DE3133035A1 - "vibrationsfuehler" - Google Patents
"vibrationsfuehler"Info
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- G01H11/02—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by magnetic means, e.g. reluctance
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Vibrationsfühler,
der Vibrationen in elektrische Signale umsetzt; im einzelnen betrifft die Erfindung einen Vibrationsfühler
mit einem bewegbaren Körper, der Vibrationen ausgesetzt wird und dessen Versetzung in ein elektrisches Signal
umgesetzt wird.
Bei einer herkömmlichen Anordnung wird eine einer Vibrations-
oder Schwingungsamplitude entsprechende Widerstandsänderung eines Halbleiter-Dehnungsmessers in ein
Vibratiönserfassungssignal umgesetzt. Bei einer Sensor-Anordnung dieser Art ist die der Schwingamplitude entsprechende
Widerstandsänderung so gering, daß wegen der Unterdrückung von Rausch- oder Störsignalen der mit dem
Fühler verbundene Schaltungsaufbau kompliziert ist. Der Temperaturbereich, innerhalb dessen der Fühler arbeiten
kann, ist auf ungefähr -30 C bis +100 G beschränkt, da der Halbleiter in starkem Ausmaß von Temperaturänderungen
beeinflußt wird.
VI/22
Doutsche Bank (tau» . .· 51/61070 Dresdner Bank (München) Kto. 3939844 Postscheck (München) KIo §70-43-804
->&-. DE 1311
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Vibrationsfühler
zu schaffen, der eine nur verhältnismäßig einfache Verarbeitung eines Vibrationserfassungssignals
erforderlich macht.
Ferner soll mit der Erfindung ein Vibrationsfühler geschaffen werden, der hohe mechanische Festigkeit, hohe
Elastizität und eine verbesserte Beständigkeit hat, die
nur wenig von Temperaturänderungen beeinflußt wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Vibrationsfühler ist ein Permanentmagnet
fest an einem bewegbaren Körper angebracht. Ferner ist ein weichmagnetisches Teil mit einer Querschnittsfläche vorgesehen, die so verringert ist, daß
leicht eine magnetische Sättigung erzielbar ist. An dem weichmagnetischen Teil ist eine elektrische Spule mit
einer hohen Windungsanzahl angebracht, so daß das weichmagnetische Teil mit einer verhältnismäßig niedrig angelegten
Spannung bzw. mit einem verhältnismäßig schwachen Strom magnetisch gesättigt werden kann. Der Permanentmagnet
hat geringe Abmessungen; das weichmagnetische Teil wird einem Magnetfeld mit einer Stärke ausgesetzt, , die
der Bewegung bzw. Versetzung des Magneten entspricht.
Eine für die Sättigung des weichmagnetischen Teils (vom
Augenblick des Anlegens einer Spannung an eine an dem
Teil angebrachte elektrische Spule an) erforderliche Zeit
T kann annähernd folgendermaßen angegeben werden:
30
30
wobei E die angelegte Spannung ist, N die Windungsanzahl
der elektrischen Spule ist, $ der maximale Fluß ist,
der annähernd gleich dem Sättigungsfluß ist, und φ der
durch ein äußeres Magnetfeld gebildete Fluß ist.
-ßf- DE 1311
Sobald sich die Stärke des Flusses φ , der dem weichmagnetischen
Teil aufgeprägt wird, entsprechend einer Bewegung des Permanentmagneten ändert, ändert sich auch die
Zeit T. Wenn somit der Permanentmagnet im Ansprechen auf Vibrationen versetzt wird, so daß eine Änderung des
dem weichmagnetischen Teil aufgeprägten äußeren Flusses <f>
hervorgerufen wird, ändert sich die Dauer der Zeit T vom Anlegen einer Spannung an die elektrische Spule
.η an bis zum Erreichen einer vorbestimmten Spulenstrom-Stärke.
Dementsprechend wird bei dem erfindungsgemäßen Vibrationsfühler eine elektrische Schaltung oder eine
elektronische Halbleitereinrichtung vorgesehen, die die Größe T ermittelt und ein diese Größe darstellendes elektrisches
Signal in der Form eines Spannungspegels oder eines digitalen Codes abgibt.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen yibrationsfühlers wird zur Bildung des weichmagnetischen
Teils ein amorphes magnetisches Material verwendet. Da ein amorphes magnetisches Material durch Abschrecken
aus Flüssigphasen-Metall gewonnen werden muß, wird es au einem dünnen blatt geformt. Es zeigt Ferromagnetisrnus
und hat einen hohen Wert der magnet! gehen Sattitung,
hohe Permeabilität und geringe Koerzitivkraft, während es eine sehr hohe Bruchfestigkeit, eine hervorragende
Elastizität und eine hervorragende Beständigkeit zeigt. Diese Eigenschaften eines amorphen Materials sind
bei dem erfindungsgemäßen Vibrationsfühler außerordentlieh nutzvoll. Der Einsatz des Materials erleichtert
die Signalverarbeitung und steigert die Genauigkeit hinsichtlich der Bestimmung der Größe T. Ferner wird in
mechanischer Hinsicht der Herstellungsvorgang vereinfacht während die Widerstandsfähigkeit gegenüber Vibrationen
und Stoßen verbessert wird.
-ff- DE 1311
' Die Erfindung wird nachstehend anhand von AusfUhrungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert, in welcher durchgehend in allen Figuren gleiche
oder einander entsprechende Teile mit den gleichen Be- ^ zugszeichen bezeichnet sind.
Fig. 1 ist eine Längsschnittansicht eines Vibratiaonsfühlers
gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.
Fig. 2 a ist ein Schaltbild einer an den in Fig. 1 gezeigten
Vibrationsfühler anzuschließenden elektrischen Verarbeitungsschaltung zur Erzeugung
einer Analogspannung mit einem Pegel, der der Vibrationsamplitude entspricht.
Fig. 2 b ist eine graphische Darstellung, die die Kurvenformen
des Eingangs- und des Ausgangssignals Öer in Fig. 2a gezeigten Verarbeitungsschaltung
zeigt.
Fig. 3 a ist eine perspektivische Ansicht, die die Relativlage eines weichmagnetischen Teils und eines
Permanetmagneten zeigt, wobei diese Anordnung
zur Ermittlung einer Verzögerungszeit verwendet
wird, die sich entsprechend der Relativlage des Permanentmagneten gegenüber dem weichmagnetischen
Teil ändert.
Fig. 3 b zeigt graphisch Spannungsdaten für die Verzögerungszeit,
die sich bei der in Fig. 3a dargestellten Anordnung entsprechend einer Wegstrecke
y eines 10 mm langen Permanentmagneten in der Y-Y-Richtung verändert, wobei die elektrische
-sr- de 1311
Spule an die in Fig. 2a gezeigte elektrische Verarbeitungsschaltung angeschlossen wird und
an die elektrische Spule eine Impulsspannung derart angelegt wird, daß an dem gemäß Fig. 3a
oberen Ende des weichmagnetischen Materials ein S-PoI erzeugt wird.
Fig. 3 c zeigt graphisch dementsprechende Daten für einen 30 mm langen Permanentmagneten.
Fig. 3 d zeigt graphisch Daten für einen 30 mm langen Permanentmagneten, die den in Fig. 3b gezeigten
entsprechen, wenn an die elektrische Spule eine ,c Impulsspannung mit einer derartigen Polarität
angelegt wird, daß an dem gemäß Fig. 3a oberen Ende des weichmagnetischen Teils ein N-PoI erzeugt
wird.
2Q Fig. 4 ist eine Linksschnittansicht eines Vibrationsfühlers gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel.
Fig. 5 a zeigt graphisch Spannungsdaten über die Verzögerungszeit,
die sich bei Verwendung der in Fig.
3a gezeigten Anordnung entsprechend einer Weg
strecke χ eines 10 mm langen Permanentmagneten in der X-X-Richtung verändert, wobei die elektrische Spule an die in Fig. 2a gezeigte elektrische
Verarbeitungsschaltung angeschlossen und an die elektrische Spule eine Impulsspannung mit einer
derartigen Polarität angelegt wird, das an dem gemäß Fig. 3a oberen Ende des weichmagnetischen
Teils ein S-PoI erzeugt wird.
-S- DE 1311
Fig. 5 b zeigt graphisch den Daten nach Fig. 5a entsprechende Daten in dem Fall, daß an die elektrische
Spule die Impulsspannung mit einer derartigen Polarität angelegt wird, daß an dem gemäß Fig.
3a oberen Ende des weichmagnetischen Teils ein N-PoI erzeugt wird.
Fig. 6 ist eine Längsschnittansicht eines Vibrationsfühlers gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel.
Fig. 7 ist eine Ansicht eines Schnitts längs der;Linie
A-A in Fig. 6. ■
Fig. i\ int eine Ansicht eines Schnitts längs der Linie
B-B in Fig. 6.
Fig. 9 ist ein Schaltbild einer an den in den Fig» 6,
7 und 8 gezeigten Vibrationsfühler anzuschließen-2Q
den elektrischen Verarbeit r.ungsschaltung zur Erzeugung einer Analogspannung mit einem Pegel,
der von einer ermittelten Vibrationsamplitude abhängt. ·
Fig. 10 a ist eine perspektivische Ansicht, die die Relativlagen eines Paars weichmagnetischer Teile
und eines Permanentmagneten zeigt, wobei die Anordnung zur .Ermittlung einer Verzögerungszeit
an zugeordneten elektrischen Spulen in Überein-
30· Stimmung mit der Lage des Permanentmagneten in
Bezug auf die weichmagneti'schen Teile verwendet wird.
Fig. 10 b zeigt graphisch Spannungsdaten über eine Verzögerungszeit,
die sich bei Verwendung der in
-YS- DE 1311
Fig. 10a gezeigten Anordnung entsprechend einer
Wegstrecke χ eines 30 mm langen Permanentmagneten
in der X-X-Richtung verändert, wobei ein Paar
elektrischer Spulen in einem Abstand von 35 mm ^ angeordnet und an die in Fig. 9 gezeigte elektrische
Verarbeitungsschaltung angeschlossen wird und wobei an die elektrischen Spulen jeweils
eine Impulsspannung einer derartigen Polarität angelegt wird, daö an dem gemäß Fig. 10a oberen
Ende des entsprechenden weichmagnetischen Teils ein S-PoI erzeugt wird.
Fig. 10 c zeigt graphisch den Daten nach Fig. 10b entsprechende Daten im Falle des Anlegens der Impulsspannung
an die elektrischen Spulen mit einer derartigen Polung, daß an dem gemäß Fig. 10a
oberen Ende des entsprechenden weichmagnetischen Teils ein N-PoI erzeugt wird.
Fig. 10 d zeigt graphisch den Daten gemäß Fig. 10b -entsprechende Daten bei einem Abstand der elektri-.
sehen Spulen von 50 mm.
„_ Fig. 10 e zeigt graphisch den Daten nach Fig. 10c entsprechende
Daten bei einem Abstand der elektrischen Spulen von 50 mm.
Fig. 11 zeigt graphisch den Zusammenhang zwischen den
die Verzögerungszeit darstellenden Spannungsdaten aus der in Fig. 2a gezeigten elektrischen Verarbeitungsschaltung
und der Versetzung χ des Permanentmagneten in der X-X-Richtung bei der in Fig.
3a gezeigten Anordnung für verschiedenartige weichmagnetische Teile.
^ ■-:_■ .L
-yi- DE 1311
' Bei dom in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel hat ein
Vibrat.ionnfuhler 1 ein aus einem Harzmaterial geformtes
hohles Gehäuse 2, an dem mit Hilfe von Schrauben 4 ein
Deckel 3 aus Harz befestigt ist. In dem Gehäuse 2 sind ein großer Raum bzw. eine große Kammer 5 sowie zwei mit
der Kammer 5 in Verbindung stehende kleine Kammern 6 und 7 gebildet. Im einzelnen ist das Gehäuse 2 so ausgebildet,
daß es an einen Zylinderblock 8 einer Fahrzeugmaschine angebracht werden kann. Der Deckel 3 ist mit -zwei
'^ Anschlüssen 9 und 10 versehen. An dem Umfang der großen
Kammer 5, die von dem Gehäuse 2 und dem Deckel 3 begrenzt ist, sind ein Paar weichmagnetischer Teile 11, ein Paar
den ganzen Außenumfang des jeweiligen weichmagnetischen Teils 11 umgebende Spulenkörper 12 und ein Paar an den
jeweiligen Spulenkörpern 12 angebrachter elektrischer Spulen 13 so angeordnet, daß sie eine Einheit 14 bilden.
In Axialrichtung in der Mitte der großen Kammer 5 er-.
streckt sich ein hohler Halter 15 für einen Permanentmag-20
neten 16. Der Permanentmagnet-Halter 15 ist in der Weise
geführt, daß ein Ende desselben normalerweise innerhalb der in dem Gehäuse 2 gebildeten Kammer 6 angeordnet ist,
während das andere Ende des Halters normalerweise innerer
halb der in dem Deckel 3 gebildeten Kammer 7 angeordnet
ist. Der Permanentmagnet 16 ist dadurch in' dem Halter
festgehalten, daß in diesen eine Kappe 17 eingepreßt ist. In den kleinen Kammern 6 und 7 sind jeweils Druckfedern
18 bzw. 19 angeordnet, die einen bewegbaren Körper <3Q aus dem Magnet-Halter 15, dem Permanentmagneten 16 und
der Kappe 17 so halten, daß der bewegbare Körper sich durch Vibrationen in Axialrichtung bewegen kann.
Die Versetzungslage des Permanentmagneten 16 wird mittels
einer elektrischen Verarbeitungsschaltung erfaßt.
133035
->?- DE 1311
Bei dem Vibrationsfühler wird ein weichmagnetisches Material verwendet, das hohe Permeabilität (u
> 10 ) und
/ ITIcLX
niedrige Koerzitivkraft ( <. 1,0 Oe) zeigt. Einige weichmagnetische Materialien sind in dem Artikel "Soft Magnetic
Properties of Metallic Glasses - Recent Development^" J.Appl. Phys. 50(3) März 1979, Seiten 1551 bis 1556 von
Hasegawa u.a. beschrieben. Weichmagnetische Materialien werden unter der Handelsbezeichnung METGLAS (TM) von
der Allied Chemical Corp. vertrieben.
Die Fig. 2a zeigt eine elektrische Verarbeitungsschaltung 100 in einer Ausführungsform. Die Schaltung 100 hat einen
Anschluß 101, der an eine vorgegebene Gleichspannung in der Größenordnung von beispielsweise +5V anzuschließen
ist. Die Schaltung hat ferner einen Eingangsanschluß 102, an den Spannungsimpulse mit einer Frequenz in der
Größenordnung von beispielsweise 5 bis 25 kHz angelegt werden. Ein mit seiner Basis an den Eingangsanschluß
102 angeschlossener NPN-Transistor 103 ist während der Zeit positiver Impulsspannung leitend und wird gesperrt,
wenn die Impulsspannung Massepegel annimmt. Wenn der Transistor 103 durchgeschaltet bzw. gesperrt wird, wird
ein PNP-Transistor 104 durchgeschaltet bzw. gesperrt.
2c Damit wird während der Zeit, während der die an den Eingangsanschluß
102 angelegte Impulsspannung positiv verbleibt, die Versorgungsspannung Vcc an die elektrische
Spule 13 angelegt, während bei Massepegel der Impulsspannung keine Spannung an die Spule angelegt wird.
An einem Widerstand 105 entsteht eine zu einem über die Spule 13 fließenden Strom proportionale Spannung, die
mittels eines Integrators aus einem Widerstand 106 und einem Kondensator 107 integriert wird, wobei die integrierte
Spannung an einem Ausgangsanschluß 108 auftritt.
-Κ5- DE 1311
' Die Fig. 2b zeigt graphisch die Kurvenformen der Eingangsi;pannung
und der Ausgangsspannung der in Fig. 2a gezeigten Schaltung. Eine Verzögerungszeit td von der
Anstiegsflanke einer Eingangsspannung IN bis zum Übersteigen
eines vorgegebenen Spannungspegels an dem Widerstand
105 sowie die ein Integral der Spannung an dem Widerstand 105 darstellende integrierte Spannung Vx hängen
beide von der Lage des Permanentmagneten 16 ab.
Gemäß den vorangehenden Ausführungen kann der Vibrationsfühler 1 nach Fig. 1 an eine elektrische Verarbeitungsschaltung 100 (Fig.2a) angeschlossen werden, um ein elektrisches
Signal zu gewinnen, das die Lage des Permanentmagneten 16 innerhalb des Vibrationsfühlers 1 angibt.
'5 Zunächst wird die an dem Vibrationsfühler 1 hervorgerufene
Vibration in eine Lage des Permanentmagneten 16 umgesetzt. Die Umsetzung der Lage des Permanentmagneten
16 in ein elektrisches Signal wird nun anhand von in den Fig.v 3b bis 3d gezeigten Versuchsdaten beschrieben.
Bei diesen Versuchen wird gemäß der Darstellung in Fig. 3a das weichmagnetische Teil 11 fest angebracht und der
Permanentmagnet 16 parallel zu dem Teil angeordnet. Eine X-X-Achse wird so gewählt, daß sie durch die Mitte des
weichinagnetischen Teils 11 in Richtung senkrecht zur Längsrichtung des Teils 11 verläuft, die eine Y-Y-Achse
darstellt. Als Ursprung wird die Stelle gewählt, bei
der der Permanentmagnet 16 auf der X-X-Achse angeordnet
ist. Dann werden die Werte einer Spannung Y-Y und einer Verzögerungszeit td als Funktion der Wegstrecke y des
Permanentmagneten 16 in der Y-Y-Richtung bestimmt. Die besonderen Angaben über den Versuchsaufbau bzw. das
weichnagnetische Teil 11 sowie die erzielten Daten sind in der nachstehenden Tabelle 1 als Fälle Nr. 1 bis 3
aufgelistet.
CO
to
Oi
CJi
Pall Iir. |
2 | 5 | Weichmagnetisches Teil 11 | Dicke mm |
a mm |
b mm |
Blatt anzahl |
Spule 13 |
Permanent magnet 16 |
d mm |
e mm |
Ab stand |
Meßvorr. u.Eing,- Impuls- frequenz |
Span nung s- po- lung |
Daten |
i | 3 | Material (Atom-Gew.$) |
0,050 | 40 | 1,8 | 5 | Windungs- anzahl |
C mm |
5 | 4 | f Trim |
Schal tung 100 5 kHz |
S-N | Fig. 3b |
|
4 | Fe40Ni38Mo4B18 amorph |
Il | Il | Il | M | 1000 | 10 | Il | Il | 5 | Il | Il | Fig. 3c |
||
Il | Il | H | Il | Il | It | 30 | Il | Il | Il | Il | N-N | Fig. 3d |
|||
M | Il | Il | Il | Il | Il | 30 | Il | It | Il | It | S-N | Fig. 5a |
|||
Il | Il | Il | Il | Il | Il | 10 | Il | Il | X | Il | N-N | Fig. 5b |
|||
Il | Il | 10 | X |
OO OO CD OO
ω ο
cn
Cn
Pall Nr. |
Weichmagnetisches Teil 11 | Dicke mm |
a mm |
b πιπί |
5 | Blatt anzahl |
Spule. 13 |
Permanent magnet 16 |
d mm |
e mm |
Ab stand |
Meßvorr. u.Eing.- Impuls- frequenz |
Span nung s- po- lung |
Daten |
10 | Material (Atom-Gew.$) |
0,058 | 40 | 1,8 | Ii | Ul | Windungs- anzahl |
C mm |
5 l |
4 | f mm |
Schaltung 100 5 kHz |
S-N | Fig. 15 Al. |
11 | Fe40M40P14B6 | Il | Il | It | Il | Il | 1000 | 30 | Il | X | Il | N-N | Fig. 15 A2 |
|
12 | Il | 0,200 | 40 | Il | 2 | Il | Il | Il | Il | X | Il | S-N . ■ | Fig. 15 Bl |
|
13 | Ni8OFel6M°4 w-Metall |
Il | Il | Il | M | Il | Il | Il | X | Il | N-N | Fig. 15 B2 |
||
14 | Il | 0,100 | Il | Il | Il | Il | Il | Il | X | Il | S-N | Fig. 15 Cl |
||
15 | Ni8OFe2O Superpermalloy |
Il | Il | Il | Il | Il | Il | Il | X | Il | **■ | Fig. 15 C2 |
||
Il | Il | Il | X |
t ι t: ι
-Itf- DE 1311
Die Angabe "S-N" in der Spalte "Spannungspolung" bedeutet
einen Anschluß der elektrischen Spule 13 an die elektrische Schaltung 100 in der Weise, daß an dem in Fig. 3a
oberen Ende des weichmagnetischen Teils 11 ein S-PoI erzeugt wird. Auf gleichartige Weise bedeutet der Ausdruck
"N-N" einen Anschluß der elektrischen Spule 13 an die elektrische Schaltung 100 in der Weise, daß an
dem gemäß Fig. 3a oberen Ende des weichmagnetischen Teils 11 ein N-PoI erzeugt wird.
10
10
Wie aus den in Fig. 3b gezeigten Daten ersichtlich ii>t,
ist bei dem Fall Nr. 1 eine Spannung Vy sehr hoher Genauigkeit für eine Wegstrecke y des Magneten von 0 mm bis
+ 14 mm oder von -1 mm bis -15 mm oder vorzugsweise von +2 mm bis +12 mm oder von -3 mm bis -13 mm in Richtung
der Y-Y-Achse erzielbar. Für den Fall Nr. 3 ist ersichtlich (Fig. 3d), daß eine Spannung Vy hoher Genauigkeit
für einen weiteren B.ereich der Wegstrecke y des Magneten erzielt wird. Bei dem Fall Nr. 2 (Fig.3c) ist der Bereich
*® guter Linearität verhältnismäßig eingeengt, jedoch wird
eine Spannung für verschiedene aufgeteilte Bereiche der Wegstrecke y erzielt. Daher wird ein Arbeitsbereich bzw.
Wegbereich des Magneten 16 in dem Vibrationsfühler 1 nach Fig. 1 so gewählt, daß die Spannung Vy gute Lineari-
■" tat in Bezug auf die Wegstrecke bzw. Lage y des Magneten
zeigt.
Bei einem in der Fig. 4 gezeigten Vibrationsfühler 1 ist ein Permanentmagnet 16 fest an einer Blattfeder 15
angebracht, die als Magnethalter wirkt, wobei die Achse
des Magneten mit einer Y-Y-Achse ausgerichtet ist, die senkrecht zu einer X-X-Achse steht, in deren Richtung
sich die Blattfeder 15 bewegt, und wobei ein weichmagnetisches Teil 11 parallel zu der Achse des' Magneten 16
angeordnet ist.
-yi DE 1311
Sobald sich bei diesem Vibrationsfühler die Blattfeder
Ib bewegt, bewegt sich der Permanentmagnet 16 bezüglich
des weichmagnetischen Teils 11 in der Richtung der in
Fig. 3a gezeigten X-X-Achse. In den Fig. 5a und 5b sind
Versuchsdaten dargestellt, die bei der derartigen Bewegung des Permanentmagneten 16 erzielt werden. Verschiedenerlei
Parameter wie der Aufbau, die Dimensionen und die Anordnungen der zugehörigen Teile, die zur Erzielung
der in den Fig. 5a und 5b gezeigten Daten verwendet werden, sind in der Tabelle 1 als Fälle Nr. 4 und 5 angegeben.
Aus den in den Fig. 5a und 5b gezeigten Daten ist ersichtlich, daß bei der Bewegung des Permanentmagneten
16 in der Richtung der X-X-Achse der Bereich relativ
ic eingeengt ist, in dem eine Spannung Vx bzw. eine Verzögerungszeit
td als Funktion der Wegstrecke χ des Magneten 16 gute Linearität hat. Da jedoch in einem derartigen
eingeengten Bereich die Änderung sehr groß ist, kann die Gestaltung so getroffen werden, daß sich der Perma-
20 nentmagnet 16 über diesen eingeengten Bereich bewegt.
Bei einem in den Fig. 6, 7 und 8 gezeigten Vibrationsfühler
1 wird allgemein auf die gleiche Weise wie bei dem in Fig. 4 gezeigten Vibrationsfühler ein Permanentmagnet
ie entsprechend den Vibrationen in der Richtung der X-X-Achse
so bewegt, daß er einem weichmagnetischen Teil 11 angenähert oder von diesem entfernt wird. Es ist je doch
ersichtlich, daß dem ersten weichmagnetischen Teil 11 ein gesondertes weichmagnetisches Teil 29 unter Zwi-
schensetzung des Permanentmagneten 16 gegenübergesetzt
Ist. Das weichmagnetische Teil 29 erstreckt sich durch
einen Spulenkörper 30 hindurch, der eine elektrische
Spule 31 trägt.
Die Fig. 9 zeigt eine elek· trische Verarbeitungsschaltung
. 3133Q35 17 :
->β- DE 1311
180, die in Übereinstimmung mit der Lage des Permanentmagneten
16 in dem in den Fig. 6, 7 und 8 gezeigten Vibrationsfühler 1 eine Analogspannung Vx erzeugt. Im einzelnen
ist bei der Schaltung 180 ein NPN-Transistor 103
während der Zeit positiven Pegels einer Eingangsimpulsspannung IN durchgeschaltet und während der Zeit eines
Massepegels der Eingangsimpulsspannung gesperrt. Die Kollektorspannung des Transistors 103 wird mittels eines
Paars invertierender Verstärker IN3 und IN4 verstärkt 10
und geformt, bevor sie an die Basis eines NPN-Transistors 121 angelegt wird. Auf diese Weise ist bei positivem
Pegel der Eingangsimpulsspannung IN der Transistor 103
durchgeschaltet, während der Transistor 121 gesperrt ist. Demzufolge ist während dieses Zeitintervalls ein PNP-Transistor 104 gesperrt. Während der Zeit des Massepegels der Eingangsimpulsspannung ist der Transistor 103 gesperrt, während die Transistoren 121 und 104 durchgeschaltet sind. D.h., an die elektrische Spule 13 wird eine Impulsspannung angelegt, wodurch an einem Widerstand 105 ein Spannungsimpuls mit einer Verzögerungszeit tdl gegenüber der abfallenden Flanke der Eingangsimpulsspannung IN in der Weise auftritt, daß die Verzögerungszeit dem Abstand χ des Permanentmagneten 16 von dem weichmagnetischen Teil 11 entspricht.
durchgeschaltet, während der Transistor 121 gesperrt ist. Demzufolge ist während dieses Zeitintervalls ein PNP-Transistor 104 gesperrt. Während der Zeit des Massepegels der Eingangsimpulsspannung ist der Transistor 103 gesperrt, während die Transistoren 121 und 104 durchgeschaltet sind. D.h., an die elektrische Spule 13 wird eine Impulsspannung angelegt, wodurch an einem Widerstand 105 ein Spannungsimpuls mit einer Verzögerungszeit tdl gegenüber der abfallenden Flanke der Eingangsimpulsspannung IN in der Weise auftritt, daß die Verzögerungszeit dem Abstand χ des Permanentmagneten 16 von dem weichmagnetischen Teil 11 entspricht.
An die andere elektrische Spule 31 wird eine Konstantspannung über einen PNP-Transistor 181 angelegt. Während
der Zeit positiven Pegels der Eingangsimpulsspannung IN ist der Transistor 103 durchgeschaltet, so daß ein
invertierender Verstärker IN 5 ein positives Ausgangssignal abgibt, welches seinerseits während dieser Zeit einen
NPN-Transistor 182 durchschaltet, wodurch auch der Transistor 181 durchgeschaltet wird; der Transistor 181
wird gesperrt, wenn die Eingangsimpulsspannung IN Massepegel annimmt. Demzufolge wird an die zweite elektrische
-*4- DE 1311
Spule 31 eine Konstantspannungn angelegt, wenn an die
erste elektrische Spule 13 keine Spannung angelegt wird, während keine Spannung an die zweite elektrische Spule
31 angelegt wird, wenn an die Spule 13 eine Spannung
angelegt wird. D.h., an die erste und die zweite Spule
13 bzw. 31 wird die Konstantspannung abwechselnd in Übereinstimmung mit der Eingangsimpulsspannung In angelegt.
in Die zweite Spule 31 ist an einen Widerstand 183 angeschlossen,
an dem ein Spannungsimpuls mit einer Anstiegsflanke auftritt, die gegenüber der Anstiegsflanke der
liingangsimpulsspannung IN um ein Zeitintervall td 2 verzögert,
ist, das von dem Abstand x_ des Permanentmagneten 16 von dem weichmagnetischen Teil 29 abhängt. Die an
dem Widerstand 105 entstehende Spannung Vx 1 wird an einen Belag eines Kondensators 184 angelegt, an dessen
anderen Belag die an dem Widerstand 183 entstehende Spannung Vx2 Angelegt wird. Da der Abstand zwischen dem Permanentmagneten
16 einerseits und dem ersten bzw. dem zweiten weichmagnetischen Teil 11. bzw. 29 andererseits
mit χ bzw. χ gegeben ist, wobei X1 + x? = k (konstant)
gilt, und da die Spannungen VxI bzw. Vx2 zu den Größen
X1 bzw. χ proportional sind, entspricht die Potentialdifferenz
an dem Kondensator 184. der Größe (X1-Xp).
Der Kondensator 184 bildet- zusammen mit einem Widerstand
185 einen Integrator, so daß an dem Kondensator eine Spannung entsteht, die der Größe (X1 - x?) entspricht.
Da Xp = k - χ. gilt, ist x. - X2 = 2x "— k. Daher entspricht
die Spannung an dem Kondensator 184 der Größe 2X1 . D.h. , es wird eine Analogspannung erzielt, die dem
Doppelten der Wegstrecke X1 des Permanentmagneten 16
35 in Bezug auf das erste v/eichmagnetische Teil 11 ent-
13
DE 1311
Die beiden gegenpoligen Anschlüsse des Kondensators 184
werden mit den beiden Eingängen eines Rechenverstärkers 186 verbunden, der als Differenzverstärker gestaltet
ist. Der Verstärker 186 gibt eine Analogspannung Vx ab, die der Größe 2x. entspricht.
Der Wert der Spannung Vx wird als Funktion des Wegs χ des Permanentmagneten 16 in der Richtung der X-X-Aonse
unter Verwendung einer in der Fig. 10a gezeigten Anordnung ermittelt, bei der die weichmagnetischen Teile 11
und 29 parallel zueinander fest angeordnet v/erden, während der Permanentmagnet 16 parallel zu den Teilen 11
und 29 zwischen diesen angeordnet wird. Eine durch den Magneten und die Teile 11 und 29 in einer zu deren Achsen
senkrechten Richtung verlaufende Achse wird als X-X-Achse gewählt, wobei der Ursprung (x=0) an der Stelle gewählt
wird, an der der Permanentmagnet 16 in der Mitte zwischen den Teilen 11 und 29 steht. Parameter, a bis f hinsiehtlieh
des Aufbaus und der Anordnung sowie das Material der weichmagnetischen Teile 11 und 29 sind in Übereinstimmung
mit zugeordneten Meßdaten in der nachstehenden Tabelle 2 aufgeführt.
co
Ol
NJ
O
Pall Nr. |
7 | 8 | Weichrnagnetxsche Ie-Ie 11 und 29 | Dicke nun |
a
mm |
b mm |
Blatt anzahl |
Spulen 13,31 |
Permanent magnet 16 |
d mm |
e
mm |
Ab stand |
Meßvorr. u.Eing,- Impuls- frequenz |
Span nung s- po- lung |
Daten |
6 | 9 | Material (Atom-Gew.^) |
0,05 | 30 | 1,8 | 4 | Windungs- anzahl |
C mm |
5 | 4 1 |
f min |
Schaltung 180 5 kHz |
S-N | Fig. ICt |
|
Fe40Ni38Mo4B18 amorph |
Il | Il | Il | Il | 1000 | 30 | Il | Il | 35. | Il | N-N | Fig. 10c |
|||
Il | M | Il | Il | Il | Il | Il | Il | Il | 35 | Il | S-N | Fig. 1Od |
|||
Il | Il | Il | Il | Il | Il | Il | Il | Il | 50 | Il | N-N | Fig. 1Oe |
|||
Il | Il | Il | 50 |
-22- DE 1311
Wenn der Abstand zwischen den weichmagnetischen Teilen 11 und 29 gering ist, wird ein Vx-x-Ansprechvermögen
guter Linearität in Bezug auf den Abstand in einem Bereich von -IO mm <C x<
10 mm erzielt, wie es in den Fig. 10b und 10c gezeigt ist. Bei einem vergrößerten Abstand f
zwischen den Teilen 11 und 29 wird gemäß der Darstellung in Fig. 1Od bei einer S-N-Betriebsart eine verhältnismäßig
gute Linearität in einem Bereich von -9 mm <z χ <^ 9 mm
erzielt, jedoch ist der Bereich guter Linearität im Vergleich zu dem bei einem kleineren Wert von f erzielten
eingeengt. Ferner ist die Linearität im Vergleich zu der mit einem kleineren Wert von f erzielten verschlechtert.
Gemäß der Darstellung in der Fig. 1Oe ist bei einer N-N-Betriebsart die Linearität in einem Bereich nahe
dem Ursprung (x = 0) sehr gering, jedoch ist die Linearität
verbessert, wenn eine Annäherung an eines der weichmagnetischen Teile erfolgt, wobei die Linearität derjenigen
gemäß den Fällen Nr, 4 und 5 sehr nahe kommt. Dies ist deshalb der Fall, weil das Magnetfeld, das der Permanentmagnet
16 an den weichmagnetischen Teilen 11 und 29 errichtet, bei Lage des Magneten nahe dem Ursprung
verringert ist. Da somit das Vx-x-Ansprechvermögen nicht nur von dem Abstand f zwischen den weichmagnetischen
Teilen 11 und 29, sondern auch von dem Aufbau des Permanentmagneten
16 und der von diesem hervorgerufenen Feldstärke
abhängt, kann ein gewünschtes Ansprechvermögen auf eine verhältnismäßig einfache Weise erzielt werden.
Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen und Abwandlun-ου
gen besteht jedes der weichmagnetischen Teile 11 und 29 aus mehreren Blättern eines amorphen magnetischen
Materials, das eine hohe Elastizität und eine hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber der Verformung zeigt. Für die
weichmagnetischen Teile 11 und 29 des Vibrationsfühlers ^ können jedoch auch andere magnetische Materialien verwendet
werden. Die Fig. 11 zeigt graphisch Vx-x-Dat.en für
-2S- DE 1311
einen Vergleich zwischen der Anwendung eines amorphen
magnetischen Materials und der Anwendung anderer magnetischer
Materialien. Zur Erzielung dieser Daten werden das weichmagnetische Teil und der Permanentmagnet so
angeordnet, wie es in der Fig. 3a gezeigt ist, wobei der Permanentmagnet in der Richtung der X-X-Achse bewegt
wird. Verschiedenerlei Parameter eines derartigen Aufbaus
und der Anordnung der Teile sind in der Tabelle 1 als Fälle Nr. 10 bis 15 aufgeführt. Die Kurven Al bis C2
in der Fig. 11 zeigen, daß jedes weichmagnetische Teil eine hohe Linearität hinsichtlich des Vx-x-Ansprechvermögens
über einen Bereich von mindestens 6 mm (wie beispielsweise
von χ = 10 mm bis χ - 16 mm gemäß der Kurve Al oder von χ = 8 mm bis χ = 14 mm bei der Kurve Bl)
zeigt, und damit bei dem" Vibrationsfühler verwendet werden
kann. Ein weichmagnetisches Teil aus einem amorphen Material
ist für Anwendungszwecke vorzuziehen, bei denen eine hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber Schwingungen
und Verformung notwendig ist.
Aus der vorstehenden Beschreibung verschiedener Ausführungsbeispiele
und der Darstellung von Versuchsdaten ist ersichtlich, daß im Vergleich zu einem Vibrationsfühler
mit einem Dehnungsmesser der Vibrationsfühler gemäß den Ausführungsbeispielen ein höheres elektrisches Signal
entsprechend den Vibrationen abgibt, da der beschriebene Vibrationsfühler eine Änderung der Stärke eines von einem
Permanentmagneten stammenden Magnetfelds durch Verbindung einer Dämpfungsvorrichtung und eines weichmagnetischen
"υ Teils erfaßt. Ferner wird bei dem beschriebenen Vibrationsfühler
die Versetzung eines bewegbaren Glieds, die der Vibrationsbeanspruchung entspricht, in eine Verzögerungszeit
td zwischen einem Eingangsimpuls einer elektrischen Spule und einem Stromimpuls über die Spule umge-
setzt. Die Verzögerungszeit td wird zu einer analogen
Form verarbeitet. Auf diese Weise wird durch die elektri-
-2<- UE 1311
sehe Verarbeitung ein Vibrationsmeßsignal in der Weise
erzielt, daß es in hohem Ausmaß gegenüber Schwankungseinflüssen unempfindlich ist und in geringem Ausmaß Verschlechterungen
unterliegt, wie sie beispielsweise durch mechanischen Abrieb hervorgerufen werden könnten. Da
zwischen dem bewegbaren Körper bzw. Glied und seinem zugeordneten Wandler kein Verbindungsmechanismus vorhanden
ist, entsteht kein Spiel, so daß eine stabile bzw. gleichförmige Vibrationsermittlung erzielt wird. Es ist von
^O großer Bedeutung, daß der Aufbau der an den Fühler angeschlossenen
elektrischen Verarbeitungsschaltung einfach ist.
Es wird ein Vibrationsfühler angegeben, der einen bewegbaren Körper, einen mit dem bewegbaren Körper verbundenen
Permanentmagneten und eine Versetzunp.s/Impulsphasen-Umsetzeinheit
mit einem weichmagnetischen Teil aufweist, das einen elektrische Spule trägt und fest in der Nähe
der Bewegungsbahn des Permanentmagneten angebracht ist. An ein Windungsende der elektrischen Spule wird eine
Impulsspannung angelegt. An einem mit dem anderen Windungsende
der elektrischen Spule in Reihe geschalteten Widerstand tritt ein Spannungsabfall auf. Eine die
Schwingungsamplitude darstellende Verzögerungszeit des _** Spannungsabfalls bezüglich der Impulsspannung wird in der Form einer analogen Spannung abgegeben.
Schwingungsamplitude darstellende Verzögerungszeit des _** Spannungsabfalls bezüglich der Impulsspannung wird in der Form einer analogen Spannung abgegeben.
Leerseite
Claims (4)
- PatentansprücheIy Vibrationsfühler, gekennzeichnet durch einen bewegbaren Körper (15), der bewegbar in einem Gehäuse (2,3) angeordnet ist, eine Dämpfungsvorrichtung (18,19; 15) zum Tragen des bewegbaren Körpers, einen Pernianentmagneten (16), der mit dem bewegbaren Körper verbunden ist, eine Kernvorrichtung (11;11,29) aus weichmagnetischem Material, die nahe der Umgebung der Bewegungsbahn des Permanentmagneten angeordnet ist, und eine elektrische Spulenvorrichtung (13;13,31), die an der weichmagnetischen Kernvorrichtung angeordnet ist.
- 2. Vibrationsfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die weichmap.netische Kernvorrichtung (11;
11,29) aus einem amorphen magnetischen Material gebildet ist. - 3. Vibrationsfühler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungsvorrichtung (18,19) unter wechselseitiger Gegenwirkung den bewegbaren Körper (15) an dessen einander gegenüberliegenden Enden trägt.VI/22Dnutsche Bank (München) KIo. 51/61070Dresdner Bank (München) KIo. 3939 844Poslsdipck (Mundmn) Kto 670 43-804->8- DE 1311'
- 4. Vibrationsfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Permanentmagnet (16) in seiner Längsrichtung magnetisiert ist, unter Ausrichtung seiner Längsrichtung mit der Bewegungsrichtung des bewegbaren Körpers (15) fest an diesem angebracht ist und in Längsrichtung der weichmagnetischen Kernvorrichtung (11; 11,29) magnetisiert ist.*** 10
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/182,847 US4361045A (en) | 1980-08-29 | 1980-08-29 | Vibration sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3133035A1 true DE3133035A1 (de) | 1982-04-01 |
DE3133035C2 DE3133035C2 (de) | 1985-12-12 |
Family
ID=22670302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3133035A Expired DE3133035C2 (de) | 1980-08-29 | 1981-08-21 | Vibrationsmeßfühler |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4361045A (de) |
JP (1) | JPS5772024A (de) |
DE (1) | DE3133035C2 (de) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57211905A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-25 | Hitachi Ltd | Current supplying device for linear motor |
JPS6015527A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Sonotetsuku:Kk | 超音波振動検出装置 |
SE509206C2 (sv) * | 1995-08-30 | 1998-12-14 | Roland Larsson | Vibrationsdetektor |
US6550260B1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-22 | Carrier Corporation | Vibration detection in a transport refrigeration system through current sensing |
US8538560B2 (en) | 2004-04-29 | 2013-09-17 | Rosemount Inc. | Wireless power and communication unit for process field devices |
US8145180B2 (en) | 2004-05-21 | 2012-03-27 | Rosemount Inc. | Power generation for process devices |
US8787848B2 (en) | 2004-06-28 | 2014-07-22 | Rosemount Inc. | RF adapter for field device with low voltage intrinsic safety clamping |
US7913566B2 (en) * | 2006-05-23 | 2011-03-29 | Rosemount Inc. | Industrial process device utilizing magnetic induction |
US8250924B2 (en) | 2008-04-22 | 2012-08-28 | Rosemount Inc. | Industrial process device utilizing piezoelectric transducer |
EP2310918B1 (de) | 2008-06-17 | 2014-10-08 | Rosemount, Inc. | Rf adapter für feldgerät mit variabeln spannungsabfall |
US8929948B2 (en) | 2008-06-17 | 2015-01-06 | Rosemount Inc. | Wireless communication adapter for field devices |
US8694060B2 (en) | 2008-06-17 | 2014-04-08 | Rosemount Inc. | Form factor and electromagnetic interference protection for process device wireless adapters |
US7977924B2 (en) | 2008-11-03 | 2011-07-12 | Rosemount Inc. | Industrial process power scavenging device and method of deriving process device power from an industrial process |
US8626087B2 (en) | 2009-06-16 | 2014-01-07 | Rosemount Inc. | Wire harness for field devices used in a hazardous locations |
US9674976B2 (en) | 2009-06-16 | 2017-06-06 | Rosemount Inc. | Wireless process communication adapter with improved encapsulation |
US10761524B2 (en) | 2010-08-12 | 2020-09-01 | Rosemount Inc. | Wireless adapter with process diagnostics |
US9310794B2 (en) | 2011-10-27 | 2016-04-12 | Rosemount Inc. | Power supply for industrial process field device |
CN112710381B (zh) * | 2020-12-18 | 2022-09-30 | 重庆理工大学 | 一种垂向振动检测装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH321552A (de) * | 1952-10-20 | 1957-05-15 | Daimler Benz Ag | Verfahren und Gerät zum Messen von Schwingungen, z. B. Schüttelschwingungen |
DE1173266B (de) * | 1960-01-08 | 1964-07-02 | Textron Electronics Inc | Vibrationsmessvorrichtung |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2697594A (en) * | 1951-02-17 | 1954-12-21 | Austin N Stanton | Acceleration detecting device |
US2767973A (en) * | 1953-01-19 | 1956-10-23 | Bendix Aviat Corp | Accelerometers |
US2860313A (en) * | 1953-09-04 | 1958-11-11 | Emerson Radio And Phonograph C | Inductive tuning device |
US2882392A (en) * | 1955-03-09 | 1959-04-14 | Rca Corp | Receiver tuned by inductors with tracking by initial positionment of coils on cores |
CA608330A (en) * | 1956-06-28 | 1960-11-08 | Westinghouse Electric Corporation | Switching devices |
US3104552A (en) * | 1957-04-24 | 1963-09-24 | Honeywell Regulator Co | Control apparatus |
FR1248469A (fr) | 1959-11-02 | 1960-12-16 | Forges Ateliers Const Electr | Indicateurs de déplacements d'objets mobiles utilisant leur action magnétique sur des organes électromagnétiques capteurs |
US3128625A (en) * | 1962-05-14 | 1964-04-14 | Henry F Heineman | Saturable reactor position transducer |
US3168830A (en) * | 1963-03-25 | 1965-02-09 | Int Resistance Co | Pressure transducer |
US3281743A (en) * | 1964-09-01 | 1966-10-25 | Ata Engineering Co | Vibration sensing transducer |
US3877314A (en) * | 1973-03-26 | 1975-04-15 | Illinois Tool Works | Accelerometer |
US3855528A (en) * | 1973-04-06 | 1974-12-17 | Lorain Prod Corp | D-c current measuring circuit |
US4140971A (en) * | 1977-11-10 | 1979-02-20 | Electromagnetic Sciences, Inc. | Proximity detection system utilizing a movable magnet for saturating an inductor core wherein the rise time of a plurality of such inductors are compared |
-
1980
- 1980-08-29 US US06/182,847 patent/US4361045A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-08-21 DE DE3133035A patent/DE3133035C2/de not_active Expired
- 1981-08-21 JP JP56132010A patent/JPS5772024A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH321552A (de) * | 1952-10-20 | 1957-05-15 | Daimler Benz Ag | Verfahren und Gerät zum Messen von Schwingungen, z. B. Schüttelschwingungen |
DE1173266B (de) * | 1960-01-08 | 1964-07-02 | Textron Electronics Inc | Vibrationsmessvorrichtung |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Freiberger Forschungshefte C 130, 1962, Seite 87 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4361045A (en) | 1982-11-30 |
DE3133035C2 (de) | 1985-12-12 |
JPS5772024A (en) | 1982-05-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G01H 1/00 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |