DE3047252A1 - Verfahren zum vakuumdichten abdichten einer metalloberflaeche mit einer glasoberflaeche oder glas-keramik-oberflaeche - Google Patents

Verfahren zum vakuumdichten abdichten einer metalloberflaeche mit einer glasoberflaeche oder glas-keramik-oberflaeche

Info

Publication number
DE3047252A1
DE3047252A1 DE19803047252 DE3047252A DE3047252A1 DE 3047252 A1 DE3047252 A1 DE 3047252A1 DE 19803047252 DE19803047252 DE 19803047252 DE 3047252 A DE3047252 A DE 3047252A DE 3047252 A1 DE3047252 A1 DE 3047252A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gold
indium
glass
metal
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19803047252
Other languages
English (en)
Other versions
DE3047252C2 (de
Inventor
Donald Wayne 91766 Pomona Calif. King
Gordon Spencer 91360 Thousand Oaks Calif. Norvell
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Northrop Grumman Guidance and Electronics Co Inc
Original Assignee
Litton Systems Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Litton Systems Inc filed Critical Litton Systems Inc
Publication of DE3047252A1 publication Critical patent/DE3047252A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3047252C2 publication Critical patent/DE3047252C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/001—Interlayers, transition pieces for metallurgical bonding of workpieces
    • B23K35/002—Interlayers, transition pieces for metallurgical bonding of workpieces at least one of the workpieces being of light metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/04—Joining glass to metal by means of an interlayer
    • C03C27/042—Joining glass to metal by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, glass-ceramic or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts
    • C03C27/046—Joining glass to metal by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, glass-ceramic or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts of metals, metal oxides or metal salts only

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

Beschreibung
Bei der Herstellung von Ringlasern ist es erwünscht, eine Metallkathode und eine oder mehrere Metallanoden an einem Material aus Glas oder aus Glas-Keramik anzubringen, wie solches,welches unter dem Handelsnamen "ZERODUE" oder "CERVIT" bekannt ist.
Typischerweise besteht die Kathode oder Anode aus Aluminium oder Kupfer, obgleich das erfindungsgemäße Verfahren verwandt werden könnte, andere Metalle wie z.B. Eisen, Stahl, Nickel, Tantal oder Niobium an einem Material aus Glas oder Glas-Keramik anzubringen.
Die folgenden Einzelheiten beziehen sich besonders auf Aluminium und Kupfer.
Aus der GB-PS 687,259 ist eine Glas-Metall-Abdichtung bekannt, bei der eine oilberplatierung auf dem Grundmetall und eine Indiumplatierung auf dem Silber verwandt wird, woraufhin geschmolzenes Glas in Berührung mit einem indiumplatierten Bereich des Metallteils gegossen wird.
Ferner ist aus der US-PS 3»777,281 die Verwendung von Gold und Indium bei der Herstellung einer Keramik-Keramik-Abdichtung bekannt.
ORIG'Näi
130037/071 2
Bisher, d.h. vor dieser Erfindung wurde Gold in einer flüssigen Form auf sowohl das Glas als auch auf das Metallteil aufgetragen und die Teile wurden gebrannt, damit nur das Gold zurückbleibt. Als nächstes wurde ein Indiumdraht zwischen die zwei Goldflächen positioniert, und das Indium wurde geschmolzen, um die zwei Goldflächen miteinander zu verlöten. Es hat sich herausgestellt, daß dieses "Verfahren unzuverlässig ist und viele Gasleclcs wurden festgestellt.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Abdichtung zwischen einem Metall und Glas oder Metall und Glas-Keramik. Die Abdichtung nach der Erfindung bleibt bei wiederholten Temperaturzyklen zwischen -5O0C und +1000C erhalten.
Die zu verbindende Glasoborfläche wird zuerst gereinigt und wird vorzugsweise besonders gut gereinigt. Um die Glasoberfläche besonders gut zu reinigen, wird sie mit einem elektrischen Plasma oder mit elektrischen Ionen in einem Vakuum oder mit ultraviolettem Licht beaufschlagt.
Wenn das Grundmetall Aluminium ist, wird die Aluminiumoberfläche an der Abdichtung zuerst geschliffen, um sie allgemein der Glasoberfläche anzupassen. Dann wird das Aluminium mit Salpetersäure geätzt und die überschüssige Salpetersäure wird mit Wasser abgewaschen, vorzugsweise mit destilliertem Wasser. Das Metall wird dann geglüht bzw. vergütet und die Metalloberfläche wird nachgedrückt bzw. geprägt, indem sie gegen eine glatte, polierte Oberfläche gedruckt wird. Zum Nachdrücken wird die Glasoberfläche bevorzugt, weil Aluminium nicht an Glas anhaftet und das Glas nach wiederholten Kachdrückvorgängen stets flach bleibt
130037/0712
Anschließend wird Gold auf die Aluminiumoberfläche aufgebracht. Das Gold könnte durch Galvanisieren aufgebracht werden, aber es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, das Gold in einer Flüssigkeit auf die nachgedrückte Aluminiumoberfläche aufzusprühen oder aufzubürsten. Das Gold wird dann gebrannt und eine zweite Beschichtung wird aufgebracht und gebrannt. Die Reinheit des erzeugten Goldes liegt in der Größenordnung von 99,5% Gold. Eine typische Dicke des Goldes, ob durch Sprühen, Bürsten oder Galvanisieren aufgebracht, beträgt v/eniger als 0,00254 mm (100 Hikroinch).
Ein Vorformling aus Indium wird dann auf der Goldoberfläche angeordnet. Das Indium ist typischerv.-cise 99»9% reines Indium. Das Indium und das Gold v/erden dann vorzugsweise im Vakuum über die Schmelztemperatur des Indiums (1550C) auf ungefähr 1?5°C erhitzt, bis das Indium sich mit dem Gold an ihrer Grenzschicht legiert hat.
Die Indiumoberflache wird anschließend besonders gut gereinigt, durch beispielsweise einen Beschüß mit einem Plasma oder mit Ionon im Vakuum oder aber auch mit ultravioletter Strahlung. Nachdem das Indium besonders gut gereinigt worden ist, ist es sehr klebrig und es neigt dazu, an jeder Oberfläche anzukleben, die es berührt. Die besonders gut gereinigte Indiumoberfläche wird dann auf eine besonders gut gereinigte G.l aaoborf lache: oder Glas-Keraiuik-Oberf lächo aufgedrückt, um eine vakuumdichte Abdichtung zu bilden.
Wenn das Metall Kupfer ist, wird das Kupfer nicht mit Salpetersäure geätzt und das Gold wird vorzugsweise auf dem Kupfer galvanisch abgeschieden. Die Oberfläche des Kupfers
130037/0712
ORIGINAL INSPECTED
wird nicht aufgedrückt (coined), sondern unter Verwendung kleiner Teilchen (typischerweise 1200 um) geläppt, bevor das Gold galvanisch auf dem Kupfer abgeschieden wird.
Eine Zielsetzung der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Herstellung einer Abdichtung zwischen Metall und Glas oder Metall und Glas-Keramik zu schaffen.
Eine andere Zielsetzung der Erfindung besteht darin, eine Glas-oder Glas-Keramik-Metallabdichtung zu schaffen.
Eine besondere Zielsetzung der Erfindung besteht darin, eine auf einem Metall angebrachte Indium-Gold-Legierung zu verwenden und eine Indiumoberfläche vorzusehen, um eine Abdichtung nach der Erfindung zu erzielen.
Eine weitere besondere Zielsetzung der Erfindung besteht darin, die vorhergehenden Ergebnisse zu erreichen, wobei es sich bei dem Metall um Aluminium oder Kupfer handelt.
Durch die Erfindung wird also ein Verfahren zur Herstellung einer Glas-oder Keramik-Metallabdichtung und eine Abdichtung selbst geschaffen. Eine Schicht aus Gold wird auf dem Metall niedergeschlagen. Eine dünne Schicht aus Indium wird auf das Gold aufgebracht und diese Struktur wird über den Schmel: punkt des Indiums erhitzt, um eine Gold-Indium-Legierung an der Gold-Indium-Zwischenschicht zu schaffen. Nach dem Abkühlen werden die Indiumoberfläche der Struktur und die Glasoberfläche besonders gut gereinigt. Die besonders gut gereinigten Oberflächen werden dann zusammengedrückt, um
130037/0712
COPY
eine luftdichte Abdichtung zu bilden.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen typischen Ringlaser,
Fig. 2 eine Ansicht der Fig. 1, teilweise im Schnitt längs der Linie 2-2 in Fig. 1,
Fig. 3 eine Teilschnittdarstellung längs der Linie 3-3 in Fig. 1, und
Fig. 4- ' eine Querschnittsdarstellung längs der Linie 4—4 in Fig. 2.
Ringlaser v/erden typischei-wcise aus einem Block aus Glas oder aus Glas-Keramik hergestellt. Anoden und Kathoden aus Metall werden an dem Block aus Glas oder Keramik angebracht. Typischerweise werden die Kathoden und Anoden aus Aluminium oder Kupfer hergestellt, und sie müssen an dem Block aus Glas oder Keramik mit einer luftdichten Abdichtung befestigt sein, weil das Gas in dem Laser und die Kathoden-oder Anodenstruktur auf einem niederen Druck unter Atmosphärendruck gehalten wird, und die Gase sauber und rein bleiben müssen. Die Fig. 1,2 und zeigen einen Ringlaser. Ein Block aus Glas oder Keramik 10 kann beispielsweise in der Form eines Oktagon ausgebildet sein, wobei getrennte Glas- oder Keramikblöcke 12,14,16 und 18 an vier Seiten von jenem vorgesehen sind,
130037/0712
um die Spiegel zu halten, welche den Weg des Ringlasers festlegen. Ein Paar Anoden 20,22 besteht typischerweise aus einem Kupfer-Grundmetall. Eine Kathode 24- besteht typischerweise aus einem Aluminium-Grundmetall. Eine Vielzahl von Leitungen 28, die typischerweise ein Gas wie z.B. Neon bei einem Vakuumdruck enthalten, verbindet das Innere der Anoden 20,22, der Kathode 24 und die Spiegel an den Seiten der Blöcke 12,14,16,18.
Die Kathode 24 und die Anoden 20,22 müssen an dem Block 10 aus Glas oder Keramik vakkumdicht befestigt aein und die Abdichtung und das Verfahren des Anbringens bilden den Gegenstand der Erfindung.
Um die beste Abdichtung zwischen dem Metall 24 und dem Glas oder der Glas-Keramik 10 zu erhalten, sollte das Glas oder die Glas-Keramik besonders gut gereinigt werden. Besonders gutes Reinigen bedeutet hier, daß die Endstufe beim Reinigen der Glasoberfläche oder der Glas-Keramik-Oberfläche durch Beschüß mit einem Plasma oder mit Ionen im wesentlichen im Vakuum oder durch ultraviolettes Licht vorgenommen wird. Typischerweise wird die Glasoberfläche oder die Glas-Keramik-Oberflache zuerst in einer Reinigungslösung gewaschen, welche Chromsäure und Schwefelsäure enthält. Anschließend wird sie mit Salzsäure gewaschen und mit destiliertem Wasser gespült. Die Oberfläche des Glases oder der Glaskeramik wird dann in Luft erhitzt, um organische Stoffe zu verbrennen und zurückgebliebene Fluide zu verdampfen. Die Oberfläche des Glases oder der Glas-Keramik
1 30037/071 2
wird dann besonders gut gereinigt, indem sie in einer Glasglocke bei einem Gas mit niederem Druck angeordnet wird, in der ein elektrisches Plasma oder Ionenstrahlen auf die Oberfläche gerichtet werden. Andererseits kann auch ultraviolettes Licht auf die Oberfläche des Glases oder der Glas-Keramik gerichtet werden.
Um die Aluminiumkathode an dem Glas oder der Glas-Keramik 10 zu befestigen, wird eine Goldschicht 4-0, welche Gold in einer Flüssigkeit aufweist, vorzugsweise mit zwei aufeinanderfolgenden Beschichtungen auf die Oberfläche 4-2 des Aluminiums 24 aufgesprüht oder aufgebürstet. Jede Goldschicht der Goldflüssigkeit wird gebrannt, um die Flüssigkeit su entfernen und das Gold zurückzulassen, welches eine gesamte Dicke von vorzugsweise weniger als 0,00254- mm (100 Mikroinch) aufweist.
Ein Vorformling 4-4 aus Indium wird auf das Gold gelegt und diese Struktur wird über den Schmelzpunkt des Indiums (155°C) auf ungefähr 175°C erhitzt. Das Indium weist typischerweise eine Reinheit von 99»9% reinem Indium auf und es hat typisdBrweise eine Dicke in der Größenordnung von 0,178 mm (0,007 inch) Das Indium 44- legiert sich mit dem Gold 4-0 an der Grenzschicht 4-5 zwischen dem Gold und dem Indium.
Wach dem Abkühlen typischerweise auf Raumtemperatur wird bei der Struktur mit jiner Indiumoberfläche die In&iumoberflache 48 besondern gut gereinigt, indem sie in eine Glasglocke mit niederem Druck eingebracht und ihre Oberfläche mit einem elektrischen Plasma, Ionen oder ultra-
ORIGINAL INSPECTED 130037/0712
-5II-
violettem Licht bestrahlt wird. Die Oberfläche des Indiums wird sehr klebrig oder anhaftend, so daß sie ohne weiteres an einer anderen Oberfläche anhaftet.
Die klebrige Oberfläche des Indiums wird dann auf die besonders gut gereinigte Oberfläche des Glases oder der Glas-Keramik gedrückt, um eine vakuumdichte Abdichtung herzustellen.
Statt das Gold in einer Flüssigkeit auf die Oberfläche 42 aufzubringen, kann das Gold galvanisch abgeschieden oder auf andere Weise angebracht oder auf der Oberfläche abgeschieden v/erden. Tatsächlich ist es von Vorteil, wenn das Grundmetall Kupfer ist, das Gold galvanisch auf dem Grundmetall abzuscheiden. Das Grundmetall der Anoden 20,22 ist vorzugsweise Kupfer und die Anoden 20, 22 sind typischerweise vollkommen mit Gold beschichtet. Für diesen Vorgang jedoch muß nur auf der Befestigungsoberfläche galvanisch Gold mit einer Dicke von im wesentlichen weniger als0,00254 mm (100 Mikroinch) abgeschieden werden. Typischerweise weist das abgeschiedene Gold mehr als 99,5/£ reines Gold auf.
Nachdem das Gold 40 auf dem Grundmetall abgeschieden worden ist, wird die Schicht 44 aus Indium auf das Gold 40 gelegt und die Struktur wird über den Schmelzpunkt des Indiums erhitzt, um eine Gold-Indium-Legierung an der Grenzschicht 46 zu erzeugen. Nach dem Abkühlen wird das Indium 44 besonders gut durch Beschüß mit einem Plasma oder mit Ionen im Vakuum oder durch ultraviolette Strahlung gereinigt.
130037/0712
COPY
Die klebrige, besonders gut gereinigte Oberfläche des Indiums wird dann an die besonders gut gereinigte Oberfläche des Glases oder der Glas-Keramik gedrückt, um eine vakuumdichte Dichtung zu bilden.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Oberfläche 42 des Grundmetails 24 zuerst vorbereitet, um die Schicht 40 aus Gold aufzunehmen. Die Oberfläche wird zuerst geschliffen und poliert, um Kratzer, Vorsprünge und Wellen zu entfernen und im großen und ganzen die Oberfläche 32 der Oberfläche des Glases oder der Glas-Keramik 10 anzupassen. Wenn das Grundmetall 24 Aluminium ist, kann die Oberfläche wahlweise auch mit einer Lösung aus ungefähr 50% Salpetersäure behandelt wetden, um Verunreinigungen von dem Aluminium zu entfernen. Die restliche Salpetersäure wird dann mit destilliertem Wasser abgewaschen und die Oberfläche wird hitzegetrocknet. Das Grundmetall wird vorzugsv/eise gemüht bzw. vergütet, bevor das Gold 40 aufgebracht wird. Wahlweise kann das Grundmetall 24 nach dem Vergüten und bevor das Gold 40 aufgebracht wird, gepreßt bzw. gedrückt werden. Dieses Drücken kann dadurch vorgenommen werden, daß die Oberfläche gegen eine flache Oberfläche, wie z.B. die Oberfläche eines flachen Glasstückes gedrückt wird. Das Drücken bzw. Pressen wird vorzugsweise durchgeführt, wenn das Grundmetall 24 Aluminium ist.
Statt das Grundaetall 24 nach dem Vergüten bzw. Glühen zu Drücken, kann es geläppt werden. Bei einem typischen läppmittel werden Teilchen von 1200 um verwandt.
130037/0712
-15- 30A7252
Das Verfahren kann auch verwandt werden, um andere Metalle an einer Glas-oder Glas-Keramik-Oberfläche anzubringen. Jede Oberfläche, die die Goldschicht annimmt, wobei sie entweder in der Form von einer Goldflüssigkeit und anschließendem Brennen oder durch galvanische Abscheidung aufgebracht wird, kann an dem Glas oder der Glan-Keramik befestigt werden, indem das Indium auf dem Gold angeordnet und eine Gold-Indium-Legierung an der Grenzschicht ausgebildet wird, woraufhin die Oberflächen des Glases oder der Glas-Keramik und des Indiums besonders gut gereinigt werden, bevor das Indium auf die Glas-oder Glas-Keramik-Oberfläche gedruckt wird. Das Grundmetall 24- muß ein Metall sein, dessen Schmelzpunkt über dem des Indiums liegt, so daß das Indium mit dem Gold legiert werden kann, ohne das Grundmetall zu beeinträchtigen. Typische andere Metalle, welche als G^undmetall ?LV verwandt werden können, sind Eisen, stahl, Nickel, Tantal oder Niobium.
Zwei typische Glas-Keramik-Materialien, bei denen das Verfahx'en sehr wirkungsvoll eingeseezt werden kann, sind unter der Bezeichnung"Zerodur" oder "Cervit" bekannt.
Obgleich die Erfindung im einzelnen vorhergehend beschrieben worden ist, ist nicht beabsichtigt, daß die Erfindung durch die Beschreibung eingeschränkt werden soll.
130037/0712

Claims (10)

  1. LITTON SYSTEMS, INC.,
    560 North Crescent Drive, Beverly Hills,
    California 90210, USA
    Verfahren zum vakuumdichten Abdichten einer Metalloberfläche mit einer Glasoberfläche oder Glas-Keramik-Oberfläche
    Patentansprüche
    1 * Verfahren zum vakuumdichten Abdichten einer Metalloborfläche mit einer zweiten Oberfläche, dis aus der Glasoberflächen oder Glas-Keramik-Oberflächen umfassenden Gruppe ausgewählt ist, dadurch gekennzeichnet , daß eine Schicht aus Gold an der Metalloberfläche angebracht liird, daß eine Schicht aus Indium auf die Schicht aus Gold aufgebracht wird, daß das Gold und das Indium über den Schmelzpunkt des Indiums erhitzt werden, um eine Gold-Indium-Legierung an der Grenzschicht zwischen dem Gold und dem Indium auszubilden, daß abgekühlt wird und daß das Indium auf die zweite Oberfläche gedruckt wird.
    130037/0712
    ORIGINAL INSPECTED
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet , daß die Schicht" aus Gold mittels Elektroplatierung auf die Metalloberfläche aufgebracht wird.
  3. 3- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Schicht aus Gold in der Form von Gold in einer Flüssigkeit aufgebracht wird und die Flüssigkeit gebrannt bzw. erhitzt xvird, damit die Goldschicht zurückbleibt.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennz eichn e t , daß dia zweite Oberfläche und die Oberfläche der Indiumschicht vor dem Zusammenpressen der beiden Oberflächen besonders gut, vorzugsweise mittels eines Plasmas gereinigt werden.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß die Oberfläche des Metalls der zweiten Oberfläche angepaßt wird, bevor das Gold an dem Metall angebracht wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5i dadurch gekennzeichnet , daß die Oberfläche des Metalls weiter geglättet wird, bevor da-7; Gold an dem Metall angebracht wird.
  7. 7- Verfahren nach Ansv^uch 6, dadurch gekennzeichnet , daß die weitere Glättung die mechanische Entfernung von Kratzern und Unebenheiten umfaßt, die die Metalloberfläche aufweist.
    130037/0712
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet , daß das Grundmetall Aluminium ist und daß nach der. mechanischen Entfernung der Kratzer und Unebenheiten die Aluminiumoberfläche ferner mit einer Salpetersäurelösung geätzt und mit Wasser gewaschen wird.
  9. 9· Verfahren zum vakuumdichten Abdichten einer Aluminiumoberfläche mit einer zweiten Oberfläche, die aus der Glasoder Glas-Keramik-Oberflächen umfassenden Gruppe ausgewählt ist, dadurch gekennzeichnet , daß die Aluminiuraoberfläche der zweiten Oberfläche angepaßt wird, daß mechanisch Kratzer und Vorspränge von der Aluminiumoberfläche entfernt werden, daß die Aluminiumoberfläche mit einer Salpetersäurelösung geätzt wird, daß die Aluminiuraoberf lache mit Wasser gewaschen wird, daß die Aluminiumoberfläche gepreßt bzw. nachgepreßt bzw. geprägt wird, daß eine Schicht aus Gold an der Aluminiumoberfläche angebracht wird, daß eine Schicht aus Indium über die Schicht aus Gold gelegt wird, daß das Gold und das Indium über den Schmelzpunkt des Indiums erwärmt werden, um eine Gold-Indium-Legierung an der Grenzschicht zwisehen dem Gold und dem Indium auszubilden, daß abgekühlt wird und daß dan Indium in bzw. gegen die zweite Oberfläche gedrückt wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß die Metalloberfläche geläjjpt wird, bevor das Gold angebracht wird.
    130037/0712 „,,..,
    BAD ORIGINAL
DE19803047252 1979-12-20 1980-12-16 Verfahren zum vakuumdichten abdichten einer metalloberflaeche mit einer glasoberflaeche oder glas-keramik-oberflaeche Granted DE3047252A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/105,759 US4273282A (en) 1979-12-20 1979-12-20 Glass-or ceramic-to-metal seals

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3047252A1 true DE3047252A1 (de) 1981-09-10
DE3047252C2 DE3047252C2 (de) 1991-02-21

Family

ID=22307630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19803047252 Granted DE3047252A1 (de) 1979-12-20 1980-12-16 Verfahren zum vakuumdichten abdichten einer metalloberflaeche mit einer glasoberflaeche oder glas-keramik-oberflaeche

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4273282A (de)
JP (1) JPS56100155A (de)
CA (1) CA1144761A (de)
DE (1) DE3047252A1 (de)
FR (1) FR2473035B1 (de)
GB (1) GB2065532B (de)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4432660A (en) * 1979-12-20 1984-02-21 Litton Systems, Inc. Glass- or ceramic-to-metal seals
IL70499A (en) * 1982-12-27 1988-06-30 Litton Systems Inc Laser cathode
FR2559474B1 (fr) * 1984-02-15 1988-12-23 Quantel Sa Procede de scellement etanche et etuvable d'objets metalliques sur un corps en materiau vitroceramique
US4716082A (en) * 1986-10-28 1987-12-29 Isotronics, Inc. Duplex glass preforms for hermetic glass-to-metal sealing
EP0267304A1 (de) * 1986-11-10 1988-05-18 LITEF GmbH Verfahren zur Herstellung von Laser-Kathoden
US4892497A (en) * 1987-11-05 1990-01-09 American Laser Corporation Method for assembly of laser mirrors
US4883215A (en) * 1988-12-19 1989-11-28 Duke University Method for bubble-free bonding of silicon wafers
US4962879A (en) * 1988-12-19 1990-10-16 Duke University Method for bubble-free bonding of silicon wafers
DE4017188A1 (de) * 1990-05-29 1991-12-05 Bodenseewerk Geraetetech Gas-ringlaser
US5220404A (en) * 1991-12-16 1993-06-15 Martin Graham J Internal anode system for ring laser gyroscopes
US5234152A (en) * 1992-01-07 1993-08-10 Regents Of The University Of California Transient liquid phase ceramic bonding
US5372298A (en) * 1992-01-07 1994-12-13 The Regents Of The University Of California Transient liquid phase ceramic bonding
US5197653A (en) * 1992-03-27 1993-03-30 Honeywell Inc. Method of sealing two articles together with an indium preform seal
US5522003A (en) * 1993-03-02 1996-05-28 Ward; Robert M. Glass preform with deep radial gradient layer and method of manufacturing same
US5886863A (en) * 1995-05-09 1999-03-23 Kyocera Corporation Wafer support member
ATE294373T1 (de) 1997-09-11 2005-05-15 Honeywell Inc Feststoff-flüssigkeits-interdiffusionsverbindun für ringlaserkreisel
US20050082348A1 (en) * 2003-10-17 2005-04-21 Maier Robert L. Method for bonding glass or metal fluoride optical materials to metal
FR2879396B1 (fr) * 2004-12-15 2012-09-21 Sagem Enceinte a vide pour le ralentissement d'atomes dans un generateur d'atomes lents
CN109183092B (zh) * 2018-09-19 2020-07-14 中国兵器工业第二一三研究所 一种提高电火工品接插性能的表面处理方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB687259A (en) * 1950-11-15 1953-02-11 British Thomson Houston Co Ltd Improvements in and relating to glass-to-metal seals
DE1068819B (de) * 1959-11-12
US3777281A (en) * 1970-08-03 1973-12-04 U Hochuli Seal and method of making same

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1049548A (fr) * 1950-11-15 1953-12-30 Thomson Houston Comp Francaise Scellement verre-métal
US2709147A (en) * 1951-09-12 1955-05-24 Bell Telephone Labor Inc Methods for bonding silica bodies
FR1106938A (fr) * 1953-08-28 1955-12-27 Siemens Ag Soudure entre verre et métal pour tubes de décharge électrique ou analogues
DE1028241B (de) * 1953-12-15 1958-04-17 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer vakuumdichten Verbindung fuer elektrische Entladungsgefaesse od. dgl.
US3798746A (en) * 1972-10-10 1974-03-26 Rca Corp Process of making acousto-optic devices
US4010583A (en) * 1974-05-28 1977-03-08 Engelhard Minerals & Chemicals Corporation Fixed-super-abrasive tool and method of manufacture thereof
DE2742921C2 (de) * 1977-09-23 1985-07-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum mittelbaren Verbinden zweier Teile durch Verschweißung zweier Metallauflagen
US4159075A (en) * 1977-12-02 1979-06-26 The Singer Company Hermetic bonded seal

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1068819B (de) * 1959-11-12
GB687259A (en) * 1950-11-15 1953-02-11 British Thomson Houston Co Ltd Improvements in and relating to glass-to-metal seals
US3777281A (en) * 1970-08-03 1973-12-04 U Hochuli Seal and method of making same

Also Published As

Publication number Publication date
DE3047252C2 (de) 1991-02-21
CA1144761A (en) 1983-04-19
FR2473035A1 (fr) 1981-07-10
JPS56100155A (en) 1981-08-11
FR2473035B1 (fr) 1985-07-26
GB2065532A (en) 1981-07-01
US4273282A (en) 1981-06-16
GB2065532B (en) 1983-02-16
JPS6343331B2 (de) 1988-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3047252A1 (de) Verfahren zum vakuumdichten abdichten einer metalloberflaeche mit einer glasoberflaeche oder glas-keramik-oberflaeche
DE69123631T2 (de) Beschichtung von Stahlkörpern
EP0370211A2 (de) Aluminium-Verbundplatte und daraus hergestellte Targets
DE973445C (de) Verfahren zur Herstellung von mit Selen bedeckten Platten aus Metall fuer Gleichrichter, Fotoelemente u. dgl.
DE2538342C3 (de) Verfahren zum Aufbringen eines hitzebeständigen Überzugs auf eine Metalloberfläche
EP0514661A2 (de) Verfahren zur Erzeugung oxidkeramischer Oberflächenschichten auf siliziumhaltigen Leichtmetall-Gusslegierungen
DE2347147C3 (de) Verfahren zum Oberziehen einer Oberfläche eines metallischen oder metallisierten Körpers mit Kohlenstoff
DD142360A1 (de) Verfahren zur erzeugung alpha-al tief 2 o tief 3-haltiger schichten auf aluminiummetallen
DE1916292B2 (de) Verfahren zum Beschichten von Niob mit Kupfer
DE1063774B (de) Verfahren zum Verbinden eines eine metallische Oberflaeche aufweisenden Gegenstandesmit einem aus glasartigem Werkstoff bestehenden Koerper und danach hergestellter Glasgegenstand
EP0627496A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Metallsubstraten, insbesondere Stahl- oder Aluminiumblechen in Bandform
EP0098858B1 (de) Stromeinführungsleitung, insbesondere für vakuumtechnische geräte und verfahren zu deren herstellung
EP0199132B1 (de) Verfahren zur nasschemischen Herstellung einer Metallschicht
DE895810C (de) Hochbelastbare Anode fuer elektrische Entladungsgefaesse
DE3413142C1 (de) Verfahren zur Herstellung eines supraleitenden Hohlraumresonators
DE3226671A1 (de) Verfahren zur herstellung von schmuckstuecken
DE2128878C3 (de) Wiederverwendbare Verbundkathode aus Metall
DE697427C (de) Vakuumdichte Stromdurchfuehrung durch keramische Koerper, die aus einer duennen Metallschicht besteht
DE619415C (de) Verfahren zur Erzeugung fluorhaltiger Schichten auf Leichtmetallen und deren Legierungen
DE3603029A1 (de) Korrosionsschutzelektrode mit ueberzug aus titanverbindung
DE2261217A1 (de) Verfahren zur herstellung von gasentladungs-anzeige- oder speichervorrichtungen
DE1521075A1 (de) Elektrolytische Vernickelung von Titan
DE312480C (de)
DE1049658B (de)
DE2442742C2 (de) Verfahren zur Herstellung fest haftender metallischer Überzüge auf Titan und Titanlegierungen im Metallspritzverfahren

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition