DE3020824A1

DE3020824A1 - Verfahren zum galvanischen metallabscheiden

Info

Publication number: DE3020824A1
Application number: DE19803020824
Authority: DE
Inventors: Kiyoshi Inoue
Original assignee: Inoue Japax Research Inc
Current assignee: Inoue Japax Research Inc
Priority date: 1979-06-01
Filing date: 1980-06-02
Publication date: 1980-12-11
Also published as: US4269672A; IT8048862A0; FR2457912A1; JPS55161092A; JPS6056238B2; IT1127490B; DE3020824C2; FR2457912B1; GB2052562A; GB2052562B

Description

Inoue-Japax Research Incorporated Yokohamashi, Kanagawaken Japan

Verfahren zum galvanischen Metallabscheiden

Die Erfindung bezieht sich auf die galvanische Metallabscheidung, insbesondere ein verbessertes Verfahren zulti gleichmäßigen galvanischen Abscheiden von Metall auf eine gekrümmte, unregelmäßige oder allgemein nichtebene Oberfläche, also eine mit einem Überzug zu versehende Unterlage oder Form, von der der Metallüberzug anschließend abgenommen wird, so daß ein elektrogeformtes Erzeugnis erhalten wird.

Beim galvanischen Metallabscheiden auf eine nichtebene Unterlage ist es allgemein bekannt, daß es vorteilhaft ist, eine einfache langgestreckte oder stabförmige Elektrode (nachstehend als Anode bezeichnet) zu verwenden, die dünn und gerade und über ihre Gesamtlänge im wesentlichen kontinuierlich ist. Die stabförmige Anode wird in einer Einrichtung zum galvanischen Metallabscheiden, in der sie anodisch gepolt ist, relativ zu einer Unterlage bzw. einem

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Werkstück mit größerer Oberfläche, das kathodisch gepolt ist, mit Strom beaufschlagt und in Anwesenheit eines galvanischen Bads bzw. Elektrolyten der Unterlage gegenüber angeordnet, so daß ihr Ende eine aktive Abscheidungsflache bildet und ein Metall aus dem galvanischen Bad auf den Bereich der Unterlage abgeschieden wird, der der aktiven Anodenfläche gegenüberliegt. Dabei wird die stabförmige Anode abtastend längs der Oberfläche der Unterlage bewegt, so daß das Metall sukzessive und kontinuierlich auf die Gesamtfläche der Unterlage abgeschieden wird.

Bei der Durchführung des Abtastvorgangs der Anode ist es möglich, sowohl die Position als auch die Stellung der stabförmigen Anode so einzustellen, daß ihre Achse ständig senkrecht zu der Tangente zur Oberfläche der Unterlage an jedem Punkt derselben orientiert ist und ihr Ende, das die aktive Anodenfläche bildet, ständig einen fest vorgegebenen Abstand von der Oberfläche der Unterlage an jedem Punkt derselben hat, während die Verweilzeit der aktiven Anodenfläche relativ zu jedem Oberflächenpunkt gleich gehalten wird. In diesem Fall gilt: je größer der Abstand zwischen den Elektroden, desto größer ist der Stromverbrauch und desto unregelmäßiger wird die Dicke des Metallüberzugs. Andererseits wird die Anode durch Verkleinerung des Abstands gezwungen, sich längs einer größeren Abtastbahn zu bewegen, was eine größere Dauer des Verschiebeprogramms bedingt. Auch kann beim Abtasten eine übermäßig hohe Schwankung auftreten. Es ist daher erwünscht, daß eine geeignete Wahl für den während des Abtastens zu unterhaltenden Abstand zwischen den Elektroden entsprechend der speziellen Konfiguration und Oberfläche der galvanisch zu behandelnden Unterlage getroffen wird. Die Lageverstellung der stabförmigen Anode aus einer Lage in die nächstfolgende verlangt aber eine komplizierte und teure Anordnung sowie komplizierte Berechnungen bei der Vorbereitung eines geeigneten Abtast-

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Programms, so daß sie in der Praxis nicht vorteilhaft einsetzbar ist.

Bisher wird daher die stabförmige Anode so gehalten, daß ihre Achse ständig parallel zu einer bestimmten Achse (der Z-Achse) oder senkrecht zu einer bestimmten Ebene (der X-Y-Ebene) orientiert ist, und wird so verschoben, daß sich ihr aktives Ende längs einer gedachten Krümmung, definiert durch die Parallelverschiebung längs der gleichen Achse, des Oberflächenverlaufs der Unterlage mit einem jeweils gewünschten Abstand bewegt. Dabei wird der genannte Abstand oder der vom Anodenende längs der Verlängerung der Anodenachse zum Schnittpunkt mit der Oberflächenkontur oder der Unterlage gemessene Abstand gleichbleibend gehalten. Dadurch ist eine leichte Erstellung des erforderlichen Abtastbahn-Programms möglich, und es ergeben sich keine ernsthaften Probleme, wenn die Unterlage keinen plötzlich geneigten Abschnitt auf ihrer Oberfläche relativ zur Verlängerung der Anodenachse aufweist. Wenn aber ein solcher Abschnitt vorhanden ist, wird an dieser Stelle der Mindestabstand zwischen der aktiven Anodenfläche und der Unterlage stark vermindert, so daß die Gefahr einer Lichtbogenentladung oder eines Kurzschlusses besteht, was-.sehr nachteilig wäre. Außerdem ergibt sich eine übermäßige galvanische Metailabscheidung, und in solchen Bereichen kann die aktive Anodenfläche unregelmäßig erodieren. Infolgedessen ist das Verfahren sowohl hinsichtlich der Wirksamkeit als auch der Präzision des Überzugs unbefriedigend.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines verbesserten Verfahrens zum galvanischen Metallabscheiden, mit dem auf eine gekrümmte, unregelmäßig und allgemein nichtebene Unterlage, die eine große zu überziehende Fläche haben kann, ein gleichmäßiger galvanischer Metallüberzug aufbringbar ist;

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dabei soll die Aufbringung des galvanischen Metallüberzugs auf die nichtebene Unterlage gleichmäßig mit einem relativ einfachen Vorgang ermöglicht werden, wobei ein galvanischer Metallüberzug hoher Güte und Präzision erhalten wird.

Das Verfahren nach der Erfindung zum galvanischen Metallabscheiden auf eine Unterlage, bei dem eine stabförmige .Anode der Unterlage an einem von dem galvanischen Bad durchflossenen Spalt axial und mit Abstand gegenüberliegt, ein elektrischer Strom zwischen der stabförmigen Anode und der Unterlage durch den Spalt fließt, so daß das Metall aus dem Bad bevorzugt wenigstens auf denjenigen Bereich der Unterlage galvanisch abgeschieden wird, der einem Ende der Anode gegenüberliegt, und die stabförmige Anode relativ zur Unterlage bewegt wird, während die Orientierung ihrer Achse im wesentlichen senkrecht zu einer vorbestimmten Ebene gehalten wird, so daß das Metall sukzessive auf die Gesamtfläche der Unterlage galvanisch abgeschieden wird, ist gekennzeichnet durch Einstellen der Lage der stabförmigen Anode relativ zum Oberflächenverlauf der Unterlage derart, daß im wesentlichen über deren Gesamtfläche die folgende Beziehung aufrechterhalten wird:

G = ^Gs
sin«

mit G = Abstand zwischen dem der Unterlage nahen Ende

der Anode und dem Schnittpunkt der Verlängerung der Anodenachse mit der Oberflächenkontur, OC = ein durch diese Verlängerung mit einer Tangente der Oberflächenkontur am Schnittpunkt gebildeter Winkel, und

Gs = eine Konstante, die einen Sollabstartd zwischen Anode und Unterlage bezeichnet.

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Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 teilweise im Schnitt eine Ansicht einer beispielsweisen galvanischen Metallabscheidungs-Einrichtung, mit der das Verfahren durchführbar ist;

Fig. 2 eine Draufsicht, die eine beispielsweise

Bewegungsbahn der stabförmigen Anode relativ zu einer Unterlage oder einer Form zeigt;

Fig. 3 eine Schnittansicht der Unterlage längs der Linie III-III, wobei ein Teil der Bewegungsbahn gezeigt ist;

Fig. ή· eine Schnittansicht, die das herkömmliche

Verfahren zum Einstellen der Lage der stabförmigen Anode relativ zur Unterlage bei der Abtast-Verschiebung verdeutlicht;

Fig. 5 eine Schnittansicht, die eine weitere Möglichkeit zum Einstellen der relativen Lagen der stabförmigen Anode und der Unterlage zeigt; und

Fig. 6 eine Schnittansicht, die das Verfahren nach der Erfindung zum Einstellen der Lage der stabförmigen Anode relativ zur Unterlage bei Abtast-Versehiebung verdeutlicht.

Die Einrichtung zum galvanischen Metallabscheiden nach Fig. kann eingesetzt werden, um auf eine große, nichtebene Unterlage, die ein Werkstück oder eine Form 1 ist, einen galvanischen Überzug aufzubringen. Die Einrichtung umfaßt einen Behälter 2, der an seinem Oberende parallele Schienen 3 aufweist, auf denen eine X-Achse-Elektrodenleiteinheit 4 geführt ist. Die X-Achse-Leiteinheit 4· umfaßt einen Wagen 5,

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zwei Räder 6, die auf den Schienen 3 verfahrbar sind, eine Welle 7, einen Schrittmotor 8, Kettenkränze 9 und 10 sowie eine Kette 11. Eine Y-Achse-Elektrodenleiteinheit 12 umfaßt einen Wagen 13, zwei Räder 14·, die auf Schienen des X-Achse-Wagens 5 verfahrbar sind und den Wagen 13 sowie einen Y-Achse-SChrittmotor 15 haltern. Eine stabförmige Elektrode 17 ist vertikalverstellbar an einer Halterung 16 angeordnet, die am Y-Achse-Wagen 13 durch einen darin vorgesehenen Z-Achse-Schrittmotor (nicht gezeigt) gesichert ist. Eine Gleichstromversorgung 18 ist mit der Elektrode 17 und der Unterlage bzw. dem Werkstück 1 über einen Widerstand 19 und einen Ein-Aus-Schalter 20 so verbunden, daß die Elektrode 17 als Anode und die Unterlage als Kathode gepolt sind. Der Widerstand kann als Teil eines Fühlglieds 22 für die Integration des Abscheidungsstroms zur Anzeige des Verbrauchs der Stabanode 17 eingesetzt werden. Der Ein-Aus-Schalter 20, der ein Transistor ist, ist unter der Steuerung durch einen Signalimpulsgeber ein- und ausschaltbar, so daß der Abscheidungsstrom entweder in Form einer Impulsserie zwischen die stabförmige Anode 17 und die Unterlage 1 oder kontrolliert zugeführt wird. Eine Steuerstufe 21 wird von einem Taktgeber 23 angesteuert und führt dem X-Achse-Schrittmotor 8, dem Y-Achse-Schrittmotor 15 und dem Z-Achse-Schrittmotor entsprechende Antriebsimpulse zu, die gemäß einem vorbestimmten Ansteuerprogramm für die stabförmige Anode 17 erzeugt werden; ferner führt sie dem Ein-Aus-Schalter 20 Signalimpulse zu.

Die stabförmige Anode 17 ist von der Halterung 16 oder der Z-Achse-Einheit so gehalten, daß ihre Achse ständig senkrecht zu einer festgelegten X-Y-Ebene verläuft und, während die Einheiten 4-, 12 und 16 durch ihre vom numerischen Teil der Steuerstufe 21 angetriebenen Schrittmotoren bewegt werden, schrittweise längs drei Koordinaten oder Achsen X, Y und Z verschoben wird, so daß ihr Ende 17a einer relativ zur

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Unterlage 1 vorbestimmten Bahn, z. B. einer Strichpunktlinie C in den Fig. 2 und 3, folgt. Mit fortschreitender Verschiebung zwischen der stabförmigen Anode 17 und der Unterlage 1 erfolgt von der Anode 17 bevorzugt auf denjenigen Bereich der Unterlage 1, der dem aktiven Anodenende 17a gegenüberliegt, eine Metallabscheidung, so daß nacheinander auf die Gesamtfläche der Unterlage 1 eine galvanische Metallabscheidung stattfindet.

Fig. A- zeigt das bisher angewandte Verfahren, zum Einstellen der Lage der stabförmigen Anode 17 relativ zur Unterlage 1 bei der Durchführung eines solchen Abtastvorgangs. Dabei sind eine Oberflächenkontur der Unterlage 1 in einer Z-X-Ebene und eine dieser gegenüberliegende Bahn des Endes 17a der Anode 17 gezeigt. Dabei umfaßt die Oberflächenkontur eine gerade Zone AB, eine gekrümmte Zone mit einem Radius r und eine ebene Zone DE am Unterende. Bei diesem Verfahren ist die Bahn abcde des Anodenendes 17a eine Parallelverschiebung längs der Z-Achse der mit einem Überzug zu versehenden Oberflächenkontur ABCDE um einen unveränderlichen Abstand Gs. Dieses Verfahren ermöglicht die einfache Vorbereitung eines Antriebsprogramms für die numerische Steuerung und bietet keine Probleme, wenn das Werkstück keine plötzliche Neigung auf seiner Oberfläche in bezug auf den Verlauf der Achse der Anode 17 aufweist. Wenn aber ein solcher Abschnitt wie etwa die Zone BC vorhanden ist, wobei relativ zur Anodenachse eine abrupte Neigung der Kontur vorhanden ist, wird der Mindestabstand zwischen dem Anodenende 17a und der Unterlage 1 stark vermindert, so daß sich die Gefahr einer Bogenentladung oder eines Kurzschlusses ergibt, was natürlich nachteilig ist. Ferner besteht die Gefahr, daß die galvanische Metallabscheidung an einer Stelle konzentriert wird und in solchen Bereichen das aktive Anodenende 17a unregelmäßig erodiert. Infolgedessen

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wird sowohl in bezug auf Arbeitsleistung als auch auf die Präzision des Überzugs eine Verschlechterung eintreten.

Zur Lösung dieses Problems kann anstelle des Bahnabschnitts bed ein Bahnabschnitt b'c'd' (vgl. Fig. 5) verwendet werden, der von der Kontur BCD in Richtung von deren Radius um einen Abstand Gs parallelverschoben ist, während für die restliche Bahn identische Abschnitte ab und de verwendet werden. Dies macht es erforderlich, daß das Anodenende 17a nach der anfänglichen Metallabscheidungs-VerSchiebung vom Punkt a zum Punkt b vom Punkt b zum Punkt b¹ reorientiert wird, während der Abscheidungsstrom abgeschaltet wird, wonach nach dem Wiedereinschalten des Abscheidungsstroms die Anode längs der Bahn b'c'd' bewegt wird. Mit diesem Verfahren ist es zwar möglich, die Einrichtung wirksam gegen einen Kurzschluß oder eine Bogenentladung im Bereich des Punkts B zu schützen, aber einerseits sind sehr komplizierte Rechen- und Vorbereitungsschritte für das erforderliche Steuerprogramm nötig, und andererseits ist damit kein gleichmäßiger galvanischer Überzug erzielbar. Bei einer unveränderlichen Verschiebungsgeschwindigkeit der Anode 17 längs der X-Achse ist ersichtlich, daß die Verweilzeit des Anodenendes 17a oder die effektive Metallabscheidungsdauer im Bereich des Abschnitts BC der Unterlage sehr kurz wird, weshalb die Überzugsdicke in diesem Bereich sehr gering ist. Es kann zwar versucht werden, dieses Problem durch Verminderung der Verschiebegeschwindigkeit der Anode längs dem Bahnabschnitt b'c'd' zu lösen, aber dadurch ergibt sich nur eine übermäßig starke Metallabscheidung im Bereich des Punkts B, und diese Maßnahme führt schließlich doch nicht zu einem gleichmäßigen galvanischen Metallüberzug.

Bei dem Verfahren nach der Erfindung zum Einstellen der Lage der stabförmigen Anode relativ zur Unterlage in einer Einrichtung zum galvanischen Metallabscheiden ist eine NC-Pro-

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grammierung sehr leicht durchführbar, wobei gleichzeitig ohne die Gefahr von Bogenentiadungen oder Kurzschlüssen sehr gleichmäßige und zufriedenstellende galvanische Metallüberzüge erzielt werden. Dabei ist folgendes vorgesehen: Einstellen der Lage der stabförmigen Anode relativ zur Unterlage derart, daß der zwischen dem Ende 17a der Anode 17 und dem Schnittpunkt der Verlängerung der Anodenachse mit der Oberflächenkontur des Werkstücks gebildete Abstand so aufrechterhalten wird, daß die folgende Beziehung erfüllt ist:

G = Gs/sinoC

mit Gs = ein gleichbleibender Sollabstand, und OC - ein durch die genannte Verlängerung mit der Tangente der Oberflächenkontur am Schnittpunkt gebildeter Winkel.

Wenn bei dem bekannten Verfahren nach Fig. k das Ende 17a der Anode 17 direkt oder senkrecht über einem Punkt C auf der Oberfläche der Unterlage 1 positioniert ist, ist der Abstand Gs zwischen diesem Punkt C und dem Anodenende 17a eine festgelegte Regelgröße. Bei dem Verfahren nach Fig. wird die Anode 17 einfach in Richtung des Radius irgendeines Punkts C auf der Oberfläche um einen Abstand Gs parallelverschoben, der wiederum eine festgelegte Regelgröße ist. Im Gegensatz dazu bezieht sich das neue Verfahren auf den Abstand G, der, wenn die Anode 17 direkt über irgendeinem Punkt C auf der Oberfläche einer Unterlage positioniert ist, zwischen diesem Punkt C und dem Anodenende 17a gebildet ist, so daß die Beziehung G = Gs/sinOC im wesentlichen immer erfüllt ist. In diesem Fall bezeichnet die von dem Anodenende 17a eingenommene Stellung c" den Schnittpunkt der Achse der Anode 17 mit einer Ebene, die mit der Tangentialebene

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an einem Punkt C in bezug auf die Oberflächenkontur parallel und um einen Abstand Gs davon beabstandet ist. Das bedeutet, daß bei einer ebenen, mit einem galvanischen Überzug zu versehenden Oberflächenkontur der kleinste Abstand zwischen dem Anodenende 17a und der Oberflächenkontur gleichbleibend Gs ist, und zwar unabhängig von dem Neigungswinkel der zu galvanisierenden Oberflächenkontur. Auch ist zu beachten, daß bei konkaver Oberfläche entsprechend den Fig. if und 5 der kleinste Abstand zwischen dem Anodenende 17a und der Oberflächenkontur ständig nicht mehr als der Sollabstand Gs ist. Wenn die zu galvanisierende Oberflächenkontur konvex ist, wird der kleinste Abstand nicht kleiner als dieser Sollabstand Gs. Normalerweise besteht die Tendenz, daß der galvanische Metallüberzug auf einem konvexen Bereich dicker als auf einem konkaven Bereich wird. Bei dem angegebenen Verfahren ist diese Gefahr wirksam beseitigt durch die Änderung des Abstands G zwischen den Elektroden längs der Verlängerung der Anodenachse, der je nach einer Änderung der Konvexität oder Konkavität der mit einem Überzug zu versehenden Oberf lächenkon.tur zunimmt oder abnimmt.

Das Verfahren wird unter Bezugnahme auf Fig. 6 noch weiter erläutert. Dabei ist die mit einem galvanischen Metallüberzug zu versehende Fläche ABC₁ C-C-jC. C₁-DE gezeigt, die einen Abschnitt C ' , C ' C ' ,C. C₁- aufweist, der eine Krümmung mit einem Radius r ist. Die Kurve b 'c ' ,c ' ~c ' c \c ',- ist eine Krümmung mit einem Radius (r - Gs). Die von dem Anodenende 17a zu beschreibende Bahn wird dadurch erhalten, daß man die Punkte ^c"l' ^o"2' ^c"3' ^c'V ^unc* ^c"5' ^*~^e über den Punkten C,, C-, C^j C. und C₅ liegen und von diesem um Abstände Gs/sinX·., Gs/sin6C_?, Gs/sin O< , Gs/sin öc. und Gs/sinOC,- beabstandet sind, gleichmäßig miteinander verbindet. Der Terminus sin für jeden der Winkel Oi, , <*„, O^, ö( und OC₁. wird in einfacher Weise aus einer Zeichnung der Unterlage 1 erhalten. Die Lage des Punkts C, wird so gewählt, daß der entsprechende Punkt c", auf der Bahn auf der Verlängerung der Linie ab liegt.

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-U-

Der Abschnitt AB wird mit einem galvanischen Überzug versehen, während die Anode vom Punkt a zum Punkt b verschoben wird, wobei (K = 90 . Wenn die Anode am Punkt b vorbeibewegt wird, wird der Winkel oC = 0, was bedeutet G = Gs/sinOC"^ oo Für den Abschnitt b^c", genügt es aber einfach, den Abscheidungsstrom abzuschalten. Beginnend mit dem Punkt b, wird somit der Abscheidungsstrom abgeschaltet, bis der Punkt c", geradlinig erreicht ist, woraufhin der Abscheidungsstrom wieder eingeschaltet wird und die Anode der Kurvenbahn 0",C¹¹PC¹¹^c". c'V folgt. Auf diese Weise wird eine erforderliche und ausreichende Anoden-Verweilzeit erhalten, so daß auch der Abschnitt BC, in zufriedenstellender Weise einen galvanischen Metallüberzug erhält. Doch wird für solche Abschnitte der Mindestabstand zwischen dem Anodenende 17a und der Oberfläche der Unterlage 1, der kleiner als der Sollabstand Gs ist und damit den Durchgang eines höheren Stroms ermöglicht, in solchem Maß gewährleistet, daß keine Bogenentladung oder Kurzschluß auftreten kann. Somit wird über die Gesamtfläche der Unterlage 1 eine sehr gleichmäßige galvanische Metallabscheidung erzielt.

Um die Gleichmäßigkeit der Dicke des ganvanischen Metallüberzugs zu verbessern, kann die Verschiebegeschwindigkeit der Anode geregelt werden. In diesem Fall genügt bereits eine geringe Änderung, die erhalten werden kann, ohne daß ein abnormaler Metallüberzug auf solchen Bereichen wie dem Punkt B ausgebildet wird, wie das bei dem Vergleichsverfahren der Fall ist.

Der Sollabstand Gs kann auf einen kleinen Wert von z. B. 0,5 mm, üblicherweise zwischen 0,1 und 10 mm, eingestellt werden, und der Durchsatz des galvanischen Bads im Bereich des Arbeitsspalts liegt bevorzugt im Bereich von 5-20 m/s.

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Der Abscheidungsstrom hat bevorzugt die Form von Impulsen mit einer Dauer von vorzugsweise weniger als 100 us oder weniger als 50 us. Die stabförmige Anode besteht bevorzugt aus einem Metall, einer Legierung oder einem anderen Werkstoff wie Kohlenstoff, der gegen elektrolytische Auflösung beständig ist. Die vorgenannten Einstellwerte ermöglichen ferner den Durchgang des Abscheidungsstroms mit einer Stromdichte von 5-15 A/cm , so daß die Galvanisiergeschwindigkeit 200-500mal höher ist, als das mit den bisher angewandten Verfahren mit geringer Stromdichte möglich ist, bei denen ine Stromdichte von 1-5 A/dm auftritt. Durch die Stromimpuls-Metallabscheidung, insbesondere mit einer Folge schmaler Impulse wie vorstehend angegeben, wird die gleichmäßige galvanische Metallabscheidung gewährleistet.

Es wird also ein verbessertes Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Metall auf eine gekrümmte, unregelmäßige oder nichtebene Unterlage angegeben, bei dem nur eine einfache NC-Programmierung erforderlich ist, das jedoch eine sehr einfache Metallabscheidung auf großflächigen oder unterschiedlich geformten Unterlagen ermöglicht.

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Claims

P a tentansprüche

1.' Verfahren zum galvanischen Metallabscheiden auf eine Unterlage, bei dem

- eine stabförmige Anode der Unterlage an einem von dem galvanischen Bad durchflossenen Spalt axial und mit Abstand gegenüberliegt;

- ein elektrischer Strom zwischen der stabförmigen Anode und der Unterlage durch den Spalt fließt, so daß das Metall aus dem Bad bevorzugt wenigstens auf denjenigen Bereich der Unterlage galvanisch abgeschieden wird, der einem Ende der Anode gegenüberliegt; und

- die stabförmige Anode relativ zur Unterlage bewegt wird, während die Orientierung ihrer Achse im wesentlichen senkrecht zu einer vorbestimmten Ebene gehalten wird, so daß das Metall sukzessive auf die Gesamtfläche der Unterlage galvanisch abgeschieden wird;

gekennzeichnet durch

- Einstellen der Lage der stabförmigen Anode relativ zum Oberflächenverlauf der Unterlage derart, daß im wesentlichen über deren Gesamtfläche die folgende Beziehung aufrechterhalten wird:

G =

Gs
sin*

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ORIGINAL INSPECTED

mit G = Abstand zwischen dem der Unterlage nahen Ende der Anode und dem Schnittpunkt der Verlängerung der Anodenachse mit der öberflächenkontur,

OC = ein durch diese Verlängerung mit einer Tangente der Oberflächenkontur am Schnittpunkt gebildeter Winkel, und

Gs = eine Konstante, die einen Soliabstand zwi schen Anode und Unterlage bezeichnet.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

- daß das galvanische Bad im Bereich des Arbeitsspalts wit einem Durchsatz von 5-20 m/s bewegt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

- daß als Abscheidestrom eine Folge von Impulsen mit einer Höchstdauer von 100 us verwendet wird..

4·. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,

- daß die Höchstdauer der Impulse 50 ρ bstrsgt.

5. Verfahren nsch Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

- daß der elektrische Strom den Arbeitsspalt mit einer Stromdichte Im Bereich von 5-15 A/cts" iurohsetzi.-

6. Verfahren nach Anspruch I₅

dadurch geksn-rislohnet,

- daß der 3öIIc.bstErid Go L·?, Bereich zv;I:v;h3r. C_; .1 -J.rA IO mm liegt.

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7. Verfahren nach Anspruch 1,

dadurch gekennzeichnet,

- daß die stabförmige Anode relativ zur Unterlage schrittweise längs drei aufeinander senkrechten Koordinatenachsen verschoben wird.

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