DE3035025A1 - Depolarisator - Google Patents
DepolarisatorInfo
- Publication number
- DE3035025A1 DE3035025A1 DE19803035025 DE3035025A DE3035025A1 DE 3035025 A1 DE3035025 A1 DE 3035025A1 DE 19803035025 DE19803035025 DE 19803035025 DE 3035025 A DE3035025 A DE 3035025A DE 3035025 A1 DE3035025 A1 DE 3035025A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- anisotropic particles
- depolarizer
- depolarizer according
- refractive index
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
Depolarisator
Der achromatische Depolarisator dient in Polarisationsmikroskopen,
Photometern und anderen optischen Geräten dazu, das von der verwendeten Lichtquelle, den eingebauten Strahlenteilungsoder
Umlenksystemen partiell polarisiertes Licht in natürliches Licht ohne Torzugsschwingungsrichtung und ohne Periodizität des
Schwingungsvorganges umzuwandeln. Damit wird die Voraussetzung
geschaffen, mit solchen Geräten an 'optisch anisotropen Substanzen die reinen Absorptions- bzw. Reflexionsverhältnisse zu untersuchen
und in rationeller Weise quantitativ zu erfassen.
Die Kotwendigkeit zur weitgehenden Depolarisation des in optischen
Geräten zur Beleuchtung der zu untersuchenden Substanzen dienenden Lichtes liegt speziell in. solchen Pällen vor, wo
zur Charakterisierung dieser Substanzen das objektiv gemessene Absorptions- bzw* Reflexionsvermögen verwendet wird. Bei anisotropen
Substanzen sind diese Stoffkennzahlen im allgemeinen richtungsabhängig und variieren zusätzlich mit der Schwingungsform
des einfallenden Lichtes. Zum Messen des linearen bzw. zirkulären-Dichroismus oder der Bireflexion an ortsunveränderliehen
Objekten ist es notwendig, den apparativ bedingten Polarisationszustand des Lichtes aufzuheben, da dieser als systematischer
Fehler in die Messung eingeht. Der Polarisationsgrad der Einrichtung, gekennzeichnet durch
die Größe
1Z/ +I +
muß gegen-KuIl gehen. Dies wird bei bekannten Einrichtungen zum
Beispiel dadurch erreicht, daß dem Objekt, eine Viertelwellenlängenplatte vorgeschaltet und damit zirkulär polarisiertes
Licht erhalten wird, bei dem die azimutabhängige Intensität I hinter dem gegenüber der einfallenden Schwingung gedrehten Polar
stets gleich bleibt. Damit wird auch Iz7 = I und P=O. '
130015/08
Der Kacirfceil einer solchen !einrichtung bestellt darin, daß sie
nur xoonocliromatisch arbeitet, in Extremfall sogar monochromatische
Strahlung sehr geringer Halbwertsbreite benötigt wird
und daß der rotierende Polar nur zwischen Viertelwellenlängenplatten und Objekt, nicht aber hinter diesem angeordnet werden
iiSExl.
j_ane weitere bekannt gewordene Vorrichtung benutzt die Kombination
von je einejii Prisma aus rechtsdrehendem und linksdrehendem
Quarz, die so in ien Strahlengang der-optischen Einrichtung
gebracht wird, daß deren optische Achse mit den optischen Kristallachsen der Quarsprismen zusammenfällt, leben dem wiederum
auftretenden Kachteil der monochromatischen Anwendung ist diese Anordnung auf relativ eng begrenzte Parallelstrahlenbündel beschränkt,
nachteilig ist weiterhin, daß in einem Objektfeld endlicher Dimension der Schwingungszustand des beleuchtenden
Lichtes in Richtung des Keiles für eine gegebene beliebig gelegte Schnittlinie periodisch variiert, senkrecht hierzu jedoch
konstant bleibt .
In einer weiteren bekannt gewordenen Vorrichtung werden zwei elektrooptisch^ Kristalle verwendet, an denen unterschiedliche
Spannungen so angelegt wurden, daß in der einen Platte der Gangunterschied periodisch zwischen 0 und 27Γ, in der anderen zwischen
0 u.nd 4*/Γ variiert und die erzeugte Schwlngungsrichtungen einen
Winkel von 45 miteinander bilden. Variation der Gangunterschiede läuft dabei in einer Zeit ab, die klein ist gegenüber
der ließzeit. lieben dieser Beschränkung hat die genannte aufwendige
Einrichtung wiederum den ITachteil, daß sie nur für monochromatische
und nur für parallelstrahlige Lichtbündel geeignet
ist.
Demgegenüber ist der ebenfalls bekannte, -für größere Spektralbereiche
vorgesehene Lyot-Depolarisator nicht mit monochromatischem
Licht benutzbar. Dieser Depolarisator besteht aus 2 Quarzplatten, die parallel zur optischen Achse geschnitten sind
und deren Achsen einen Winkel von 45° miteinander bilden, die Plattendicken verhalten sich wie 1:2.
x. 130015/08A9
BAD ORIGINAL
~.|.~ 3P35025
Ziel der Erfindung ist es, ein optisches Bauelement anzugeben,
welches partiell oder völlig polarisierte Strahlung in eine solche mit einem Polarisationsgrad von angenähert liull umwandelt,
für das gesamte sichtbare Spektrum sowohl monociiromati-■
scher als auch als polychromatischer Depolarisator eingesetzt
werden kann, die depolarisierende Wirkung auch für Strahlenbündel
endlicher numerischer Apertur aufweist, ohne aufwendige
kristalloptische und elektrische Systeme auskommt Lind die Anordnung
rotierender Polare sowohl vor.als auch hinter dem Untersuchungsobjekt
gestattet.
Die Aufgabe wird erfindungsgeinäß dadurch gelöst, daß mit Hilfe
eines optischen Bauelements der Schwingungszustand des einfallenden
linear oder elliptisch polarisierten Lichtbündais so verändert wird, daß die ursprünglich über den Bündelquerschnitt
gleich orientierte 3chwingungsrichtung in eine endliche Vielzahl
von unterschiedlichen Schwingungsriehtungen umgewandelt wird, wobei diese Richtungen sich über ein Azimut von 180° statistisch
weitgehend homogen verteilen. Hierzu enthält besagtes optisches Bauelement auf die. Bündelapertur in Große ΐιηά Anzahl
abgestimmte anisotrope Partikeln, die so ausgebildet sind, daß sie das in sie eintretende Partialbündel in zwei Teilkomponenten
mit einem Gangunters chi ed von vorzugsweise η. Λ/2 aufspalten, wobei die Hauptschwingungsrichtungen dieser Teilkomponenten
gleichmäßig über einen Winkelbereich von 180° verteilt sind.
Die Partikeln sind in einem Medium eingebettet, dessen Brechzahl dem mittleren Brechungsindex des verwendeten anisotropen
Mediums entspricht, wobei Streueffekte weitgehend unterdrückt werden. Eine besonders vorteilhafte, weil polychromatisch und
bei beliebigen monochromatischen Yiellenlängen einsetzbare Losung
liegt darin, daß der mittlere Brechungsindex des verwendeten anisotropen Mediums die gleiche Dispersion
v =
11F -
besitzen wie das Einbettungsmedium.
BAD ORIGINAL - -
ϊ/ird ein solches optisches Bauelement in der Üintrittspupille
eines Polarisationsmikroskops angeordnet, so wird jeder Punkt im Dingfeld dieses Polarisationsmikroskops mit Lichtwellen unterschiedlicher
Schwingungsrichtung beleuchtet, die in ihrer Gesamtheit dem charakteristischen Schwingungszustand von natürlichem
Licht entsprechen.
Geeignete Ausführungsformen des achromatischen Depolarisator
nach dem genannten Prinzip verwenden als anisotx-ope Partikeln
iiristallkörner, die in einer kristalloptisch vororientierten
Lage zwischen durchsichtigen Trägerplatten in einer Flüssigkeit oder einem aushärtenden Kitt eingebettet oder in einer
plastisch unter Druck verformbaren durchsichtigen Substanz eingepreßt oder in einem Glaskörper eingeschmolzen sind. In
einer weiteren Ausführungsform werden die anisotropen Partikeln
durch ein Kristallaggregat mit sphärolithischer Struktur gebildet, wobei die Sphärolithen sowohl aus anorganischen
kristallen als auch aus organischen Hochplymeren bestehen können,
üine Abart dieser Ausführungsform bildet ein sphärolithischer Einkristall von solcher Größe, daß er die Pläche der
durchsichtigen Trägerplatten bedeckt.
Lie -Drfindung wird anhand der Zeichnung erläutert.
^s stellen dar:
Pig. 1 ein optisches Bauelement mit Eristallkörnern als anisotrope
Partikeln,
Pig. 2 ein optisches Bauelement mit einem Kristallaggregat mit sphärolithischer Struktur.
In jj'ig. 1 sind zwischen Glasplatten 1 und 2 liristallkörner 35
deren optische Achsen 4 zwischen O und 180 in der Ebene des Depolarisators orientiert sind, in einem optisch isotropen
Medium 5 eingebettet.
In Pig, 2 befindet sich zwischen Glasplatten 6 und 7 eine
Schicht 8, die aus Partikeln mit sphärolithischer Struktur 9 besteht und deren Struktur elemente 1.0 radial angeordnet sind.
3505
130015/0849
BAD ORIGINAL
Claims (1)
- Pa tentanspruch:1. Depolarisator zur Aufhebung des Polarisatxonszustandes monochromatischer oder polyehromatischer Lichtstrahlung, dadurch oekennseichnet, daß das optische Bauelement aus einer Yielzahl unterschiedlich orientierter anisotroper Partikeln(3) besteht, deren Schwingungsrichtungen sich nahezu gleichmäßig über ein Azimut von 180 verteilen.2. Depolarisator nach Anspruch T, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke und die Doppelbrechung des S'inzelkorns so gewählt ist, daß das Produkt n. 7t/2 beträgt.3· Depolarisator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als anisotrope Partikeln Kristallkörner vorzugsweise mit kristalloptischer Vororientierung ein einer optisch wirksamen Sinbettung (5) verwendet werden.4-Depolarisator nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß der Brechungsindex des optisch wirksamen Einbettmittels gleich dem mittleren Brechungsindex der anisotropen Partikeln ist.5· Depolarisator nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Dispersion des mittleren Brechungsindex der anisotropen Partikeln und des Binbettmittels charakterisiert, durch die Abbe'sehe Zahl y", gleich sind oder innerhalb einer Toleranzbreite von -1.0 liegen.6. Depolarisator nach Anspruch 5> dadurch gekennzeichnet-, daß die anisotropen Partikeln in einen Glaskörper eingeschmolzen sind.7. Depolarisator nach Anspruch 2., dadurch gekennzeichnet, daß als anisotrope Partikeln anorganische oder organische Kristalle mit sphärolithischer Struktur (9) eingesetzt: werden.8. Depolarisator nach Anspruch 1 und 7,dadurch gekennzeichnet, daß als anisotrope Partikeln Strukturelemente eines sphärolithischen Einkristalls verwendet werden.20.6.80 3505130015/0849BAD ORIGINAL
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD21581179A DD146347A1 (de) | 1979-09-26 | 1979-09-26 | Depolarisator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3035025A1 true DE3035025A1 (de) | 1981-04-09 |
Family
ID=5520294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803035025 Withdrawn DE3035025A1 (de) | 1979-09-26 | 1980-09-17 | Depolarisator |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
DD (1) | DD146347A1 (de) |
DE (1) | DE3035025A1 (de) |
GB (1) | GB2088078A (de) |
SU (1) | SU1083146A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0208011A1 (de) * | 1985-07-10 | 1987-01-14 | Hewlett-Packard GmbH | Lichtkoppelvorrichtung für die optische Reflektometrie |
DE10124803A1 (de) * | 2001-05-22 | 2002-11-28 | Zeiss Carl | Polarisator und Mikrolithographie-Projektionsanlage mit Polarisator |
US7053988B2 (en) | 2001-05-22 | 2006-05-30 | Carl Zeiss Smt Ag. | Optically polarizing retardation arrangement, and microlithography projection exposure machine |
EP1959302A2 (de) | 2007-02-14 | 2008-08-20 | Carl Zeiss SMT AG | Verfahren zur Herstellung eines diffraktiven optischen Elements sowie nach einem derartigen Verfahren hergestelltes diffraktives optisches Element |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3515020A1 (de) * | 1984-04-28 | 1985-11-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba, Kawasaki, Kanagawa | Ortsfrequenzfilter |
JP2572537B2 (ja) * | 1993-02-10 | 1997-01-16 | スタンレー電気株式会社 | 液晶表示装置とその製造方法 |
GB2384865A (en) * | 2002-02-02 | 2003-08-06 | Holographic Imaging Llc | Depolariser with random orientated regions of polarisation state modulating material |
TWI386722B (zh) | 2008-10-24 | 2013-02-21 | Taiwan Tft Lcd Ass | 光學片、顯示裝置及其製作方法 |
GB2527783A (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-06 | Univ Leiden | A broadband linear polarization scrambler |
-
1979
- 1979-09-26 DD DD21581179A patent/DD146347A1/de not_active IP Right Cessation
-
1980
- 1980-09-17 DE DE19803035025 patent/DE3035025A1/de not_active Withdrawn
- 1980-09-22 SU SU807771390A patent/SU1083146A1/ru active
- 1980-09-24 GB GB8030779A patent/GB2088078A/en not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0208011A1 (de) * | 1985-07-10 | 1987-01-14 | Hewlett-Packard GmbH | Lichtkoppelvorrichtung für die optische Reflektometrie |
US4746184A (en) * | 1985-07-10 | 1988-05-24 | Hewlett-Packard Company | Light coupler for optical reflectometry |
DE10124803A1 (de) * | 2001-05-22 | 2002-11-28 | Zeiss Carl | Polarisator und Mikrolithographie-Projektionsanlage mit Polarisator |
US6856379B2 (en) | 2001-05-22 | 2005-02-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Polarizer and microlithography projection system with a polarizer |
US7053988B2 (en) | 2001-05-22 | 2006-05-30 | Carl Zeiss Smt Ag. | Optically polarizing retardation arrangement, and microlithography projection exposure machine |
US7411656B2 (en) | 2001-05-22 | 2008-08-12 | Carl Zeiss Smt Ag | Optically polarizing retardation arrangement, and a microlithography projection exposure machine |
EP1959302A2 (de) | 2007-02-14 | 2008-08-20 | Carl Zeiss SMT AG | Verfahren zur Herstellung eines diffraktiven optischen Elements sowie nach einem derartigen Verfahren hergestelltes diffraktives optisches Element |
DE102007007907A1 (de) * | 2007-02-14 | 2008-08-21 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Herstellung eines diffraktiven optischen Elements, nach einem derartigen Verfahren hergestelltes diffraktives optisches Element, Beleuchtungsoptik mit einem derartigen diffratkiven optischen Element, Mikrolithografie-Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Beleuchtungsoptik, Verfahren zum Herstellen eines mikroelektronischen Bauelements unter Verwendung einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie mit einem solchen Verfahren hergestelltes Bauelement |
DE102007007907A8 (de) * | 2007-02-14 | 2008-12-18 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Herstellung eines diffraktiven optischen Elements, nach einem derartigen Verfahren hergestelltes diffraktives optisches Element, Beleuchtungsoptik mit einem derartigen diffraktiven optischen Element, Mikrolithografie-Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Beleuchtungsoptik, Verfahren zum Herstellen eines mikroelektronischen Bauelements unter Verwendung einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie mit einem solchen Verfahren hergestelltes Bauelement |
US8259392B2 (en) | 2007-02-14 | 2012-09-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method of producing a diffractive optical element and diffractive optical element produced by such a method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2088078A (en) | 1982-06-03 |
DD146347A1 (de) | 1981-02-04 |
SU1083146A1 (ru) | 1984-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19539004C2 (de) | Polarisationsabhängigkeit eliminierende Spektrummeßvorrichtung | |
DE60026885T2 (de) | SPANNUNGSDOPPELBRECHUNGSPLATTE AUS CALCIUMFLUORID (CaF2) SOWIE ZUGEHÖRIGES HERSTELLUNGSVERFAHREN | |
EP0316619A1 (de) | Faseroptischer Sensor | |
DE112014002748T5 (de) | Spektral kodiertes Hoch-Extinktions-Polarisationsmikroskop | |
DE1798143A1 (de) | Verfahren zur optischen Ellipsometric von Materialproben | |
DE4306050A1 (en) | Measuring double refraction to measure foil thickness - by applying phase plate to sample, measuring intensity of light momentarily passing through, etc. | |
DE3035025A1 (de) | Depolarisator | |
EP2279397A1 (de) | Vorrichtung zurortsaufgelösten temperaturmessung | |
DE1472207A1 (de) | Registriergeraet zur Messung des zirkularen Dichroismus | |
DE4105192A1 (de) | Polarimetrisches verfahren und vorrichtung zur bestimmung von eigenschaften von materialoberflaechen und transparenten materialien sowie zur winkelmessung | |
DE2449502A1 (de) | Geraet zum messen der rueckstrahlung eines probestueckes | |
DE2338305C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der linearen Doppelbrechung eines Materials | |
DE2621940A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum messen der anisotropie der reflexionsfaehigkeit | |
DE2122940A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Spektralanalyse | |
EP1002221A1 (de) | Mikropolarimeter | |
DE3906119C2 (de) | Anordnung zum Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede | |
DE3929713C2 (de) | Verfahren zur Messung eines optischen Gangunterschiedes an anisotropen transparenten Objekten | |
EP0736171A1 (de) | Schnelles spektroskopisches ellipsometer | |
DE2003975A1 (de) | Vorrichtung zur Umwandlung linear polarisierter Strahlung mit einer beliebigen Polarisationsebene in linear polarisierte Strahlung,bei der sich die Lage der Polarisationsebene als Funktion der Zeit linear aendert | |
DE102021207184A1 (de) | Optische Baugruppe zur interferometrischen Vermessung | |
DE102007054283A1 (de) | Anordnung zur Aufteilung von Strahlenbündeln für ein Interferometer zur Bildgebung an stark streuenden Proben geringer Reflexion | |
DE4139641A1 (de) | Lichtmessanordnung zur messung der winkelabhaengigen lichtverteilung im raum | |
DE1295239B (de) | Spannungsoptische Messeinrichtung | |
DE102022101676A1 (de) | Messung eines Magnetfeldes | |
AT260574B (de) | Vorrichtung zur Messung des zirkularen Dichroismus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |