DE3139975A1

DE3139975A1 - Verfahren zum eichen von ionenstromverstaerkern in massenspektrometern und massenspektrometer zur durchfuehrung des verfahrens

Info

Publication number: DE3139975A1
Application number: DE19813139975
Authority: DE
Inventors: Heinz 2800 Bremen Lerche; Horst 2870 Delmenhorst Rache; Reiner 2804 Seebergen Wedde
Original assignee: Finnigan MAT GmbH
Current assignee: Finnigan MAT GmbH
Priority date: 1981-10-08
Filing date: 1981-10-08
Publication date: 1983-04-28
Also published as: GB2107478A; GB2107478B; US4495413A; DE3139975C2

Description

Meissner & Bolted

Patentanwälte
European Patent Attorneys

Γ MEISSNER 4 BOLTE, Hollerallee 73, D-28OO Bremen 1 ~1

Anmelder:

Dipl.-Ing. Hans Meissner (bis Dipl.-Ing. Erich Bolte

	FINNIGAN MAT GMBH	00943	j	Hollerallee 73
	Barkhausenstraße 2		Unser Zeichen	D-2800 Bremen 1
	2800 Bremen 10		Our ref.
			MAT-61-DE .	Telefon (0421) 342019
			Telegramme: patmeis BREMEN
_			Telex: 246157 (meibod)
Ihr Zeichen	Ihr Schreiben vom	Datum
Your ref.	Your letter of	Date
NR): 1	7. Oktober 1981/911

Verfahren zum Eichen von lonenstromverstärkern in Massenspektrometern und Massenspektrometer zur Durchführung des Verfahrens

Beschreibung

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf das Gebiet der Massenspektrometer mit mehreren lonen-Auffängern, Im ein· zelnen bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zum Eichen von Massenspektrometern gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie auf ein Massenspektrometer gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 5.

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Massenspektrometer mit mehreren Auffängern bzw. Kollektoren sind allgemein bekannt und beispielsweise in der Zeitschrift "International Journal of Mass Spectrometry and Ion Physics, 39 (1981) 167 - 180" beschrieben. Als Auffänger werden vorzugsweise sogenannte "Faraday-Auffänger" oder "Faraday-Töpfe" verwendet, die auf dem vorliegenden Gebiet allgemein bekannt sind. Derartige Massenspektrometer, bei denen die einzelnen Auffänger gleichzeitig Ionenstrahlen aufnehmen, sind deutlich leistungsfähiger und schneller als Massenspektrometer mit nur einem Auffänger. Jedem Auffänger ist ein eigener Meßkanal zugeordnet, der regelmäßig einen Verstärker sowie ggf. weitere Signalaufbereitungs- oder -umsetzeinrichtungen enthält, wobei die einzelnen Kanäle dann mit einer gemeinsamen Auswerteinrichtung verbunden sind. Ein Problem bei derartigen Massenspektrometern liegt jedoch darin, daß die einzelnen Meßkanäle in der Praxis nicht exakt identisch sein können, beispielsweise aufgrund von Streuungen der einzelnen Bauelemente, unterschiedlicher Erwärmung etc.

Hieraus resultieren dann unterschiedliche Meßergebnisse für jeden Meßkanal, wodurch das Analysenergebnis verfälscht wird.
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Um bei Massenspektrometern mit Mehrfachauffängern die geschilderten Meßungenauigkeiten zu vermeiden, ist es aus der oben genannten Literaturstelle (insbesondere Seite 178) bekannt, mit einer "Eichsubstanz" zu arbeiten.

Somit werden die einzelnen Meßkanäle mit einer bekannten Bezugsgröße durchgemessen. Die einzelnen Ionen-Strahl-Signale werden dann miteinander verglichen, woraus eine Korrekturgröße dadurch gebildet werden kann, daß man die einzelnen Meßgrößen miteinander in Beziehung setzt.

- 7 Da - wie erwähnt - die Meßwerte dieser Eichsubstanz bekannt sind,lassen sich aus dem Meßergebnis Rückschlüsse über die Eigenschaften der einzelnen Meßkanäle herleiten.

Ein derartiges Eichverfahren für eine Mehrzahl von Auffängern ist jedoch verhältnismäßig aufwendig; weil stets eine geeignete, bekannte Eichsubstanz durch das Massenspektrometer geschickt werden muß. Auch sind die in der Praxis erhaltenen Eichgenauigkeiten oftmals nicht ausreichend. Dies liegt zum Teil daran, daß die Qualität des von der Eichsubstanz erzeugten Ionensignals nicht stabil ist. Der Ionenstrom in einem Massenspektrometer wird nämlich durch einzelne Ionen erzeugt, die zeitlich nacheinander am Auffänger ankommen. Die Zeitdifferenz zwischen zwei Ioneneinschlägen ist nicht konstant, sondern streut nach Wahrscheinlichkeitsgesetzen, so daß hierdurch unabhängig von der Art des verwendeten Meßkanals ein System immanenter Fehler auftritt (vgl,H.Kienitz, Massenspektrometrie, Verlag Chemie GmbH, 1968).

Massenspektrometer mit einer Mehrzahl von Auffängern sind deshalb .bisher zwar schnell in der Arbeitsweise, jedoch weniger genau,als Ausführungen mit einem Auffänger.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Eichen von Ionenstromverstärkern in Massenspektrometern mit mehreren Ionen-Auffängern sowie ein Massenspektrometer zur Durchführung dieses Verfahrens zu schaffen, mit denen eine schnelle und genaue Eichung ausführbar ist.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß den einzelnen Meßkanälen zeitlich nacheinander ein hochkonstanter elektrischer Strom als Bezugsgröße zugeführt wird-

-δι Es muß also nicht mehr mit einer "Eichsubstanz" gearbeitet werden. Vielmehr wird an Stelle des von der Eichsubstanz erzeugten Ionenstromes ein hochkonstanter elektrischer Strom als Bezugsgröße verwendet.

Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, d. h. ein Massenspektrometer gemäß der Erfindung,enthält eine hochstabile elektrische Spannungsquelle, deren Ausgang jeweils mit einem gemeinsamen Verbindungspunkt der einzelnen Ionen-Auffänger und der zugeordneten Meßkanäle über Schalteinrichtungen verbindbar ist, wobei eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, die die Schalteinrichtungen zeitlich so steuert, daß die Spannungsquelle über den hochkonstanten Widerstand nacheinander mit den einzelnen Meßkanälen verbunden ist, wobei die Ausgänge aller Meßkanäle mit einer gemeinsamen Eich-Korrektureinrichtung verbunden sind, die Speicher für die Ausgangsmeßwerte aller Meßkanäle enthält sowie eine Recheneinheit, die die gespeicherten Werte zur Bildung eines Korrekturfaktors dividiert.

Zur Eliminierung des Einflusses eines sog. "Offset-Fehlers" der .Meßkanäle und insbesondere der Verstärker werden pro Meßkanal zwei verschiedene Messungen durchgeführt. Im einzelnen werden jedem Meßkanal zeitlich nacheinander zwei voneinander verschiedene hochkonstante elektrische Ströme zugeführt, wobei die hieraus resultierenden Meßwerte voneinander subtrahiert und gespeichert werden; dieser Vorgang wird für alle anderen Meßkanäle in gleicher Weise wiederholt, Da der Offset-Fehler unabhängig von der Eingangsgröße ist, wird er durch diese Schritte eliminiert.

Bei dem diese Schritte durchführenden Massenspektrometer ^⁵ ist die hochstabile Spannungsquelle durch die Steuerein-

heit auf mindestens zwei verschiedene Spannungswerte umschaltbar, wobei die daraus über den hochkonstanten Widerstand erzeugten Ströme zeitlich nacheinander jedem Meßkanal zuführbar sind und wobei die daraus erhaltenen Ausgangswerte dem Speicher zugeführt werden, der ausgangsseitig so mit einem Subtrahierer verbunden ist, daß die Ausgangsmeßwerte jedes Meßkanals voneinander subtrahiert werden.

Bei einer besonders einfachen Ausgestaltung dieses Gedankens hat eine der hochkonstanten elektrischen Spannungen der hochstabilen elektrischen Spannungsquelle den Wert Null. Bei einer schaltungstechnischen Realisierung ist hierzu eine Schalteinrichtung vorgesehen, die den Ausgang der hochstabilen Spannungsquelle mit verschiedenen Abgriffen der Spannungsquelle verbindet, unter anderem auch mit einem Abgriff, der Nullpotential (Masse) führt.

Da bei dem Eichvorgang sehr kleine elektrische Ströme in der Größenordnung von 10 A fließen, muß sichergestellt werden, daß statische Aufladungen auch während der einzelnen Umscha-ltvorgänge vermieden werden. Hierzu ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß ein Ausgang der Quelle für die hochkonstante(n) Spannung(en) während des Umschaltens auf einen anderen Meßkanal und/oder während des Umschaltens zwischen den beiden hochkonstanten elektrischen Spannungen geerdet ist.

Bei einer schaltungstechnischen Realisierung ist hierbei eine zusätzliche Schaltungseinrichtung vorgesehen, die die die Meßkanäle mit der Spannungsquelle verbindenden Schalteinrichtungen auf der Seite der Spannungsquelle mit Nullpotential verbindet. Weiterhin ist vorgesehen, daß

° die zusätzliche Schalteinrichtung von der Steuereinrichtung so betätigbar ist, daß sie während der Betätigung

-ιοί einer der Schalteinrichtungen geschlossen ist. Dies bedeutet, daß während jedes Umschaltvorganges der Ausgang der Spannungsquelle geerdet ist, so daß statische Aufladungen und hierdurch verursachte Fehler nicht auftreten c können.

Bei einer bevorzugten schaltungstechnischen Realisierung sind alle Schalteinrichtungen durch Relais gebildet. Geeignete Relais haben hierbei Schaltkontakte in Schutz-IQ gasatmosphäre, so daß ein sehr niedriger und exakt definierter übergangswiderstand auftritt und ein möglichst hoher Isolationswiderstand bei offenem Kontakt gewährleistet ist.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels im Zusammenhang mit der Zeichnung beschrieben.

Die einzige Figur zeigt hierbei ein schematisches Blockschaltbild des ausgangsseitigen Teils eines Massenspektrometers. In der Figur ist nur ein Meßkanal V.. dargestellt, während die übrigen, identisch aufgebauten Meßkanäle nur durch die Bezugszeichen V₂-V_m angedeutet sind. Jeder Meßkanal enthält einen Auffänger 1, der mit einem Eingang eines Verstärkers 2 verbunden ist. Der Verstärker 2 ist über einen hochohmigen Gegenkopplungswiderstand R^ gegengekoppelt. Der Ausgang des Verstärkers 2 ist mit einem Spannungs-Frequenz-Umsetzer 3 verbunden, dessen Ausgang mit einem Zähler 4 verbunden ist. Die Ausgänge aller Zähler 4 der Meßkanäle V₁-V_1n sind mit entsprechenden Eingangen einer Eich-Korrektureinrichtung 5 verbunden.

Zur Erzeugung eines Bezugsstroms für die Eichung sind eine hochstabile elektrische Spannungsquelle 6 sowie ein mit ihrem Ausgang verbundener, hochkonstanter elektrischer Widerstand R₂ vorgesehen. Die Spannungsquelle 6 ist in dem gezeigten Ausführungsbeispiel wie folgt aufge-

baut. Zwischen einer Versorgungsspannung + und Erdpotential liegt eine Zener-Diode D^₅ zu der ein Elektrolytkondensator C| parallelgeschaltet ist. Weiterhin liegt eine Reihenschaltung aus zwei Widerständen R₃ und R₄ parallel zu der Diode D. und dem Kondensator C.. Die einzelnen Anschlüsse der Widerstände R₃ und R₄ sind über Schalteinrichtungen K₁, Kp bzw. K₃ mit dem Widerstand R₂ verbindbar» Mit diesem hochkonstanten elektrischen Widerstand Rp und der daran anliegenden Spannung der hochstabilen elektrischen Spannungsquelle 6 werden die zur Eichung verwendeten, sehr konstanten elektrischen Ströme als Eichströme erzeugt.

Im einzelnen verbindet die Schalteinrichtung K* den Pluspol der Spannungsquelle 6 mit dem Widerstand Rp,während die Schalteinrichtung Kp den Mittelabgriff bzw. gemeinsamen Verbindungspunkt der Widerstände R₃ und R₄ mit dem Widerstand Rp verbindet. Schließlich verbindet die Schalteinrichtung K₃ das Massepotential der Spannungsquelle 6 mit dem Widerstand R₂.

Der Widerstand R₂ hat vorzugsweise den gleichen Wert wie die einzelnen Gegenkopplungswiderstände R^ der jeweiligen Meßkanäle. Der. andere Anschluß des Widerstandes Rp ist mit einer gemeinsamen Sammelleitung von Schalteinrichtungen K^- K verbunden. Der andere Anschluß dieser Schalteinrichtungen K₅- K_n ist jeweils mit einem gemeinsamen Verbindungspunkt 8 zwischen dem Auffänger 1 und dem Verstärker 2 der einzelnen Kanäle verbunden. So ist die Schalteinrichtung K₅ mit dem Meßkanal V^ verbunden, die

Schalteinrichtung Kg mit dem Meßkanal V₂ usw., bis die Schalteinrichtung K mit dem Meßkanal V verbunden ist. Die Verstärker 2 sind dabei von ihrer Funktion her Strom-Spannungs-Wandler, die aus den angelegten (Eich-)StrÖmen entsprechende Spannungssignale bilden, die dann vom nachgeschalteten Spannungs-Frequenz-Wandler 3 verarbeitet werden.

Die gemeinsame Sammelleitung der Schalteinrichtungen -K ist über eine zusätzli
Massepotential verbindbar.

-K ist über eine zusätzliche Schalteinrichtung K^ mit

Die Schalteinrichtungen K.-K sind als Relaisschalter dargestellt, wobei die jeweils zugeordneten Erregerspulen K¹* - K' über eine Steuereinrichtung 7 ansteuerbar sind.

Durch eine gestrichelte Linie in der Figur ist ein hochohmiger Bereich von einem niederohmigen Bereich abgetrennt.

Die Steuereinrichtung 7 betätigt die einzelnen Schalteinrichtungen bzw. Relais wie folgt:

Zuerst sei angenommen, daß der Meßkanal V₁ durchgemessen bzw. geeicht werden soll. Hierzu sind zunächst die Schalteinrichtungen (im folgenden Schalter genannt) K₃ und Km geschlossen, während alle anderen Schalter offen sind. Sodann wird der Schalter K^ geschlossen und dann der Schalter K₄ geöffnet. Der gemeinsame Verbindungspunkt 8,und damit der Eingang des Verstärkers 2 liegen somit auf Erdpotential. Am Ausgang des Verstärkers 2 liegt somit nur die Offsetspannung an. Diese Spannung wird in dem Spannungs-Frequenz-Wandler 3 in eine proportionale Frequenz umgewandelt, deren Impulse in dem Zähler 4 gezählt werden. Nach Ablauf einer vorbestimmten Zeitdauer wird der Zählerstand des Zählers in die Eich-Korrektureinrichtung 5 übertragen und dort gespeichert. Darauf folgend wird der Schalter Kg geöffnet und der Schalter K^ (oder wahlweise Kp) geschlossen.. Es fließt dann in etwa der maximale Strom in dem Verstärker. Die Ausgangsspannung des Verstärkers 2 wird dann in gleicher Weise gemessen und in der Eich-Korrektureinrichtung 5 abgespeichert. Diese beiden für den Meß-

] kanal V₁ abgespeicherten Werte werden dann in der Eich-Korrektureinrichtung 5 voneinander subtrahiert, woraus man bei bekannter Spannung der Spannungsquelle 6 den Verstärkungsfaktor für den Meßkanal V,. erhält.

Nun wird der Schalter K₁ geöffnet und der Schalter K₃

wieder geschlossen. Es liegt somit wieder Nullpotential an dem Meßkanal V... Anschließend wird der Schalter Kr geöffnet und der Schalter Kg für den zweiten Meßkanal M^ geschlossen. Es wird nun in analoger Weise für die Meßkanäle V_o-V_ verfahren.
2 m

Nach Beendigung der Eich-Messungen wird der Schalter K₄ wieder geschlossen. In der Eich-Korrektureinrichtung 5 werden sodann die für die einzelnen Kanäle abgespeicherten Differenzwerte miteinander in Beziehung gesetzt.

Im einzelnen wird einer der Kanäle, beispielsweise der Meßkanal V₁, als Bezugskanal ausgewählt,' wobei der für diesen Kanal abgespeicherte Differenzwert der beiden Messungen, der dem Verstärkungsfaktor entspricht, jeweils durch die gespeicherten Verstärkungsfaktoren der anderen Kanäle dividiert wird. Dieser Quotient stellt dann einen Korrekturfaktor für den entsprechenden Kanal dar, wobei die von diesem Kanal erhaltenen Meßwerte mit diesem Faktor multipliziert werden.

Auf diese Weise werden unterschiedliche Verstärkungsfaktoren der einzelnen Kanäle eliminiert. 30

Unterschiedliche Offset-Fehler der einzelnen Kanäle können durch geeignete Subtraktion berücksichtigt werden, was bei dem vorliegenden Anwendungsfall jedoch nicht erforderlich ist, da beim Betrieb des Massenspektrometer nur die relativen Meßergebnisse der einzelnen Kanäle von Interesse sind und nicht deren Absolutwerte.

Bei dem oben geschilderten Eich-Vorgang wurde stillschweigend vorausgesetzt, daß die einzelnen Meßkanäle und insbesondere deren Verstärker linear arbeiten, so daß ein einziger Korrekturfaktor für den gesamten Meßbereich ausreichend ist. Da dies nicht immer gegeben ist, sind zur Erhöhung der Meßgenauigkeit mehrere Stufen beliebiger Anzahl für die hochstabile Spannungsquelle 6 vorgesehen, wie durch den Schalter Kp angedeutet. Selbstverständlich können hier auch noch mehr Stufen vorgesehen sein, wobei an Stelle der Widerstände Rg und R. eine Serienschaltung aus mehreren Widerständen eingefügt ist, an deren jeweiligen Verbindungspunkten ein weiterer Schalter angeschlossen ist.

Weiterhin kann an Stelle einer Stufung auch eine extern steuerbare Spannungsquelle angeschlossen werden, die in dem gezeigten Ausführungsbeispiel der Figur an den gemeinsamen Verbindungspunkt der Schalter K«-Ko angeschlossen ist. Mit einer solchen Spannungsquelle 6 kann der gesamte Meßbereich aller Meßkanäle linear durchgefahren werden, woraus sich dann ein von der Eingangsspannung der jeweiligen Meßkanäle abhängiger Korrekturfaktor ergibt, der während der eigentlichen Messung dann angebracht wird. Natürlich ist die Eich-Korrektureinrichtung 5 dann komplexer aufgebaut, wobei insbesondere die Speicher weitaus mehr Werte speichern können,als oben beschrieben wurde.

Während der eigentlichen Messung, d. h. nach der Eichung, ist der Schalter K₄ stets geschlossen, so daß elektrostatische Aufladungen zu Masse hin abgeleitet werden.

Weiterhin wird während der Eichung und der Messung sichergestellt, daß alle Randbedingungen konstant bleiben. so ist der Bereich der Auffänger und der hochstabilen elektrischen Spannungsquelle auf konstanter Temperatur,

] beispielsweise zwischen 35 und 45⁰C₅ gehalten, was durch geeignete Thermostaten erfolgt. Auch ist vorteilhaft, die in der Figur gezeigten Bauteile in einem evakuierten Raum zu halten, so daß alle relevanten Randbedingungen an den

5 Auffängern bzw. den Meßkanälen konstant bleiben» so daß eine Eich-Wiederholung nur von Zeit zu Zeit erforderlich ist.

Die bei der Eichung fließenden elektrischen Ströme liegen 10 im pA-Bereich und bewegen sich somit in der Größenordnung der später gemessenen lonenströme.

15 Meissner & Bolte

Patentanwälte

Anmelder: Bremen, den 7. Oktober 1981

FINNIGAN MAT GMBH ⁹¹¹⁸

Barkhausenstr. 2 2800 Bremen 10

Bezugszeichenl iste

V₁ Meßkanal

V₂ Meßkanal

V Meßkanal
m

1 Auffänger

2 Verstärker

R₁ Gegenkopplungswiderstand

3 Spannungs-Frequenz-Wandler

4 Zähler

5 Eich-Korrektureinrichtung

6 Spannungquelle

+ Versorgungsspannung

D₁ Zener-Diode

C₁ Elektrolytkondensator

R- Widerstand

R. Widerstand

K₁ Schalteinrichtung

Kp Schalteinrichtung

K₃ Schalteinrichtung

R₂ Hochkonstanter elektrischer Widerstand

K₄ Schalteinrichtung

K₅ Schalteinrichtung

Kr Schalteinrichtung

K Schalteinrichtung K^ Erregerspule

K'_n Erregerspule

7 Steuereinrichtung

8 Verbindungspunkt

Claims

MEiSSNER^:*&Bo"LTE^:·

Patentanwälte
European Patent Attorneys

MEISSNER & BOLTE, Hollerallee 73, D-2800 Bremen 1 "1

Anmelder:

FINNIGAN MAT GMBH Barkhausenstraße 2 2800 Bremen 10

Dipl.-Ing. Hans Meissner (bis i9so) Dipl.-Ing. Erich Bolte

Hollerallee 73
D-2800 Bremen 1

Telefon (0421) 342019 Telegramme: PATMEIS BREMEN Telex: 246157 (meibod)

Ihr Zeichen Your ref.

Ihr Schreiben vom Your letter of

Unser Zeichen Our ref.

(VNR): 100943

MAT-61-DE

Datum
Date

7. Oktober 1981/9118

Verfahren zum Eichen von Ionenstromverstärkern in Massenspektrometern und Massenspektrometer zur Durchführung des Verfahrens

Sprüche

1 [ 1. Verfahren zum Eichen von Ionenstromverstärkern in Massenspektrometern mit mehreren Ionen-Auffängern, insbesondere Faraday-Auffängern, wobei die einzelnen Meßkanäle mit bekannten Bezugsgrößen durchgemessen werden, die hier-

5 bei erhaltenen Meßwerte gespeichert werden und wobei die gespeicherten Meßwerte zur Bildung von Korrekturgrößen für die einzelnen Meßkanäle miteinander in Beziehung gesetzt werden,

dadurch gekennzeichnet, daß

den einzelnen Meßkanälen zeitlich nacheinander ein hochkonstanter elektrischer Strom als Bezugsgröße zugeführt wird.
5

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedem Meßkanal zeitlich nacheinander zwei voneinander verschiedene hochkonstante elektrische Ströme zugeführt werden, wobei die hieraus resultierenden Meßwerte voneinander subtrahiert und gespeichert werden, worauf diese Schritte für die anderen Meßkanäle in gleicher Weise wiederholt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß einer der hochkonstanten elektrischen Ströme den Wert Null hat.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet,daß ein Ausgang einer Quelle für hochkonstante Spannungen zur Erzeugung der hochkonstanten Ströme während des Umschaltens auf einen anderen Meßkanal und/oder während des Umschalters zwischen den beiden hochkonstanten elektrischen Spannungen geerdet ist.

5. Massenspektrometer mit mehreren Ionen-Auffängern, insbesondere Faraday-Auffängern, denen jeweils ein eigener Meßkanal mit einem Verstärker nachgeschaltet ist, mit einer Auswerteinrichtung und mit einer Eicheinrichtung,

dadurch gekennzeichnet, daß die Eicheinrichtung eine hochstabile elektrische

"" Spannungsquelle (6) enthält, deren Ausgang jeweils mit einem gemeinsamen Verbindungspunkt (8) der einzelnen

] Ionen-Auffänger (1) und der zugeordneten Meßkanäle (V₁-Vj_n) über Schalteinrichtungen (K₁-K₃₃ K₅-K_n) verbindbar ist, daß eine Steuereinrichtung (7) vorgesehen ist, die die Schalteinrichtungen (K₁-K₂, K₄-K_n) zeitlich so steuert, daß die Spannungsquelle (6) über einen hochkonstanten Widerstand (R2) nacheinander mit den einzelnen Meßkanälen (V₁-V ) verbunden ist, und daß die Ausgänge aller Meßkanäle (V--V) mit einer gemeinsamen Eich-Korrektureinrichtung (5) verbunden sind, die Speicher für die Ausgangsmeßwerte aller Meßkanäle (V₁-V ) enthält sowie eine Recheneinheit» die die gespeicherten Werte zur Bildung eines Korrekturfaktors dividiert.

6. Massenspektrometer nach Anspruch 5_S dadurch gekennzeichnet, daß die hochstabile Spannungsquelle (6) durch die Steuereinrichtung (7) auf mindestens zwei verschiedene Spannungswerte umschaltbar ist, wobei die daraus über den hochkonstanten Widerstand (R2) erzeugten Ströme zeitlich nacheinander jedem Meßkanal (V₁-V ) zuführbar sind und wobei die daraus erhaltenen Ausgangsmeßwerte dem Speicher zugeführt werden, der ausgangsseitig so mit einem Subtrahierer verbunden ist, daß die Ausgangsmeßwerte jedes Meßkanales voneinander subtrahiert werden.

7. Massenspektrometer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet ,daß einer der Spannungswerte der hochstabilen elektrischen Spannungsquelle (6) den Wert Null aufweist.

8. Massenspektrometer nach den Ansprüchen oder 7,

dadurch gekennzeichnet ,daß Schalteinrichtungen (K₁-K₃) vorgesehen sind, die den

Ausgang der hochstabilen Spannungsquelle (6) mit verschiedenen Abgriffen (R₃, R₄,+, Masse) der Spannungsquelle (6) verbinden.

9. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 5-8, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzliche Schalteinrichtung (K,) vorgesehen ist, die die die Meßkanäle (V₁-V ) mit der Spannungsquelle (6) verbindenden Schalteinrichtungen (Kg-K_n) auf der Seite der Spannungsquelle (6) mit Nullpotential verbindet.

10. Massenspektrometer nach Anspruch 9,

dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Schalteinrichtung (K₄) von der Steuereinrichtung (7) so betätigbar ist, daß sie während der Betätigung einer der übrigen Schalteinrichtungen (K₁-K₃, K₅-K ) geschlossen ist.

11. Massenspektrometer nach einem der Ansprüche 5 - 10,

d a d u r c.h g e k e η η zle ichnet, daß die Schalteinrichtungen Relais (K₁-K_n) enthalten. 25

Meissner & Bolte

Patentanwälte 30