b besteht zu diesem Zweck aus segmentierten (unterteilten)» voneinander unabhängigen Elektrodenelementen» von denen jedes jeweils eine öffnung 4c aufweist und ein Bildsignal von der Treiberschaltung 2 abzunehmen vermag*. Die Zahl der Offnungen 4c beträgt z.B. 5 - 15 öffnungen/am, so daß die Zahl der zu den Steuerelektrodenelementen geführten» den einzelnen öffnungen 4c zugeordneten elektrischen Leitungen außerordentlich groß ist. Zur Verbesserung der Auflösung des Vervielfältigungsgeräts müßte die Zahl dieser Offnungen 4c vergrößert werden» wobei sich aber die Zahl der zu den Steuerelektrodenelementen geführten elektrischen Leitungen entsprechend übermäßig vergrößert.

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Gemäß Pig. 2 sind weiterhin alle Ionendurchlaß-öff-

nttngen und alle entsprechenden Steuerelektrodeneleaente in eine Anzahl (2.B. 15 - 16) von Gruppen G1 - Gn unterteilt, wobei dasselbe Bildsignal gleichzeitig an die Steuerelektrodenelemente über eine Sammelleitung (as common wire) in den entsprechenden Positionen jeder der Gruppen G1 - Gn angelegt wird (beispielsweise an ein Steuerelektrodenelement Ce1 in einer Elektroden-Untereinheit 4b 1 der Gruppe G1» ein KLektroden- element Ce2 einer Untereinheit 4b2 der Gruppe G2, ... ein Elektrodenelement Cen einer Untereinheit 4bn der Gruppe Gn) und wobei die (betreffende) Gruppe mit einer an die Samuelelektroden-Untereinheiten 4a1, 4a2, ..., 4an angelegten Spannung moduliert wird. Auf diese Veise kann die Zahl der zu den Steuerelektrodenelementen geführten elektrischen Leitungen verkleinert werden. (Bei dieser Konstruktion ist die Samaelelektrode (common electrode) 4a gemäß Pig. 1 dem Koronaionengenerator 5 gegenüberstehend angeordnet.) Dieses Steuersystem ist als Gruppenanst euer sys tem oder Pestkörper-Abtastsystem bekannt. Das GruppcneteuerBystem, das aus einem Schalterkreis als !Treiberschaltung für die Lieferung eines Bildsignals zur Steuerelektrode» einer Halteschaltung und einem Schieberegister besteht» ist deshalb vorteilhaft, weil es kleine Abmessungen und kleine Kapazität besitzt.

Bei einem elektrostatischen Vervielfältigungsgerät unter Verwendung des beschriebenen Gruppensteuersystems stimmen jedoch die Unterteilungspositionen der Sammelelektroden-Untereinheiten 4a1, 4a2, ... 4an in den Gruppen G1, G2, ... Gn sowie diejenigen der Untereinheiten 4b1» 4b2t ... 4bn in denselben Gruppen miteinander überein» so daS die Bilddichte in den Band- oder

Grenzbereichen dieser Untereinheiten ungleichmäßig

wird. Dieses Problem ist im folgenden anhand von Pig.3

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erläutert f die schematisch den in der Iahe eines Grenzbereichs zwischen zwei Gruppen G1> G2 befindlichen Teil einer unterteilten Ionenmodulations-Elektrodeneinheit zeigt. Sei diesem Beispiel wird der Durchtritt des Ionenstroms (positive Ionen) durch an die Sammelelektroden-Untereinheiten 4a1, 4a2 angelegte Spannungen in der Gruppe G1 blockiert und in der Gruppe G2 zugelassen. Bei einem mit solchen positiven Ionen arbeitenden Gruppensteuersystem ist das elektrische Potential der einen Durchtritt dee Ionenstroms zulassenden Untereinheit 4a2 höher als bei der den Ionenstrom blockierenden Untereinheit 4a1. Infolgedessen ist ein feil der durch einen Koronadraht 5a erzeugten positiven Ionen in einem Bereich der Gruppe G2 bestrebt, sich auf die durch die gestrichelten Linien angedeutete Weise zu der Sammelelektroden-Untereinheit 4a1 mit dem niedrigeren elektrischen Potential zu verlagern. Dieselbe Erscheinung tritt inmanchen Fällen in den nicht dargestellten Grenzbereichen |_er Q₁^Pp_6n (j2, G3 auf. Hierdurch wird d".er„die_ Öffnungen 4c im Rand- pder^.GrenzbereichxJeder Gruppe, passierende Ionenstrom. eo.verringf rt». daß ..die..

Größe der an ,einem Ladungsaufnehner gehaltenen Ladung herabgesetzt .wird.« Demzufolge ninmt. die Dichte eines wiedergegebenen Bilds in den Bereichen» welche den Grenzbereichen entsprechen, ebenfalls ab» so daß die

Dichte des Viedergabebilds insgesamt ungleichmäßig wird

Beim bisherigen Vervielfältigungegerät,, bei dem die elektrostatische Wiedergabe (Vervielfältigung) eines,^ Vorlagenbilds mittels einer Ionenmodulations-Elektrodeneinheit..un4 auf der Grundlage, des beschriebenen Gruppensteuersyetems erfolgt, ist, eine. Verdrahtung getrennt., .von der ,Ipnenmpdulations-Blektrodeneinheit vorgesehen und über elektrische Leitungen und Anschlüsse auge-

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schlossen. Sin solches Gerät erfordert somit sehr komplizierte Montage- und Verdrahtungsarbeiten» so daß sich eine entsprechend schlechte Wirtschaftlichkeit bei der Herstellung ergibt. Bei einem derartigen Gerät kann aufgrund seines komplizierten Aufbaus die Auflösung nicht wesentlich verbessert werden. Bei einem anderen elektrostatischen Vervielfältigungsgerät unter Verwendung einer Kehrnadelelektrode wird dieses Problem dadurch gelöst, daß die Kehrnadelelektrode und ein Ver- drahtungs-Gruppensteuersystem mittels Durchkontaktierungslochverdrahtung (through-hole wiring) miteinander kombiniert bzw. zusammengeschältet werden. Bei der Ionenmodulatlons-Elektrodeneinheit» die - wie erwähnt -aus Elektroden aus einem Leitermaterial und einer zwi- sehen die Elektroden eingefügten Isolierschicht besteht, 1st es dagegen wegen Schwierigkeiten bezüglich des Elektrodenmateriala oder der chemischen Ätztechnik schwierig» das Verdrahtungs-Gruppensteuersystem, wie bsi der Kehrnadelelektrode» mit den Ionenmodulations-

KLektrodenelementen zu kombinleren.

Aufgabe der Erfindung ist damit insbesondere die Schaffung eines elektrostatischen Vervielfältigungsgeräte mit einer Ladungsteilchen-Hodulationselektrodeneinheit (mit lonenmodulationselektrode) aus einer Sammelelektrode und einer Steuerelektrode, die jeweils in Richtung der Durchla£6ffnungen für die Ladungsteilchen derart in mehrere Gruppen unterteilt sind» daß jede Samuelelektroden gruppe gegenüber der betreffenden Steuerelektroden- gruppe versetzt angeordnet ist» wobei an zwei benachbarte Sammelelektrodengruppen entsprechend den Steuerelektrodengruppen, die einen Ladungsteilchenstrom durchlassen sollen, dasselbe elektrische Potential anlegbar ist.

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Dieses Vervielfältigungsgerät soll dabei ein Fest-

körper-Verdrahtungsabtaetsyetem und eine Ionenmodulations-Elektrodeneinheit aufweisen» die beispielsweise durch Anwendung eines chemischen Itsverfahrens auf einem einsigen Substrat miteinander kombiniert sind.

Diese Aufgabe wird durch die in den beigefügten Patentansprüchen gekennzeichneten Merkmale gelöst.

Im folgenden ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung im Vergleich zum Stand der Technik anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines bisherigen elektrostatischen Vervielfältigungsgeräte unter Verwendung einer lonenmodulations-Elektrödeneinheit,

Fig. 2 eine schematische Darstellung des Aufbaus der bisherigen Ionenmodulations-Elektrodeneinheit,

Fig. 3 eine schematische Darstellung der Arbeitsweise der bisherigen Ionenmodulations-Elektrodeneinheit,

Fig. 4 eine schematische Darstellung bzw. ein Schaltbild des Aufbaus einer bei einem elektrostatischen Vervielfältigungsgeräts gemäß der Erfindung verwendeten Ionemnodulations-Elektroden- einheit,

Fig. 5 eine schematische Darstellung der Arbeitsweise der beim erfindungsgemäfien Gerät verwendeten Ionenmodulations-Elektrodeneinheit»

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Pig. 6a eine perspektivische Darstellung eines Sehaltungs- bzw. Verdrahtungsmusters auf der Oberseite der erfindungsgemäß verwendeten Ionenmodulat ions-Elektrodeneinheit * 5

Pig. 6b eine perspektivische Darstellung eines an der Unterseite der erfindungsgemäß verwendeten 23.ektrodeneinh.eit vorgesehenen Verdrahtungsmusters und 10

Pig. 7 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Darstellung des Ausschnitte B des Verdrahtungsmusters gemäß Fig. 6a.

Die Pig. 1 bis 3 sind eingangs bereits erläutert worden.

Pig. 4 veranschaulicht die Anordnung der Elektrodenelemente einer Ladungsteilchen-Modulationselektrodeneinheit (einschließlich Ionenmodulationselektrode) zur Verwendung bei einem elektrostatischen Tervielfältigungsgerät gemäß der Erfindung. Dabei ist eine Steuerelektrode 4b in η Gruppen unterteilt» während eine Sammelelektrode 4a in η + 1 Gruppen unterteilt ist. Die Elektrodengruppen dieser Elektroden 4a» 4b sind so ange ordnet.» daß ein Band- bzw. Grenzbereich zwischen zwei benachbarten Sammeleiektrodengruppen, z.B. der Elektrodengruppen 4a1 und 4a2, auf den Mittelbereich einer gegenüberstehenden Steuerelektrodengruppe, z.B. der Gruppe 4b1, ausgerichtet ist. Eine Treiberschaltung für die Steuerelektrode 4b besteht aus einem Treiberschaltungsteil 21 zur Ansteuerung der Steuerelektrodengruppen 4b1, 4b3» 4b5» ... sowie einem Treiberschaltungsteil 22 zur Ansteuerung der Steuerelektrodengruppen 4b2, 4b4» 4b6, ... . Diese Trei/berschaltungeteile 21 und 22

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vermögen ein Bildsignal τοη einer Signalverarbeitungs-Bchaltung 1 (vgl. Pig. 1) und ein Synchronisiersignal τοη einer Steuerschaltung 3 abzunehmen. Das Synchronisiersignal wird auch einer Treiberschaltung 23 für die

Samuelelektrode 4a eingespeist.

Die Anlegung der Signale an die Ionenmodulations-HLektrodeneinheit mit dem beschriebenen Aufbau sowie deren Arbeitsweise sind im folgenden erläutert. 10

Um positive Ionen nur durch die Steuerelektrodengruppe 4b2 gemäß Pig. 4 durchzulassen» wird ein hohes elektrisches Potential an die Sammelelektrodengruppen 4a2, 4a3 angelegt» während an die anderen Sammelelektrodengruppen ein niedrigeres elektrisches Potential als das der Steuerelektrode» entsprechend dem Bildsignal» angelegt wird. Infolgedessen treten sich zur Steuerelektrodengruppe 4b2 bewegende (positive) Ionen auf die in Pig.5 dargestellte Weise in den Grenzbereichen dieser ELektro dengruppe durch die Ionendurchlaß-Öffnungen hindurch» ohne in diesen Grenzbereichen seitlich abgelenkt zu werden» während die Ionen gleichzeitig auch durch die Öffnungen im Kittelbereich hindurchtreten. Hierbei sind jedoch die Ionen bestrebt»auch die zu beiden Seiten der Steuerelektrodengruppe 4b2 befindlichen Ionendurchlaß-Öffnungen der Steuerelektrodengruppen 4b1» 4b3 zu passieren. Aus diesem Grund wird ein elektrisches Potential zur Verhinderung dieses Ionendurchtritts von der Ireiberschaltung 21 her an diese Steuerelektrodengruppen 4b1, 4b3 angelegt. Weiterhin kann der diese öffnungen passierende Ionenstrom dadurch gesteuert werden» daß ein dem Bildsignal entsprechendes elektrisches Potential an die Steuerelektrode angelegt wird. Das an die Saamelelektrode anzulegende elektrische Potential kann eben- falls in Abhängigkeit vom Bereich des an die Steuer-

^ββ * ο Λ ρ » * 0 * _β(| »»^s

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elektrode angelegten elektrischen Potentials bestimmt werden.

Wenn die elektrischen Potentiale auf die beschriebene Weise an die Elektrodengruppen angelegt werden» wird die Durchtrittsgröße bzw. -Verteilung der Ionen In der Steuerelektrodengruppe 4b2 gleichmäßig, so daß auch die Ionenkonzentration gleichmäßig ist. Zum Durchlassen des Ionenstroms durch die Steuerelektrodengruppe 4b3 werden ein hohes elektrisches Potential an die Sammelelektroden· gruppen 4a3» 4&4 und ein niedriges elektrisches Potential an die anderen Sammelelektrodengruppen angelegt. Wenn die Sammelelektrodengruppen auf die beschriebene Weise der Reihe nach (in order) abgetastet werden» wird ein einem Bildsignal entsprechendes latentes Ladungsbild auf einem Ladungsaufnehmer gebildet.

Bei dem vorstehend beschriebenen elektrostatischen Vervielfältigungsgerät gemäß der Erfindung sind somit die Sammelelektrode und die Steuerelektrode der Ladungsteilchen-Hodulationselektrodeneinheit (mit Ionenmodulationselektrode) in Erstreckungsrichtung der Ladnngsteilchen-Durchlaßöffnungen in mehrere Gruppen unterteilt» wobei die einzelnen unterteilten Sammelelektrodengruppen ge genüber den betreffenden St euer el ektrodengruppen ver- '< setzt angeordnet sind und wobei dasselbe elektrische Potential an zwei benachbarte Sammelelektrodengruppen angelegt wird» welche der Steuerelektrodengruppe gegenüberstehen» durch welche ein Ladungsteilchenstrom hindurchtreten soll. Die Durchtrittsgröße oder -verteilung der Ladungeteilchen durch die einseinen Steuerelektrodengruppen ist daher gleichmäßig» so daß auch die Ladungsteilchenkonzentration gleichmäßig ist. Das erfindungsgemäße Vervielfältigungsgerät bietet darüber hinaus bereite Vorteile aufgrund der Verwendung des

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Gruppensteuersysterns. Während bei der beschriebenen Ausführungsform Ionen als Ladungsteilchen verwendet werden» kann hierfür selbstverständlich auch ein (elektrisch) aufgeladener Tinten- bzw. Parbnebel ver wendet werden.

Die Pig. 6a und 6b sind perspektivische Darstellungen einer beim erfindungsgemäßen Vervielfältigungsgerät verwendeten Ladungsteilchen-Hodulationselektrodenein heit (mit Ionenmodulationselektrode). In eine Elektro deneinheit 4 sind dabei Ionendurchtritts- bzw. Ionendurchlaß-Öffnungen 42 in einer Reihe im Hittelbereich einer biegsamen (gedruckten) Schaltungsplatte 41 ausgebildet. Gemäß Pig. 6a ist eine Steuerelektrode 43 entsprechend den Ionendurchtritts-Öffnungen 42 vorgesehen» wobei an die Steuerelektrode 43 angeschlossene elektrische Zuleitungen oder Leitungen 44 auf Ober- und Unterseite der Schaltungsplatte 41 so ausgebildet sind» daß sie zu ihrer einen Kante» d.h. der gemäß

Pig. 6a und 6b rechten Kante A verlaufen. Ton den

elektrischen Leitungen 44 sind die auf der Oberseite der Schaltungsplatte 41 vorgesehenen Leitungen 44a sowie die auf deren Unterseite angeordneten Leitungen 44b in Leiterteilen 45 elektrisch zusammengeschaltet» welche durch die Schaltungsplatte hindurch ausgebildet sind. Pig. 7 zeigt in vergrößertem Haßstab den Ausschnitt B gemäß Pig. 6a eines Teils der Steuerelektrode 43 mit Teilen der an diese angeschlossenen elektrischen Leitungen 44.

Die Elektrodeneinheit 4 ist weiterhin an ihrer Unterseite mit voneinander unabhängigen Sammelelektrodengruppen 46 versehen. An diese Sammelelektrodengruppen 46 angeschlossene elektrische Leitungen 47 verlaufen ebenfalls zur Kante A der Schaltungsplatte 41. Em die

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Kante A der Schaltungsplatte 41 ist ein üblicher Anschluß (Steckverbindung) aufgesetzt» um die elektrischen Leitungen elektrisch an eine externe Treiberschaltung (2 in Tig. 1) anzuschließen. Anstelle der bei der beschriebenen Ausführungsform als Ladungsteilchen verwendeten Ionen können auch ein aufgeladener Tinten- bzw. Parbnebel (wie erwähnt) oder aufgeladene Tonerteilchen benutzt werden.

Im folgenden ist ein Verfahren zur Herstellung der vorstehend beschriebenen Ladungsteilehen-Modulationselektroden einheit erläutert.

Auf beide Oberflächen einer flexiblen Isolierfolie aus

z.B. Polyimidharz oder Polyesterharz werden zur Herstellung einer Leiter- bzw. Schaltungeplatte dünne leitfähige Elemente aufgebracht. Entsprechend den Mustern der an eine Steuerelektrode anzuschließenden elektrischen Leitungen 44 werden durchgehende Bohrungen in den Teilen der Schaltungsplatte 41 vorgesehen» in denen die Leiterteile 45 zum elektrischen Zusammenschalten der oberen Leitungen 44a und der unteren Leitungen 44b ausgebildet werden sollen. Um diese durchgehenden Bohrungen herum wird auf die Schaltungsplatte auf chemischem

Wege Kupfer aufgalvanisiert» um Ober- und Unterseite

der Schaltungsplatte elektrisch miteinander zu verbinden. Anschließend werden Ober- und Unterseite der Schaltungsplatte 41 getrennt entsprechend den Mustern der auf ihnen auszubildenden Leiterzüge geätzt. Auf diese Weise werden elektrische Leitungen oder Leiterzüge auf beiden Flächen der Schaltungsplatte 41 ausgebildet. Schließlich werden nach einem Ätzverfahren die Ladungstellchendurchtritts-Offnungen 42 in vorbestimmten Abschnitten der Schaltungsplatte geformt. Auf diese ¥ei se wird eine Elektrodeneinheit mit einem Terdrahtungs-

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Buster der in den Pig. 6a und 6b dargestellten irt erhalten. Die vorstehend beschriebene Arbeitsweise ist jedoch lediglich als Beispiel für ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Elektrodeneinheit anzusehen» da hierbei die Reihenfolge der Fertigungsechritte geändert werden kann.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform werden somit ein Festkörper-Terdrahtungsabtastsystem und eine Ladungsteilchen-Modulationselektrodeneinheit (oil; Ionenmodulationselektrode) nach einem ätzverfahren gemeinsam auf einer einzigen Leiter- bzw. Schaltungsplatte ausgebildet. Dies ermöglicht eine Ausbildung der Schaltungskonstruktion mit kompaktem Aufbau und eine erhebliche Senkung der Fertigungskosten. Erfindungsgemäß kann dabei auch die Dichte der Ladungsteilchen beträchtlich erhöht werden. Erfindungsgemäß können weiterhin kürzere elektrische Leitungen als bei den bisherigen Geräten dieser Art verwendet werden. Demzufolge lassen sich die

Kapazität der Elektroden wirksam herabsetzen und die Bildsignal-Dmschaltgesohwindigkeit entsprechend erhöhen.

Obgleich die Erfindung vorstehend anhand einer einzigen bevorzugten Ausführungsform dargeetellt und beschrieben ist» sind dem Fachmann selbstverständlich verschiedene Änderungen und Abwandlungen möglich_t ohne daß vom Bahmen der Erfindung abgewichen wird.

'7

Leerseite

Claims

• · e « J'-l·- ; y-l'-l 'I 3H8083 — je — PATENTANSPRÜCHE

1. Elektrostatisches Vervielfältigungsgerät mit einer Ladungsteilchen-Modulationselektrodeneinheit aus einer Isolierschicht sowie einer Sammelelektrode und einer Steuerelektrode, welche die Isolierschicht zwischen sich einschließen, und mit einer Vielzahl von die Elektroden und die Isolierschicht durchsetzenden Ladungsteilchen-Durchtrittsöffnungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Sammelelektrode (4a) und die Steuerelektrode (4b) in Erstreckungsrichtung der Ladungsteilchen-Durchtrittsöffnungen Jeweils in mehrere Gruppen (4a1 usw. 4b1 usw.) unterteilt sind, daß die unterteilten Sammelelektrodengruppen (4a1 usw.) gegenüber den entsprechenden Steuerelektrodengruppen (4b1 usw.) versetzt angeordnet sind und daß an zwei benachbarten Sammelelektrodengruppen (4a1 usw.), die einer Steuerelektrodengruppe (4b1 usw.), durch welche ein Ladungsteilchenstrom moduliert werden soll, gegenüberstehen, das gleiche elektrische Potential anlegbar ist.

2. Vervielfältigungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sammel- und Steuerelektro-

dengruppen so angeordnet sind, daß eine Trenn- oder Grenzlinie zwischen zwei benachbarten Sammelelektrodengruppen auf die Mittellinie der gegenüberstehenden Steuerelektrodengruppe ausgerichtet ist. 30

3. Vervielfältigungsgerät nach Anspruch 1, dadurch ge-

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kennzeichnet, daß mindestens die eine Fläche der Ladungsteilchen-Modulationselektrodeneinheit mit einem einstückig bzw. materialeinheitlich mit ihr ausgebildeten Festkörper-Verdrahtungsabtastsystem (solid state scanning system of wiring) versehen ist.

4. Elektrostatisches Vervielfältigungsgerät, insbeson dere nach einem der vorangehenden Ansprüche, mit einer Ladungsteilchen-Modulationselektrodeneinheit aus einer Isolierschicht, einer an ihrer einen Seite vorgesehenen Sammelelektrode, einer auf ihrer anderen Seite angeordneten Steuerelektrode und einer Vielzahl von die Elektroden und die Isolieröl 5 schicht durchsetzenden Ladungsteilchen-Durchtrittsöffnungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationselektrodeneinheit im Gruppen(an)steuerbetrieb betreibbar ist und daß mindestens eine ihrer Flächen mit einem einstückig bzw. materialeinheitlich mit ihr ausgebildeten Festkörper-Verdrahtungsansteuersystem versehen ist.