DE4103026C1

DE4103026C1 -

Info

Publication number: DE4103026C1
Application number: DE4103026A
Authority: DE
Inventors: Manfred Dipl.-Ing. Dr. 7257 Ditzingen De Renz; Helmut Dipl.-Ing. 7146 Tamm De Bauer
Original assignee: Meissner and Wurst GmbH and Co
Current assignee: Meissner and Wurst GmbH and Co
Priority date: 1991-02-01
Filing date: 1991-02-01
Publication date: 1992-09-10
Anticipated expiration: 2011-02-02

Description

Die Erfindung betrifft eine Filter-Ventilator-Einrichtung zur Verwendung bei Reinräumen nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.The invention relates to a filter fan device for Use in clean rooms according to the preamble of claim 1.

Es ist bekannt, die Filter-Ventilator-Einrichtung zusammen mit dem Reinraum als Einheit auszubilden. Nahe einer Seiten wand dieser Einheit befindet sich der Ventilator, mit dem die Kühlluft angesaugt und in den Luftströmungsraum gefördert wird. Er erstreckt sich vom Ventilator aus horizontal bis zur gegen überliegenden Wand, hat dort eine 180°-Umlenkung und wird durch das mit Abstand unterhalb der unteren Begrenzungswand liegende Filter nach unten begrenzt. Infolge dieser Ausbildung ergeben sich für die Luft große Strömungswege, die zu entsprechend hohen Strömungsverlusten und damit zu entsprechend hohem Energiebe darf führen. Infolge dieser Luftführung ist auch eine gleich förmige Strömungsverteilung über die Filterfläche nur sehr schwierig zu erreichen. Außerdem hat diese Einrichtung einen verhältnismäßig hohen Schalldruckpegel.It is known to put together the filter-fan device train with the clean room as a unit. Near one side Wall of this unit is the fan with which the Cooling air is sucked in and conveyed into the air flow space. It extends from the fan horizontally to the opposite overlying wall, there has a 180 ° deflection and is through the one below the lower boundary wall Filter limited at the bottom. As a result of this training large flow paths for the air, which lead to correspondingly high Flow losses and thus to a correspondingly high level of energy may lead. As a result of this air flow, one is also the same shaped flow distribution over the filter surface only very much difficult to reach. This facility also has one relatively high sound pressure level.

Bei einer anderen bekannten Einrichtung (DE-OS 38 36 147) be findet sich der Ventilator ebenfalls nahe einer Seitenwand der Einrichtung. Die über einen Ansaugkanal der Einrichtung angesaugte Kühlluft wird in den Luftströmungsraum gefördert, der sich vom Ventilator aus horizontal bis etwa zur gegen überliegenden Wand der Einrichtung erstreckt. Dort wird die Luft um 90° umgelenkt, so daß sie zu dem mit Abstand unterhalb des Luftströmungsraumes befindlichen Filter strömt. Auch bei dieser bekannten Einrichtung sind für die Luft große Strömungs wege vorgesehen, die zu entsprechend hohen Strömungsverlusten und einem hohem Energiebedarf führen. Die Anströmung der Luft auf das Filter erfolgt nur an einer Seite in der Nähe der dem Ventilator gegenüberliegenden Begrenzungswand der Einrich tung. Dadurch ist die Ausbildung der Luftströmung unterhalb des Filters sehr ungleichförmig.In another known device (DE-OS 38 36 147) be the fan is also located near a side wall the establishment. The through an intake duct of the facility sucked-in cooling air is conveyed into the air flow space, which extends horizontally from the fan to approximately the opposite extends over the wall of the facility. There is the Air deflected by 90 ° so that it is at a distance below filter located in the air flow space. Also at this known device are great flow for the air provided paths that lead to correspondingly high flow losses and lead to a high energy requirement. The inflow of air the filter is only on one side near the Fan opposite boundary wall of the device tung. As a result, the formation of the air flow is below of the filter very irregular.

Bei einem Ventilationsgerät, das auf Entlüftungsschächten an geordnet ist, ist es bekannt (DE-GM 72 13 615), einen Saug kanal und ein oder zwei parallel zu ihm angeordnete Druck kanäle vorzusehen, die sich zwischen einander gegenüberliegen den Seitenwänden des Ventilationsgerätes erstrecken. Die Strö mung wird von der Saugseite zur Druckseite des Ventilators um 180° umgelenkt. Dadurch treten entsprechende Druckverluste auf, die zu einem höheren Energiebedarf führen. Die durch die Druckkanäle strömende Luft tritt ins Freie aus.In the case of a ventilation unit that is installed on ventilation ducts ordered, it is known (DE-GM 72 13 615), a suction channel and one or two pressure arranged parallel to it to provide channels that lie between each other extend the side walls of the ventilation unit. The currents mung becomes from the suction side to the pressure side of the fan deflected by 180 °. This leads to corresponding pressure losses that lead to higher energy requirements. The through the Air flowing through pressure channels emerges outdoors.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungsge mäße Filter-Ventilator-Einrichtung so auszubilden, daß sie bei kompakter Ausbildung eine hohe Geräuschdämmung, eine gleichförmige Strömungsverteilung sowie geringe Strö mungsverluste hat.The invention has for its object the genus moderate filter-fan device so that with a compact design, high noise insulation, a uniform flow distribution and low flow loss of performance.

Diese Aufgabe wird bei der gattungsgemäßen Filter-Ventilator- Einrichtung erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merk malen des Anspruches 1 gelöst.This task is performed in the generic filter-fan Device according to the invention with the characteristic note paint the claim 1 solved.

Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung ist der Strömungsraum als Ringkanal ausgebildet, der infolge seiner ringförmigen Ausbildung nur geringe Höhe haben muß. Dadurch kann die erfindungsgemäße Einrichtung sehr kompakt ausgebildet werden. Mit dem Ringkanal ist eine gleichförmige Strömungsverteilung sowie eine gleichförmige Geschwindigkeit über die Filter fläche möglich, so daß die Luft gleichmäßig durch den Filter in den darunter befindlichen Reinraum eintreten kann. Infolge des Ringkanales sind auch nur sehr kurze Strömungswege vorgesehen, wodurch sich auch geringe Strömungsverluste und dementsprechend auch nur ein geringer Energiebedarf ergeben.In the device according to the invention is the flow space formed as an annular channel, which due to its annular Training only has to be low. This allows the device according to the invention can be made very compact. With the ring channel there is a uniform flow distribution as well as a uniform speed across the filters possible area so that the air evenly through the Enter the filter in the clean room below can. As a result of the ring channel, there are only very short ones Flow paths are provided, which also reduces Flow losses and accordingly only a small one Result in energy demand.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichungen.Further features of the invention result from the further claims, the description and the drawings.

Die Filter-Ventilator-Einheiten zeichnen sich durch eine hohe Geräuschdämmung und eine gleichförmige Strömungsver teilung bei kompakter Bauweise aus. Die Einheiten können bei allen Reinraumanwendern eingesetzt werden, z. B. in der Medizin, in der Pharmazie, in der Biotechnik, in der Elektronik und in der Halbleitertechnik. Die Filterein heiten eignen sich insbesondere für kleine Reinraumbe reiche, für eine Nachinstallation schon vorhandener Rein raumbereiche und für lokale Reinräume. Mit den Einheiten lassen sich Reinräume modular und damit flexibel aufbauen, so daß die Reinraumbereiche jederzeit, beispielsweise in folge des technischen Fortschritts, geändert und/oder er gänzt werden können. Auf diese Weise lassen sich schnell und kostengünstig Erweiterungen, Umbauten oder Verbesserungen der Reinraumklasse durchführen.The filter-fan units are characterized by a high noise insulation and a uniform flow division with a compact design. The units can be used by all cleanroom users, e.g. B. in in medicine, in pharmacy, in biotechnology, in Electronics and in semiconductor technology. The filters units are particularly suitable for small clean room areas rich pure for a subsequent installation areas and for local cleanrooms. With the units clean rooms can be constructed modularly and thus flexibly, so that the clean room areas at any time, for example in follow technical progress, changed and / or he can be added. This way you can quickly and inexpensive extensions, conversions or improvements of the clean room class.

Die Erfindung wird anhand eines in den Zeichnungen darge stellten Ausführungsbeispieles näher erläutert. Es zeigtThe invention is based on a Darge in the drawings presented embodiment explained in more detail. It shows

Fig. 1 in schematischer Darstellung einen Reinraum mit erfindungsgemäßen Filter-Ventilator-Ein heiten, Fig. 1 shows a clean room with the inventive filter-fan units in a schematic representation;

Fig. 2 im Schnitt eine erfindungsgemäße Filter- Ventilator-Einheit, Fig. 2 in section, a filter fan unit according to the invention,

Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie III-III in Fig. 2. Fig. 3 is a section along the line III-III in Fig. 2.

Fig. 1 zeigt einen Reinraum 1, der einen für Luft durch lässigen Boden 2 aufweist. Er liegt mit Abstand oberhalb eines luftundurchlässigen Bodens 3, der zusammen mit dem durchlässigen Boden 2 eine Rückluftführung 4 begrenzt. Im Reinraun 1 befindet sich ein Prozeßgerät 5. Der Reinraum 1 ist nach oben durch eine Decke 6 begrenzt, die rasterförmig von Filtern 7 der Filter-Ventilator-Einheiten 8 gebildet ist. Die Filter-Ventilator-Einheiten 8 sind als Module aus gebildet, die neben- und hintereinander zur Bildung der Rasterdecke 6 angeordnet werden. Die einzelnen Filter- Ventilator-Einheiten 8 lassen sich vorteilhaft einzeln schnell auswechseln, so daß evtl. Reparaturen oder Wartungen einfach und schnell durchgeführt werden können. Fig. 1 shows a clean room 1, which has an air permeable bottom 2. It lies at a distance above an air-impermeable floor 3 which , together with the permeable floor 2, delimits a return air duct 4 . A process device 5 is located in the clean room 1 . The clean room 1 is delimited at the top by a ceiling 6 , which is formed in a grid-like manner by filters 7 of the filter-fan units 8 . The filter-fan units 8 are formed as modules, which are arranged side by side and one behind the other to form the grid ceiling 6 . The individual filter-fan units 8 can advantageously be replaced individually quickly, so that any repairs or maintenance can be carried out easily and quickly.

Jede Einheit 8 hat jeweils mindestens einen Ventilator 9, mit dem Kühlluft 10 und Rückluft 25 (Fig. 2) angesaugt und durch das Filter 7 in den Reinraum 1 gefördert wird. Die gefilterte Luft strömt zumindest annähernd laminar senkrecht nach unten zum Boden 2, tritt durch ihn hindurch und wird am unteren, ge schlossenen Boden 3 umgelenkt und strömt in der Rückluftführung 4 nach außen (vgl. Pfeile in Fig. 1). Für die Kühlluftzuführung ist jede Filter-Ventilator-Einheit 8 mit einem Kühlluftanschluß 11 versehen. Wie Fig. 1 schematisch zeigt, sind mehrere Kühl luftanschlüsse 11 jeweils an eine gemeinsame Zuführleitung 12 angeschlossen.Each unit 8 has at least one fan 9 , with which cooling air 10 and return air 25 ( FIG. 2) are drawn in and conveyed through the filter 7 into the clean room 1 . The filtered air flows at least approximately laminar perpendicularly down to the bottom 2 , passes through it and is deflected at the lower, closed bottom 3 ge and flows in the return air duct 4 to the outside (see. Arrows in Fig. 1). For the supply of cooling air, each filter-fan unit 8 is provided with a cooling air connection 11 . As Fig. 1 shows schematically, a plurality of cooling air ports 11 are each connected to a common supply 12th

Vorteilhaft sind die als Module ausgebildeten Filter-Ventilator- Einheiten 8 jeweils gleich ausgebildet. Sie sollen anhand der Fig. 2 und 3 im einzelnen erläutert werden. Die Einheit 8 hat im Ausführungsbeispiel etwa quadratischen Umriß, kann aber auch rechteckigen oder jeden anderen geeigneten Umriß haben. Der quadratische bzw. rechteckige Umriß hat den Vorteil, daß die Decke des Reinraumes 1 rasterförmig aus nur wenigen Einheiten 8 aufgebaut werden kann.The filter-fan units 8 designed as modules are each advantageously of identical design. They will be explained in detail with reference to FIGS. 2 and 3. The unit 8 has an approximately square outline in the exemplary embodiment, but can also have a rectangular or any other suitable outline. The square or rectangular outline has the advantage that the ceiling of the clean room 1 can be constructed in a grid form from only a few units 8 .

Die Einheit 8 hat eine Außenwand 13, die aus vier recht winklig aneinandergesetzten Wandteilen 13a bis 13d gebildet wird. Sie erstrecken sich von einer Auflage 14 (Fig. 2) auf wärts. Die Auflage 14 kann durch Profilschienen, Stangen oder dgl. gebildet sein. Auf die Wandteile 13a bis 13d ist ein horizontales Deckenteil 15 aufgesetzt, das gleichen Umriß hat wie die Einheit 8. Mittig weist das Deckenteil 15 eine Öffnung 16 auf, in die der Ventilator 9 eingesetzt ist. Er ragt nach unten über das Deckenteil 15. Mit Abstand ober halb des Deckenteiles 15 ist ein weiteres Deckenteil 17 vorgesehen, das parallel zum Deckenteil 15 liegt und mit diesem zusammen eine Rückluftführung 18 begrenzt. Das Decken teil 17 kann gleichen Umriß wie das Deckenteil 15 haben und ist längs seines Umfanges durch Abstandhalter 19 auf Ab stand zum Deckenteil 15 gehalten. Bevorzugt ist das Decken teil 17 geringfügig kleiner als das Deckenteil 15. Dadurch wird die Ansaugung der Rückluft erleichtert. Das Deckenteil 17 kann selbstverständlich auch anderen Umriß haben als das Deckenteil 15. Die Abstandhalter 19 sind mit (nicht dargestellten) Eintrittsöffnungen für die Rückluft versehen. Das Deckenteil 17 ist zentrisch mit dem Kühlluftanschluß 11 versehen, der als Anschlußstutzen ausgebildet ist, an den die Zuführleitung 12 (Fig. 1) angeschlossen werden kann. Der Kühlluftanschluß 11 befindet sich somit mit Abstand oberhalb des Ventilators 9 (Fig. 2). Um die Strömungsverhältnisse in der Rückluftführung 18 nicht zu beeinträchtigen, ragt der Kühlluftanschluß 11 vor teilhaft nicht in die Rückluftführung 18, sondern liegt bündig mit der Unterseite des Deckenteils 17. Ebenso ragt der Ventilator 9 vorzugsweise nicht in die Rückluftführung 18, sondern liegt bündig mit der dem Deckenteil 17 zugewandten Oberseite des Deckenteils 15.The unit 8 has an outer wall 13 which is formed from four wall parts 13 a to 13 d which are placed at right angles to one another. They extend from a support 14 ( FIG. 2) to the top. The support 14 can be formed by rails, rods or the like. On the wall parts 13 a to 13 d, a horizontal ceiling part 15 is placed, has the same outline as the unit 8 . In the middle, the ceiling part 15 has an opening 16 into which the fan 9 is inserted. It projects down over the ceiling part 15 . At a distance above half of the ceiling part 15 , a further ceiling part 17 is provided which is parallel to the ceiling part 15 and together with this limits a return air duct 18 . The blanket part 17 can have the same outline as the blanket part 15 and is held along its circumference by spacers 19 from Ab to the blanket part 15 . The cover part 17 is preferably slightly smaller than the cover part 15 . This makes it easier for the return air to be drawn in. The ceiling part 17 can of course also have a different outline than the ceiling part 15 . The spacers 19 are provided with inlet openings (not shown) for the return air. The ceiling part 17 is provided centrally with the cooling air connection 11 , which is designed as a connecting piece to which the supply line 12 ( FIG. 1) can be connected. The cooling air connection 11 is thus at a distance above the fan 9 ( Fig. 2). In order not to impair the flow conditions in the return air duct 18 , the cooling air connection 11 does not project into the return air duct 18 , but lies flush with the underside of the ceiling part 17 . Likewise, the fan 9 preferably does not protrude into the return air duct 18 , but lies flush with the top of the ceiling part 15 facing the ceiling part 17 .

Mit Abstand zu den äußeren Wandteilen 13a bis 13d sind Zwischenwände 20a bis 20d vorgesehen, die parallel zu den Wandteilen 13a bis 13d verlaufen und sich von der Auflage 14 aus ebenfalls aufwärts erstrecken. Sie enden jedoch mit Abstand vom Deckenteil 15 (Fig. 2). Die Zwischenwände 20a bis 20d haben gleiche Höhe und sind im Ausführungsbeispiel dicker als die äußeren Wandteile 13a bis 13d. Zwischen den Zwischenwänden 20a bis 20d und den äußeren Wandteilen 13a bis 13d wird ein viereckiger Ringkanal 21 gebildet, in dem die vom Ventilator 9 angesaugte Luft nach unten in Richtung auf den Filter 7 strömt.At a distance from the outer wall parts 13 a to 13 d, intermediate walls 20 a to 20 d are provided, which run parallel to the wall parts 13 a to 13 d and also extend upwards from the support 14 . However, they end at a distance from the ceiling part 15 ( Fig. 2). The intermediate walls 20 a to 20 d have the same height and are thicker in the exemplary embodiment than the outer wall parts 13 a to 13 d. Between the intermediate walls 20 a to 20 d and the outer wall parts 13 a to 13 d, a square annular channel 21 is formed, in which the air sucked in by the fan 9 flows downward in the direction of the filter 7 .

Auf der von den äußeren Wandteilen 13a bis 13d abgewandten Seite sind mit Abstand zu den Zwischenwänden 20a bis 20d innere Wandteile 22a bis 22d angeordnet, die sich ebenfalls von der Auflage 14 aus aufwärts und parallel zu den Zwischen wänden erstrecken. Sie haben geringere Höhe als die Zwischen wände 20a bis 20d (Fig. 2). Die inneren Wandteile 22a bis 22d schließen wiederum rechtwinklig aneinander und begrenzen zusammen mit den Zwischenwänden 20a bis 20d einen weiteren viereckigen Ringkanal 23 (Fig. 3). Wie sich aus Fig. 2 er gibt, umgeben die inneren Wandteile 22a bis 22d, in Drauf sicht gesehen, den Ventilator 9 mit geringem Abstand.On the side facing away from the outer wall parts 13 a to 13 d, inner wall parts 22 a to 22 d are arranged at a distance from the intermediate walls 20 a to 20 d, which also extend from the support 14 upwards and parallel to the intermediate walls. You have less height than the partition walls 20 a to 20 d ( Fig. 2). The inner wall parts 22 a to 22 d in turn close to one another at a right angle and, together with the intermediate walls 20 a to 20 d, delimit a further square annular channel 23 ( FIG. 3). As can be seen in FIG. 2, the inner wall parts 22 a to 22 d, seen in a plan view, surround the fan 9 at a short distance.

Der von den inneren Wandteilen 22a bis 22d umschlossene Raum ist durch eine Platte 24 in Richtung auf den Filter 7 ver schlossen. Wie Fig. 3 zeigt, füllt die Platte 24 den von den Wandteilen 22a bis 22d umschlossenen Innenraum aus. Wie Fig. 2 zeigt, ist die Platte 24 etwa in halber Höhe an den Innenseiten der Wandteile 22a bis 22d befestigt.The enclosed by the inner wall parts 22 a to 22 d space is closed by a plate 24 in the direction of the filter 7 ver. As Fig. 3 shows, the plate 24 fills the d enclosed by the wall portions 22 a to 22 interior. As Fig. 2 shows, the plate 24 is attached d approximately half the height of the inner sides of the wall parts 22 a to 22.

Sämtliche Wandteile 13a bis 13d, 20a bis 20d und 22a bis 22d sind auf der Auflage 14 befestigt, die durch Profilschienen oder dgl. gebildet sein kann. Es ist auch möglich, die Wand teile 13a bis 13d, 20a bis 20d, 22a bis 22d hängend am Decken teil 15 zu befestigen, beispielsweise mit Gewindestangen.All wall parts 13 a to 13 d, 20 a to 20 d and 22 a to 22 d are attached to the support 14 , which can be formed by rails or the like. It is also possible to attach the wall parts 13 a to 13 d, 20 a to 20 d, 22 a to 22 d hanging on the ceiling part 15 , for example with threaded rods.

Mit Abstand unterhalb der Wandteile 13a bis 13d, 20a bis 20d und 22a bis 22d ist das Filter 7 vorgesehen, das entweder Bestandteil der Einheit ist oder ein gesondertes Bauteil ist, das bei der Montage mit der Einheit verbunden wird.At a distance below the wall parts 13 a to 13 d, 20 a to 20 d and 22 a to 22 d, the filter 7 is provided, which is either part of the unit or is a separate component that is connected to the unit during assembly.

Sämtliche Wandteile 13a bis 13a, 20a bis 20d, 22a bis 22d be stehen aus schalldämmendem Material, wie Mineralwolle, Schaum stoffe oder dgl. Vorteilhaft bestehen auch die Deckenteile 15 und 17 aus schalldämmendem Material. Dadurch ergibt sich eine sehr hohe Geräuschdämmung der Filter-Ventilator-Einheit 8. Vorteilhaft besteht auch die Platte 24 aus schalldämmendem Material. Da die einzelnen Wände aus Wandteilen zusammenge setzt sind, können sie aus vorgefertigten Teilen zusammenge baut werden. Dadurch lassen sich bei Bedarf auch nur einzelne Wandteile auswechseln, so daß nicht die gesamte Wand bei Beschädigung oder Verschleiß nur eines Wandteiles ausge wechselt werden muß. Selbstverständlich können die Wandteile 13a bis 13d, 20a bis 20d und 22a bis 22d jeweils auch ein teilig miteinander ausgebildet sein.All wall parts 13 a to 13 a, 20 a to 20 d, 22 a to 22 d be made of sound-absorbing material, such as mineral wool, foam materials or the like. Advantageously, the ceiling parts 15 and 17 also consist of sound-absorbing material. This results in a very high level of noise insulation for the filter-fan unit 8 . The plate 24 is also advantageously made of sound-absorbing material. Since the individual walls are composed of wall parts, they can be assembled from prefabricated parts. As a result, only individual wall parts can be replaced if necessary, so that the entire wall does not have to be replaced if only one wall part is damaged or worn. Of course, the wall parts 13 a to 13 d, 20 a to 20 d and 22 a to 22 d can each be formed in one piece with one another.

Der Filter 7 besteht aus herkömmlichem Material und kann so ausgebildet sein, daß er für Reinräume bis wenigstens Klasse 1 geeignet ist.The filter 7 is made of conventional material and can be designed so that it is suitable for clean rooms up to at least class 1 .

Vom Ventilator 9 wird über den Kühlluftanschluß 11 Kühlluft zentrisch angesaugt (Fig. 2). Gleichzeitig wird über die Rückluft führung 18 die Rückluft (Pfeile 25) vom Ventilator 9 angesaugt Da die Kühlluft 11 zentrisch zum Ventilator 9 und die Rückluft quer dazu angesaugt wird, wird die Kühlluft gut mit der Rückluft 25 vermischt, wodurch auch ein schneller Temperaturausgleich erreicht wird. Die angesaugte Luft wird vom Ventilator 9 in Richtung der Pfeile in Fig. 2 in die Ringkanäle 21 und 23 geleitet und in ihnen senkrecht nach unten zum Filter 7 gelenkt. Nach dem Durchtritt durch den Filter 7 gelangt die gereinigte Luft in den Reinraum 1 (Fig. 1). Die Abstufung der Wandteile 13a bis 13d, 20a bis 20d und 22a bis 22d nach innen ist so gewählt, daß eine gleichförmige Geschwindigkeit über die Filterfläche er reicht wird. Somit zeichnet sich diese Filter-Ventilator- Einheit 8 durch eine gleichmäßige Strömungsverteilung bei kompakter Bauweise und hoher Geräuschdämmung aus. Die Strömungswege vom Ventilator 9 zum Filter 7 sind infolge des Ringkanales äußerst kurz, so daß sich nur sehr ge ringe Strömungsverluste und damit auch nur ein sehr ge ringer Energiebedarf ergeben. Infolge der Ringkanäle 21, 23 können die einzelnen Wandteile verhältnismäßig niedrig sein, so daß außer dem Vorteil der geringen Strömungsver luste auch eine äußerst kompakte Ausbildung der Einheit 8 erreicht wird. Da der Ventilator 9 zentrisch angeordnet ist, ergibt sich über den Umfang der Ringkanäle 21 und 23 eine gleichmäßige Strömung.Cooling air is sucked in centrally by the fan 9 via the cooling air connection 11 ( FIG. 2). At the same time, the return air (arrows 25 ) is sucked in by the fan 9 via the return air guide 18. Since the cooling air 11 is sucked in centrally to the fan 9 and the return air is drawn transversely thereto, the cooling air is mixed well with the return air 25 , as a result of which a rapid temperature compensation is also achieved . The sucked-in air is guided by the fan 9 in the direction of the arrows in FIG. 2 into the ring channels 21 and 23 and is directed vertically downwards to the filter 7 in them. After passing through the filter 7 , the cleaned air enters the clean room 1 ( FIG. 1). The gradation of the wall parts 13 a to 13 d, 20 a to 20 d and 22 a to 22 d towards the inside is chosen so that a uniform speed over the filter surface is sufficient. This filter-fan unit 8 is thus characterized by a uniform flow distribution with a compact design and high noise insulation. The flow paths from the fan 9 to the filter 7 are extremely short due to the ring channel, so that there are only very low flow losses and thus only a very low energy requirement. As a result of the ring channels 21 , 23 , the individual wall parts can be relatively low, so that in addition to the advantage of low flow losses, an extremely compact design of the unit 8 is achieved. Since the fan 9 is arranged centrally, there is a uniform flow over the circumference of the ring channels 21 and 23 .

Die Filter-Ventilator-Einheit 8 kann an der Decke abgehängt oder in eine Rasterdecke eingesetzt werden. Die Einheiten 8 lassen sich sowohl einzeln einsetzen als auch modular zu Rein räumen beliebiger Größe zusammenfügen. Wartungsarbeiten an den Einheiten 8 beeinträchtigen den Reinraumbetrieb nur geringfügig. Die einzelnen Filter-Ventilator-Einheiten 8 können einzeln schnell von unten oder von oben ausgewechselt werden. Der Wechsel der Filter 7 ist von unten möglich. Die Venti latoren 9 sind von unten, aber auch von oben zugänglich. Dadurch können über begehbare Einheiten Wartungsarbeiten durchgeführt werden, ohne den gesamten Reinraum 1 still zulegen. Mit den einzelnen Einheiten 8 können kleinere und große Reinräume kostengünstig aufgebaut werden. Insbesondere sind auch Nachrüstungen mit den als Moduln ausgebildeten Filter-Ventilator-Einheiten 8 kostengünstig möglich. In folge ihrer kompakten Ausbildung haben die Filter-Ventilator- Einheiten 8 auch nur geringes Gewicht, so daß eine einfache Montage möglich ist. Zudem ist die Deckenbelastung ver hältnismäßig gering.The filter-fan unit 8 can be suspended from the ceiling or used in a grid ceiling. The units 8 can be used individually as well as put together modularly to clean rooms of any size. Maintenance work on the units 8 only slightly affect clean room operation. The individual filter-fan units 8 can be replaced individually quickly from below or from above. The filter 7 can be changed from below. The ventilators 9 are accessible from below, but also from above. This means that maintenance work can be carried out on walk-in units without shutting down the entire clean room 1 . With the individual units 8 , small and large clean rooms can be constructed inexpensively. In particular, retrofitting with the filter-fan units 8 designed as modules is also possible at low cost. As a result of their compact design, the filter-fan units 8 also have only a low weight, so that simple assembly is possible. In addition, the ceiling load is relatively low.

Bei der einfachsten Ausführung hat die Filter-Ventilator- Einheit 8 nur einen Ringkanal, der von den äußeren Wand teilen 13a bis 13d und den inneren Wandteilen 22a bis 22d begrenzt wird. Eine solche Einheit ist noch kompakter aus gebildet und weist dennoch alle Vorteile hinsichtlich der hohen Geräuschdämmung, der gleichförmigen Strömungsver teilung und der geringen Störmungsverluste auf. Hierbei reicht es aus, wenn nur die eine Begrenzungswand, also die Wandteile 13a bis 13d oder die Wandteile 22a bis 22d, aus schalldämmendem Material bestehen. Vorteilhaft bestehen aber sämtliche Wandteile aus schalldämmendem Material, so daß eine sehr hohe Geräuschdämmung erzielt wird.In the simplest version, the filter-fan unit 8 has only one ring channel, which is limited by the outer wall parts 13 a to 13 d and the inner wall parts 22 a to 22 d. Such a unit is made even more compact and still has all the advantages in terms of high noise insulation, the uniform flow distribution and the low interference losses. It is sufficient if only one boundary wall, that is to say the wall parts 13 a to 13 d or the wall parts 22 a to 22 d, consist of sound-absorbing material. Advantageously, however, all wall parts consist of sound-absorbing material, so that very high noise insulation is achieved.

Bei einer anderen (nicht dargestellten) Ausführungsform kann die Filter-Ventilator-Einheit 8 auch mehr als zwei Ringkanäle aufweisen. In diesem Falle sind entsprechend mehr Wandteile vorgesehen, die wiederum in ihrer Höhe so aufeinander abgestimmt sind, daß von außen nach innen die Wandhöhe abnimmt. Diese Abstufung wird wiederum so gewählt, daß eine gleichförmige Strömungsgeschwindigkeit der Luft über die Filterfläche erreicht wird.In another embodiment (not shown), the filter-fan unit 8 can also have more than two ring channels. In this case, correspondingly more wall parts are provided, which in turn are coordinated in height so that the wall height decreases from the outside inwards. This gradation is again chosen so that a uniform flow velocity of the air over the filter surface is achieved.

Die Einheiten 8 lassen sich somit sehr einfach an die je weiligen Einsatzfälle anpassen, indem lediglich eine unterschiedliche Zahl von Wandteilen vorgesehen wird. Alle Varianten zeichnen sich durch die hohe Geräuschdämmung, die gleichförmige Strömungsverteilung, die kompakte Bauweise, den geringen Strömungsverlust und durch das geringe Ge wicht aus.The units 8 can thus be very easily adapted to the respective application by merely providing a different number of wall parts. All variants are characterized by the high noise insulation, the uniform flow distribution, the compact design, the low flow loss and the low weight.

Anstelle der viereckigen Querschnittsausbildung können die Einheiten 8 und die Wandteile auch jeden anderen geeigneten Umriß haben, beispielsweise runden Umriß.Instead of the quadrangular cross-sectional configuration, the units 8 and the wall parts can also have any other suitable outline, for example a round outline.

Claims

1. Filter-fan device for use in clean rooms, with at least one fan, the pressure side of which faces an air flow space which is delimited by boundary walls, characterized in that the flow space is formed by at least one annular channel ( 21 , 23 ), at least one of its two boundary walls ( 13 a to 13 d, 20 a to 20 d, 22 a to 22 d) consists of sound-absorbing material.

2. Device according to claim 1, characterized in that the fan ( 9 ) is arranged centrally with respect to the annular channel ( 21 , 23 ).

3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the annular channel ( 21 ) of an outer wall ( 13 ) of the device ( 8 ) is limited to the outside.

4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least the outer loading boundary wall ( 13 a to 13 d) consists of sound-absorbing material.

5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the fan ( 9 ) is arranged in a ceiling part ( 15 ).

6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the outer wall ( 13 ) of the device ( 8 ) extends to the ceiling part ( 15 ).

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the inner boundary wall ( 20 a to 20 d) distance from the ceiling part ( 15 ).

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the device ( 8 ) has a plurality of ring channels ( 21 , 23 ), the boundary walls ( 13 a to 13 d, 20 a to 20 d, 22 a to 22 d) Decrease in height from the outside in.

9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the device ( 8 ) has at least one filter ( 7 ) which is arranged in the region below the ring channels ( 21 , 23 ).

10. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the from the innermost boundary walls ( 22 a to 22 d) enclosed space against the filter ( 7 ) is closed.

11. The device according to claim 10, characterized in that the innermost boundary walls ( 22 a to 22 d) connect with their insides to a plate ( 24 ).

12. The device according to claim 11, characterized in that the plate ( 24 ) consists of soundproofing material.

13. Device according to one of claims 5 to 12, characterized in that the ceiling part ( 15 ) consists of sound-absorbing material.

14. Device according to one of claims 5 to 13, characterized in that the ceiling part ( 15 ) forms the lower limit of a return air duct ( 18 ).

15. The device according to claim 14, characterized in that the return air duct ( 18 ) is limited at the top by a further ceiling part ( 17 ).

16. The device according to claim 15, characterized in that the further ceiling part ( 17 ) consists of sound-absorbing material.

17. The device according to claim 15 or 16, characterized in that a cooling air connection ( 11 ) is provided in the further ceiling part ( 17 ).

18. Device according to claim 17, characterized in that the cooling air flowing through the cooling air connection ( 11 ) flows transversely, preferably perpendicularly to the return air ( 25 ).

19. The device according to claim 17 or 18, characterized in that the cooling air connection ( 11 ) is arranged vertically above the suction side of the fan ( 9 ).

20. Device according to one of claims 1 to 19, characterized in that the device ( 8 ) is designed as a module.

21. Device according to one of claims 1 to 20, characterized in that the boundary walls ( 13 a to 13 d, 20 a to 20 d, 22 a to 22 d) are arranged on supports ( 14 ).

22. Device according to one of claims 1 to 20, characterized in that the boundary walls ( 13 a to 13 d, 20 a to 20 d, 22 a to 22 d) are attached hanging on the ceiling part ( 15 ).

23. Device according to one of claims 1 to 22, characterized in that the ring channels ( 21 , 23 ) are coaxial with each other.

24. Device according to one of claims 1 to 23, characterized in that the ring channels ( 21 , 23 ) have a square outline.