DE3112633A1 - "zweistufeninterferometer" - Google Patents

"zweistufeninterferometer"

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DE3112633A1
DE3112633A1 DE19813112633 DE3112633A DE3112633A1 DE 3112633 A1 DE3112633 A1 DE 3112633A1 DE 19813112633 DE19813112633 DE 19813112633 DE 3112633 A DE3112633 A DE 3112633A DE 3112633 A1 DE3112633 A1 DE 3112633A1
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DE
Germany
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plane
interference
light
measuring
deflecting element
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Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19813112633
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Karlheinz Dipl.-Phys. DDR 6908 Jena-Winzerla Bechstein
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Original Assignee
Jenoptik Jena GmbH
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02049—Interferometers characterised by particular mechanical design details
    • G01B9/02051—Integrated design, e.g. on-chip or monolithic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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DD80222233A DD158187A3 (de) 1980-06-30 1980-06-30 Zweistufeninterferometer

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Publication Number Publication Date
DE3112633A1 true DE3112633A1 (de) 1982-04-15

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ID=5525028

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JP (1) JPS5714703A (OSRAM)
DD (1) DD158187A3 (OSRAM)
DE (1) DE3112633A1 (OSRAM)
FR (1) FR2485718A1 (OSRAM)
GB (1) GB2079000B (OSRAM)
SU (1) SU1168800A1 (OSRAM)

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DD111993A1 (OSRAM) * 1974-05-13 1975-03-12

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DD158187A3 (de) 1983-01-05
JPS5714703A (en) 1982-01-26
FR2485718B1 (OSRAM) 1985-03-29
GB2079000B (en) 1984-03-07
SU1168800A1 (ru) 1985-07-23
FR2485718A1 (fr) 1981-12-31
GB2079000A (en) 1982-01-13

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