DE3017696A1 - Lichtempfindliches bilderzeugungsmaterial - Google Patents
Lichtempfindliches bilderzeugungsmaterialInfo
- Publication number
- DE3017696A1 DE3017696A1 DE19803017696 DE3017696A DE3017696A1 DE 3017696 A1 DE3017696 A1 DE 3017696A1 DE 19803017696 DE19803017696 DE 19803017696 DE 3017696 A DE3017696 A DE 3017696A DE 3017696 A1 DE3017696 A1 DE 3017696A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- polyamide
- layer
- thickness
- imaging material
- nylon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
- G03F1/56—Organic absorbers, e.g. of photo-resists
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L77/00—Compositions of polyamides obtained by reactions forming a carboxylic amide link in the main chain; Compositions of derivatives of such polymers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/11—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having cover layers or intermediate layers, e.g. subbing layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein lichtempfindliches Bilderzeugungsmaterial
(Abbildungsmaterial), das in großem Umfange für graphische Zeichnungen (Muster), für die Herstellung
von Druckvorlagen und für die Herstellung von Druckplatten verwendet werden kann; sie betrifft insbesondere ein
Bilderzeugungsmaterial (Abbildungsmaterial) mit einer Dreischichtenstruktur aus einem transparenten Substrat, einer
ein alkohollösliches Polyamid enthaltenden Polyamidschicht und einer lichtempfindlichen Photoresistschicht.
Ein Bilderzeugungsmaterial mit dem vorstehend angegebenen DreiSchichtenaufbau ist bereits aus der japanischen Offenlegungsschrift
116 303/77 bekannt. In einem solchen Bilderzeugungsmaterial wird ein Bild erzeugt durch Belichten
und anschließendes Entwickeln und Ätzen, wobei diese Arbeitsgänge nacheinander durchgeführt werden. Bezüglich
der Bilderzeugung unter Anwendung dieser Verfahrensschritte
wurde in den japanischen Patentanmeldungen 35 210/79 und 27 522/79 ein verbessertes Verfahren vorgeschlagen,
bei dem die Entwicklung und die Ätzung gleichzeitig mit einer Behandlungslösung durchgeführt werden.
Bei diesen konventionellen HLderzeugungsverfahren treten
jedoch Probleme auf, die in der Praxis gelöst werden müssen, wie z.B. ein unzureichender Spielraum bei der Ätzung,
eine ungenügende Schärfe des erzeugten Bildes (ungenügender Spielraum bei der Entwicklung) und eine unzureichende
mechanische Festigkeit des erzeugten Bildes.
030046/0935
Unter verschiedenen Gesichtspunkten wurden nun umfangreiche Versuche durchgeführt in dem Bestreben, diese Probleme zu
lösen, beispielsweise in bezug auf die Behändlungslösung
zur Erzeugung von Bildern nach dem vorstehend erwähnten Verfahrensvorschlag. Im Zuge dieser Untersuchungen wurde
beispielsweise eine lichtempfindliche Photofesist-Zubereitung
bzw. -Masse gefunden, die in den japanischen Patentanmeldungen
31 579/79, 38 092/79, 38 093/79 und 36 370/79 beschrieben ist.
Bei weiteren Untersuchungen wurde jedoch festgestellt, daß
bei dem Bilderzeugungsmaterial des vorstehend beschriebenen Typs die Lösung der obengenannten Probleme von der
Dicke der lichtempfindlichen Photoresistschicht und der Polyamidschicht stark beeinflußt wird.
Erfindungsgemäß wurde nun gefunden,, daß ein lichtempfindliches
Bilderzeugungsmaterial· mit einem Dreischichtenaufbau
aus einem transparenten Substrat, einer: Polyamidschicht (i), die als Hauptkomponente ein alkoho^osliches Polyamid
enthält und eine Dicke von 2 bis 11 pn aufweist,
und einer lichtempfindlichen Photoresistschicht (H) einer Dicke von 0>5 bis 5 pm in beaig auf die Entwicklungseigenschaften, die Ätzeigenschaften, die irechahiSi he Festigkeit
des erzeugten Bildes und die Opazität .'. (Ondurchlässigkeit)
für aktinische Strahlung sehr ausgewogen ist und ein ausgezeichnetes Bilderzeugungsmaterial (Abbildungsmaterial) darstellt.
Gemäß einem Aspekt betrifft die vorliegende Erfindung ein
030 046/09 35
lichtempfindliches Bilderzeugungsmaterial, das dadurch gekennzeichnet
ist, daß es auf einem transparenten Substrat die beiden folgenden Schichten (i) und (II) aufweist:
(I) Eine Polyamidschicht, die als Hauptkomponente ein
alkohollösliches Polyamid enthält und eine Dicke von 2 bis 11 um aufweist, und
(II) eine lichtempfindliche Photoresistschicht einer Dicke von 0,5 bis 5 tun, die auf die Polyamidschicht aufgebracht
ist.
Gegenstand der Erfindung ist insbesondere ein lichtempfindliches Bilderzeugungsmaterial (Abbildungsmaterial) aus
einem transparenten Substrat, einer Polyamidschicht (i), die als Hauptkomponente ein alkohollösliches Polyamid enthält
und eine Dicke von 2 bis 11 um aufweist, und einer lichtempfindlichen Photoresistschicht (il) einer Dicke
von 0,5 bis 5 um.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert.
Die beiliegende Zeichnung zeigt den Querschnitt einer Ausfiihrungsform
des erfindungsgemäßen lichtempfindlichen Bilderzeugungsmaterials, wobei die Bezugsziffern 1, 2 und 3
jeweils ein transparentes Substrat, eine Polyamidschicht und eine lichtempfindliche Photoresistschicht darstellen.
Als transparentes Substrat können erfindungsgemäß beispielsweise
Folien bzw. Platten und Filme aus Polymeren, wie Polyäthylenterephthalat, Polypropylen, Polystyrol,
0300 A6/0935
Polycarbonat und Celluloseacetat, sowie Glasplatten verwendet
werden.
Erfindungsgemäß wird die alkohollösliche Polyamidschicht
•gebildet als eine Schicht, die. als für optische Strahlung undurchlässige (opake) Schicht wirkt. Zur Herstellung der
alkohollösliehen Polyamidschicht können bekannte alkohollösliche
Polyamide, wie z.B. Copolymer-Nylons, wie Nylon 6/66, Nylon 6/66/610, Nylon 6/66/610/612 und Nylon 6/66/12
sowie Ή-Alkoxyalkyl- und andere Derivate von Polyamiden
verwendet werden. In den N-Alkoxyalkyl-Derivaten von Polyamiden enthält jede der Alkoxy- und Alkylgruppen vorzugsweise 1 bis 8 Kohlenstoffatome und der Alkoxyalkylierungsgrad
beträgt in der Regel IO bis 40 %, vorzugsweise 15 bis 35 %. Wenn der Alkoxyalkylierungsgrad weniger als
10 % beträgt, ist die Stabilität der Lösung des N-Alkoxyalkylpolyamids
gering und es tritt leicht eine Gelierung auf. Tfenn der Alkoxyalkylierungsgrad 40 % übersteigt, ist
das Alkoxyalkylpolyamid sehr weich und klebrig und die
Festigkeit des daraus resultierenden Überzugsfilms ist gering und desTialb ist die Verwendung eines solchen AIkoxyalkylpolyamids
nicht bevorzugt.
Diese iPolyamide können in Form einer Mischung von 2 oder
mehreren verwendet werden und eine lüschung aus einem
Copolymer-Nylon und feinem N-Alkoxyalky !polyamid ist bevorzugt.
In dieser Mischung beträgt der Gehalt an N-AIkoxy.alky!polyamid
mindestens 40 Gew.-% und weniger als 100 Gew.-%fund vom Standpunkt der Filmfestigkeit, der .
Trüb'ungseigenschaftenj der Ätzeigenschaften und der Blok-
030046/0 93B
kierungseigenschaften beim Herstellungsverfahren aus betrachtet
beträgt der Gehalt an N-Alkoxyalkylpolyamid vorzugsweise
50 bis 90 Gew.-%.
Bevorzugt ist ferner die Verwendung einer Mischung aus dem obengenannten N-Alkoxyalkylpolyamid und einem Celluloseesterderivat,
wie Cellulosenitrat, Celluloseacetatpropionat, Celluloseacetatbutyrat oder Cellulosepropionat,
In dieser Mischung wird der Gehalt an dem N-Alkoxyalkylpolyamid auf einen Wert innerhalb des Bereiches von 80
bis 99,9 Gew.-% eingestellt.
Der Polyamidschicht kann ein Farbstoff oder ein Pigment zugesetzt werden. Ein öllöslicher Farbstoff ist bevorzugt.
Beispiele für solche Farbstoffe oder Pigmente sind Neozapon Red GE (hergestellt von der Fa. BASF), Varifast
Red No. 3306 (hergestellt von der Fa. Orient Kagaku), Spilon Orange GRM (hergestellt von der Fa. Hodogaya Kagaku),
WDR-3 und Lithol Toner Light (hergestellt von der Fa. Holland Color & Chemical). Der Farbstoff oder das Pigment
wird vorzugsweise in einer Menge von 15 bis 30 Gew.-% zugesetzt. Die Polyamid schicht wirkt auch als für aktinische
Strahlung undurchlässige (opake) Schicht. Wenn es erwünscht ist, eine ausreichende Opazität (Undurch- ;
lässigkeit) für aktinische Strahlung zu erzielen, wird
der Gehalt an Farbstoff oder Pigment relativ erhöht. Ausserdem ist es bevorzugt, einen Farbstoff oder ein Pigment
mit einer hohen Kompatibilität (Verträglichkeit) mit dem alkohollösliehen Polyamid zu verwenden.
0046/0935
Erfindungsgemäß ist es unerläßlich, daß die Dicke der Polyatnidschicht
2 bis 11 um, vorzugsweise 4 bis 10 um beträgt. Vom Standpunkt der Ätzgeschwindigkeit und der Bildschärfe
aus betrachtet ist eine geringere Dicke der Polyamidschicht bevorzugt, wenn jedoch die Dicke der Polyamidschicht
weniger als 2 um beträgt, ist das Abziehen (Abschälen) eines ein Bild tragenden Teils von dem Substrat
schwierig und zur Erzielung einer ausreichenden Opazität (^durchlässigkeit) für dtinische Strahlung ist es erforderlich,
den Farbstoff oder das Pigment in einer grossen
Menge zu verwenden, was zu einer Abnahme der Adhäsion führt. Vom Standpunkt der mechanischen Festigkeit des erzeugten Bildes und der Opazität (Undurchlässigkeit) für
aktinische Strahlung aus betrachtet ist eine größere Dikke der Polyamidschicht bevorzugt, wenn jedoch die Dicke
11 um überschreitet, ist für die Durchführung der Ätzbehandlung ein langer Zeitraum erforderlich und die Bildschärfe
nimmt ab und es können keine guten Ergebnisse erzielt werden. .
Zusätzlich zu dem obengenannten Farbstoff oder Pigment
können verschiedene Zusätze der Polyamidschicht zugegeben werden. Beispielsweise können Zusätze, wie Weichmacher,
Antioxidationsmittel, Antistatikmittel, Ültraviolett-Absorptionsmittel,
thermische Stabilisatoren und organische
und anorganische Gleitmittel, je nach Bedarf in geringen
Mengen zugegeben werden.
Die lichtempfindliche Photoresistschicht enthält eine bekannte Verbindung, wie z.B. eine o-Chinondiazid-Verbin-
030046/0935
dung, eine Azld-Verbindung oder eine Diazo-Verbindung, oder
zur Herstellung der lichtempfindlichen Fhotoresistschicht kann eine lichtempfindliche Zubereitung bzw. Zusammensetzung verwendet werden, wie sie in den obengenannten
japanischen Patentpublikationen 31 579/79, 38 029/79 und
36 370/79 vorgeschlagen worden ist. Vom Standpunkt der Entwicklungseigenschaften aus betrachtet ist eine geringere Dicke.der lichtempfindlichen Photoresistschicht bevorzugt, vom Standpunkt der Filmfestigkeit und Leichtigkeit der Durchführung der Beschichtung aus betrachtet
ist es jedoch bevorzugt, daß die Dicke der lichtempfindlichen Photoresistschicht 0,5 bis 5 pm beträgt. Di« lichtempfindliche Photoresistschicht wird nachfolgend näher
beschrieben.
Die lichtempfindliche Photoresistschicht wird hergestellt aus einer lichtempfindlichen Photoresist-Masse bzw. -Zubereitung. Als lichtempfindliches Mittel, das für die
Herstellung der licHempfindlichen Photoresist^Zubereitung
bzw. -Masse verwendet werden kann, können beispielsweise eingesetzt werden: Azidverbindungen, o-Chinon-Diazidverbindungen und in einem organischen Lösungsmittel lösliche Diazoverbindungen, wie in "Light-Sensitive Systems",
Seiten 321 bis 352, von Jaromir Kosar, publiziert von John Wiley & Sons Incorporated, beschrieben. Nachfolgend
werden einige typische derartige Verbindungen angegeben, die Erfindung ist jedoch keineswegs auf die Verwendung
dieser Verbindungen beschränkt.
494I-
030046/093
- ίο -
oxy-^V-diazidodiphenyl, A^'-Diazidostllben, 4,4'-Diazidochalcon, 2,6-Dl-(4'-azidobenzal)cyclohexanon und
1-Azldopyren. .
o-Chlnondlazld-Verblndungen^ Ester der 1,2-Bensochinondiazido-(2)-4-«ulfonsäure, 1,2-Naphthochinon-diazido-(2)-4-sulfonsäure und l,2-Naphthochinon-diazido-(2)-5-sulfonsäure mit Phenol-Formaldehyd-Harzen und Ester der
1,2-Benzochlnon-dlazldo-(2)-4-sulfonsäure, 1,2-Napht hochlnon-diazido-(2)-4-sulfonsäure und 1,2-Naptth)chinondiazido-(2)-5-sulfonsäure mit Polyhydroxyphenol und 2,3,-4-Trlhydroxybenzophenon·
Dlazido-Verblndungem Reaktionsprodukte von p-Diazidodlphenylamln/Formaldehyd-Kondensatei mit p-Toluolsulfonsäure und 2-Hydroxy-4-metho3«ybenzophenon-5-sulfonsäure·
Diese Verbindungen können einzeln verwendet werden, zur
Erhöhung der mechanischen Festigkeit des erzeugten Bildes und zur Verbesserung der Filmbildungseigenschaften
werden diese Verbindungen jedoch vorzugsweise in Form von Mischungen mit alkalilöslichen Phenol-Formaldehyd-Harzen, Styrol/Maleinsäureanhydrid-Harzen und anderen Harzen verwendet.
Die Erfindung wird in den folgenden Beispielen und Vergleichsbeispielen näher erläutert, ohne jedoch darauf beschränkt zu sein.
030046/0935
3Q17696 - li -
Die nachfolgend angegebene Beschichtungsmasse wurde in Form einer Schicht in der in der weiter unten folgenden
Tabelle I angegebenen Dicke auf einen biaxial orientierten Polyäthylenterephthalat (PET>Film aufgebracht zur
Herstellung einer Polyamidschicht.
N-methoxyliertes Nylon 6 7 Gew.-Teile
alkohollösliches 6/66/610 Copolymer-
Nylon 3 Gew.-Teile
Farbstoff (Neozapon Red GE/Neozapon
Orange RE = 3:1) variabel (geändert in
Abhängigkeit von der Dicke der Polyaminschicht)
Methanol 70 Gew.-Teile
Toluol 20 Gew.-Teile
Dann wurde eine lichtempfindliche positive Beschichtungslösung
mit der nachfolgend angegebenen Zusammensetzung hergestellt, filtriert und in Form einer Schicht in einer
Dicke von etwa 3 um auf die erhaltene Polyamidschicht aufgebracht zur Herstellung einer lichtempfindlichen Photoresistschicht.
Alkalilösliches Kresol-Novolak-Harz 10 Gew.-Teile
l,2-Naphthochinon-diazido-(2)-5-sulfonylchlorid/alkalilösliches Phenol-Novolak-HaraKondensat.
5 Gew.-Teile
Ö30CH6/0935
301769S
Methyläthylketon/Äthylcellosolveacetat/Butylacetat
(6:3:1) 100 Gew.-Teile
Das dabei erhaltene lichtempfindliche Bilderzeugungsmaterial wurde mit einer 2 KW Superhochdruck-Quecksilberlampe
in einem Abstand von 1 tn 2 Minuten lang durch einen N.egativ r Film bildmäßig belichtet. Das belichtete lichtempfindliche
Material wurde entwickelt durch Behandlung mit einer 4 %-igen wäßrigen Trinatriumphosphatlösung in
eLner Schale bei 25 C und die belichteten Bereiche wurden aus der lichtempfindlichen Photoresistschicht entfernt.
Nach dem Entwickeln wurde das lichtempfindliche Material 30 Sekunden lang mit fließendem Wasser gespült und dann
getrocknet. Das entwickelte lichtempfindliche Bilderzeugungsmaterial, das resistfreie Flächen aufwies, wurde mit
absorbierender Baumwolle, die mit einer Ätzlösung imprägniert war, die aus einer wäßrigen Lösung mit 20 Gew.-%
Natriumtoluolsulfonat bestand, leicht gerieben. Durch diese Behandlung wurde die Polyamidschicht in den offenen
Bildbereichen der Photoresist schicht von dem PET-FiIm
vollständig entfernt. Der BelichtungsSpielraum der Photoresistschicht,
der Ätzspielraum der Polyamidschicht und die Qualität des dabei erhaltenen^ ein Bild tragenden Materials
wurden bewertetr wobei die in der folgenden Tabelle
I angegebenen Ergebnisse erhalten wurden.
Zum Vergleich würde ein lichtempfindliches Vergleichs-Bilderzeugungsmaterial
mit einer Polyamidschicht mit einer Dicke außerhalb des oben angegebenen erfindungsgemässen
Bereiches hergestellt und auf die gleiche Weise wie
03004670935
oben angegeben bewertet. Die dabei erhaltenen Ergebnisse sind ebenfalls in der folgenden Tabelle I angegeben.
030046/0333
Prob© | Dicke der Photore- |
Polvatiiidschicht Dicke Farb- |
stoff menge (Gew.-Teile) |
Tabelle I | Entwick- Lunker- lungsge- bildung schwind ig*' keit |
keine . | Bewertung der schicht |
gut | Polyamid- | |
sistschicht | (pm) I |
4 | gut | keine | Ätzge- Haftung schwin- an PET digkeit |
gut | Film- Rand festig- ätzung keit |
|||
Beisp. | 1 3-4 | 4-5 | 3,5 | Bewertung der Photore sist schicht |
gut | keine | gut | gut | . gut gering | |
O co ο |
Beisp. | 2 3-4 | 5-6 | 2 | Beschich- tungsei genschaf ten |
gut | keine keine |
gut | gut gering | |
O | Beisp. | 3: 3-4 | 8-9 | 10 15 |
gut | gut gut |
gut | gut gering | ||
CD | Vgl. Beisp. Vgl. ßeisp. |
ι 3-4 2 3"4 |
1-2 12-13 |
gut | zu hoch zu hoch |
gering gering stark gut gut stark |
||||
0935 | . gut | |||||||||
gut gut |
SI. cn
Wie aus den Ergebnissen der vorstehenden Tabelle I hervorgeht, waren die gemäß den Beispielen 1 bis 3 hergestellten
erfindungsgeraäßen Bilderzeugungsmaterialien frei von Defekten und es wurde gefunden, daß aus diesen Materialien
hergestellte, ein Bild tragende Materialien wertvolle Vorlagen (Muster) für die Herstellung von Druckplatten
waren.
Auf die gleiche Weise wie in Beispiel 3 angegeben wurde eine Polyamidschicht hergestellt, wobei diesmal jedoch
kein Farbstoff zugegeben wurde, und es wurde die gleiche positive Photoresist-Zubereitung wie in den Beispielen
1 bis 3 in Form einerSchicht in der in der nachfolgenden Tabelle II angegebenen Dicke auf die Polyamidschicht
aufgebracht. Das dabei erhaltene Bilderzeugungsmaterial wurde wie in den Beispielen 1 bis 3 angegeben
entwickelt, geätzt und bewertet, wobei die in der Tabelle II angegebenen Ergebnisse erhalten wurden.
030046/0935
Probe Dicke der Dicke der
Photore- Polyamidsist schicht schicht
Photore- Polyamidsist schicht schicht
Bewertung der Photoresist-
schicht
Beschich- Entwick- Lunkertungseilungsgebildung
genschaf- schwindigten keit
Bewertung der Polyamidschicht
Ätzge- Haftung Film·* Randschwinan PET festig- ätzung
digkeit keit
ö CD CD ■C- |
Beisp.4 Beisp.5 |
2 3-4 |
8-9 8-9 |
gut l gut |
gut gut |
keine keine |
gut gut |
gut gut |
gut gut |
gering gering |
I |
0/9 | Vgl. Beisp.3 |
<0,5 | 8-9 | schlecht | zu hoch | festgestellt | gut | gut | gut | gering | σι ■ |
cn | Vgl. Beisp.4 |
7-8 | 9-9 | gut | zu gering | keine | gut | gut | gut | gering |
CJ) CD
Eine lichtempfindliche Photoresist-Zubereitung mit der nachfolgend angegebenen Zusammensetzung wurde in Form
einer Schicht in einer Dicke von etwa 3 pn auf die gleiche Polyamidschicht wie in Beispiel 3 aufgebracht zur
Herstellung einer Photoresistschicht vom negativ arbeitenden Typ.
Alkalilösliches Phenol-Novolak-Harz 10 Gew.-Teile
2,6-Di-(4'-azidobenzal)cyclohexanon 2 Gew.-Teile
Äthylcellosolveacetat/Methyläthylketon/-
Toluol (2:1:1) 100 Gew.-Teile
Das dabei erhaltene Bilderzeugungsmaterial wurde mit einer 2 KW-Superhochdruck-Quecksilberlampe in einem Abstand
von 1 m 2 Minuten lang durch einen Positivfilm bildmäßig belichtet und mit einer 0,3 %-igen wäßrigen
Natriumhydroxidlösung entwickelt zur Entfernung der Photoresistschicht
von den unbelichteten Bereichen. Nach der Entwicklung wurde das Bilderzeugungsmaterial 30 Minuten
lang mit fließendem Wasser gespült und getrocknet.
Das Photoresistmaterial—freie Flächen aufweisende entwickelte
Bilderzeugungsmaterial wurde mit absorbierender Baumwolle, die mit der gleichen Ätzlösung wie sie in
den Beispielen 1 bis 3 verwendet worden war, imprägniert war, leicht gerieben, wodurch die Polyamidschicht in den
offenen Bildflächen der Photoresistschicht von dem Polyesterfilm entfernt wurde. Das dabei erhaltene, ein Bild
0300A6/093S
tragende Material war ausgezeichnet und frei von Defekten.
Wenn die Dicke der Photoresistschicht so geändert wurde,
daß sie den in dem Vergleichsbeispiel 3 oder 4 angegebenen Wert hatte, waren die erzielten Ergebnisse ebenso
schlecht wie in dem Vergleichsbeispiel 3 oder 4.
Die Erfindung wurde zwar vorstehend unter Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsformen näher erläutert, es ist jedoch für den Fachmann sdbstverständlich, daß sie darauf
keineswegs beschränkt ist, sondern daß diese in vielfacher
Hinsicht abgeändert und modifziert werden können, ohne daß dadurch der Rahmen der vorliegenden Erfindung
verlassen wird.
030046/0935
Claims (1)
- PATENTANWÄLTE A. GRÜNECKERH. KINKEUDEYDR-INGW. STOCKMAIRDA-ING-AaE (CALTECH)K. SCHUMANNDR RER NAT.- 00"L-PHYSP. H. JAKOBOfPl_-INGG. BEZOLDDR BER NAT· OCPL-CHEM.β MÜNCHENMAXIMIUANSTRASSSP 15 049a. Mai 1980Daicel Chemical Industries, Ltd.1, Teppocho, Sakai-shi, Osaka, JapanLichtempfindliches Bilderzeugungsmaterial Patentansprüche1. Lichtempfindliches Bilderzeugungsmaterial, dadurch g e kennzeichnet, daß es auf einem transparenten Substrat die folgenden beiden Schichten (i) und (II) aufweist:(i) Eine Polyamidschicht, die als Hauptkomponente ein alkohollösliches Polyamid enthält und eine Dicke von 2 bis 11 um aufweist, und(II) eine auf die Polyamidschicht (I) aufgebrachte licht empfindliche Photoresistschicht einer Dicke von 0,5 bis 5 um.2, Bilderzeugungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Polyamidschicht (I) innerhalb030046/0935TELEFON (OSS) 22 28 82TELEX O0-2OSBOTELEQRAMME MÖNÄPATTELEKOPtERERdes Bereiches von 4 bis IO um liegt.3. Bilderzeugungsmäterial nach Anspruch L und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Polyaraidschicht (I) enthält oder besteht aus einem Copolyamid und einem N-Alkoxyalkylpolyamid. -4. BilderzeugungsmateriaL nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Polyamidschicht (I) zusätzlich einen öllöslichen Farbstoff enthält.5. Bilderzeugungsmaterial nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem transparenten Substrat um eine Folie oder einen Film aus einem Polymeren, ausgewählt aus der Gruppe Polyäthylenterephthalat, Polypropylen, Polystyrol, Polycarbonat und Celluloseacetat, handelt, und daß es sich bei dem Polyamid um mindestens einen Vertreter aus der Gruppe Nylon 6/66, Nylon 6/66/610, Nylon 6/66/61/612 und Nylon 6/66/12 und der N-AlkoxyalkyIderivate dieser Nylons, worin die Alkoxy- und Alkylgruppen jeweils 1 bis 8 Kohlenstoffatome aufweisen, handelt.6. Bilderzeugungsmaterial nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Polyamidschicht hergestellt wurde aus einem N-Alkoxyalkylpolyamid mit jeweils 1 bis 8 Kohlenstoffatomen in den Alkoxy- und Alkylgruppen und einem Cellulosederivat,030046/093$
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1979063514U JPS55164647U (de) | 1979-05-11 | 1979-05-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3017696A1 true DE3017696A1 (de) | 1980-11-13 |
Family
ID=13231399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803017696 Withdrawn DE3017696A1 (de) | 1979-05-11 | 1980-05-08 | Lichtempfindliches bilderzeugungsmaterial |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4307172A (de) |
JP (1) | JPS55164647U (de) |
DE (1) | DE3017696A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0058017A2 (de) * | 1981-02-06 | 1982-08-18 | Crosfield Electronics Limited | Gestaltung von gedruckten Oberflächen |
EP0058737A1 (de) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Druckplatten für den Flexodruck, die Mischungen von Klebemitteln enthalten |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4423137A (en) * | 1980-10-28 | 1983-12-27 | Quixote Corporation | Contact printing and etching method of making high density recording medium |
JPS5858546A (ja) * | 1981-10-02 | 1983-04-07 | Kimoto & Co Ltd | 製版用感光性マスク材料 |
GB8418938D0 (en) * | 1984-07-25 | 1984-08-30 | Davies Bros Ltd | Image on substrate |
US4748102A (en) * | 1986-05-29 | 1988-05-31 | Weller Jr Edward L | Photoimaging process using water removable coatings |
JPH0690511B2 (ja) * | 1986-06-23 | 1994-11-14 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光材料 |
JPH0750329B2 (ja) * | 1986-06-23 | 1995-05-31 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像形成材料 |
JP2720224B2 (ja) * | 1990-06-15 | 1998-03-04 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性平版印刷版 |
US5397684A (en) * | 1993-04-27 | 1995-03-14 | International Business Machines Corporation | Antireflective polyimide dielectric for photolithography |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3549373A (en) * | 1966-03-19 | 1970-12-22 | Ricoh Kk | Negative-to-positive reversible copy sheet |
JPS49441B1 (de) * | 1968-08-14 | 1974-01-08 | ||
US3645732A (en) * | 1969-05-19 | 1972-02-29 | Keuffel & Esser Co | Etching alcohol-soluble nylon with aqueous solutions |
GB1366304A (en) * | 1970-08-17 | 1974-09-11 | Norprint Ltd | Photographic resist transfer materials |
JPS4831321U (de) * | 1971-01-26 | 1973-04-17 | ||
JPS4945321A (de) * | 1972-09-08 | 1974-04-30 | ||
GB1427932A (en) * | 1972-11-03 | 1976-03-10 | Ici Ltd | Diazotype materials |
GB1441982A (en) * | 1973-01-18 | 1976-07-07 | Autotype Co Ltd | Dry transfer sheets |
JPS5421089B2 (de) * | 1973-05-29 | 1979-07-27 | ||
JPS5420719A (en) * | 1977-07-15 | 1979-02-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | Photosensitive material for image formation and image formation method |
JPS5540406A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-21 | Oji Paper Co Ltd | Photosensitive lithographic printing plate |
-
1979
- 1979-05-11 JP JP1979063514U patent/JPS55164647U/ja active Pending
-
1980
- 1980-04-30 US US06/145,281 patent/US4307172A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-05-08 DE DE19803017696 patent/DE3017696A1/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0058017A2 (de) * | 1981-02-06 | 1982-08-18 | Crosfield Electronics Limited | Gestaltung von gedruckten Oberflächen |
EP0058017A3 (en) * | 1981-02-06 | 1983-06-22 | Crosfield Electronics Limited | Formation of print surfaces |
EP0058737A1 (de) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Druckplatten für den Flexodruck, die Mischungen von Klebemitteln enthalten |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4307172A (en) | 1981-12-22 |
JPS55164647U (de) | 1980-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4111060B4 (de) | Positiv arbeitende lichtempfindliche Zusammensetzung | |
DE3603372C2 (de) | Positiv wirkendes lichtempfindliches Gemisch | |
EP0650608B1 (de) | Positiv-arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und damit hergestelltes aufzeichnungsmaterial | |
DE2943379C2 (de) | ||
DE3007616C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Farbfiltern | |
DE3720017C2 (de) | ||
DE1622301B1 (de) | Mit Alkali entwickelbare Kopierschicht | |
DE3017696A1 (de) | Lichtempfindliches bilderzeugungsmaterial | |
DE112004000774T5 (de) | Reagenz zur Ausbildung einer Feinstruktur und ein Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE1572207B1 (de) | Photographisches vor der Entwicklung Kontrollbilder lieferndes Aufzeichnungsmaterial | |
DE4341302A1 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung und einer darin verwendeten Resistverbindung | |
DE3240935A1 (de) | Positiv abbildende, strahlungsempfindliche masse, positiv abbildendes, strahlungsempfindliches element und positiv abbildende, lithografische platte | |
DE3812326A1 (de) | Positiv arbeitendes, strahlungsempfindliches gemisch auf basis von saeurespaltbaren und photochemisch saeurebildenden verbindungen und verfahren zur herstellung von reliefmustern und reliefbildern | |
DE4125042A1 (de) | Negativ arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und damit hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial | |
EP0436174B1 (de) | Strahlungsempfindliches Gemisch und Verfahren zur Herstellung von Reliefstrukturen | |
EP0355015A2 (de) | Verfahren zur Entwicklung positiv arbeitender Photoresists | |
DE3800131C2 (de) | Lichtempfindliches Material | |
DE69729541T2 (de) | Verwendung eines Lösungsmittelgemisches zur Walzenbeschichtung einer strahlungsempfindlichen Zusammensetzung | |
DE3730881A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines farbbilds | |
DE19703752B4 (de) | Black-Matrix in Farbbildröhren und Verfahren zur Herstellung der Black-Matrix | |
DE2843069A1 (de) | Offsetdruckplatte mit verbessertem farbkontrast zwischen den bild- und den nichtbildbereichen | |
DE3844739C2 (de) | Siliziumhaltiges lichtempfindliches Gemisch | |
EP0019896B1 (de) | Farbprüffolie | |
DE3032134A1 (de) | Lichtempfindliches bildausbildungsmaterial | |
DE10015742A1 (de) | Photoresist-Zusammensetzung, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verfahren zur Ausbildung eines Musters während der Halbleiterbearbeitung unter Verwendung der Photoresist-Zusammensetzung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8141 | Disposal/no request for examination |