DE3141643C2 - - Google Patents

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DE3141643C2
DE3141643C2 DE3141643A DE3141643A DE3141643C2 DE 3141643 C2 DE3141643 C2 DE 3141643C2 DE 3141643 A DE3141643 A DE 3141643A DE 3141643 A DE3141643 A DE 3141643A DE 3141643 C2 DE3141643 C2 DE 3141643C2
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DE
Germany
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semiconductor
plates
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semiconductor wafer
chamber
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DE3141643A
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German (de)
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Other versions
DE3141643A1 (de
Inventor
Keith Drummond Stevens
John Harrison
Stanley Barry Stockport Cheshire Gb Kaye
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CABLEFORM Ltd ROMILEY STOCKPORT CHESHIRE GB
Original Assignee
CABLEFORM Ltd ROMILEY STOCKPORT CHESHIRE GB
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    • H10W40/70—
    • H10W40/251—
    • H10W40/641—

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DE19813141643 1980-10-30 1981-10-16 Mit einem kuehlkoerper ausgestatteter hochleistungs-halbleiteraufbau und verfahren zu seiner herstellung Granted DE3141643A1 (de)

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DE3141643A1 (de) 1982-08-19
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