DE3803853A1 - Verfahren und vorrichtung zur rollwinkelmessung an beweglichen maschinenteilen - Google Patents

Description

Zur Rollwinkelmessung an beweglichen Maschinenteilen wie z.B. den entlang der drei Raumrichtungen verfahrbaren Schlitten von Mehrkoordinatenmeßgeräten sind polarisationsoptische Meßver­ fahren besonders geeignet. Denn im Gegensatz zu anderen, ein­ facheren Meßverfahren unter Ausnutzung der Gravitation (Neigungsmesser, elektronische Libellen) ist die polarisations­ optische Rollwinkelmessung auch für vertikal verschiebliche Maschinenteile geeignet, wo andere Meßverfahren versagen.

Bekannte polarisationsoptische Verfahren zur Rollwinkelmessung sind beispielsweise in der DE-PS 23 29 483, in der DE-PS 33 22 713 sowie in der DE-PS 34 05 886 beschrieben. Insbesondere die in den beiden letztgenannten Patentschriften beschriebenen Verfahren und Vorrichtungen basieren auf polari­ metrischen Winkelmeßmethoden, die auch bereits seit langem zu Konzentrationsmessungen an optisch aktiven Lösungen eingesetzt wurden.

Entsprechende Verfahren und Geräte sind beispielsweise in dem Buch "Grundlagen der Polarimetrie" von Dr. J. Flügge, Berlin 1979 sowie in der Zeitschrift "Elektronik" Heft 1, 1972, Seite 9-12 beschrieben. Die Verfahren beruhen darauf, daß ein polari­ sierter Lichtstrahl hinsichtlich seiner Polarisationsrichtung moduliert wird und die Intensität des durch einen Analysator am Ende der Meßstrecke hindurchgegangenen Lichtstrahles mit Hilfe eines photoelektrischen Empfängers auf der Modulations­ frequenz nachgewiesen wird.

Bei den meisten der eingangs genannten Verfahren und Vor­ richtungen wird zur Modulation der Polarisationsrichtung ein sogenannter Faraday-Modulator verwendet. Dieser besteht aus einem Glaskörper, auf den eine Spule aufgewickelt ist. Betreibt man diese Spule mit Wechselstrom, dann sorgt der Faradayeffekt für eine zyklische Drehung der Polarisationsrichtung ent­ sprechend dem in der Spule entstehenden magnetischen Wechsel­ feld. Diese Lösung hat jedoch mehrere Nachteile. Denn zum Betrieb der Faradayzelle ist eine Hochstromversorgung erforder­ lich. Außerdem besitzt der Glaskörper unvermeidliche Rest­ spannungen im Material, die eine örtlich veränderliche Doppel­ brechung über den Querschnitt des hindurchgehenden Lichtstrahls verursachen. Entsprechend ist der Polarisationszustand des aus dem Glaskörper austretenden Lichtes nicht ausreichend homogen und kann sich außerdem durch thermische Effekte zeitlich ändern.

Es ist daher auch schon vorgeschlagen worden, die Modulation der Polarisationsrichtung dadurch vorzunehmen, daß der Lichtstrahl in zwei Teilstrahlengänge mit unterschiedlicher Polarisationsrichtung aufgespalten wird und beide Teilstrahlen­ gänge periodisch unterbrochen und wieder zusammengeführt werden. Bei diesem, in der DE-PS 34 05 886 sowie dem Artikel von Hans H. Schüssler in "Feinwerktechnik und Meßtechnik" 92 (1984) Heft 8, Seite 408-410 bekannten Verfahren ist die Trennung und Zusammenfügung der beiden Teilstrahlenbündel durch polarisationsoptische Strahlteiler bewirkt. Diese Strahlteiler zerlegen den Lichtstrahl in zwei orthogonal zueinander polarisierte Komponenten, d.h. die Polarisationsrichtungen in den beiden Teilstrahlengängen unterscheiden sich um 90°. In den beiden genannten Schriften wird geltend gemacht, daß bei dieser Meßanordnung die höchste Meßempfindlichkeit und beste Linearität erreicht werden kann, da ein im Winkel von 45° zwischen den beiden Polarisatoren eingestellter Analysator im Bereich der größten Steigung der einer COS² -Abhängigkeit folgenden Kennlinie liegt. Nachteilig ist jedoch, daß das Licht bei der Aufteilung und Wiedervereinigung Glasmaterial durchlaufen muß und hier das bereits genannte Problem der Materialspannungen auftritt. Außerdem ist der Wirkungsgrad der polarisationsoptischen Strahlteiler nicht so gut, daß eine vollständige Trennung in zwei orthogonal polarisierte Komponenten stattfindet. Es bleibt ein Restanteil un­ polarisierten bzw. elliptisch polarisierten Lichtes, der die Meßgenauigkeit beeinträchtigt.

Außerdem hat die Verwendung eines relativ hohen Modulations­ hubes von 90° zur Folge, daß der photoelektrische Empfänger dauernd bei hoher Leistung betrieben wird und ein entsprechend schlechtes Signal/Rauschverhältnis besitzt. Da das eigentliche Meßsignal die Differenz zweier Signale mit sehr hohem Pegel darstellt, wird die Empfindlichkeit der Winkel­ messung hierdurch stark eingeschränkt.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur polarisationsoptischen Rollwinkel­ messung zu schaffen, mit der eine möglichst hohe Meßgenauigkeit bei gleichzeitig geringem baulichen Aufwand erzielt werden kann.

Ausgehend von einem Verfahren bzw. einer Vorrichtung nach dem Oberbegriff der Ansprüche 1 bzw. 5 wird diese Aufgabe durch die im Kennzeichen dieser Ansprüche angegebenen Merkmale gelöst.

Da die Aufspaltung bzw. Zusammenführung der beiden Teil­ strahlengänge erfindungsgemäß allein durch Spiegeloptik er­ folgt, vorzugsweise durch den für die Modulations- bzw. periodischen Unterbrechnung der beiden Teilstrahlengänge ohne­ hin vorgesehenen Schwenkspiegel oder ein Spiegelrad, sind Durchgänge des polarisierten Lichtes durch Glasmaterial und die damit verbundene depolarisierende Wirkung von Material­ spannungen vollständig ausgeschlossen. Außerdem läßt sich mit der erfindungsgemäßen Lösung eine relativ hohe Genauigkeit der Winkelmessung erzielen, da die einstellbaren Polarisatoren nur wenige Winkelgrade gegeneinander verdreht sind, der Modulationshub deshalb klein ist und der photoelektrische Empfänger nicht übersteuert sondern in einem Bereich betrieben wird, in dem das Signal/Rauschverhältnis des Meßsignales optimal ist. Der optimale Bereich kann einfach dadurch gefunden werden, daß bei vorgegebener Lichtleistung und je nach verwendetem Empfängertyp der Modulationshub durch Verdrehen der beiden Polarisatoren zueinander auf optimales Signal/Rauschver­ hältnis des Meßsignals eingestellt wird.

Im Hinblick auf eine möglichst hohe Meßgenauigkeit des Verfahrens ist es zweckmäßig, wenn zur Detektion der Polari­ sationsrichtung ein drehbarer Analysator verwendet wird und die Messung nach der Kompensationsmethode vorgenommen wird, indem der Analysator solange verdreht wird, bis das auf der Modulationsfrequenz nachgewiesene Detektorsignal verschwindet. Die Kompensationsmethode bedeutet nicht notwendigerweise eine Verringerung der Meßgeschwindigkeit, denn es können vorzugsweise piezoelektrische Stellglieder zum Nachdrehen des Analysators eingesetzt werden, die äußerst schnell reagieren.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Fig. 1-7 der beigefügten Zeichnungen.

Fig. 1a ist eine Prinzipskizze des Strahlenganges in einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 1b zeigt das Spiegelrad (8) aus Fig. 1a in Aufsicht in verändertem Maßstab;

Fig. 2a-c sind Diagramme, in denen der zeitliche Verlauf der Modulation des polarisierten Lichtes (Fig. 2a), die Intensität des vom Detektor (23) aus Figur abgegebenen Signales bei exakter Mittelstellung des Analysators (21) (Fig. 2b) sowie die Intensität des vom Detektor (23) abgegebenen Signales bei einer Verdrehung um den Winkel ε aus der Mittel­ stellung heraus (Fig. 2c) dargestellt ist;

Fig. 3 ist ein Blockschaltbild der bei der Vorrichtung gemäß Fig. 1a verwendeten Elektronik;

Fig. 4 ist eine Prinzipskizze, die den Strahlenverlauf in einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;

Fig. 5 ist eine detaillierte Ansicht der Drehvorrichtung (22) für den Analysator (21) aus Fig. 1a entlang der optischen Achse;

Fig. 6 ist eine Ansicht des Teils (22) entlang der Pfeile IV-IV in Fig. 5;

Fig. 7 zeigt das Teil (22) aus Fig. 5 in Aufsicht.

Die in Fig. 1a dargestellte polarisationsoptische Vorrichtung zur Rollwinkelmessung besteht aus einem feststehenden Gehäuse (1), in dem sich unter anderem die Strahlquelle (2) und die noch zu beschreibende Optik zur Modulation zur Polarisations­ richtung des aus einer Öffnung (10) austretenden Lichtstrahls befindet, sowie der am beweglichen Maschinenteil befestigten Nachweiseinrichtung (20). Wie durch die Pfeile (a) und (b) angedeutet, ist das bewegliche Maschinenteil entlang der Achse des Meßlichtstrahls (c) verschiebbar und führt Rollbewegungen (b) um die Verschiebeachse aus, bedingt beispielsweise durch Herstellungsfehler der Führungen der Maschine.

Als Strahlquelle im Gehäuse (1) dient beispielsweise ein Laser­ generator (2). Der von diesem ausgesandte Lichtstrahl wird von einem dahinter angeordneten Strahlteiler (3) in zwei Teil­ strahlengänge aufgespalten. In jedem der beiden Teilstrahlen­ gänge ist ein Spiegel (4) bzw. (5) angeordnet, von denen die beiden Teilstrahlen in Richtung auf einen Punkt (d) reflektiert werden, an dem sie wieder zusammengeführt werden. Hierzu ist ein rotierendes Spiegelrad (8) vorgesehen, das, wie aus Fig. 1b hervorgeht, zwei sich über einen Sektor von 90° erstreckende spiegelnde Flügel besitzt. Das Spiegelrad (8) ist zur Richtung des aus der Öffnung (10) austretenden Lichtstrahl geneigt ange­ ordnet, so daß bei Rotation des Spiegelrades abwechselnd der vom Reflektor (5) reflektierte Teilstrahl und der vom Reflektor (4) kommende Teilstrahl in Richtung der Meßachse (c) re­ flektiert werden.

Zwischen den Reflektoren (4) bzw. (5) und dem die beiden Teil­ strahlengänge wieder zusammenführenden Spiegelrad (8) sind je ein Polarisator (6) und (7) in die beiden Teilstrahlengänge eingefügt. Die Polarisatoren (6) und (7) sind hinsichtlich ihrer Polarisationsrichtung so eingestellt, da sich eine Winkeldifferenz 2 δ von wenigen Grad, vorzugsweise 0,5°-3° zwischen ihnen ergibt. Demgemäß ist der Meßstrahl (c) hin­ sichtlich seiner Polarisationsrichtung mit der Amplitude δ und der doppelten Rotationsfrequenz des Spiegelrades (8) moduliert.

Die Richtung dieses aus der Öffnung (10) austretenden Laser­ strahls soll dabei möglichst gut mit der Verfahrrichtung (a) des beweglichen Maschinenteils übereinstimmen.

Im Gehäuse (20) am beweglichen Maschinenteil ist ein von einer Drehvorrichtung (22) um kleine Winkel um die Meßachse (c) verdrehbarer Analysator (21) und in Lichtrichtung gesehen da­ hinter ein photoelektrischer Detektor (23) angeordnet. Wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, wird das Signal des Detektors (23) einem Lock-In-Verstärker (24) zugeführt, an dessen Referenzein­ gang die Motorsteuerung (25) für das Spiegelrad (8) ange­ schlossen ist. Der Lock-In-Verstärker (24) weist das Signal des Detektors (23) auf der Modulationsfrequenz (f) nach, mit dem die Polarisationsrichtung des Meßstrahles (c) abwechselnd hin­ und hergeschaltet wird. Der Ausgang des Lock-In-Verstärkers (24) ist mit einer Regelelektronik (26) verbunden. Diese Regel­ elektronik dreht den Polarisator (21) aus Fig. 1a, bzw. die elektromechanische Drehvorrichtung (22), auf der er montiert ist, solange nach, bis das Detektorsignal (23) auf der Modulationsfrequenz verschwindet. Das winkelproportionale Aus­ gangssignal der Regelelektronik (26) ist außerdem einer An­ zeigeeinheit (27) zugeführt, auf der dann der Rollwinkel als eigentliche Meßgröße dargestellt wird.

In Fig. 2a ist der zeitliche Verlauf der Polarisationsrichtung des Meßstrahles (c) dargestellt. Wenn die Polaristoren (6) und (7) aus Fig. 1a gegeneinander um einen Winkel von 2 δ verdreht sind, dann oszilliert die Polarisation des Meßstrahles (c) um den Mittelwert Φ ₀ mit der Amplitude δ.

Der Analysator (21) ist senkrecht in Bezug auf den Mittelwert Φ ₀ der Polarisationsrichtung eingestellt. Aufgrund der symmetrischen Rechteckmodulation sperrt der Analysator das auf ihn auffallende Licht jedoch nicht vollständig, sondern läßt einen Teil des Lichtes hindurch, dessen Intensität von der Modulationsamplitude abhängig ist. Der funktionelle Zusammen­ hang wird durch folgende Gleichung beschrieben:

I = I₀ sin²δ (1)

Ein entsprechendes elektrisches Gleichstromsignal liefert der Detektor (23) an seinem Ausgang.

Ist jedoch der Analysator (21) infolge einer Rollbewegung beim Verfahren des beweglichen Maschinenteils aus der Nullage heraus um den Winkel ε verdreht, dann wechselt das Meßsignal im Takte der Modulationsfrequenz zwischen den Werten I ₀ sin² (δ+ε) und in I ₀ sin² ( -δ+ε). Dieser Verlauf ist in Fig. 2c dargestellt. Für kleine Rollwinkel ist diese Differenz, d.h. die Amplitude des Wechselstromsignals, das der Detektor (23) abgibt, näherungsweise

S = 4ε I₀ sin δ (2)

d.h. das Signal ist direkt proportional zu ε. Aus den Fig. 2b und 2c ist ersichtlich, daß der dem Wechsellichtsignal überlagerte Gleichsignalpegel durch Einstellen der Winkel­ differenz 2 δ der beiden Polarisatoren (6) und (7) unabhängig vom Wechsel-Lichtsignal eingestellt und an die Charakteristik des verwendeten Empfängers (23) angepaßt werden kann.

In Fig. 4 ist eine alternative Einrichtung zur Modulation der Polarisation des Meßstrahles (c) dargestellt:

Auf den Ausgang des Lasergenerators (12) im Gehäuse (11) folgt hier ebenfalls ein Strahlteiler (13), der den Laserstrahl in zwei Teilstrahlen aufspaltet. Der Strahlteiler (13) und ein dahinter angeordneter Reflektor (14) sind bezüglich ihrer Winkelstellung so justiert, daß sich die beiden reflektierten Teilstrahlen auf der Oberfläche eines Schwingspiegel (18) treffen. Zwischen Strahlteiler (13) bzw. Reflektor (14) und dem Schwingspiegel (18) sind wieder jeweils zwei Polarisatoren (16) bzw. (17) in die beiden Teilstrahlengänge eingefügt.

Zwischen dem Schwingspiegel (18) und einer Öffnung (15), durch das der Meßstrahl austritt, ist eine Blende (19) angeordnet. Die Abmessung der Blendenöffnung ist dabei an den Bündelquerschnitt des Meßstrahles angepaßt.

Der Schwingspiegel (18) oszilliert nun periodisch zwischen zwei Stellungen, in denen er jeweils einen der beiden Teilstrahlen durch die Blendenöffnung hindurch reflektiert.

Auch in diesem Ausführungsbeispiel befinden sich zwischen den Polarisatoren (16) und (17) und den Analysator am beweglichen Maschinenteil keine weiteren Strahlteiler, von denen die Polarisation des Meßstrahles gestört werden könnte. Die Strahlvereinigung der beiden unterschiedlich polarisierten Teilstrahlengänge erfolgt vielmehr allein durch spiegelnde Flächen.

In Fig. 5 ist eine besonders vorteilhafte Ausführungsform der Drehvorrichtung beschrieben, mit der der Analysator (21) zur Kompensation der Rollbewegung des beweglichen Maschinenteils während des Meßvorganges nachgeführt wird. Hierzu ist der Träger (34) des Halters (31) für den Polarisator (21) auf einer Platte (33) befestigt, die ihrerseits mittelbar über eine Blattfeder (32) an einer zweiten Platte (30) angeschraubt ist. Die Platte (30) ist mit dem verschieblichen Maschinenteil verbunden, dessen Rollbewegung gemessen werden soll.

Das freie Ende der Biegeplatte (33) ist mit einem portalförmigen Halter (37) verbunden. In die Öffnung des Halters (37) ist eine piezoelektrische Antriebsvorrichtung (35) eingesetzt, die sich einerseits an der Grundplatte (30) und andererseits über den Halter (37) an der Biegeplatte (33) abstützt. Solche piezoelektrischen Antriebsvorrichtungen oder Piezotranslatoren werden beispielsweise unter der Bezeichnung "P-172" von der Firma "Physik-Instrumente (PI) GmbH" ver­ trieben und sind mit einem integrierten Ortssensor (Bezeichnung: P-177) lieferbar, der einen hysteresefreien Betrieb des Piezotranslators erlaubt. Mit (36) und (38) sind die Anschlußbuchsen des Piezotranslators und des Ortssensors bezeichnet.

Die beschriebene Drehvorrichtung arbeitet spielfrei und schnell und ist insbesondere dann zweckmäßig, wenn nur kleine Winkelbewegungen herbeigeführt werden sollen. Dies ist jedoch bei Rollwinkelmessungen an Maschinenteilen stets der Fall. Die zu messenden Winkelabweichungen betragen nur Bruchteile eines Grades.

Im beschriebenen Ausführungsbeispiel wird das für kleine Winkel der Verdrehung proportionale Steuersignal des Piezotranslators direkt zur Anzeige des gemessenen Rollwinkels verwendet. Dies ist zulässig, wenn die Nichtlinearitäten der Kennlinie des Piezotranslators durch geeignete Maßnahmen in der Steuerelektronik (26) für den Piezotranslator kompensiert sind, beispielsweise, indem der oben angesprochene Ortssensor in den Regelkreis der Steuerelektronik für den Piezotranslator eingebunden wird. Es ist jedoch auch möglich, insbesondere wenn für andere Anwendungszwecke relativ große Drehwinkel gemessen werden sollen, der Drehvorrichtung (22) einen eigenen Winkel­ geber zuzuordnen und dessen Signal als Maß für den Rollwinkel anzuzeigen.

Außerdem ist aus Fig. 1a ersichtlich, daß der Aufbau der Meßvorrichtung bezüglich Strahlquelle (2) und Detektor (23) symmetrisch ist, d.h. die beiden Bauelemente können gegeneinander ausgetauscht werden. Ebenso ist es nicht nötig, daß sich die Nachweiseinrichtung (20) am verschiebbaren Maschinenteil befindet. Erfaßt werden relative Winkelbewegungen zwischen den Teilen (1) und (20) der Vorrichtung. Hingegen ist es wichtig, daß zwischen den Polarisatoren (6) und (7) sowie dem Analysator (21) keine Glaswege vom Lichtstrahl (10) zu durchlaufen sind.

Zwar tritt auch bei der Reflexion des durch den Polarisator (6) hindurchgehenden Teilstrahles an der Oberfläche des Spiegel­ rades (8) eine Phasenverschiebung zwischen S- und P- Polarisation auf, wenn die Polarisationsrichtung des ein­ fallenden, linear polarisierten Lichtes nicht senkrecht oder parallel zur Einfallsebene des Spiegels ausgerichtet ist. Die Folge hiervon, eine teilweise Depolarisierung bzw. der ent­ stehende elliptische Polarisationszustand läßt sich jedoch ohne weiteres vermeiden, da die beiden Polarisatoren (6) und (7) gemeinsam verdreht werden können und der Polarisator (6) damit so gegenüber der Spiegelfläche orientiert werden kann, daß die genannte Bedingung für diesen Teilstrahlengang erfüllt ist. Entsprechend kann auch in der Anordnung nach Fig. 4 verfahren werden, da die Winkeldifferenz zwischen den dort mit (16) und (17) bezeichneten Polarisatoren nur gering ist.

Infolge der Kompensationstechnik, bei der der Analysator (21) dem zu messenden Rollwinkel nachgedreht wird, sind außerdem Einflüsse einer schwankenden Lichtleistung auf die Meßgenauigkeit eliminiert. Ferner hängt die Empfindlichkeit der Winkelmessung nicht von der Einhaltung des genauen Intensitätsverhältnisses zwischen den beiden Teilstrahlen bzw. vom Einhalten eines exakten Steg- Lückeverhältnis von 1 zu 1 des Spiegelrades (8) oder des "Tastverhältnisses" des Klappspiegels (18) in Fig. 4 und auch nicht von der Modulationsamplitude 2 δ für die Polarisationsrichtung ab, solange diese Parameter fest vorgegeben sind und sich zeitlich nicht ändern.

Claims (10)

1. Verfahren zur Rollwinkelmessung an beweglichen Maschinen­ teilen, bei dem ein polarisierter Lichtstrahl hinsichtlich seiner Polarisationsrichtung moduliert wird, indem der Lichtstrahl in zwei Teilstrahlengänge mit unterschiedlicher Polarisationsrichtung aufgespalten, beide Teilstrahlengänge periodisch unterbrochen und wieder zusammengeführt werden, und bei dem der Rollwinkel durch Messung der Polarisations­ richtung relativ zum beweglichen Maschinenteil ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß

• - in die beiden Teilstrahlengänge Polarisatoren (6, 7; 16, 17) eingefügt und auf eine Differenz der Polarisations­ richtung von bis zu wenigen Winkelgraden eingestellt werden,
• - die Aufspaltung bzw. Zusammenführung der beiden Teil­ strahlengänge zumindest an einer Stelle allein durch Spiegeloptik vorgenommen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterbrechung und Wiedervereinigung der beiden Teil­ strahlengänge mit einem beweglichen Reflektor (8; 18) vorge­ nommen wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Detektion der Polarisationsrichtung ein drehbarer Analysator (21) verwendet wird, hinter dem ein Empfänger (23) angeordnet ist, und die Messung nach der Kompensationsmethode vorgenommen wird, indem der Analysator solange gedreht wird, bis das auf der Modulationsfrequenz nachgewiesene Detektorsignal verschwindet.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Polarisatoren (6, 7; 16, 17) das Licht linear polarisieren und bezüglich ihren Polarisationsrichtungen so gegenüber der Spiegelfläche (8; 18) der Spiegeloptik ausgerichtet werden, daß der nach Spiegelung enthaltene Anteil elliptisch polarisierten Lichtes minimiert ist.

5. Vorrichtung zur Rollwinkelmessung mit einer Lichtquelle, einer Optik zur Teilung des von der Lichtquelle ausgehenden Strahlenbündels in zwei unterschiedlich polarisierte Teil­ strahlengänge, einer Einrichtung zur periodischen Modulation der beiden Teilstrahlengänge und Mitteln zur Wiedervereinigung der beiden Teilstrahlengänge sowie einer Detektoreinheit am beweglichen Maschinenteil, die bezüglich der Polarisationsrichtung des empfangenen Lichtstrahl empfindlich ist, dadurch gekennzeichnet, daß

• - in beiden Teilstrahlengängen einstellbare Polarisatoren (6, 7; 16, 17) angeordnet sind, die bezüglich der Polari­ sationsrichtung um wenige Winkelgrade gegeneinander ver­ dreht sind,
• - die Modulationseinrichtung ein an der Stelle des Auf­ teilens bzw. Zusammenfügens der beiden Teilstrahlengänge angeordnetes, bewegliches Spiegelelement (8; 18) umfaßt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegeloptik ein mit gleichförmiger Geschwindigkeit rotierendes Spiegelrad (8) ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegeloptik ein vor einer Blende angeordneter Schwenk­ spiegel (18) ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoreinheit aus einem um kleine Winkel motorisch verstellbaren Analysator (21) und einem dahinter ange­ ordneten photoelektrischen Empfänger (23) sowie einer elektronischen Anordnung (24, 26) besteht, die den Analysator (21) abhängig vom Signal des Detektors (23) verdreht.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Analysator auf einer piezoelektrisch auslenkbaren Biegeplatte (33) montiert ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektoreinheit eine Anzeigevorrichtung (27) zugeordnet ist, der ein von der Winkelstellung des Analysators (21) abgeleitetes Signal zugeführt ist.