DE4015893A1 - Vorrichtung zur beruehrungslosen und zerstoerungsfreien untersuchung der inneren und/oder aeusseren struktur absorptionsfaehiger prueflinge - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Untersu­ chung der inneren und/oder äußeren Struktur absorpti­ onsfähiger Prüflinge mit einer Strahlungsquelle, mit der ein gebündelter, modulierter, den Prüfling abta­ stender Anregungsstrahl erzeugbar ist, mit dem eine örtlich induzierte Temperaturmodulation an der Oberflä­ che des Prüflings erzeugbar ist, mit einem Strahltei­ lerelement im Anregungsstrahl, mit dem der Anregungs­ strahl zur Überwachung der Strahlintensität teilweise ausblendbar ist und mit dem ein vom Prüfling zurück­ reflektierter, vom Anregungsstrahl herrührender Licht­ strahl zur Überwachung des Meßpunktes auf einen Ortsde­ tektor abbildbar ist.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der DE-OS 30 34 944 bekannt, bei der zur Überwachung des Meßpunktes auf der Oberfläche des Prüflings im Anregungsstrahl ein Strahl­ teiler und im abgelenkten Teilstrahl ein Fernrohr vorgesehen sind. Damit ist es einem menschlichen Be­ nutzer möglich, über das Fernrohr den mit dem Licht­ strahl beaufschlagten Punkt des Prüflings zu über­ wachen. Die derart optisch erfaßte Information schafft die Möglichkeit, die aus der Rückseite des Prüflings heraustretende und über einen fokussierenden Spiegel auf einen Detektor geleitete Wärmeabstrahlung einem bestimmten Punkt des Prüflings zuzuordnen. Es ist nicht möglich, aus der erfaßten Strahlungsinformation darauf zu schließen, ob eventuell erfaßte Defekte im Innern des Prüflings oder an seiner Oberfläche auftreten.

Aus dem Artikel "Photothermal Spectroscopy on a Micro­ scopic Scale" von D.R. Petts und H.K. Wickramasinghe aus 1981 Ultrasonics Symposium, Seite 832 bis 836 ist ein photothermisches Mikroskop bekannt, das ebenfalls das gleichzeitige Erfassen von zwei Reflektionsbildern zuläßt. Der Prüfling selbst wird zur Abtastung seiner Oberfläche durch eine X-Y-Verschiebeeinrichtung in der Ebene senkrecht zum ihn beaufschlagenden Lichtstrahl verschoben. An dem sich verändernden thermischen Signal ist nicht festzustellen, ob die Veränderungen nur auf thermische Inhomogenitäten innerhalb des Prüflings zurückgeführt werden können.

Beim Einsatz der bekannten photothermischen Meßgeräte ergeben sich Schwierigkeiten bei der Justage auf die zu prüfende Fläche, insbesondere bei der Verwendung von Lasern und anderen Lichtquellen im nicht sichtbaren Wellenlängenbereich. Weiterhin ist es von Nachteil, daß die heizende thermische Lichtquelle nicht überwacht wird, so daß hier auftretende Schwankungen das Meß­ signal verfälschen.

Schließlich ist aus der DE-OS 38 13 258 eine Vorrich­ tung zur berührungslosen und zerstörungsfreien Prüfung von absorptionsfähigen Materialien bekannt, bei der ein infraroter Laserstrahl ein Werkstück abtastet, wobei die reflektierende infrarote Strahlung über Wellenlei­ ter auf einen Infrarotdetektor abgebildet wird. Bei dieser Anordnung ist von Nachteil, daß die zu prüfende Stelle nicht ohne zusätzliche externe Hilfsmittel einjustiert werden kann. Auch kann durch die Auswertung des Meßsignals nicht festgestellt werden, ob Defekte an der Oberfläche oder in der Tiefe des Materials auftre­ ten.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfin­ dung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der ein­ gangs genannten Art zu schaffen, die es ermöglicht, die gemessenen thermischen Signale daraufhin zu überprüfen, ob die Effekte vom Materialinnern oder von der Ma­ terialoberfläche kommen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der vom Prüfling zurückgeworfene Infrarot-Lichtstrahl durch einen im Lichtgang des Anregungsstrahls angeord­ neten dichroitischen Spiegel hindurchtritt und auf einen Infrarotdetektor leitbar ist.

Dadurch daß der vom Prüfling zurückgeworfene Infrarot- Lichtstrahl ausblendbar ist und auf einen Infrarotde­ tektor geleitet wird, kann zugleich das innere und äußere Inhomogenitäten beinhaltende Bild des Infrarot­ detektors mit dem nur die äußeren Inhomogenitäten bein­ haltende Bild des Ortsdetektors ausgewertet werden. Vorzugsweise ist eine Auswerteschaltung vorgesehen, in der die einzelnen zeitlich gleichzeitig vorliegenden Bilder zu einem kombinierten, nur die inneren Inhomoge­ nitäten beinhaltenden Bild verbunden werden kann.

Die Verwendung einer Fokussierungsoptik im Anregungs­ strahl gestattet es, diesen auf einen Quadratmikrome­ ter-großen Punkt der Oberfläche des Prüflings abzubil­ den, so daß kleinste Inhomogenitäten durch benachbarte Bildpunkte genau eingegrenzt werden können.

Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet. Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Vorrichtung zur berührungslosen und zerstörungsfreien Erfassung der äußeren und inneren Struktur eines flachen Prüflings,

Fig. 2 ein Optikmodul der Vorrichtung nach Fig. 1 zum Einsatz bei verschiedenen thermischen Meßvorrichtungen, und

Fig. 3 drei verschiedene thermische Meßvorrichtun­ gen mit einem Optikmodul nach Fig. 2.

Die Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zur berührungslosen und zerstörungsfreien Prüfung eines absorptionsfähigen und in seiner Oberfläche im wesentlichen flachen Mate­ rials. Insbesondere kann es sich bei dem Prüfling 1 um eine flache Platte handeln.

Ein Heizlaser 2 sendet einen kollimierten Laserstrahl 3 mit einem vorbestimmten Strahldurchmesser und Strahl­ profil aus. Der Heizlaser 2 ist eventuell mit einer vorbestimmten Modulationsfrequenz moduliert, die insbe­ sondere zu einem Pulsbetrieb des Heizlasers 2 führt. Ein für die Wellenlänge des Lasers 2 vergüteter Umlenk­ spiegel 4 lenkt den Laserstrahl 3 in einen Meßstrahl 5 um. In dem Lichtweg des Meßstrahls 5 ist ein für die Wellenlänge des Heizlasers 2 vorgesehenes Strahlteiler­ element 6 angeordnet, das zum Beispiel eine Strahltei­ lung von 90 : 10 aufweist. 10% der Lichtintensität des Meßstrahls 5 wird in einen Eichstrahl 7 herausgelenkt und beaufschlagt eine Photodiode 8, die insbesondere zur Leistungsüberwachung vorgesehen ist.

Die Photodiode 8 ist über eine Datenleitung 9 mit einer Regel- und Ansteuervorrichtung 16 verbunden, die über eine Steuerleitung 11 den Heizlaser 2 mit einem Regel­ signal beaufschlagt. Mit dem so geschlossenen Regel­ kreis kann mit Hilfe der Regel- und Ansteuervorrichtung 10 insbesondere die Wellenlänge des Lasers 2, seine Strahl-Intensität, seine Modulationsfrequenz, der Modulationsgrad, die Modulationstiefe und die Modulati­ onsart geregelt werden.

Die durch das Strahlteilerelement 6 transmittierten 90% der Intensität des Meßstrahls 5 werden von einem insbesondere nur für die Wellenlänge des Heizlasers 2 vergüteten Umlenkspiegel 12 in einen Justierstrahl 13 umgelenkt. Der Justierstrahl 13 wird mit Hilfe des dichroitischen Umlenkspiegels 15 in den Abtast-Ein­ gangsstrahl 20 umgelenkt. Der dichroitische Spiegel 15 ist für die Wellenlänge des Heizlasers und kleinere Wellenlängen reflektierend ausgebildet, während er für in der Wellenlänge größere, infrarote Strahlung trans­ mittierend ist.

Der Abtast-Eingangsstrahl 20 wird über zwei, um jeweils eine rechtwinklig zueinander stehende Achse bewegliche Abtast-Spiegel 21 und 22 in einen Anregungsstrahl 25 umgelenkt. Die Abtast-Spiegel 21 und 22 sind über jeweils eine Steuerleitung 26 und 27 mit der Regel- und Ansteuervorrichtung 16 verbunden. Diese steuert die Abtast-Spiegel 21 und 22 derart an, daß der Anregungs­ strahl 25 den Prüfling 1 abtastet und zeilenweise bzw. spaltenweise jeden vorbestimmten Punkt auf dem Prüfling 1 beaufschlagt. Insbesondere kann eine Fokussierungsop­ tik 30 vorgesehen sein, die den Anregungsstrahl 25 auf einen Bereich von zum Beispiel einem µm² auf der Ober­ fläche des Prüflings 1 bündelt. Der Prüfling 1 aus dem zu untersuchenden Material ist insbesondere absorpti­ onsfähig und für die Wellenlänge des Anregungsstrahls im wesentlichen undurchlässig ist.

Der den Prüfling 1 beaufschlagende Anregungsstrahl 25 wird zum Teil reflektiert bzw. gestreut. Dieses Licht wird über die Spiegel 22, 21, 15 und 7 auf dem Lichtweg 25, 20 und 13 bis zum Strahlteilerelement 6 zurückre­ flektiert. Ein Großteil des zurückreflektierten und gestreuten Lichtes tritt durch den Umlenkspiegel 6 hin­ durch, während bei dem genannten Strahlteilungsverhält­ nis von 90 : 10 10% in den Positionserfassungsstrahl 35 umgelenkt werden, der über ein Filter 36 einen Photodetektor 37 beaufschlagt.

Das Filter 36 kann insbesondere als Polarisationsfilter oder als Interferenzfilter ausgestaltet sein. Bei dem Einsatz eines Polfilters wird der Polarisationsgrad der von dem zu prüfenden Material zurückreflektierten und gestreuten Laserstrahlung erfaßt, so daß der Depolari­ sationsgrad der reflektierten polarisierten Strahlung erfaßt wird, dessen Änderung insbesondere von eventuel­ len äußeren Oberflächenunebenheiten beeinflußt wird.

Bei dem Einsatz eines Interferenzfilters wird nur die dann gewünschte und durch die Vergütung des Filters vorbestimmte Wellenlänge zur Photodiode 37 durchge­ lassen, so daß z. B. nur eine oder mehrere vorbestimmte Farb-Wellenlängen eines Mehrfarblasers die Photodiode beaufschlagen können.

Der Photodetektor 37 besteht aus einem oder mehreren diskreten Photoelementen. Insbesondere kann ein CCD- Detektor mit einer in der Fig. 1 nicht dargestellten Fokussierungsoptik vorgesehen sein. Mit einem CCD- Detektor sind auch außerhalb vom direkten Strahlweg 25 und 20 zurückreflektierte und gestreute Lichtbestand­ teile in ihrer Lage, Intensität und räumlichen Vertei­ lung erfaßbar. Dadurch ist es möglich, auf die Ober­ flächenstruktur des Prüflings 1 Rückschlüsse zu ziehen.

Das von dem Detektor 37 erfaßte und im wesentlichen sichtbare oder im nahen infraroten Wellenlängenbereich liegende Licht beaufschlagt über die Datenleitung die Ansteuer- und Regelschaltung 16. Insbesondere kann im Zusammenhang mit den Regeldaten des Lasers 2 auf der Leitung 11 sowie den Stelldaten der Abtast-Spiegel 21 und 22 auf den Leitungen 26 und 27 ein zweidimensiona­ les Helligkeitsbild der auf den Detektor 37 zurückre­ flektierten und gestreuten Intensität erstellt werden. Dieses Helligkeitsbild ist in seiner Entstehungsge­ schwindigkeit nur von der Stellgeschwindigkeit der Abtast-Spiegel 21 und 22 und von der Verarbeitungsge­ schwindigkeit der Ansteuer- und Regelschaltung 16 abhängig.

Insbesondere ist es auch möglich, ein von der Fokussie­ rungsoptik 30 auf einer CCD-Detektormatrix erzeugtes Bild auf einem direkt an die Matrix angeschlossenen Monitor zu betrachten und in einer Auswerteschaltung entsprechend auszuwerten.

Anstelle der Bewegung der Abtast-Spiegel 21 und 22 kann auch die in der Fig. 1 dargestellte Prüfungsvorrichtung als ganzes auf einem X-Y-Verschiebetisch bewegt werden, so daß der zu der Vorrichtung ortsfeste abtastende Strahl über die Oberfläche des Prüflings 1 bewegt wird.

Der Anregungsstrahl 35, der den Prüfling 1 beauf­ schlagt, wird zum anderen Teil vom Prüfling 1 absor­ biert, wobei eine Wärmewelle auftritt, die nach einer gewissen Laufzeit in dem Prüfling 1 auf der der Optik 30 zugewandten Seite aus dem Prüfling 1 heraustritt und über die durch Schrittmotoren angesteuerte Abtast- Spiegel 21 und 22 den dichroitischen Spiegel 15 beauf­ schlagt. Die Spiegel 21 und 22 und eventuelle in der Fig. 1 nicht gezeichnete Justierspiegel sind breitban­ dig vergütet, so daß sie sowohl für sichtbares Licht als auch für infrarote Strahlung hochreflektierend sind.

Da der dichroitische Spiegel 15 für infrarote Strahlung transmittierend ausgelegt ist, tritt diese Wärmestrah­ lung 45 durch ihn hindurch und wird von einem im Infra­ rot-Bereich vergüteten Umlenkspiegel 46 über eine Infrarot-Optik 47 auf einen Infrarotdetektor 48 abge­ bildet, dessen Ausgangssignal auf der Leitung 49 die Regel- und Ansteuerschaltung 16 beaufschlagt. Damit ist es möglich ein zweidimensionales Wärmebild des Prüf­ lings 1 zu erzeugen, das in einem anderen Wellenlängen­ bereich dem Auslesen der optischen Informationen des Detektors 37 über die Leitung 38 entspricht. Die Ab­ tastrate zur Erzeugung des Wärmebildes muß auf die durch das Material vorgegebene Ausbreitungsgeschwindig­ keit der Wärmewellen im Material des Prüflings 1 Rück­ sicht nehmen. Die Wärmewellen entstehen nach Bestrah­ lung der Materialoberfläche durch den anregenden Laser­ strahl 25 mit einer bestimmten Bestrahlungsdauer (Mo­ dulation) infolge von Energieumwandlung über Absorpti­ on und strahlungslose Desaktivierung. Zur Abtastung der thermischen Anregung wird bei einer Meßfläche von unge­ fähr 1 mm² und einer Auflösung von ca. 8 Mikrometern eine Meßzeit von einigen Minuten benötigt.

Mit Hilfe der Bildverarbeitung kann aus den zwei ein­ zelnen Bildern des optischen Detektors 37 und des Infrarotdetektors 48 ein einziges Bild erstellt werden. daß einzig die Information über innere, in dem Prüfling vorliegende Defekte enthält. Parallel dazu wird das optisch abgetastete Bild des Detektors 37 ausgegeben, das einzig die äußere Oberflächenstruktur und insbeson­ dere auch Defekte anzeigt. Insbesondere kann in der Auswerteschaltung zur Erzeugung des die inneren Defekte zeigenden Bildes die vom Infrarotdetektor 48 erhaltene zurückgeworfene Intensität rechnerisch für die Stellen der Oberfläche des Prüflings 1 erhöht werden, für die das optische Bild des Detektors 37 ein höheres Reflek­ tionssignal und damit eine niedrigere Absorption des Anregungsstrahls 25 anzeigt. Umgekehrt wird die innere Defekte zeigende Intensität des vom Infrarotdetektor 48 aufgenommen Strahlung rechnerisch erniedrigt, wenn das Reflektionssignal des Detektors 37 kleiner ist und damit eine erhöhte Absorption des Anregungsstrahls 25 anzeigt. Hierbei wird davon ausgegangen, das die Gesam­ tenergie des Anregungsstrahls in einen absorbierten und in einen direkt reflektierten Anteil aufgeteilt wird.

Ein in seiner Leistung schwacher und die thermische Abtastung nicht beeinflussender Justierlaser 52 im sichtbaren Wellenlängenbereich ist in Verlängerung des Justierstrahls 13 angeordnet, so daß der Ausgangsstrahl 53 des Justierlasers 52 über den Umlenkspiegel 15 auf dem Prüfling 1 abgebildet werden kann. Der Umlenkspie­ gel 12 ist nur für die Wellenlänge des Heizlasers 2 vergütet, so daß das sichtbare Licht des Justierlasers 52 durch den Umlenkspiegel 12 ungehindert hindurch­ tritt. Damit ist es insbesondere möglich, vor einer thermischen Messung den abzutastenden Bereich durch ein schnelles Verstellen der Spiegel 21 und 22 für einen Benutzer deutlich sichtbar darzustellen.

In einer schnellen Messung ist das optische Bild der Materialoberfläche mit Hilfe des reflektierten Signals des Heizlasers 2 erfaßbar, das über die Datenleitung 38 aus dem CCD-Detektor 37 ausgelesen werden kann, da alle optischen Vorgänge mit Lichtgeschwindigkeit ablaufen.

Anschließend ist eine zeitmäßig länger dauernde thermi­ sche Messung durchführbar, bei der in Abhängigkeit von dem Material selbst und der Dicke des Prüflings jeweils auf die zurücklaufende Wärmewelle gewartet wird, bevor die Abtast-Spiegel 21 und 22 die nächste vorbestimmte Position anfahren können, die der Beauf­ schlagung eines anderen räumlichen Punkt auf der Ober­ fläche des Prüflings 1 mit der Strahlung des Heizlasers 2 entspricht. Damit ist es insbesondere bei den übli­ cherweise sehr kleinen Meßflächen von weniger als 1 mm² möglich, vor Beginn der eigentlichen thermischen Mes­ sung zu wissen, ob das Gerät auf die gewünschte Meß­ fläche auf dem Prüfling 1 eingestellt ist. Dabei bietet das vom Laser 52 auf dem Prüfling 1 erzeugte Signal eine weitere Einstellungshilfe.

Die Fig. 2 zeigt ein Optikmodul 60, dessen Ausgangs­ strahl 61 über einen Umlenkspiegel 62 in den Lichtweg 63 einer thermischen Materialprüfungsvorrichtung ein­ koppelbar ist. Der Laser 2 beaufschlagt direkt den Strahlteilerspiegel 6, der in einem Strahlteilungsver­ hältnis von 50 : 50 bis über 99 : 1 ausgelegt sein kann. Das direkt reflektierte Signal 7 beaufschlagt den Detektor 8, dessen Ausgangssignal 13 die Regel- und Steuerschaltung 16 beaufschlagt. Hiermit ist über die Regelleitung 11 die Intensität und Modulation des Lasers 2 regel- und einstellbar. Das durch den Strahl­ teilerspiegel 6 hindurchtretende Signal 61 wird über den Umlenkspiegel 62 in den Lichtweg 63 der thermischen Prüfungsvorrichtung eingekoppelt. Dabei ist es auch möglich, daß nicht der Laser 2, sondern eine in den Fig. 1 und 2 nicht dargestellte weitere Heiz-Lichtquel­ le den Anregungsstrahl 25 erzeugt. Das vom Prüfling 1 zurückreflektierte Lichtsignal wird über den vorzugs­ weise dichroitischen und nur für die Wellenlänge des Lasers 2 und kleinere Wellenlängen vergüteten Spiegel 62 in den Strahl 61 umgelenkt und vom auskoppelnden Strahlteilerspiegel 6 über eine Blende 65, den Filter 36 und eine abbildende Linse 66 auf den Photodetektor 37 geleitet. Der Photodetektor 37 erfaßt wie in der Fig. 1 das reflektierte und das gestreute optische Signal und führt es über die Leitung 38 der Regel- und Ansteuerschaltung 16 zu.

Die Fig. 3 zeigt drei thermische Materialprüfungsvor­ richtungen 70, 71 und 72, bei denen ein Optikmodul aus Fig. 2 einsetzbar ist. Die Materialprüfungsvorrich­ tungen 70 umfaßt eine in der Fig. 1 dargestellte Scan- Vorrichtung, bei dem der abbildende Anregungsstrahl 25 über zwei Abtast-Spiegel 21 und 22 derart abgelenkt wird, daß er jeden Punkt der Prüflingsoberfläche 1 abtastet. Die Fokussierungsoptik 30, die für alle auftretenden Wellenlängen vergütet und insbesondere korrigiert ist, bildet dabei den Lichtstrahl auf die Oberfläche des Prüflings 1 ab. Die Verwendung einer für alle verwendeten Wellenlängen achromatischen Fokus­ sierungsoptik 30 gestattet die verzerrungsfreie Abbil­ dung des Anregungstrahles 25, des Justierlaserausgangs­ strahles 53 und ebenfalls des zurückgeworfenen Infra­ rot-Lichstrahles.

Andererseits ist es gemäß der Vorrichtung 72 möglich, den abbildenden und anregenden Laserstrahl 25, der über die Fokussierungsoptik 30 auf die Oberfläche des Prüf­ lings 1 abgebildet wird, durch Bewegen der Prüfvorrich­ tung 71 als ganzes zu verschieben.

Schließlich ist das in der Fig. 2 dargestellte Modul auch bei einer auf dem Mirage-Effekt beruhenden Mate­ rialprüfungsvorrichtung 72 einsetzbar, bei der ein abtastender Heizstrahl 75 quer zur Oberfläche des Prüflings 1 verläuft und der abbildende Anregungsstrahl 25 rechtwinklig auf dem Strahl 75 die Oberfläche des Prüflings 1 beaufschlagt.

Claims (8)

1. Vorrichtung zur Untersuchung der inneren und/oder äußeren Struktur absorptionsfähiger Prüflinge (1) mit einer Strahlungsquelle (2), mit der ein gebündelter, modulierter, den Prüfling (1) abtastender Anregungs­ strahl (5, 13, 20, 25, 63) erzeugbar ist, mit dem eine örtlich induzierte Temperaturmodulation an der Oberflä­ che des Prüflings (1) erzeugbar ist, mit einem Strahl­ teilerelement (6), mit dem der Anregungsstrahl (5, 13, 20, 25, 63) zur Überwachung der Strahlintensität (7, 8) teilweise ausblendbar ist und mit dem ein vom Prüfling (1) zurückreflektierter, vom Anregungsstrahl (25) her­ rührender Lichtstrahl (35) zur Überwachung des Meßpunk­ tes auf einen Ortsdetektor (37) abbildbar ist, da­ durch gekennzeichnet, daß der vom Prüfling (1) zurückgeworfene Infrarot-Lichtstrahl (45) durch einen im Lichtgang des Anregungsstrahls (20, 25) angeordneten dichroitischen Spiegel (15, 62) hindurch­ tritt und auf einen Infrarotdetektor (48) leitbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß eine Auswerteschaltung (16) vorgesehen ist, die mit dem Bildsignal des Ortsdetektors (37) und dem Bildsignal des Infrarotdetektors (48) beaufschlagbar ist, wobei das innere und äußere Inhomogenitäten bein­ haltende Bildsignal des Infrarotdetektors (48) mit dem äußere Inhomogenitäten beinhaltende Bildsignal des Ortsdetektors (37) zu einem kombinierten, nur innere Inhomogenitäten beinhaltenden Ausgabesignal verbindbar ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß im Anregungsstrahl (25) eine Fokussierungsop­ tik (30) angeordnet ist, die den Anregungsstrahl (25) auf einen im Bereich von Quadratmikrometern großen Punkt der Oberfläche des Prüflings (1) abbildet.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich­ net, daß die Fokussierungsoptik (30) für den Wellenlän­ genbereich des sichtbaren bis zum infraroten breitband­ vergütet und achromatisch korrigiert ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Justierlichtquelle (52) im sichtbaren Bereich durch ein Strahlteilerele­ ment (13) in den Lichtweg des Anregungsstrahls (13, 20, 25) einkoppelbar ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß Abtast-Spiegel (21, 22) und eine Ansteuerschaltung (16) vorgesehen sind, mit denen der Anregungsstrahl (25, 63) auf jeden Punkt der Ober­ fläche des Prüflings (1) abbildbar ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein X-Y-Verschiebetisch und eine Ansteuerschaltung (15) vorgesehen sind, wobei die Vorrichtung (71) auf dem X-Y-Verschiebetisch angeordnet ist, so daß der Anregungsstrahl (25) auf jeden Punkt der Oberfläche des Prüflings (1) abbildbar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich­ net, daß rechtwinklig und raumfest zu dem abbildenden Anregungsstrahl (25) und im wesentlichen parallel zu der Oberfläche des Prüflings (1) ein Mirage-Effekt- Abtast-Strahl (75) vorgesehen ist.