DE3906119C2 - Anordnung zum Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede - Google Patents
Anordnung zum Messen polarisationsoptischer GangunterschiedeInfo
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Description
Die Erfindung findet in optischen Geräten und Anordnungen
Anwendung, mit denen bei der Messung der anisotropen optischen
Eigenschaften zur Analyse des Phasenbestandes oder der Struk
turen der untersuchten Gebilde oder Substanzen zirkular polari
siertes Licht zur azimutunabhängigen Darstellung des von der
untersuchten Probe hervorgerufenen Gangunterschiedes eingesetzt
wird. Ein markantes Anwendungsgebiet der Erfindung ist die
Polarisationsmikroskopie z. B. bei der statischen oder orts
abhängigen Untersuchung anisotroper Festkörper oder gerichteter
biologischer Substanzen.
Zum Bestimmen polarisationsoptischer Gangunterschiede sind eine
Reihe objektiv messender Anordnungen bekannt geworden.
Anordnungen gemäß den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs
1 sind in DE 31 29 505 A1 sowie in DE 36 27 878 A1 beschrieben.
Bei
einer Lösung nach DE-OS 29 16 202 wird das hinter einem
Wollaston-Prisma entstehende Interferenzmuster hinsichtlich
Amplitude und Phasenlage mit einem Dioden-Array aufgenommen,
und aus den Meßwerten wird die Elliptizität des Lichtes
bestimmt. In einer weiteren Lösung (Journ. Micr. 139 (1985)
239 . . . 247) werden die mit einem Photometer gewonnenen
Intensitätswerte in Abhängigkeit von der Analysatordrehung mit
einem 64 K-Rechner einer harmonischen Analyse unterworfen und
der Gangunterschied nach der S´narmont-Methode berechnet.
Bekannt ist auch eine Lösung zur sehr schnellen und genauen
Messung des Gangunterschiedes. Hierbei dient nach DE-OS
36 31 959 als Lichtquelle ein transversaler stabilisierter Zee
man-Laser; gemessen wird die zeitliche Verschiebung von Schwe
bungsknoten als Funktion des Objekt-Gangunterschiedes.
Allen genannten Lösungen gemeinsam ist die erforderliche
azimutale Orientierung der Probe zur Meßanordnung, da mit
linear polarisiertem Licht gearbeitet wird. Somit ist ein höhe
rer Geräte- und Arbeitsaufwand notwendig. Es ist auch eine Lö
sung bekannt, mit der zirkular polarisierte Strahlung über
elektro- und magnetooptische Kristalle zu Modulationszwecken
in linear polarisierte Strahlung mit konstant rotierender
Schwingungsebene umgewandelt wird (DE-OS 17 97 378).
Bekannt ist auch eine Lösung, die Tardy-Methode, die eine
subjektive Meßmethode ist (Brit. Journ. Appl. Phys. 3 (1952)
176 . . . 181) und nur monochromatisches Licht verwendet. Sie ist
sehr zeitaufwendig, da sie in vielen Einzelschritten von
gegenläufig gedrehten Polaren das Intensitätsminimum aufsucht
und in dieser Lage mit einem S´narmont-Kompensator mißt.
Das Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer Anordnung zum
Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede, mit der die Be
stimmung von Gangunterschieden erleichtert, die genannten Nach
teile der bekannten Lösungen beseitigt werden und die mit
geringem technisch-ökonomischem Aufwand herstellbar ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum
Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede an anisotropen
Objekten zu schaffen, die auch bei beliebiger azimutaler Lage
des Objektes eine objektive Messung erlaubt.
Diese Aufgabe löst eine Anordnung zum Messen polarisationsopti
scher Gangunterschiede, bestehend aus einer Beleuchtungsein
richtung zur Beleuchtung des zu untersuchenden Objektes,
einem Polarisator und einem ersten, vorzugsweise achromatischen
Viertelwellen-Retarder zum Erzeugen zirkular polarisierten
Lichtes, einem zweiten, vorzugsweise
achromatischen Viertelwellen-Retarder zur Wiederherstellung
linear polarisierten Lichtes, einem nachgeschalteten Analysa
tor, sowie einem optischen System zur Abbildung des untersuch
ten Objektes auf einer das Meßfeld begrenzenden Blende, hinter
der ein photoelektrischer Empfänger mit einer Nachweiselektro
nik angeordnet ist, erfindungsgemäß dadurch, daß zwischen einem Objekt
und einem zweiten Viertelwellen-Retarder ein optisch aktives
transparentes Bauelement angeordnet ist und daß an sich
bekannte mechanische, elektrische oder magnetische Mittel
vorgesehen sind, mit denen das Azimut der Schwingungsrichtung
des dieses Bauelement verlassenden Lichtbündels kontinuierlich
verändert wird.
Vorteilhafte erfindungsgemäße Ausführungsformen bestehen darin,
daß als optisch aktives Bauelement eine senkrecht zu ihrer
optischen Achse geschnittene erste Quarzplatte vorgesehen ist,
die keilförmig ausgebildet und in einer Ebene senkrecht zur
optischen Achse der Anordnung verschiebbar ist oder als
optisch aktives Bauelement eine zweite und dritte Quarzplatte
vorgesehen ist und diese Quarzplatten senkrecht zu ihrer opti
schen Achse geschnitten, gleichsinnig drehend, keilförmig mit
dem gleichen Keilwinkel ausgebildet und gegenläufig so zueinan
der orientiert sind, daß sie zusammen eine planparallele Platte
bilden und daß beide keilförmigen Glasplatten gegenläufig in
einer Ebene senkrecht zur optischen Achse der Anordnung ver
schiebbar sind.
Weiterhin ist es vorteilhaft, die erste Quarzplatte mit einem
Glaskeil so zu verkitten, daß eine planparallele Platte
entsteht. Vorzugsweise ist die Brechzahl des verwendeten Glas
keils annähernd gleich der Brechzahl nw der ersten
Quarzplatte. Folgend wird die Wirkungsweise erläutert.
Das vom Polarisator linear polarisierte Lichtbündel mit dem
Azimut αP = 0 seiner Schwingungsrichtung SP wird vom ersten
Viertelwellen-Retarder mit dem Azimut α1 = π/4 seiner
Hauptschwingungsrichtung nz 1 in ein zirkular polarisiertes
Lichtbündel umgewandelt und passiert das anisotrope nichtabsor
bierende Objekt mit dessen Hauptschwingungsrichtung nz 0 in
einem Azimut α2 und der dem Gangunterschied proportionalen
Phasendrehung δ2, so daß im allgemeinen ein elliptisch
polarisiertes Lichtbündel mit einem Hauptachsenazimut π/4 ± α2
und der Elliptizität ε = f (δ2) auf den zweiten Viertelwellen-
Retarder mit dem Azimut α3 = -α1 der Hauptschwingungsrichtung nz 2
trifft, wobei das Azimut der Schwingungsrichtung SA des Analy
sators α4 = π/2 ist.
Die Intensität I nach dem Analysator berechnet ist zu
(1) I = 1/2 · E0 2 · (1 - cos δ2) = E0 2 · sin2 1/2 · δ2,
wobei E0 die Amplitude des elektrischen Feldstärkevektors ist.
Das ansisotrope Objekt wird also unabhängig von seinem Schwin
gungsazimut α2 kontrastiert.
Die dem Lichtbündel aufgeprägte Gesamt-Phasendifferenz R be
trägt nach dem zweiten Viertelwellen-Retarder gemäß Gleichung
(2) R = π/2 + arctan (-cos δ2/sin δ2 · sin 2 α2).
Die interessierende Phasendifferenz δ2 des Objektes wird einer
Messung mit der weitgehend von systematischen Meßfehlern freien
Kompensationsmethode nach S´armont zugänglich, wenn das von
der Probe kommende Lichtbündel mit der Gesamt-Phasendifferenz R
vor dem Analysator linear polarisiert ist. Nach (2) ist das
nur dann der Fall, wenn
(3) R = n · π (n = 0, 1, 2, 3, . . .),
d. h. wenn α2 = 0, π/2, π, . . . beträgt.
Dieser Fall kann aber nicht ohne weiteres erkannt werden, da
nach (1) die beobachtete oder gemessene Intensität unabhängig
vom Objekt-Azimut α2 ist.
Durch die erfindungsgemäße Einführung des optisch aktiven
transparenten Bauelements wird das Azimut der Hauptachse π/4 - α2
des das Objekt verlassenden elliptisch polarisierten Lichtbün
dels kontinuierlich verändert, bis die Hauptachse mit der
Schwingungsrichtung nz 2 des zweiten Viertelwellen-Retarders zu
sammenfällt. Zur Erkennung dieses Zustandes wird die Intensi
tät I des Lichtbündels mittels rotierendem Analysator, einem in
DD-WP 2 47 751 beschriebenen Polarisationsmodulator oder in
anderer geeigneter Weise moduliert und das optisch aktive Bau
element durch an sich bekannte mechanische, elektrische oder
magnetische Mittel manipuliert, bis der Kontrast K
(4) K = (Imax - Imin)/(Imax + Imin) ∼ sinc k · ε
mit k = Wellenzahl und sinc k · ε = (sin k · ε)/(k · ε)
seinen Maximalwert erreicht. Dann ist α2 = 0, π/2, π, . . . In diesem Fall wandelt der zweite Viertelwellen-Retarder das einfallende elliptisch polarisierte Lichtbündel in ein linear polarisiertes Lichtbündel um, dessen Azimut β vom Gangunter schied (Phasendrehung) der Probe abhängig ist. Der Gangunter schied kann somit nach dem von S´narmont bzw. Mac Cullagh angegebenen Verfahren gemessen werden, wobei das Azimut π/4 zwischen Analysatorschwingungsrichtung und Hauptschwingungs richtung nz 2 des zweiten Viertelwellen-Retarders zu berück sichtigen ist.
seinen Maximalwert erreicht. Dann ist α2 = 0, π/2, π, . . . In diesem Fall wandelt der zweite Viertelwellen-Retarder das einfallende elliptisch polarisierte Lichtbündel in ein linear polarisiertes Lichtbündel um, dessen Azimut β vom Gangunter schied (Phasendrehung) der Probe abhängig ist. Der Gangunter schied kann somit nach dem von S´narmont bzw. Mac Cullagh angegebenen Verfahren gemessen werden, wobei das Azimut π/4 zwischen Analysatorschwingungsrichtung und Hauptschwingungs richtung nz 2 des zweiten Viertelwellen-Retarders zu berück sichtigen ist.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von in einer Zeichnung darge
stellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt in
schematischer Darstellung
Fig. 1 Teil des optischen Aufbaues gemäß eines ersten
Ausführungsbeispiels,
Fig. 2 Teil des optischen Aufbaues gemäß eines zweiten
Ausführungsbeispiels,
Fig. 3 Anordnung der Schwingungsrichtungen von Objekt
und polarisationsoptischen Bauteilen vor der
Kompensation des Gangunterschiedes,
Fig. 4 Anordnung der Schwingungsrichtungen von Objekt
und polarisationsoptischen Bauteilen nach der
Kompensation des Gangunterschiedes und
Fig. 5 die erfindungsgemäße Anordnung im Strahlengang
eines Polarisationsmikroskopes.
Ein Teil des optischen Aufbaues gemäß eines ersten Ausführungs
beispiels ist in Fig. 1 gezeigt. Entlang einer optischen Achse
sind nacheinander ein Linearpolarisator 1, ein erster, vorzugs
weise achromatischer Viertelwellen-Retarder 2, ein Polarisa
tionsmodulator 2′, ein Objekt 3, ein optisch aktives Bauelement 3′,
ein zweiter, vorzugsweise achromatischer Viertelwellen-Retar
der 4 und ein Analysator 5 angeordnet. Das optisch aktive Bau
element 3′ ist erfindungsgemäß eingefügt und ein senkrecht zur
optischen Achse der Anordnung verschiebbarer Quarzkeil.
In Fig. 2 sind in einem der Fig. 1 analogen Aufbau als optisch
aktives Bauelement 3′ eine zweite und eine dritte keilförmige
Quarzplatte 3′b, 3′c vorgesehen.
Die Anwendung der erfindungsgemäßen Anordnung in einem Polari
sationsmikroskop ist in Fig. 5 dargestellt.
Dem von einer aus Lichtquelle 16, Kollektor 15, Leuchtfeld
blende 14, Telezlinse 13 und dem Kondensator 12 bestehenden
Beleuchtungseinrichtung beleuchteten Objekt 3 sind ein Linear
polarisator 1 und ein erster, vorzugsweise achromatischer Vier
telwellen-Retarder 2 so vorgeschaltet, daß auf das Objekt 3 ein
zirkular polarisiertes, durch das Bild der Leuchtfeldblende 14
begrenztes Lichtbündel fällt. Nach dem Passieren des Objektes 3
ist dieses Lichtbündel elliptisch polarisiert; die Elliptizität
ist ein Maß für die gesuchte Phasendrehung δ2. Erfindungsgemäß
wird mit dem optisch aktiven Bauelement 3′, das vorzugsweise
aus einem senkrecht zur optischen Achse geschnittenen, mit
einem ausgleichenden Glaskeil 3′d angenäherter Brechzahl ver
bundenen und senkrecht zur optischen Achse der Anordnung ver
schiebbaren Quarzkeil 3′a besteht, das Hauptachsenazimut so
gedreht, daß die Achsen der Schwingungsellipse mit den Haupt
schwingungsrichtungen des zweiten, vorzugsweise achromatischen
Viertelwellen-Retarders 4 zusammenfallen. Diesen zweiten Vier
telwellen-Retarder 4 verläßt dann ein linear polarisiertes
Lichtbündel mit einer der Phasendifferenz im Objekt 3 propor
tionalen Drehung β gegen die Hauptschwingungsrichtung nZ 2 des
zweiten Viertelwellen-Retarders 4. Der Winkel β = δ2/2 wird
durch Nachdrehen des Analysators 5 bis zur Auslöschung der
linear polarisierten Schwingung gemessen.
Zum Bestimmen dieser Auslöschungslage dient die aus Meßfeld
blende 6, abbildendem System 7, Photoempfänger 8 und Nachweis
elektronik 9 bestehende photometrische Einrichtung; das zu
messende Objekt 3 wird dabei von einem Objektiv 11 und einer
Tubuslinse 10 auf die Meßfeldblende 6 abgebildet und von dieser
begrenzt.
Zum Bestimmen des Maximalkontrastes wird das Lichtbündel mit
dem Polarisationsmodulator 2′ moduliert und das optisch aktive
Bauelement 3′ in der Ebene senkrecht zur optischen Achse der
Anordnung so weit verschoben, bis der dem Kontrast entsprechen
de Anzeigewert auf der Nachweiselektronik 9 seinen Größtwert
erreicht. Dann verläßt ein linear polarisiertes Lichtbündel den
zweiten Viertelwellen-Retarder 4. Durch Drehen des Analysators
5 wird der Anzeigewert auf Null gebracht und damit die lineare
Schwingung ausgelöscht. Aus dem Drehwinkel des Analysators 5
wird die gesuchte Phasendrehung berechnet.
Aus Fig. 3 und 4 ist die Lage der Schwingungsrichtungen der in
Fig. 5 dargestellten polarisationsoptischen Bauteile des Pola
risationsmikroskopes und des Objektes 3 vor und nach der Kom
pensation des Gangunterschiedes ersichtlich. Dabei sind SP die
Schwingungsrichtung des Polarisators 1, SA die des Analysators
5, nz 0, nz 1 und nz 2 die Schwingungsrichtungen der langsameren
Lichtwelle im Objekt 3, ersten Viertelwellen-Retarder 2 bzw.
zweiten Viertelwellen-Retarder 4. α1, α2 und α3 sind die jewei
ligen Azimute bezüglich der Schwingungsrichtung SP des Pola
risators 1, der Winkel zwischen den Schwingungsrichtungen
von Polarisator 1 und Analysator 5. β ist das Azimut der wie
derhergestellten linearen Schwingung bezogen auf die Schwin
gungsrichtung nz 2 des zweiten Viertelwellen-Retarders 4.
Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen
1 Linearpolarisator
2 erster Viertelwellen-Retarder
2′ Polarisationsmodulator
3 Objekt
3′a erste Quarzplatte
3′b zweite Quarzplatte
3′c dritte Quarzplatte
3′d Glaskeil
4 zweiter Viertelwellen-Retarder
5 Analysator
6 Meßfeldblende
7 abbildendes System
8 Photoempfänger
9 Nachweiselektronik
10 Tubuslinse
11 Objektiv
12 Kondensator
13 Telezlinse
14 Leuchtfeldblende
15 Kollektor
16 Lichtquelle
2 erster Viertelwellen-Retarder
2′ Polarisationsmodulator
3 Objekt
3′a erste Quarzplatte
3′b zweite Quarzplatte
3′c dritte Quarzplatte
3′d Glaskeil
4 zweiter Viertelwellen-Retarder
5 Analysator
6 Meßfeldblende
7 abbildendes System
8 Photoempfänger
9 Nachweiselektronik
10 Tubuslinse
11 Objektiv
12 Kondensator
13 Telezlinse
14 Leuchtfeldblende
15 Kollektor
16 Lichtquelle
Claims (5)
1. Anordnung zum Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede, bestehend aus
einer Beleuchtungseinrichtung (12, 13, 14, 15, 16) die einen Polarisator (1)
sowie einen ersten, vorzugsweise achromatischen Viertelwellen-Retarder (2)
zum Erzeugen zirkular polarisierten Lichts beinihaltet und der in
Beleuchtungsrichtung ein zu untersuchendes Objekt (3) sowie ein optisches
System (10, 11) zur Abbildung des zu untersuchenden Objektes (3) auf eine das
Meßfeld begrenzende Meßblende (6) nachgeordnet sind, wobei das optische
System (10, 11) einen zweiten, vorzugsweise achromatischen Viertelwellen-
Retarder (4) sowie einen diesem nachgeschalteten Analysator (5) beinhaltet und
in Beleuchtungsrichtung der Meßblende (6) ein photoelektrischer Empfänger (8)
mit einer Nachweiselektronik (9) nachgeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Objekt (3) und dem zweiten Viertelwellen-Retarder (4) ein optisch aktives, transparentes Bauelement (3′) angeordnet ist und daß an sich bekannte mechanische, elektrische oder magnetische Mittel vorgesehen sind, mit denen das Azimut der Schwingungsrichtung des dieses Bauelement (3′) verlassenden Lichtbündels kontinuierlich verändert wird.
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Objekt (3) und dem zweiten Viertelwellen-Retarder (4) ein optisch aktives, transparentes Bauelement (3′) angeordnet ist und daß an sich bekannte mechanische, elektrische oder magnetische Mittel vorgesehen sind, mit denen das Azimut der Schwingungsrichtung des dieses Bauelement (3′) verlassenden Lichtbündels kontinuierlich verändert wird.
2. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß als
optisch aktives Bauelement (3′) eine senkrecht zu ihrer
optischen Achse geschnittene erste Quarzplatte (3′a) vorgesehen
ist, die keilförmig ausgebildet und in einer Ebene senkrecht
zur optischen Achse der Anordnung verschiebbar ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß als
optisch aktives Bauelement (3′) eine zweite und dritte
Quarzplatte (3′b, 3′c) vorgesehen und diese Quarzplatten
senkrecht zu ihrer optischen Achse geschnitten, gleichsinnig
drehend, keilförmig mit dem gleichen Keilwinkel ausgebildet
und gegenläufig so zueinander orientiert sind, daß sie
zusammen eine planparallele Platte bilden und daß beide
keilförmigen Quarzplatten gegenläufig in einer Ebene senk
recht zur optischen Achse der Anordnung verschiebbar sind.
4. Anordnung nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß die
erste Quarzplatte (3′a) mit einem Glaskeil (3′d) so verkit
tet ist, daß eine planparallele Platte entsteht.
5. Anordnung nach Anspruch 4, gekennzeichnet dadurch, daß die
Brechzahl des Glaskeiles (3′d) annähernd gleich der Brech
zahl nw der ersten Quarzplatte (3′a) ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893906119 DE3906119C2 (de) | 1988-04-08 | 1989-02-28 | Anordnung zum Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede |
Applications Claiming Priority (2)
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DD31453788A DD270987A1 (de) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | Anordnung zum messen polarissationsoptischer gangunterschiede |
DE19893906119 DE3906119C2 (de) | 1988-04-08 | 1989-02-28 | Anordnung zum Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3906119A1 DE3906119A1 (de) | 1989-10-19 |
DE3906119C2 true DE3906119C2 (de) | 1996-06-05 |
Family
ID=25748198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19893906119 Expired - Lifetime DE3906119C2 (de) | 1988-04-08 | 1989-02-28 | Anordnung zum Messen polarisationsoptischer Gangunterschiede |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE3906119C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10008075A1 (de) * | 2000-02-22 | 2001-08-30 | Nanofocus Materialtechnik Gmbh | Phasenkontrastmikroskop |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD276734A1 (de) * | 1988-11-02 | 1990-03-07 | Zeiss Jena Veb Carl | Verfahren zur gangunterschiedsmessung an anisotropen transparenten objekten |
DE19511707B4 (de) * | 1995-03-30 | 2007-09-27 | Isra Vision Lasor Gmbh | Verfahren zur Bestimmung von Spannungen in transparenten Materialien |
DE19605383A1 (de) * | 1996-02-14 | 1997-08-21 | Buehler Ag | Polarisationsinterferometer |
DE19708036C2 (de) * | 1997-02-27 | 2000-06-29 | Gunther Elender | Ellipsometrisches Mikroskop |
DE10236999B3 (de) * | 2002-08-13 | 2004-02-05 | Kiepenheuer-Institut für Sonnenphysik Stiftung des öffentlichen Rechts des Landes Baden-Württemberg | Vorrichtung zur Untersuchung von polarisiertem Licht |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2916202A1 (de) * | 1979-04-21 | 1980-10-23 | Ibm Deutschland | Verfahren zur analyse des polarisationszustandes einer strahlung und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
DD154039B5 (de) * | 1980-10-29 | 1996-02-08 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Vorrichtung zum messen von gangunterschieden in polarisiertem Licht |
JPS6269110A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-03-30 | Ushio Inc | 光学的歪計測方法 |
DD245489A1 (de) * | 1985-12-31 | 1987-05-06 | Zeiss Jena Veb Carl | Zirkularpolarisationseinrichtung |
DD247751A1 (de) * | 1986-03-14 | 1987-07-15 | Zeiss Jena Veb Carl | Anordnung zur kennzeichnung der kompensationsstellung bei gangunterschiedsmessungen |
-
1989
- 1989-02-28 DE DE19893906119 patent/DE3906119C2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10008075A1 (de) * | 2000-02-22 | 2001-08-30 | Nanofocus Materialtechnik Gmbh | Phasenkontrastmikroskop |
DE10008075B4 (de) * | 2000-02-22 | 2005-09-01 | Nanofocus Materialtechnik Gmbh | Phasenkontrastmikroskop |
Also Published As
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---|---|
DE3906119A1 (de) | 1989-10-19 |
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Legal Events
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