DE3006314C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Brecheinrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Bei der Massenfertigung von integrierten elektronischen Schaltkrei­ sen, insbesondere Dickschichthybriden, werden üblicherweise gleich­ seitig eine Vielzahl von derartigen Schaltkreisen auf einer großen Substratplatte hergestellt. Die Substratplatte wird dann in einem geeigneten Raster quer- und/oder längsgeritzt, und die einzelnen Dickschichthybride durch Abbrechen von der Substratplatte gewonnen.

Durch die OB-PS 12 97 954 ist eine Brecheinrichtung der eingangs genannten Art bekannt. Darin wird ein Verfahren festgelegt, das Silizium-Halbleiterscheiben durch Einspannung zwischen zwei elasti­ schen Membranen und Ausübung eines Drucks von einer Seite mecha­ nisch so vorbelastet, daß ein Bruch in vorher angeritzten Linien entsteht.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Brecheinrich­ tung der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß auch Dick­ schicht-Hybridschaltungen, die über die planare Anordnung des Schaltkreises hinaus Komponenten mit z. T. empfindlichen Verbindun­ gen enthalten, in vergleichbarer Weise gebrochen werden können. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. Mit der Brechein­ richtung gemäß der Erfindung ist ein fortlaufendes und schnelles Abbrechen der einzelnen Hybride aus einer Substratplatte möglich, wobei der Brechvorgang maschinell und automatisiert erfolgen kann. Weiter ist es mit der Brecheinrichtung gemäß der Erfindung möglich, schon mit Halbleiterbauelementen und Kondensatoren sowie anderen Bauelementen versehene Substratplatten ohne weitere Vorkehrungen und ohne Berührung der Oberfläche zu brechen. Vorteilhafte Ausge­ staltungen der Brecheinrichtungen gemäß der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Eine Ausführungsform einer erfindungs­ mäßigen Brecheinrichtung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Gesamteinsicht einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Brecheinrichtung und

Fig. 2 eine Draufsicht der in Fig. 1 dargestellten Brecheinrich­ tung.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Brecheinrichtung wird eine Unter­ druckkammer 10 verwendet, die mit einer Führung 11 ausgestattet ist, die seitliche Begrenzungen 12, 13 aufweist. Die Führung 11 ist derart dimensioniert, daß in ihr Substratplatten, z. B. übliche Substratplatten von 2×2′′ in Querrichtung, verschieblich bewegbar sind. In der Zeichnung sind drei Großsubstratplatten 14, 15, 16 angedeutet, die durch Längsritzung 17 im dargestellten Ausführungs­ beispiel in drei Längsbereiche unterteilt sind. Im dargestellten Ausführungsbeispiel werden die Substratplatten 14, 15, 16 von links nach rechts in der Führung 11 verschoben. Die Unterdruckkammer 10 weist einen Unterdruckanschluß 19 auf, der mit Öffnungen 20 verbun­ den ist, die einen Teil eines Ansaugfeldes bilden, das in der Füh­ rung 11 angeordnet ist. Das Ansaugfeld besteht aus seitlichen Hart­ gummiauflagen 21 und einer Weichgummiauflage 22, die entsprechend dem von den Längsritzungen 17 gebildeten Raster ausgebildet ist. Befindet sich die Substratplatte 15 über dem Ansaugfeld, bedeutet dies, daß die Platte 15 seitlich durch die Hartgummiauflagen 21 abgestützt ist und sich alle Längsritzungen 17 auf der Weichgummi­ auflage 22 befinden. Wird nun über den Unterdruckanschluß 19 und die Öffnungen 20 ein Unterdruck von der Unterseite auf die Platte 15 ausgeübt, bricht die Platte 15 infolge des darauf lastenden Luftdrucks, evtl. auch noch verstärkt durch einen zusätzlichen externen Druck, an den vorgegebenen Längsritzungen 17. Die Sub­ stratplatte kann nun nach rechts um eine Platte weitergeschoben werden, so daß nunmehr die Platte 14 über dem Ansaugfeld liegt und der Vorgang wiederholt werden kann.

Das aus den Öffnungen 20 der Hartgummiauflage 21 und Weichgummiauf­ lage 22 bestehende Ansaugfeld ist als steckbare Einheit in der Führung 11 ausgebildet, so daß die Unterdruckkammer 10 für ver­ schiedene Rasterungen der Ritzungen der Substratplatten verwendet werden kann.

Claims (3)

1. Brecheinrichtung für durch Quer- und/oder Längsritzungen in Felder aufgeteilte Substratplatten, dadurch gekennzeichnet, daß eine Unterdruckkammer (10) mit einer Führung (11) vorgesehen ist, in der die Substratplatten verschieblich bewegbar sind, daß in der Führung (11) ein Ansaugfeld angeordnet ist, das aus seitlichen harten Auflagen (21), einem den Quer- und/oder Längsritzungen (17) der Substratplatte entsprechenden Muster von weichen Auflagen (22) und in jedem von der weichen Auflage (22) begrenzten Feld angeord­ neten Ansaugöffnungen (20) besteht.

2. Brecheinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die harten Auflagen (21) aus Hartgummi und die weichen Auflagen (22) aus Weichgummi bestehen.

3. Brecheinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Ansaugfeld als austauschbare Steckeinrichtung ausgebildet ist.