DE29814974U1 - Kombinationsmikroskop - Google Patents

Kombinationsmikroskop

Info

Publication number
DE29814974U1
DE29814974U1 DE29814974U DE29814974U DE29814974U1 DE 29814974 U1 DE29814974 U1 DE 29814974U1 DE 29814974 U DE29814974 U DE 29814974U DE 29814974 U DE29814974 U DE 29814974U DE 29814974 U1 DE29814974 U1 DE 29814974U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
microscope
microscope according
probe
sample
scanning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE29814974U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Witec Wissenschaftliche Instrumente und Technologie GmbH
Original Assignee
Witec Wissenschaftliche Instrumente und Technologie GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Witec Wissenschaftliche Instrumente und Technologie GmbH filed Critical Witec Wissenschaftliche Instrumente und Technologie GmbH
Priority to DE29814974U priority Critical patent/DE29814974U1/de
Priority to DE19902234A priority patent/DE19902234B4/de
Publication of DE29814974U1 publication Critical patent/DE29814974U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
    • G01Q60/22—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
    • G01Q30/02—Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
    • G01Q30/025—Optical microscopes coupled with SPM
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0028—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders specially adapted for specific applications, e.g. for endoscopes, ophthalmoscopes, attachments to conventional microscopes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor

Description

Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt

Claims (24)

1. Mikroskop mit
1.1 Mitteln zum Halten einer Probe;
1.2 mindestens einem Objektiv für die konfokale Mikroskopie, dadurch gekennzeichnet, daß
1.3 das Mikroskop mindestens eine Sonde zur nahfeldoptischen Abbildung der Probe umfaßt.
2. Mikroskop gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop mindestens eine Mikroskopobjektivhalterung aufweist.
3. Mikroskop gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die nahfeldoptische Sonde derart ausgestaltet ist, daß sie anstelle eines herkömmlichen Objektives in einer Mikroskopobjektivhalterung befestigt werden kann.
4. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonde zur nahfeldoptischen Abbildung umfaßt:
4.1 ein Sondengehäuse (3);
4.2 eine Nahfeldspitze (5) zur Emission von Licht durch eine optische Apertur, die viel kleiner als die zur Abbildung verwendete Lichtwellenlänge ist; wobei
4.3 die Nahfeldspitze (5) in dem Sondengehäuse (3) angeordnet ist.
5. Mikroskop gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Sondengehäuse im wesentlichen die Abmessungen eines Mikroskopobjektives aufweist.
6. Mikroskop gemäß Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Sondengehäuse Befestigungsmittel zur Befestigung desselben im Einschraubgewinde (30) eines Mikroskopobjektives aufweist.
7. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonde Mittel zum Justieren der Nahfeldspitze im Sondengehäuse aufweist.
8. Mikroskop gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Nahfeldspitze im Meßbetrieb örtlich feststehend im Sondengehäuse angeordnet ist.
9. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop des weiteren Mittel zur Laser- Scanning-Mikroskopie umfaßt.
10. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop noch weitere Mikroskope für konventionelle optische Mikroskopie umfaßt und die nahfeldoptische Sonde derart angeordnet ist, daß deren Nahfeldspitze parafokal zu den weiteren Objektiven und/oder dem Objektiv für die konfokale Mikroskopie ist.
11. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop des weiteren Mittel zur Kraftmikroskopie umfaßt.
12. Mikroskop gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Kraftmikroskopie Mittel zur Messung in verschiedenen Meßmodi zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften auf Nanometer- Skala umfaßt.
13. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Halten der Probe einen Scantisch umfassen, mit dem eine darauf angeordnete Probe in allen drei Raumrichtungen relativ zur Nahfeldspitze verschoben werden kann.
14. Optisches Mikroskop gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Scantisch einen Scanbereich in XY-Richtung von wenigstens 1 µm und eine Ortsauflösung von wenigstens 0,1 µm aufweist.
15. Mikroskop gemäß Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Scantisch einen Scanbereich in Z-Richtung von wenigstens 0,1 µm und eine Ortsauflösung von wenigstens 0,01 µm aufweist.
16. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Scangeschwindigkeit wenigstens 0,1 Zeile/s beträgt.
17. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop des weiteren ein Detektionsmikroskop zur Detektion des durch die Probe transmittierten Lichtes umfaßt.
18. Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop eine Speichereinheit zum Abspeichern einer Nullposition des Scantisches umfaßt, so daß ein- und dieselbe Probe mit unterschiedlichen Objektiven oder Sonden untersucht werden kann.
DE29814974U 1998-08-21 1998-08-21 Kombinationsmikroskop Expired - Lifetime DE29814974U1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29814974U DE29814974U1 (de) 1998-08-21 1998-08-21 Kombinationsmikroskop
DE19902234A DE19902234B4 (de) 1998-08-21 1999-01-21 Kombinationsmikroskop

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29814974U DE29814974U1 (de) 1998-08-21 1998-08-21 Kombinationsmikroskop

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE29814974U1 true DE29814974U1 (de) 1999-12-30

Family

ID=8061569

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE29814974U Expired - Lifetime DE29814974U1 (de) 1998-08-21 1998-08-21 Kombinationsmikroskop
DE19902234A Expired - Lifetime DE19902234B4 (de) 1998-08-21 1999-01-21 Kombinationsmikroskop

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19902234A Expired - Lifetime DE19902234B4 (de) 1998-08-21 1999-01-21 Kombinationsmikroskop

Country Status (1)

Country Link
DE (2) DE29814974U1 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10016377B4 (de) * 2000-04-04 2009-01-08 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung zum Vereinigen von Licht
DE10344410A1 (de) 2003-09-25 2005-04-28 Leica Microsystems Rastermikroskop mit evaneszenter Beleuchtung
DE102008057097A1 (de) * 2008-11-13 2010-05-27 Carl Zeiss Ag Objektivanordnung und Justageverfahren
DE102008057100A1 (de) 2008-11-13 2010-11-11 Carl Zeiss Ag Untersuchungseinheit für nahfeldoptische Mikroskopie
DE102009015945A1 (de) 2009-01-26 2010-07-29 Witec Wissenschaftliche Instrumente Und Technologie Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Abbildung der Oberfläche einer Probe
DE102010005723A1 (de) 2010-01-26 2011-07-28 WITec Wissenschaftliche Instrumente und Technologie GmbH, 89081 Raman-Vorrichtung, insbesondere Raman-Mikroskop mit einer Vorrichtung zur Detektion eines Raman-Signals einer Probe
DE202010010932U1 (de) 2010-04-19 2011-10-07 Witec Wissenschaftliche Instrumente Und Technologie Gmbh Vorrichtung zur Abbildung einer Probenoberfläche
DE102017203492A1 (de) 2017-03-03 2018-09-06 Witec Wissenschaftliche Instrumente Und Technologie Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung einer Probenoberfläche
DE102010015428B4 (de) 2010-04-19 2015-07-30 Witec Wissenschaftliche Instrumente Und Technologie Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung einer Probenoberfläche

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3276917D1 (en) * 1982-12-27 1987-09-10 Ibm Light waveguide with a submicron aperture, method for manufacturing the waveguide and application of the waveguide in an optical memory
EP0112401B1 (de) * 1982-12-27 1987-04-22 International Business Machines Corporation Optisches Nahfeldabtastmikroskop
DE69118117T2 (de) * 1990-11-19 1996-10-24 At & T Corp Optisches Nahfeldabtastmikroskop und dessen Anwendungen
US5272330A (en) * 1990-11-19 1993-12-21 At&T Bell Laboratories Near field scanning optical microscope having a tapered waveguide
US5254854A (en) * 1991-11-04 1993-10-19 At&T Bell Laboratories Scanning microscope comprising force-sensing means and position-sensitive photodetector
JP3047030B2 (ja) * 1993-11-05 2000-05-29 セイコーインスツルメンツ株式会社 走査型近視野原子間力顕微鏡
US5751683A (en) * 1995-07-24 1998-05-12 General Nanotechnology, L.L.C. Nanometer scale data storage device and associated positioning system
US5756997A (en) * 1996-03-04 1998-05-26 General Nanotechnology, L.L.C. Scanning probe/optical microscope with modular objective/probe and drive/detector units
DE19604363A1 (de) * 1995-02-23 1996-08-29 Zeiss Carl Fa Zusatzmodul zur ortsaufgelösten Fokusvermessung

Also Published As

Publication number Publication date
DE19902234B4 (de) 2004-08-05
DE19902234A1 (de) 2000-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1998038495A1 (de) Lichtabtastvorrichtung
Parker et al. A high-resolution, confocal laser-scanning microscope and flash photolysis system for physiological studies
DE29814974U1 (de) Kombinationsmikroskop
DE202009018895U1 (de) Oberflächenmesstaster
WO2002039095A1 (de) Plasmonenresonanzsensor, insbesondere für die biosensorik
US5677525A (en) Ancillary module for making a spatially-resolved measurement of a focus volume
DE19631498A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Rasternahfeldmikroskopie an Probekörpern in Flüssigkeiten
DE102007012654A1 (de) Oberflächenprofil-Messvorrichtung
EP1285254A1 (de) Refraktometer
DE19841931C2 (de) Mikroskop für die optische Nahfeldmikroskopie
DE29814972U1 (de) Nahfeldoptische Sonde und nahfeldoptisches Mikroskop
DE10142945B4 (de) Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung und Mikroskop
EP0830587A1 (de) Vorrichtung zur optischen untersuchung von oberflächen
DE10346349B4 (de) Sondenanordnung für ein Rastersondeninstrument
DE102007017664A1 (de) Interferenzoptisches Tastschnittgerät
DE19755187C2 (de) Vorrichtung zur Messung der Lumineszenz oder Fluoreszenz einer Probe
DE19838053A1 (de) Nahfeldoptische Sonde und nahfeldoptisches Mikroskop
DE19838054A1 (de) Kombinationsmikroskop
DE10303812A1 (de) Mikroskop und Haltemodul
DE4233399A1 (de) Kraftmikroskop
DE19905714A1 (de) Ultrakleines Spektroskopiemikroskop
DD265224A1 (de) Verfahren und anordnung fuer die lichtrastermikroskopie
DE20221635U1 (de) Optisches System zum Anregen und Messen von Fluoreszenz an oder in mit Fluoreszenzfarbstoffen behandelten Proben
DE10309911B4 (de) Verfahren zur Ermittlung eines Farblängsfehlers eines Scanmikroskops und Scanmikroskop
DD285833A5 (de) Mikrohaertepruefeinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 20000203

R156 Lapse of ip right after 3 years

Effective date: 20020501