DE29708225U1 - Clean room tent - Google Patents
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Description
Laflow Reinraumtechnik GmbH + Co. 89143 Blaubeuren Laflow Cleanroom Technology GmbH + Co. 89143 Blaubeuren
Die Erfindung betrifft ein Reinraumzelt mit einem gegenüber der Umwelt weitgehend abgegrenzten Innenraum, dem über Flowmodule, enthaltend ein Gebläse und eine Filtereinrichtung gereinigte Luft, vorzugsweise in Form einer laminaren Luftströmung, zuführbar ist, wobei in Innenraum ein leichter Luftüberdruck herrscht.The invention relates to a clean room tent with an interior space that is largely separated from the environment and to which purified air, preferably in the form of a laminar air flow, can be supplied via flow modules containing a fan and a filter device, with a slight excess air pressure prevailing in the interior space.
In vielen Bereichen der Technik besteht die Notwendigkeit, unter Reinraumbedingungen zu arbeiten, wobei allerdings in Bezug auf die Reinheit der Luft unterschiedliche Anforderungen gestellt werden. Beispielsweise sind bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen während der nacheinanderfolgenden Herstellungsschritte zu Beginn des Herstellungsprozesses die höchsten Reinheitsanforderungen einzuhalten, die dann bei späteren Montagevorgängen geringer sind. Zur Erfüllung der unterschiedlichen Reinheitsanforderungen sind unterschiedliche Lösungen bekannt geworden.In many areas of technology, it is necessary to work under clean room conditions, although there are different requirements in terms of the purity of the air. For example, in the manufacture of semiconductor components, the highest purity requirements must be met during the successive manufacturing steps at the beginning of the manufacturing process, which are then lower during later assembly processes. Different solutions have become known for meeting the different purity requirements.
Eine der Möglichkeiten besteht beispielsweise darin, den gesamten Produktionsraum innerhalb eines Produktionsgebäudes mit Reinraumtechnik auszustatten, was zweifellos besonders aufwendig ist. Ein nachträglicher Einbau von Reinraumtechnik in eine vorhandene Produktionseinrichtung ist allerdings nahezu ausgeschlossen. One of the possibilities, for example, is to equip the entire production area within a production building with clean room technology, which is undoubtedly particularly complex. However, retrofitting clean room technology into an existing production facility is almost impossible.
Eine andere Möglichkeit besteht darin, den Produktionsraum in kleine Einheiten aufzuteilen, die dann mit gereinigter Luft versorgt werden. Hierzu erfolgt die Aufteilung des Produktionsraumes durch Folien oder andere geeignete Trennwände, die in geeigneten Halterungen an der Decke des Produktionsraumes aufgehängt werden und die die entsprechende Produktionseinheit luftdicht umschließen, wobei im Bodenbereich ein Spalt freigehalten wird. Durch eine geeignete Lufttechnik zur Reinigung der Luft, die im Deckenbereich aufgehängt oder montiert ist, wird dann eine abwärts gerichtete, möglichst laminare Luftströmung erzeugt, wobei die Luft dann über den Spalt im Bodenbereich entweicht. Um ein Einströmen von ungereinigter Umgebungsluft in den Innenraum zu verhindern, muß in diesem ein geringer Überdruck erzeugt werden. Das erfolgt durch eine geeignete Bemessung des Spaltes im Bodenbereich in Verbindung mit der zugeführten Luftmenge.Another possibility is to divide the production room into small units, which are then supplied with purified air. To do this, the production room is divided using foil or other suitable partition walls, which are hung on suitable brackets from the ceiling of the production room and which enclose the corresponding production unit in an airtight manner, leaving a gap free in the floor area. A suitable air technology for cleaning the air, which is hung or mounted in the ceiling area, then creates a downward, as laminar as possible, air flow, with the air then escaping through the gap in the floor area. In order to prevent unpurified ambient air from flowing into the interior, a slight overpressure must be generated in the interior. This is achieved by appropriately dimensioning the gap in the floor area in conjunction with the amount of air supplied.
Bei dieser Variante sind erhebliche Baumaßnahmen zur Abtrennung einer Produktionseinheit erforderlich, wobei beliebige Grundflächen umgrenzt werden können. Außerdem werden durch den Einbau der Folienwände und der Luftreinigungstechnik, die auch als Flowmodule bezeichnet werden können, benachbarte Produktionseinheiten gestört, oder es ist erforderlich, während der Einbauarbeiten die Produktionseinheiten stillzulegen. Eine nachträgliche Änderung der Grundfläche ist nur durch erneute Baumaßnahmen möglich.This variant requires significant construction work to separate a production unit, whereby any floor area can be enclosed. In addition, the installation of the foil walls and the air purification technology, which can also be referred to as flow modules, will disrupt neighboring production units, or it will be necessary to shut down the production units during the installation work. A subsequent change to the floor area is only possible through further construction work.
Weiterhin sind noch sogenannte Laminarboxen bekannt, bei denen die Luftreinigungseinrichtung innerhalb eines umgrenzten aber einseitig offenen Raumes eine horizontale laminare Luftströmung erzeugt. Auf diese Weise wird das Eindringen von ungereinigter Umgebungsluft in den Arbeitsbereich innerhalb der Laminarbox verhindert. Derartige Laminarboxen lassen sich auch nachträglich und weitgehend ohne Beeinträchtigung benachbarter Arbeitsplätze aufstellen. Von Nachteil ist allerdings, daß nur ein relativ begrenzter Arbeitsbereich mit gereinigter Luft zur Verfügung steht, so daß einem variablen Einsatz dieser Laminarboxen Grenzen gesetzt sind. Außerdem ist die hori-Furthermore, so-called laminar boxes are known, in which the air purification device generates a horizontal laminar air flow within a confined but one-sided open space. This prevents uncleaned ambient air from entering the work area inside the laminar box. Such laminar boxes can also be installed later and largely without affecting neighboring workstations. The disadvantage, however, is that only a relatively limited work area with cleaned air is available, so that there are limits to the variable use of these laminar boxes. In addition, the horizontal
zontal nach außen gerichtete Luftströmung für eine vor der Laminarbox befindliche Person störend.The air flow directed outwards is disturbing for a person standing in front of the laminar flow box.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Reinraumzelt zu schaffen, mit dem auf einfache Weise Produktionseinheiten mit nahezu beliebiger Größe und mit beliebiger Grundfläche ohne Eingriff in die Bausubstanz und ohne nennenswerte Störung benachbarter Produktionseinheiten umschlossen werden können und welches eine einfache und nachträgliche Anpassung an geänderte Flächenanforderungen erlaubt.The invention is therefore based on the object of creating a clean room tent with which production units of almost any size and with any floor space can be easily enclosed without interfering with the building structure and without significantly disturbing neighboring production units and which allows simple and subsequent adaptation to changed space requirements.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Reinraumzelt der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das Reinraumzelt aus einer beliebigen Nebeneinanderanordnung einer beliebigen Anzahl von einzelnen freistehenden Modulen besteht, die jeweils von einem Rohrgestell umgrenzt werden, daß die Flowmodu-Ie in der Weise auf den Modulen angeordnet sind, daß die Module jeweils nach oben gegenüber der Umgebung dichtend abgegrenzt sind, und daß die Folienabtrennung wenigstens die Außenkontur der Nebeneinanderanordnung der Module lückenlos umgibt.According to the invention, this object is achieved in a clean room tent of the type mentioned at the outset in that the clean room tent consists of any number of individual free-standing modules arranged side by side, each of which is surrounded by a tubular frame, that the flow modules are arranged on the modules in such a way that the modules are each sealed off from the environment at the top, and that the film partition completely surrounds at least the outer contour of the side by side arrangement of the modules.
Das erfindungsgemäße Reinraumzelt läßt sich kostengünstig fertigen und kann in beliebiger Konfiguration zusammengestellt werden. Hierbei ist von besonderem Vorteil, daß das Reinraumzelt ohne Einfluß auf die Bausubstanz und den Produktionsprozeß jederzeit nachgerüstet werden kann. Dadurch, daß jedem Rohrgestell wenigstens ein Flowmodul zugeordnet ist, ist es im Störungsfall, also wenn ein Flowmodul ausfällt, nahezu ausgeschlossen, daß der Produktionsprozeß dadurch nennenswert gestört wird.The clean room tent according to the invention can be manufactured inexpensively and can be assembled in any configuration. A particular advantage here is that the clean room tent can be retrofitted at any time without affecting the structure and the production process. Because each pipe frame is assigned at least one flow module, it is almost impossible for the production process to be significantly disrupted in the event of a malfunction, i.e. if a flow module fails.
In einer Fortbildung der Erfindung ist wenigstens zwischen einigen der Module eine Folienabtrennung vorgesehen, wobei die Folienabtrennung durch eine transparente oder durchsichtige Folie erfolgen kann. Damit wird einerseits eine einfache Unterteilung des Innenraumes der Reinraumzeltes ermöglicht und andererseits eine gute Übersichtlichkeit gewährleistet.In a further development of the invention, a film separation is provided at least between some of the modules, whereby the film separation can be made using a transparent or clear film. This enables a simple division of the interior of the clean room tent on the one hand and ensures good clarity on the other.
Darüberhinaus wird dadurch die Betriebssicherheit des Reinraumzeltes insgesamt weiter verbessert.In addition, the operational safety of the cleanroom tent is further improved overall.
Um eine einfache Montage der Flowmodule zu gewährleisten, werden die Module am oberen Ende jeweils durch einen Rohrrahmen zur Aufnahme der Flowmodule begrenzt.To ensure easy installation of the flow modules, the modules are each limited at the upper end by a tubular frame to accommodate the flow modules.
Im Sinne einer einfachen Montage oder einer leichten Veränderbarkeit der Konfiguration des Reinraumzeltes sind die nebeneinander befindlichen Module lösbar miteinander verbunden. Was bevorzugt durch Verschrauben erfolgen kann.In order to facilitate assembly or to easily change the configuration of the clean room tent, the modules located next to each other are detachably connected to each other. This can preferably be done by screwing.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind die einzelnen Module in der Weise nebeneinander angeordnet sind, daß in jeder Ecke jedes Moduls maximal nur jeweils eine Stütze zur Aufnahme der Rohrrahmen der benachbarten Module angeordnet ist.In a further embodiment of the invention, the individual modules are arranged next to one another in such a way that in each corner of each module there is a maximum of only one support for supporting the tubular frames of the adjacent modules.
Dadurch, daß in einer Variante der Erfindung einige der miteinander verbundenen Module weniger als vier Stützen aufweisen, wird eine erhebliche Gewxchtseinsparung und eine Vereinfachung der Montage erreicht. In diesem Fall übernimmt die Stütze des jeweils benachbarten Moduls die Tragefunktion der fehlenden Stütze. Ein weiterer Vorteil dieser Variante ist darin zu sehen, daß dadurch mehr Freiraum geschaffen wird und dadurch sich im Reinraumzelt befindliche Bearbeitungsstationen o.dgl. auch über mehrere Module erstrecken können.In one variant of the invention, some of the interconnected modules have fewer than four supports, which results in a significant weight saving and simplification of assembly. In this case, the support of the adjacent module takes over the supporting function of the missing support. A further advantage of this variant is that it creates more free space and processing stations or the like in the clean room tent can also extend over several modules.
Weiterhin ist es möglich, zwischen zwei oder mehreren Modulen mit Stützen ein Modul ohne Stützen anzuordnen, wodurch der Freiraum innerhalb des Reinraumzeltes weiter vergrößert wird. Um eine gute Stabilität des Reinraumzeltes zu erreichen und dieses volkommen frei aufstellen zu können, sind die Stützen und die zugehörigen Rohrrahmen über Stabilisierungselemente miteinander verbunden. Hierfür eignen sich besonders Knotenbleche. It is also possible to arrange a module without supports between two or more modules with supports, which further increases the free space within the cleanroom tent. In order to achieve good stability of the cleanroom tent and to be able to set it up completely freely, the supports and the associated tubular frames are connected to one another via stabilizing elements. Gusset plates are particularly suitable for this.
Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungsfiguren zeigen:The invention will be explained in more detail below using an exemplary embodiment. The accompanying drawing figures show:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung des Reinraumzeltes;
Fig. 2 eine weitere Ansicht des Reinraumzeltes nach Fig. 1;Fig. 1 is a perspective view of the clean room tent;
Fig. 2 is another view of the clean room tent according to Fig. 1;
Fig. 3 ein Rohrgestell für eine Variante des Reinraumzeltes; undFig. 3 a tubular frame for a variant of the clean room tent; and
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Floweinheit für das Reinraumzelt.Fig. 4 is a schematic representation of a flow unit for the clean room tent.
In den Fig. 1 und 2 sind zwei unterschiedliche Ansichten eines erfindungsgemäßen Reinraumzeltes 1, bestehend aus vier nebeneinander angeordneten Modulen 2, dargestellt, wobei auf jedem Modul 2, bestehend aus einem Rohrrahmen 3 und zugehörigen Stützen 4, jeweils zwei Flowmodule 5 angeordnet sind. Die Module 2 werden insgesamt durch eine Folienabtrennung 6 0 umgeben, deren Stöße beispielsweise durch Klettverschlüsse miteinander verbindbar sind. Damit kann das Reinraumzelt 1 auch einfach betreten werden. Die Folienabtrennung 6 endet in einem geringen Abstand über dem Boden, so daß die vom Flowmodul 5 erzeugte und zum Boden gerichtete Luftströmung entweichen kann. Durch entsprechende Abstimmung der vom Flowmodul 5 in des Modul 2 eingeblasenen Luftmenge und der am Boden etwas gedrosselten Ableitung der Luft entsteht innerhalb des Modules, bzw. innerhalb des gesamten Reinraumzeltes 1, ein geringer Überdruck. Dieser Überdruck verhindert zuverlässig das Eindringen von verunreinigter Umgebungsluft.Figures 1 and 2 show two different views of a clean room tent 1 according to the invention, consisting of four modules 2 arranged next to one another, with two flow modules 5 arranged on each module 2, consisting of a tubular frame 3 and associated supports 4. The modules 2 are surrounded by a film partition 60, the joints of which can be connected to one another using Velcro fasteners, for example. This also makes it easy to enter the clean room tent 1. The film partition 6 ends a short distance above the floor, so that the air flow generated by the flow module 5 and directed towards the floor can escape. By appropriately coordinating the amount of air blown into the module 2 by the flow module 5 and the slightly throttled discharge of the air at the floor, a slight overpressure is created within the module, or within the entire clean room tent 1. This overpressure reliably prevents contaminated ambient air from entering.
Die Rohrrahmen 3 und die Stützen 4 bestehen bevorzugt aus einem Vierkanthohlprofil und sind am unteren Ende mit einer Höhenverstelleinrichtung 7 versehen. Mit Hilfe dieser Höhenverstelleinrichtung 7 lassen sich ggf. Bodenunebenheiten ausgleichen, oder es kann der Luftspalt im Bodenbereich nach der Montage des Reinraumzeltes 1 geringfügig variiert werden.The tubular frames 3 and the supports 4 preferably consist of a square hollow profile and are provided with a height adjustment device 7 at the lower end. With the help of this height adjustment device 7, unevenness in the floor can be compensated if necessary, or the air gap in the floor area can be slightly varied after the clean room tent 1 has been assembled.
Das Vierkanthohlprofil kann aus beliebigen Materialien hergestellt werden, wobei Stahlblech die billigste Variante ist und bei der Verwendung von Aluminium oder Kunststoffen ein besonders niedriges Gewicht erreicht wird. Das kann dann besonders interessant sein, wenn die zulässige Deckenbelastung durch die bereits vorhandenen Einrichtungsgegenstände nahezu ausgelastet ist und dennoch nachträglich ein Reinraumzelt 1 installiert werden soll.The square hollow profile can be made from any material, with sheet steel being the cheapest option and a particularly low weight being achieved when aluminum or plastic is used. This can be particularly interesting if the permissible ceiling load is almost fully utilized by the existing furnishings and a clean room tent 1 is nevertheless to be installed later.
Fig. 3 zeigt ein Rohrgestell für eine Variante des Reinraumzeltes 1, bei der zwischen zwei Modulen 2 mit Stützen 4 ein Modul 2 aus einem Rohrrahmen 3 ohne Stützen eingefügt ist und bei der einige Module 2 weniger als vier Stützen 4 aufweisen. Diese Variante zeigt insbesondere, daß das erfindungsgemäße Reinraumzelt 1 äußerst variabel einsetzbar ist. Beispielsweise können einzelne Flowmodule 5 auch höhenversetzt angeordnet werden, wenn dies die innerhalb des Reinraumzeltes 1 anzuordnenden Fertigungseinrichtungen erfordern.Fig. 3 shows a tubular frame for a variant of the clean room tent 1, in which a module 2 made of a tubular frame 3 without supports is inserted between two modules 2 with supports 4 and in which some modules 2 have fewer than four supports 4. This variant shows in particular that the clean room tent 1 according to the invention can be used in extremely variable ways. For example, individual flow modules 5 can also be arranged at different heights if this is required by the production equipment to be arranged within the clean room tent 1.
Aus Fig. 4 ist eine schematische Darstellung eines Flowmodules 5 ersichtlich, innerhalb dessen ein Gebläse 8 angeordnet ist, welches über einen Einlaßfilter 9 und eine Filteranordnung 10 Umgebungsluft ansaugt und über eine Ausströmöffnung 11 gereinigte Luft ausbläst. Das Flowmodul 5 erzeugt eine weitgehend laminare abwärts gerichtete Luftströmung mit geringer Strömungsgeschwindigkeit innerhalb jedes Modules 2.Fig. 4 shows a schematic representation of a flow module 5, within which a fan 8 is arranged, which sucks in ambient air via an inlet filter 9 and a filter arrangement 10 and blows out cleaned air via an outlet opening 11. The flow module 5 generates a largely laminar downward air flow with a low flow velocity within each module 2.
Im Bereich der Ausströmöffnung 11 ist zusätzlich eine Beleuchtungseinrichtung 12 vorgesehen. Die Filteranordnung 10 ist in einem Einschub 13 angeordnet, der von außen zugänglich ist, so daß die Wartung des Flowmodules 5 ohne Störung des Innenraumes 14 des zugehörigen Modules 2 erfolgen kann. Da in der Regel jedem Modul zwei Flowmodule 5 zugeordnet sind, ist es möglich, während der Wartung eines der Flowmodule 5 innerhalb des Modules, weiterzuarbeiten.In the area of the outflow opening 11, an additional lighting device 12 is provided. The filter arrangement 10 is arranged in a slot 13 that is accessible from the outside, so that the flow module 5 can be serviced without disturbing the interior 14 of the associated module 2. Since two flow modules 5 are usually assigned to each module, it is possible to continue working within the module while one of the flow modules 5 is being serviced.
Um eine Aufstellung des Reinraumzeltes 1 ohne zusätzliche Verankerung an Gebäudeteilen zu ermöglichen und eine Stabili-In order to enable the cleanroom tent 1 to be set up without additional anchoring to building parts and to ensure
sierung der gesamten Konstruktion zu erreichen, sind Knotenbleche 15 vorgesehen, die die Stützen 4 mit dem jeweiligen Rohrrahmen 3 eines Modules 2 verbinden. Die Knotenbleche 15 sind zu diesem Zweck mit dem Rohrrahmen 3 und den Stützen 4 verschweißt, wobei prinzipiell auch eine Verschraubung oder Vernietung vorgesehen werden kann. Allerdings sind letztere Möglichkeiten wesentlich aufwendiger.In order to achieve a high level of stability of the entire construction, gusset plates 15 are provided which connect the supports 4 to the respective tubular frame 3 of a module 2. For this purpose, the gusset plates 15 are welded to the tubular frame 3 and the supports 4, although in principle they can also be screwed or riveted. However, the latter options are considerably more complex.
Lippert, Sfachow, Schmidt & PartnerLippert, Sfachow, Schmidt & Partner
Patentanwälte Krenkelstraße 6Patent Attorneys Krenkelstrasse 6
D-Ol 309 Dresden Hu/hu 5. Mai 1997D-Ol 309 Dresden Hu/hu 5 May 1997
Laflow Reinraumtechnik GmbH + Co, 89143 BlaubeurenLaflow Reinraumtechnik GmbH + Co, 89143 Blaubeuren
I Reinraumzelt 2 ModulI Cleanroom tent 2 module
3 Rohrrahmen3 tubular frames
4 Stütze4 Support
5 Flowmodul5 Flow module
6 Folienabtrennung6 Foil separation
20 7 Höhenverstelleinrichtung20 7 Height adjustment device
8 Gebläse8 blowers
9 Einlaßfilter9 Inlet filter
10 Filteranordnung10 Filter arrangement
II AusströmöffnungII Outlet opening
25 12 Beleuchtungseinrichtung25 12 Lighting equipment
13 Einschub13 Insert
14 Innenraum14 Interior
15 Knotenblech15 Gusset plate
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R207 | Utility model specification |
Effective date: 19970807 |
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| R021 | Search request validly filed |
Effective date: 19970613 |
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| R163 | Identified publications notified |
Effective date: 19971119 |
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| R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years |
Effective date: 20001031 |
|
| R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20030908 |
|
| R158 | Lapse of ip right after 8 years |
Effective date: 20051201 |