DE4139641A1 - Lichtmessanordnung zur messung der winkelabhaengigen lichtverteilung im raum - Google Patents

Lichtmessanordnung zur messung der winkelabhaengigen lichtverteilung im raum

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Description

Die Erfindung betrifft eine Lichtmeßanordnung zur Messung der winkelabhängige Lichtverteilung im Raum gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Nach dem derzeitigen technischen Entwicklungsstand werden winkelabhängigen Lichtverteilungen im Raum für wissenschaftlich­ technische Ansprüche mit rechnergesteuerten Präzisionsgoniofoto­ metern gemessen (Feingerätetechnik, Berlin 40(1991) 2; CASI Scatterometer. Firmenschrift TMA; Laser Scatterometer 10020. Firmenschrift Huber). Diese Einrichtungen sind relativ kosten­ intensiv (≈350TDM). Ein weiterer wesentlicher Nachteil dieser Geräte besteht darin, daß die winkelabhängige Lichtverteilung durch eine motorisierte Scanbewegung eines Goniometerarmes sequentiell aufgezeichnet wird. Dies bedingt eine Meßzeit von mehreren Minuten bis zu Stunden für einen Punkt des Unter­ suchungsobjektes.
Um die Meßzeit erheblich zu verkürzen, ist eine Parallelanord­ nung von Empfängern in Form von Arrays notwendig. Wegen der notwendigen Miniaturisierung und um die Kosten in Grenzen zu halten, werden hierfür Arrays aus Halbleiterempfängern einge­ setzt. Bedingt durch die Herstellung aus monolithischen Wafer­ scheiben, werden diese Arrays industriell so gefertigt, daß die Empfänger stets in einer Ebene liegen. Deshalb kann mit diesen Arrays die winkelabhängige Lichtverteilung nicht unmittelbar erfaßt werden.
Eine Lösungsmöglichkeit besteht in einer Sonderanfertigung eines gekrümmten Arrays aus Einzelempfängern mit Hilfe der Hybridtech­ nologie (DD 25 92 245). Durch die manuelle Herstellung ist dabei die Anzahl der Empfänger und somit der erfaßte Winkelbereich und/oder die Winkelabstützung erheblich eingeschränkt. Ein derartiges Bauelement ist ebenfalls recht kostenintensiv und erreicht bei weitem nicht die technischen Parameter von Goniome­ tern. Besonders kompliziert gestalten würde sich die hybride Herstellung eines in der Patentschrift (P 41 05 509.8) vorgestellten Arrays, welches eine nichtlineare Winkelabstützung mit nach der 1/cos-Funktion größer werdenden Winkelabständen vorschlägt.
Sollen industriell monolithisch hergestellte Arrays zum Einsatz kommen, ist es notwendig, die winkelabhängige Lichtverteilung mit Hilfe geeigneter Bauelemente in ein ebene, laterale Vertei­ lung zu transformieren. Eine Variante dazu ist der Einsatz eines fokussierenden Bauelementes, speziell einer Linse, wie es bei­ spielsweise von Rauheitssensoren bekannt ist. Der erfaßte Win­ kelbereich ist hier stark eingeschränkt (≈10°), weiterhin werden für größere Winkel gleiche Winkelabstände in zunehmend kleinere Linearabstände transformiert.
Um größere Winkelbereiche zu erfassen, wird das Licht mit Hilfe von halbkreisförmig angeordneten Lichtleitfasern auf die Arrays geleitet (DD 2 52 236 A1; US 47 10 642; EP 03 83 244 A1; EP 01 41 369 A2).
Die Herstellung einer derartigen Anordnung ist mit anspruchsvoller manueller Arbeit verbunden und sehr aufwendig. Die Reproduzierbarkeit der Herstellungsqualität gestaltet sich problematisch. Ebenso kann nicht garantiert werden, daß die einzelnen Fasern gleiche Lichtleiteigenschaften besitzen, was zum einen durch die Exemplarstreuung bedingt ist, andererseits dadurch resultiert, daß die einzelnen Fasern verschiedene, nicht genau determinierbare Krümmungen aufweisen, welche außerdem aufgrund der Flexibilität auch innerhalb eines Gerätes nicht zeitlich konstant gehalten werden können. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß die einzelnen Fasern leicht brechen können, was zu zunehmendem Leistungsverlust führt. Dagegen wird durch Einsatz von CCD-Arrays in (The Journal of Physical Chemistry, 1988, 92, 6723) eine für Streulichtmessungen relativ hohe Abtastrate von 30 ms für das gesamte Array bei gleichzeitig für den Einsatzfall hinreichender Winkelabstützung von 1° erreicht, wobei jedoch keine Abtastung des Halbraumes, sondern eine lineare Abtastung erfolgt, was zu einer wesentlichen Verringerung der Meßgenauigkeit führt.
Die Erfindung soll die Nachteile bekannter Anordnungen zur Messung der winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum (lange Meßdauer, geringe Meßgenauigkeit, hoher Platzbedarf) bei gleichzeitig geringerem Kostenaufwand beseitigen.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die integriert-optische Baugruppe ein ebenes Array von Lichtwellenleitern darstellt, deren Eintrittsöffnungen bogenförmig, zumindest teilweise um das Meßobjekt und deren Austrittsöffnungen in der Ebene der Halbleiterfotoempfänger angeordnet sind.
Zur räumlichen Transformation der winkelabhängigen Lichtverteilung des Halbraumes in eine laterale Verteilung kommen Lichtwellenleiterstrukturen in Form eines oder mehrerer integriert optischer Bauelemente zum Einsatz. Die Lichtwellenleiter sind hierzu an ihren Eintrittsöffnungen auf dem Trägersubstrat radial kreisförmig mit dem Radius r bzw. elliptisch angeordnet und bilden mit ihren Austrittsöffnungen mindestens eine Ebene. Dadurch entsteht mindestens eine laterale Verteilung, die sich leicht mit zeilenförmigen Empfängerarrays (Photodiodenarrays, CCD-Zeilen) bzw. mit großflächigen Empfängern (SEV, Vollflächendioden), denen eine verschiebliche Blende vorgeschaltet ist, abtasten läßt.
Diese Lösung vereint die Vorteile der Lösungen mit linearen Halbleiterbildsensoren (geringe Abmessungen, einfache Signalverarbeitung, großer Dynamikbereich der eingesetzten Sensoren) mit den Vorteilen bei der Verwendung von Lichtleitfasern (direkte Abtastung der Lichtverteilung des Halbraumes). Gleichzeitig werden die Nachteile der herkömmlichen Lösungen umgangen: Durch die starre Anordnung der Lichtwellenleiter auf dem integriert optischen Bauelement werden die Nachteile der flexiblen Lichtwellenleiter umgangen, andererseits tritt kein Genauigkeitsverlust durch die ebene Abtastung mittels der Zeilensensoren auf. Gegenüber den Präzisionsgoniometern wird eine erhebliche Kostenreduzierung und Miniaturisierung bei fast gleichen Genauigkeitsparametern erzielt.
Die Erfindung wird zur Messung einer winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum verwendet. Winkelabhängige Lichtverteilungen treten insbesondere bei diffraktiv wirkenden Körpern bzw. Grenzflächen auf (Gitterstrukturen, diffraktive Elemente) und diffus streuenden Medien auf. Im weitesten Sinne kann ebenfalls die Streuwirkung an Grenzflächen als eine Beugungserscheinung verstanden werden.
Neben der grundsätzlichen Lösung sind weitere Details zur Erzielung bestimmter Effekte bzw. zur Verbesserung der Leistungsparameter Gegenstand der Erfindung. Diese sollen im folgenden erläutert werden.
Zur Empfindlichkeitsanpassung an unterschiedliche Streulichtintensitäten und -verteilungen werden verschiedene Maßnahmen der Empfängergestaltung sowie der Dämpfung des Lichtes im Strahlengang getroffen. Im Strahlengang des einfallenden Lichtes wird mindestens ein Dämpfungsglied zur Empfindlichkeitsanpassung angeordnet.
Daneben weisen die Lichtwellenleiter der integriert-optischen Baugruppe fest einstellbare Dämpfungseigenschaften zur Empfindlichkeitsanpassung auf.
Weitere Maßnahmen zur Empfindlichkeitsanpassung bestehen darin, daß die Lichtwellenleiter der integriert-optischen Baugruppe unterschiedliche Breiten und Tiefen sowie unterschiedliche spektrale Transmissionen aufweisen. Außerdem weisen die Empfänger der einzelnen Winkelbereiche eine unterschiedliche Empfindlichkeit, auch in verschiedenen Spektralbereichen, auf. Eine Empfindlichkeitsanpassung hat den wesentlichen Vorteil, daß ein breites Materialspektrum mit starken Unterschieden der Streulichtverteilungen untersucht werden kann. Durch die Empfindlichkeitsanpassung lassen sich die Unterschiede der Streulichtverteilungen z. T. kompensieren.
Zur Verbesserung der Signalqualität des Lichtes werden polarisationswirksame Maßnahmen getroffen. Dazu wird im Beleuchtungsstrahlengang mindestens ein polarisationsoptisches Bauelement zur Festlegung des Polarisationszustandes des Beleuchtungsbündels angeordnet. Durch der integriert-optischen Baugruppe vor- oder nachgeschaltete polarisationsoptische Bau­ elemente wird die empfangene Polarisation eingestellt. Weiterhin weisen die Lichtwellenleiter der integriert-optischen Baugruppe polarisationsoptische Eigenschaften auf.
Das integriert optische Bauelement besteht aus mehreren Stücken. Dies führt zu einer erheblichen Kostenreduzierung, da die Herstellung größerer integriert optischer Bauelemente sehr kostenintensiv ist.
Die Signale der Einzelempfänger aus entsprechenden Winkelbe­ reichen werden elektronisch (additiv) mit Hilfe einer Auswerteeinheit zusammengefaßt. Diese Zusammenfassung ist elektronisch steuerbar. Eine solche Datenvorverarbeitung bietet den Vorteil der Rechenzeiteinsparung bei einer weiteren Verarbeitung der aus den Signalen gewonnenen Daten im Computer.
Meßobjekt und Lichtmeßanordnung sind in verschiedenen Koordinaten und um verschiedene Achsen gegeneinander linear oder rotatorisch beweglich angeordnet. Durch eine Kippung der Materialprobe um die x- oder y-Achse läßt sich der Einfluß unterschiedlicher Einfallswinkel auf das Streulicht untersuchen. Eine Bewegung der Probe in x- und y-Richtung ermöglicht die Untersuchung verschiedener Punkte der Oberfläche. Die Sensorbaugruppe ist drehbar um eine Achse senkrecht zur Probenoberfläche (z-Achse) angeordnet. Dies bietet den Vorteil, daß nicht nur ein Schnitt des Halbraumes, sondern ein größerer Bereiches des Halbraumes bzw. der gesamte Halbraum abgetastet werden kann. Es gestattet zusätzlich die Untersuchung der Isotropieeigenschaften der Probenoberfläche.
Es werden mehrere integriert optische Bauelemente mit entsprechend zugeordneten Empfängern räumlich, radial auf den Quellpunkt der Lichtverteilung gerichtet, angeordnet. Die Anordnung erfolgt so, daß die Eintrittsöffnungen der Lichtwellenleiter der integriert-optischen Baugruppen zusammen eine Kugeloberfläche bzw. den Teil einer Kugeloberfläche bilden.
Dies gestattet ebenfalls die Abtastung eines größeren Bereiches des Halbraumes bzw. des gesamten Halbraumes.
Die Erfindung soll anhand von drei Ausführungsbeispielen erläutert werden.
Es zeigen
Fig. 1 Lichtmeßanordnung zur Messung der winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum.
Fig. 2 Integriert-optische Baugruppe
Fig. 3 Lichtmeßanordnung zur Messung der winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum mit SEV
Fig. 4 Lichtmeßanordnung zur Messung der winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum durch räumliche Anordnung mehrerer integriert-optischer Baugruppen.
Ausführungsbeispiel 1
Die Erfindung soll im folgenden anhand der Ausführung eines Sensors zur winkelaufgelösten Streulichtmessung gezeigt werden.
Fig. 1 zeigt die Lichtmeßanordnung zur Messung der winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum.
Zur Lichterzeugung dient eine starke Laserlichtquelle La. Der Laserstrahl wird mit bekannten strahlformenden optischen Systemen Os aufgeweitet und danach auf die zu untersuchende Probenoberfläche Pr transformiert und u. U. auch fokussiert. Für polarisationsoptische Untersuchungen befindet sich ein Polarisator Po im Beleuchtungsstrahlengang. Die Anordnung von Dämpfungsgliedern Dä im Beleuchtungsstrahlengang dient der Empfindlichkeitsanpassung des Gesamtsystems an das auftretende Streulicht.
Das zu untersuchende Objekt Ob befindet sich auf einem Objektträger Ot, der verschiedene Bewegungen ermöglicht, z. B. eine Kippung um die x- und/ oder y-Achse, eine x-y-Translation sowie eine Drehung um die optische Achse. Die Translationsbewegungen und die Drehbewegung um die optische Achse ermöglichen die Untersuchung verschiedener Punkte der Oberfläche bezüglich der Oberflächenbeschaffenheit. Kippung und Drehung dienen der Untersuchung des Einflusses des Einfallswinkels auf das Streulicht bzw. der Untersuchung von Anisotropien der Oberflächenbeschaffenheit.
Kernstück der Anordnung ist die Sensorgruppe. Sie besteht aus dem Träger der Gesamtgruppe SeTr, einer integriert-optischen Baugruppe IoBg, als Analysatoren fungierenden polarisationsoptischen Bauelementen sowie Dämpfungsgliedern. Die integriert-optische Baugruppe IoBg (Fig. 2) besteht aus vorzugsweise aus drei Segmenten I, II und III, die drei Streuwinkelbereichen zugeordnet sind. Die Streuwinkelbereiche sind durch die Winkel ßl und ß2 bestimmt (siehe Fig. 2). Es wird insgesamt ein Streuwinkel von 0 Φ 90° erfaßt.
Diese integriert-optische Baugruppe IoBg wird entweder aus einem Stück gefertigt oder die drei Segmente werden einzeln gefertigt und anschließend miteinander verbunden (z. B. gekittet). Der allen Segmenten gemeinsame innere Radius (Abstand zum Streuzentrum) beträgt r. Für den Radius ist eine Größe von r = 1 . . . 2cm vorgesehen. Die Basislänge 1 beträgt ca. 3 . . . 5 cm. Im Segment I wird das Streuspektrum mit einer Winkelauflösung von ca 0,2° abgetastet. Entsprechend enthält das Segment I eine Anzahl von n1 Lichtwellenleitern, die am Wellenleiterausgang einen äquidistanten Abstand besitzen.
Im Segment II wird das Streuspektrum mit einer Winkelauflösung von ca. 0,5 abgetastet. Die entsprechenden n2 Lichtwellenleiter weisen am Wellenleiterausgang ebenfalls einen äquidistanten Abstand auf.
Im Segment III wird das Streuspektrum mit einer Winkelauflösung von ca 1 abgetastet. Auch hier weisen die zugehörigen n3 Lichtwellenleiter am Ausgang einen äquidistanten Abstand auf.
Zur Wandlung der optischen Strahlung in elektrische Signale an den Austrittsöffnungen der Lichtwellenleiter sind an den drei Segmenten Fotoempfänger Em angeordnet. Geeignet hierfür sind lineare Fotoempfängerarrays (CCD-Zeilen, Fotodiodenzeilen), welche durch ihre Empfängergeometrie eine direkte Abtastung der aus den Lichtwellenleitern austretenden optischen Signale gestatten. Bei den linearen Fotoempfängerarrays nehmen CCD- Zeilen aufgrund ihrer leichten Ansteuerbarkeit und ihrer hohen Signalqualität eine herausragende Stellung ein.
Für das Ausführungsbeispiel sind drei CCD-Zeilen (je Segment der integrierten Optik eine Zeile) konzipiert. Durch die Wahl von Bauelementen mit unterschiedlichen Empfindlichkeiten und geome­ trischen Abmessungen werden unterschiedliche Verhältnisse bei der Bestrahlungsstärke am Ausgang der integrierten Optik be­ rücksichtigt.
Das Einbringen von miniaturisierten, passiven Dämpfungsgliedern in einen Teil der Ein/Austrittsöffnungen der Lichtwellenleiter ergänzt die winkelabhängige Empfindlichkeitsanpassung. Diesem Ziel dient ebenfalls eine partielle Verspiegelung eines Teils der Ein/Austrittsöffnungen der Wellenleiter.
Ausführungsbeispiel 2
Fig. 3 zeigt eine Lichtmeßanordnung zur Messung der winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum mit SEV. Sie unterscheidet sich von der im Ausführungsbeispiel 1 vorgestellten Anordnung dadurch, daß anstelle eines zeilenförmigen Empfängerarrays Em ein großflächiger Empfänger (SEV, Vollflächendiode) mit einer davor angeordneten verschieblichen Blende B1 zum Einsatz kommt.
Durch systematisches Verschieben der Blende werden die aus den Austrittsöffnungen der Lichtwellenleiter austretenden Lichtsignale nacheinander abgetastet. Die Verwendung eines SEV bietet sich aufgrund seiner im Vergleich zu CCD-Zeilen wesentlich höheren Empfindlichkeit insbesondere für die Detektion der sehr schwachen Streulichtsignale des Segmentes III der integriert-optischen Baugruppe an. Gegenstand der Erfindung ist jedoch daneben auch die Verwendung mehrerer großflächiger Emfänger bzw. auschließlich großflächiger Empfänger mit davor angeordneten verschieblichen Blenden anstelle der zeilenförmigen Arrays (in der Fig. 3 nicht mit dargestellt).
Ausführungsbeispiel 3
Fig. 4 zeigt eine Lichtmeßanordnung zur Messung der winkelabhängigen Lichtverteilung im Raum durch räumliche Anordnung mehrerer integriert-optischer Baugruppen. Sie unterscheidet sich von den im Ausführungsbeispiel 1 und Ausführungsbeispiel 2 vorgestellten Anordnungen dadurch, daß anstelle einer integriert-optischen Baugruppe IoBg mehrere integriert-optische Baugruppen IoBg nach Ausführungsbeispiel 1 mit entsprechend zugeordneten Empfängern Em nach Ausführungs­ beispiel 1 oder 2 (Zeilenförmige Halbleiterfotoempfänger, Vollflächendioden, SEV) zum Einsatz kommen.
Die integriert-optischen Baugruppen IoBg werden mit ihren Eintrittsöffnungen radial auf den Quellpunkt der Lichtverteilung gerichtet, angeordnet. Die Eintrittsöffnungen der Lichtwellenleiter der integriert-optischen Baugruppen IoBg bilden dann zusammen eine Kugeloberfläche bzw. den Teil einer Kugeloberfläche.
Dies gestattet die Abtastung eines größeren Bereiches des Halbraumes bzw. des gesamten Halbraumes.
Bezugszeichen
La - Laserlichtquelle
Os - Optisches System
Pr - Probenoberfläche
Po - Polarisator
Dä - Dämpfungsglied
Ob - Untersuchungsobjekt
Ot - Objektträger
Setr - Träger der Sensorbaugruppe
IoBg - Integriert-optische Baugruppe
I; II; III - Segmente
Φ - Streuwinkelbereich
r - innerer Radius
l - Basislänge
n₁ - Anzahl der Lichtwellenleiter des Segmentes I
n₂ - Anzahl der Lichtwellenleiter des Segmentes II
n₃ - Anzahl der Lichtwellenleiter des Segmentes III
Em - Fotoempfänger

Claims (20)

1. Lichtmeßanordung zur Messung der winkelabhängigen Lichtver­ teilung im Raum - beispielsweise Beugungs-, Dispersions- und Streuspektren - bestehend aus einer Lichtquelle (La), einem strahlformenden optischen System (Os), Meßobjekthalter und Meßobjekt (Ob), einem Träger der Sensorbaugruppe (Setr) mit einer integriert-optischen Baugruppe (IoBg) sowie mindestens einem Halbleiterfotoempfänger (Em) oder mindestens einem Halbleiterfotoempfängerarray, welches mit elektronischen Auswerteeinheiten (AE) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die integriert-optische Baugruppe (IoBg) ein ebenes Array von Lichtwellenleitern darstellt, deren Eintrittsöffnungen bogenförmig, zumindest teilweise um das Meßobjekt (Ob) und deren Austrittsöffnungen in der Ebene der Halbleiterfotoempfänger (Em) angeordnet sind.
2. Lichtmeßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eintrittsöffnungen der Lichtwellenleiter radial kreisförmig mit dem Radius r angeordnet sind.
3. Lichtmeßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eintrittsöffnungen der Lichtwellenleiter elliptisch angeordnet sind.
4. Lichtmeßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnungen der Lichtwellenleiter mindestens eine Ebene bilden und an die Empfängerstruktur (Pixelrasterung) angepaßt sind.
5. Lichtmeßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle mindestens eines Halbleiterfotoempfängers (Em) mindestens ein mit einer verschieblichen Vorblende (Bl) versehener großflächiger Fotompfänger, z. B. SEV, Vollflächendiode, angeordnet ist.
6. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlengang des einfallenden Lichtes mindestens ein Dämpfungsglied (Dä) befindet.
7. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1, 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtwellenleiter (LWL) der integriert­ optischen Baugruppe (IoBg) insbesondere durch Dotierung erzeugte, fest eingestellte Eigenschaften zur Empfindlichkeitsanpassung aufweisen.
8. Lichtmeßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Lichtwellenleiter (LWL) der integriert­ optischen Baugruppe (IoBg) unterschiedliche Breiten und Tiefen aufweist.
9. Lichtmeßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtwellenleiter (LWL) der integriert-optischen Baugruppe (IoBg) unterschiedliche spektrale Transmissionen besitzen.
10. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Fotoempfänger (Em) bzw. die Fotoempfängerarrays unterschiedliche Lichtempfindlichkeiten aufweisen.
11. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß im Beleuchtungsstrahlengang mindestens ein polarisationsoptisches Bauelement (Po) angeordnet ist.
12. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der integriert-optischen Baugruppe (IoBg) weitere polarisationsoptische Bauelemente vor- und/oder nachgeschaltet sind.
13. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtwellenleiter (LWL) der integriert­ optischen Baugruppe (IoBg) feste oder steuerbare polarisationsoptische Eigenschaften aufweisen.
14. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die integriert-optische Baugruppe (IoBg) vorzugsweise aus drei Stücken besteht.
15. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Signale der Einzelempfänger (Em) aus verschiedenen Winkelbereichen mittels der Auswerteeinheit (Ae) elektronisch (additiv) zusammengefaßt werden, diese Zusammenfassung elektronisch steuerbar ist und durch einen Computer (Co) auswertbar ist.
16. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Probe (Pr) um die x- und/oder y- Achse kippen läßt.
17. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Probe (Pr) in x- und y-Richtung Verschieben läßt.
18. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorbaugruppe drehbar um eine Achse (z-Achse) senkrecht zur Probenoberfläche (Pr) angeordnet ist.
19. Lichtmeßanordnung nach den Ansprüchen 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere integriert-optische Baugruppen (IoBg) mit jeweils entsprechend zugeordneten Empfängern (Em) räumlich um das Meßobjekt (Ob) herum angeordnet sind.
20. Lichtmeßanordnung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die intergriert-optischen Baugruppen (IoBg) radial auf den Quellpunkt der Lichtverteilung (Qp) gerichtet angeordnet sind, wobei die Eintrittsöffnungen der Lichtwellenleiter der integriert-optischen Baugruppen (IoBg) zusammen die Innenseite einer Kugeloberfläche bzw. den Teil der Innenseite einer Kugeloberfläche bilden.
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