DE3013163A1

DE3013163A1 - Aktiver, segmentierter spiegel

Info

Publication number: DE3013163A1
Application number: DE19803013163
Authority: DE
Inventors: Theodore Amen Heinz
Original assignee: Rockwell International Corp
Current assignee: Boeing North American Inc
Priority date: 1979-04-05
Filing date: 1980-04-03
Publication date: 1980-10-23
Also published as: GB2046939A; CA1115571A; DE3013163C2; US4202605A; FR2453420B1; FR2453420A1; GB2046939B

Description

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ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION El Segundo, California, USA

Aktiver, segmentierter Spiegel

Die Erfindung betrifft deformierbare Spiegelsysteme und insbesondere aktive, segmentierte Spiegel für Verwendung auf dem Lasergebiet.

Die Erfindung betrifft einen aktiven, segmentierten Spiegel ," welcher gegenüber herkömmlichen Spiegeln dieser Art im Betriebsverhalten und in der Fabrikation erhebliche Vorteile zeigt. Die Betriebsbandbreiten werden nicht durch Spannungen und Deformationen beeinflußt, die aufgrund des Wärmeaustausches an der Spiegeloberfläche Zustandekommen. Bei allen Komponenten werden geringe elastische Spannungen oder Deformationen gewährleistet, selbst bei extremer Wärmebeaufschlagung und bei extremen Betriebsfrequenzen und Ablenkungen. Die Betriebsbandbreite und die Lebensdauer sind im Grunde nur durch die Betätigungseinrichtungen beschränkt. Daher sind diese erfindungsgemäßen Spiegel für eine Vielzahl zukünftiger Anwendungen geeignet, und zwar mit jeweils nur minimalen Konstruktionsänderungen.

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Die mechanischen Resonanzfrequenzen liegen charakteristischerweise bei mehreren kHz, so daß ein Betrieb bei hoher Frequenz und großer Amplitude in den Bereich praktischer Möglichkeiten tritt.

Die Spiegelgröße ist relativ unabhängig von den durch Wärmeaustausch induzierten Verzerrungen oder Verformungen, so daß die Vergrößerung des Spiegels bis zu äußerst großen Spiegelabmessungen ohne weiteres bei nur geringen Konstruktions- und Fabrikationsschwierigkeiten möglich ist. Größere oder kleinere Spiegel können auf einfachste Weise erstellt werden, indem man lediglich die Halterungsstruktur und die Zuleitungen ändert. Ferner sind auch Größenänderungen bei den Elementen im Bereich von 1/2x^- bis 2x praktisch möglich. Man kann daher alle Anforderungen hinsichtlich des Betriebsverhaltens des Systems und hinsichtlich der Steuerung innerhalb des zur Verfügung stehenden Präzisionsbereichs erhöhen.

Die einzelnen Spiegeleleraente des erfindungsgemäßen Spiegels können Jeweils gruppenweise poliert werden, wobei sie auf einer starren Halterung montiert sind. Es wurde bereits nachgewiesen, daß flache Spiegel mit hervorragender Güte poliert werden können, und zwar mit Abweichungen zur Kante im Bereich von nur 0,05 mm. Nach der Polierung werden die einzelnen Segmente beschichtet. Nach der Oberflächenendbehandlung werden die einzelnen Spiegelelemente zu dem Gesamtspiegel zusammengebaut. Die Montagetoleranzen gestalten sich äußerst günstig, da die einzelnen Spiegelsegmente während des Zusammenbaus mechanisch eingestellt und getrimmt werden können. Von dieser Trimmöglichkeit kann man auch Gebrauch machen, um Änderungen der statischen optischen Werte herbeizuführen. Die Stabilität der Gestalt und der optischen Werte wird dadurch erhöht, daß thermische Ausdehnungen von Wärmeaustauscherelementen die Gesamtstruktur nicht beeinflussen. Die den Spiegelkomponenten

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innewohnende Starrheit trägt ebenfalls zur Stabilität bei. Dies gilt insbesondere für akustische Beanspruchungen, Schwingungsbeanspruchungen und Manövrierbeanspruchungen.. Es können Betätigungsgeräte verwendet werden, welche große Kräfte entwickeln. Die Segmentaufhängungen können daher äußerst starr ausgeführt sein, so daß sie Störungen durch Umgebungseinflüsse standhalten. Andererseits sind die Segmentaufhängungen ausreichend variabel und änderbar, so daß ein Betrieb innerhalb einer großen Bandbreite möglich ist.

Die Steuerung ist äußerst einfach, da die Bewegung eines Spiegelsegmentes nicht durch Beanspruchungen, welche von benachbarten Spiegelsegmenten übertragen oder induziert werden, beeinflußt wird. Ferner ist die Oberfläche frei von komplexen Resonanzänderungen aufgrund von Änderungen des physikalischen Aufbaus, welche durch die Ablenkung benachbarter Segmente Zustandekommen.

Die Zuverlässigkeit wird aufgrund des einfachen Aufbaus aus Einzelsegmenten sowie aufgrund der Unabhängigkeit der Segmente in der Segmentkonfiguration erhöht. Jedes einzelne Segment kann vor dem Zusammenbau einzeln getestet und inspiziert werden. Im Falle eines Defekts ist der Schaden minimal und eine Reparatur kann auf einfachste Weise durch Segmentaustausch erfolgen. Durch Anwendung einfacher, zweckentsprechender Arbeitsweisen kann man einzelne Betätigungsgeräte oder einzelne Spiegelsegmente oder beide auf einfachste Weise austauschen, ohne daß hierdurch die übrige Struktur gestört wird. Die Ausrichtung und Trimmung einzelner Spiegelsegmente ist äußerst vereinfacht, da die Einstellung eines Segments nicht die Position benachbarter Abschnitte des Spiegels beeinträchtigt. Andererseits treten derartige Störungen auf, wenn bei herkömmlichen Spiegeleinrichtungen Belastungen oder Beanspruchungen über die

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einstückige Struktur hinweg übertragen werden. Eine thermische Regelung der einzelnen Betätigungskomponenten ist erforderlich, um eine ausreichende Stabilität zu gewährleisten. Dies gelingt jedoch auf äußerst einfache Weise, da die Betätigungseinheiten eine isolierte Position hinter der Energieabsorptionsstruktur einnehmen. Die Betätigungsgeräte werden abgekühlt durch Wärmeleitung sowohl in die Haiterungsstruktur als auch in eine Hohlstangenanordnung zur Zufuhr eines Kühlmediums.

Die geringen Abmessungen und die leichte Zugänglichkeit der einzelnen Segmente erlauben eine große Konstruktionsfreiheit hinsichtlich der Wärmeaustauscher. Da Gesamtspiegelverzerrungen aufgrund von thermisch induzierten Verbiegungen im wesentlichen eine Funktion des Quadrats des Spiegeldurchmessers sind, kann man aufgrund der geringen Segmentgröße relativ einfache Kühlsysteme verwenden, während bei großen Spiegeln wesentlich kompliziertere Kühlsysteme Verwendung finden müssen. Ferner können bei der Herstellung der kleinen Spiegelsegmente auch fortgeschrittene Herstellungsverfahren angewendet werden.

Der erfindungsgemäße aktive, segmentierte Spiegel umfaßt eine Vielzahl von hexagonalen Spiegelelementen. Jedes Element ist mit einer unabhängigen piezokeramischen Betätigungseinrichtung verbunden. Diese erlaubt eine dynamische Positionierung der Spiegeloberfläche durch Kippbewegungen, Neigung und Translation in der Ebene. Ein Spiegel beliebiger Größe kann durch Kombination der erforderlichen Anzahl von Spiegelelementen auf einer gemeinsamen Halterungsstruktur aufgebaut werden. Bei Verwendung in Verbindung mit einem zweckentsprechenden Wellenfront-Analysator und einem Servosteuerungs-Verstärkersystem kann man bei einem solchen Spiegel sowohl statische als auch dynamische Korrekturen der dreidimensionalen Wellenfront vornehmen, und

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zwar bei den erforderlichen Amplituden, bei kleinen Vielfachen der Wellenlänge und bei Frequenzen von mehreren tausend Hz. Je nach den atmosphärischen Bedingungen kann die Leistung am Ziel durch Verwendung des erfindungsgemäßen Spiegels auf das Mehrfache erhöht werden. Somit erzielt man einen beträchtlichen Fortschritt hinsichtlich der Konstruktion des Systems und hinsichtlich der Fahrzeugleistung. Jede Spiegelelementanordnung umfaßt ein gekühltes, hexagonales Spiegelelement, ein nachgiebiges Gelenk für die Verbindung des Spiegelelements mit der Halterungsstruktur und eine HohlStangenanordnung zur Verbindung des Elements mit einem Betätigungsgerät sowie schließlich eine Piezobetätigungseinrichtung.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen aktiven, segmentierten Spiegel zu schaffen, dessen Betriebsbandbreiten nicht durch Spannungen und Deformationen der Spiegeloberfläche durch Wärmeaustausch beeinträchtigt werden. Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, einen aktiven, segmentierten Spiegel zu schaffen, bei dem alle Komponenten selbst bei extremen Wärmebelastungen, bei extremen Betriebsfrequenzen und bei extremen Ablenkungen nur geringen elastischen Beanspruchungen ausgesetzt sind. Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, einen aktiven, segmentierten Spiegel zu schaffen, dessen Betriebsbandbreite und Lebensdauer im Grunde nur durch die Arbeitsweise der Betätigungseinrichtung beschränkt sind, so daß bei jeweils geringer Änderung der Konstruktion eine Anwendung auf verschiedensten Gebieten möglich ist. Ferner ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen aktiven, segmentierten Spiegel zu schaffen, dessen mechanische Resonanzfrequenz charakteristischerweise bei mehreren kHz liegt, so daß ein Betrieb bei hoher Frequenz und großer Amplitude in den Bereich der praktischen Möglichkeiten rückt.

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Im folgenden wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht des erfindungsgemäßen segmentierten, korrigierbaren Spiegels, wobei Teile herausgebrochen sind;

Fig. 2 einen Schnitt eines Spiegelelements;

Fig. 3a ein Diagramm zur Veranschaulichung der Bewegung des Spiegelelements in einer Ebene;

Fig. 3b ein Diagramm zur Veranschaulichung der Kippbewegung eines Spiegelelements; und

Fig. 3c Ansichten des Spiegelelements gemäß der Linie A-A der Fig. 3b zur Veranschaulichung einer zusätzlichen Kippbewegung.

Die Fig. 1 und 2 zeigen eine bevorzugte Konfiguration des erfindungsgemäßen aktiven, segmentierten Spiegels 10 in Form einer dichten Packung von Spiegelelementen 12, welche eine hexagonale Hochleistungssegmentanordnung bilden. Jede Spiegelelementanordnung 12 umfaßt ein Spiegelelement 14, eine nachgiebige Verbindung 16 für die gelenkige Verbindung des Spiegelelements 14 mit einer Halterung 18 sowie eine Hohlstange 20, welche der Zufuhr und der Entnahme eines Kühlmediuras dient und das Spiegelelement 14 mit einer Betätigungseinrichtung 22 verbindet. Das hintere Ende 23 einer jeden Betätigungseinrichtung 22 kann aufgrund des besonderen Aufbaus derselben unabhängig gemäß drei orthogonalen Achsen bewegt werden, wie dies in den Fig. 3a, 3b und 3c gezeigt ist. Die lineare Bewegung und die Kippbewegungen werden auf das Spiegelsubstrat 26 übertragen, und zwar über die Hohlstange 20, welche einerseits mit dem hinteren Ende des Spiegelelements 14 verbunden ist und andererseits unter Vorspannung über einen Kugelgelenkmechanismus 25 am hinteren Ende 23 der Betätigungseinrichtung anliegt.

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Jedes Spiegelelement 14 besteht aus einer Spiegeloberfläche 26 und einem Spiegelsubstrat 24. Das Spiegelsubstrat 24 umfaßt einen Körper 28 mit Kühlkanälen 30 und mit Verteilerleitungen gemäß der US-PS 3 884 558 sowie die obere Hälfte einer nachgiebigen Gelenkverbindung 16. Die Kühlkanäle 30 dienen der Abführung der absorbierten Energie, welche einerseits von den Elementen 12 absorbiert wird (etwa 0,5% des Einfallswertes) und welche andererseits in der Spiegeloberfläche 26 absorbiert wird (etwa Λ% des Einfallswertes). Die Verteilerleitungen, Sammelleitungen und Kühlleitungen können mit einer Metallschicht einer Dicke von 0,13 mm versehen werden, und zwar durch Elektroplattierung, stromlose Plattierung, Dampfabscheidung oder dergl. sowie nach anderen üblichen Verfahren. Bei einer bevorzugten Ausführungsform handelt es sich bei den KUhlkanälen um Hochgeschwindigkeitskühlkanäle. Sie sind an allen Seiten des Spiegelelements 14 sowie an der optischen Fläche ausgebildet. Durch diese Anordnung der Kühlkanäle 30 kann die in die Spalte zwischen den Spiegelelementen 14 eindringende Energie rasch absorbiert werden.

Jede Spiegeloberfläche 26 kann einzeln geläppt und poliert werden und dabei eine Kontur erhalten, welche durch die endgültig zusammengesetzten, optischen Werte bestimmt ist. Dieses Merkmal bietet einen beträchtlichen Vorteil im Sinn einer Verringerung der Kosten für die optische Oberflächenbehandlung großer Spiegel. Zum Schutz der Kanten der Spiegelelemente 14 gegen Streustrahlung kann eine Energie absorbierende, gekühlte Maske aus einer geschweißten, schwarzen, anodisierten Aluminiumkonstruktion vorgesehen sein.

Das in den Figuren gezeigte Spiegelelement ist hexagonal. Das Spiegelelement kann jedoch auch eine andere reguläre, planare, geometrische Gestalt haben. Es kann z.B.quadratisch oder octagonal sein. Es eignet sich jede Gestalt, so-

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lange nur eine dichtgepackte Anordnung von Spiegelelementen möglich ist, welche die gestellte Aufgabe mehr oder weniger löst.

Das nachgiebige Gelenk 16 umfaßt ein biegbares, vorzugsweise balgartiges Teil von kegelstumpfförmiger Gestalt oder vorzugsweise doppelkegelstumpfförmiger Gestalt. Dieses verbindet das Spiegelsubstrat 24 mit einer Halterung 18, welche allen Spiegelelementanordnungen 12 gemeinsam ist. Die Federcharakteristik dieses Abschnitts erlaubt eine Auswärts- und Einwärtsbewegung des Spiegelsubstrats 24 sowie eine Kippbewegung desselben in beiden Richtungen sowie planare Translationsbewegung gemäß den Fig. 3a, 3b und 3c. Dies geschieht durch Einwirkung einer Betätigungseinrichtung 22. Eine kegelstumpfförmige oder doppelkegelstumpfförmige Konfiguration ist für das federnde, nachgiebige oder biegsame Bauteil 16 bevorzugt. Es eignet sich z.B. eine doppelte "Belville"-Struktur vom Federtyp. Diese stellt eine besonders bevorzugte Ausführungsform des nachgiebigen Gelenks oder der nachgiebigen Verbindung 16 dar. Es eignet sich jedoch auch jede andere nachgiebige, gelenkige Verbindung, welche planare Translationsbewegungen sowie Kippbewegungen in beiden Richtungen erlaubt.

Die Hohlstangenanordnung 20 umfaßt konzentrische Rohre 30 und 32. Sie verbindet das Spiegelsubstrat 24 mit der hinteren Fläche der Betätigungsanordnung 22. Die Verbindung der Hohlstangenanordnung 20 mit dem Spiegelsubstrat 24 erfolgt vorzugsweise vor der Abscheidung der Schicht für die Kühlkanäle und die Sammelkanäle und Verteilerkanäle (für die Auskleidung oder die Abdeckung derselben). Die Hohlstangenanordnung 20 dient als Einlaß und als Auslaß für das Kühlmittel. Die Hohlstangenanordnung 20 und das Substrat 24 können nach verschiedenen, üblichen Verfahren miteinander verbunden werden, z.B. durch Hartlöten. Das

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Kühlmittel tritt durch das Einlaßrohr 30 am hinteren Ende ein. Das Einlaßrohr 30 wird von einem externen Verteiler gespeist, welcher mechanisch von dem segmentierten Spiegel isoliert ist. Hierdurch werden mechanische, akustische und thermische Störungen vermieden, welche von dem Verteiler ausgehen können. Das einströmende Kühlmittel gelangt in die äußere Ringkammer der Hohlstangenanordnung 20 und von hier zu den Verteilerleitungen des Substrats. Es führt zu einer thermischen Stabilisierung der Hohlstangenlange. Das erhitzte Kühlmittel strömt durch das zentrale Rohr 32 aus.

Eine Kombination ^1ron nichtkonzentrischen Ringen 34, 36 und einer Mutter 38 befindet sich an der Verbindungsstelle zwischen der Hohlstangenanordnung 20 und der Betätigungseinrichtung 22 und dient einer Grobeinstellung des jeweiligen Spiegelelements 14. im Sinne einer Verschiebung in der Ebene sowie im Sinne einer Verschwenkung in beiden Richtungen. Hierdurch können die Herstellungstoleranzen erheblich günstiger gestaltet werden und jedes einzelne Spiegelelement 14 kann innerhalb der Spiegelanordnung präzise ausgerichtet werden. Die Mikropositionierung während des Betriebs erfolgt durch Beaufschlagung der Betätigungseinrichtung 22 mit Gleichspannungen. Die Mutter 38 dient ferner dazu, die Hohlstangenanordnung 20 ausreichend vorzuspannen oder vorzubelasten, und zwar bis zu einem Lastwert, der ausreichend über der maximal erforderlichen Betätigungskraft liegt. Aufgrund dieser Vorbelastung oder Vorspannung verhalten sich die Betätigungseinrichtung 22 und die Hohlstangenanordnung 20 wie eine kontinuierliche einstückige Struktur ohne Hystereseverhalten und ohne Spiel. Bei einer bevorzugten Konfiguration dienen zwei Paare von gemeinsamen Kühlmitteleinlaßverteilerleitungen und -auslaßverteilerleitungen der Zufuhr des Kühlmittels zu Verbindungsrohrsammelleitungen. Die Verbindungsrohre sorgen für die erforderliche Nachgiebigkeit, welche die

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Bewegung der Betätigungseinrichtung gestattet. Diese Anord nung verhindert, daß Vibrationen und Druckablenkungen der Sammelleitungen auf die optische Struktur übertragen werden. Die Kühlmittelsammelleitungen sind durch Energie-Absorptionshalterungen dynamisch von der Spiegelbefestigungsstruktur getrennt.

Jedes Spiegelelement 14 wird durch eine piezokeramische Betätigungseinrichtung 22 betätigt, welche zwei Abschnitte umfaßt. Ein vorderer Abschnitt 40 umfaßt einen Stapel Scheiben, welche in einer zur HohlStangenanordnung 20 parallelen Richtung polarisiert sind. Spannungen, welche an diesen Abschnitt 40 angelegt werden, führen zu einer Translationsbewegung der Spiegelfläche 26 in der Ebene.

Ein hinterer Abschnitt 42 besteht aus einer Betätigungsscheibe 45 für die Schwenkbewegung in einer Richtung und aus einer Betätigungsscheibe 47 für die Schwenkbewegung in der anderen Richtung. Diese Scheiben sind jeweils in einer zur Hohlstangenanordnung 20 senkrechten Richtung polarisiert. Die Polarisationsrichtungen sind bei aufeinanderfolgenden Scheiben um 90° zueinander verdreht. Die an diesen Abschnitt 42 angelegten Spannungen verursachen Scherspannungen und Scherdeformationen in diesem Stapel, wodurch das hintere Ende der Betätigungseinrichtung 22 mit Bezug auf die Basis verschoben wird. Die zugeordnete Verschiebung der Hohlstangenanordnung 20 verursacht eine Verschwenkung der Spiegelfläche 26 in der einen oder anderen Richtung um den Kardanpunkt im Zentrum des nachgiebigen Verbindungsgliedes 16.

Die Halterung 18 wird poliert und mit einer reflektierenden Beschichtung, z.B. mit einer Berylliumbeschichtung, versehen und dann spanabhebend bearbeitet zur Aufnahme der Basisbauteile der nachgiebigen Verbindungselemente 16

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und zum Einschrauben der mit Gewinde versehenen Enden der Betätigungseinrichtungen. Die vordere Fläche wird mit einem Sandstrahlgebläse oder mit einem Schrotgebläse behandelt und sodann einer Goldplattierung unterworfen, so daß einfallende Laserenergie diffus gestreut und reflektiert wird. Die Kühlung der Platte 18 erfolgt durch Wärmeleitung in die Basisbauteile der gekühlten Elemente. Eine mit Beryllium behandelte Platte ist bevorzugt. Es kommen jedoch auch andere Oberflächenbehandlungen in Frage. Insbesondere kann man bei geringeren Einfallsleistungen poliertes Aluminium verwenden.

Deformationen und Verbiegungen der Haiterungsstruktur 18 kann man durch die Justierung des Spiegels 12 kompensieren. Hierdurch werden die Anforderungen an die Starrheit und Stabilität der Struktur für die Halterung und Befestigung der Spiegelelemente wesentlich herabgesetzt. Dieses Merkmal ist besonders bei großen Spiegeln von erheblicher Bedeutung. Ferner ist bei diesem Konstruktionsprinzip die thermische Ansprechgeschwindigkeit groß, so daß die Zeit bis zur Stabilisierung der optischen Werte kurz ist und in der Größenordnung von 0,25 see liegt. Diese thermische Ansprechgeschwindigkeit ist aufgrund der segmentierten Spiegelkonstruktion unabhängig von der Spiegelgröße. Mit diesem Merkmal wird die Systemeffizienz und das Ansprechverhalten erheblich verbessert. Diese Vorteile treten insbesondere bei großen Spiegeln in Erscheinung.

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Zusammenfassung

Es wird ein aktiver, segmentierter Spiegel beschrieben, welcher eine Vielzahl von Spiegelelementen auf einem gemeinsamen Substrat umfaßt. Jedes dieser Elemente umfaßt ein gekühltes, hexagonales Spiegelsubstrat und ein nachgiebiges Verbindungsglied zur Verbindung des Spiegelsubstrats mit der Halterungsstruktur. Ferner ist eine Hohlstangenanordnung vorgesehen, welche der Zufuhr eines Kühlmittels dient und das Spiegelsubstrat mit einer Betätigungseinrichtung verbindet. Die Betätigungseinrichtung ist als piezokeramische Betätigungseinrichtung ausgebildet.

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Claims

Patentansprüche

1. Aktiver, segment!erter Spiegel für statische und dynamische Wellenfrontkorrekturen, gekennzeichnet durch

eine Vielzahl von Spiegelelementanordnungen (12), deren jede eine Spiegelfläche umfaßt sowie ein gekühltes Spiegelsubstrat (24) zur Halterung der Spiegelfläche (26) sowie ein nachgiebiges oder biegsames Verbindungsglied (16), welches das Spiegelsubstrat (24) mit einer Halterungsstruktur (18) verbindet und planare Translatlonsbewegungen sowie Kippbewegungen in beiden Richtungen erlaubt, sowie eine HohlStangenanordnung (20), welche der Kühlmittelzufuhr dient und das Spiegelsubstrat (24) mit einer Betätigungseinrichtung (22) verbindet und dem Antrieb des Spiegelelements (14) dient.

2. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dai3 das Spiegelsubstrat (24) Kühlkanäle und Kühlmittelverteiler umfaßt für die Abführung von zwischen den Spiegelsubstraten (24) und in der Spiegeloberfläche (26) absorbierter Energie.

3. Spiegel nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Spiegelsubstrat (24) ferner den oberen Teil des nachgiebigen Verbindungsglieds (16) umfaßt.

4. Spiegel nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß das nachgiebige oder biegsame Verbindungsglied (16) ein Balg von doppel-kegelstumpfförmiger Konfiguration ist.

5. Spiegel nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlstangenanordnung (20) eine Vielzahl von konzentrischen Rohren umfaßt, welche das

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Spiegelsubstrat (24) mit dem hinteren Ende der Betätigungseinrichtung (22) verbinden, sowie eine Vielzahl von nichtkonzentrisehen Ringen (34,36) und eine Justiermutter (38) an der Verbindungsstelle zwischen der Hohlstangenanordnung (20) und der Betätigungseinrichtung (22) zur Ermöglichung einer Grobeinstellung der Spiegeleleraente (14) im Sinne einer Verschiebung in der Ebene sowie von Kippbewegungen in beiden Richtungen.

6. Spiegel nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die konzentrischen Rohre einen zentralen Auslaß für das erhitzte Kühlmedium und einen äußeren Einlaß für das Kühlmedium aufweisen.

7. Spiegel nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Betätigungseinrichtung (22) eine piezokeramische Betätigungseinrichtung ist.

8. Spiegel nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die piezokeramische Betätigungseinrichtung (22) einen vorderen Stapel von Scheiben (40) umfaßt, welche parallel zur Hohlstangenanordnung (20) polarisiert sind und eine Translationsbewegung bewirken,sowie einen hinteren Scheibenabschnitt (42) mit einer senkrecht zur Hohlstangenanordnung (20) verlaufenden Polarisationsrichtung, wobei alternierende Scheiben (45,47) eine gegeneinander um 90° verdrehte Polarisationsrichtung aufweisen und eine Kippbewegung in beiden Richtungen um den Kardanpunkt im Zentrum des nachgiebigen Verbindungsgliedes (16) bewirken.

9. Spiegel nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Haiterungsstruktur (18) eine Platte mit Ausnehmungen für die Aufnahme der hinteren Enden der nachgiebigen Verbindungsglieder (16) ist.

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10. Spiegel nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte aus Beryllium besteht.

11. Spiegel nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die vordere Fläche der Halterungsstruktur (18) mit Gold plattiert ist.

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