DE3025830C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Astigmatismus bei Raster-Elektronenmikroskopen und dergleichen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Astigmatismus bei Raster-Elektronenmikroskopen und dergleichen

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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators

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